JPH02199795A - 薄膜ｅｌ素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、交流駆動の薄膜ＥＬ（エレクトロルミネセン
ス）素子に関するものである。

（従来の技術） 一般に、この種の薄膜ＥＬ素子は、例えば特開昭６３−
１７０８９１号公報に開示され、第３図に示すように二
重絶縁構造を有し、ガラス等の透明絶縁板から成る基板
１上に蒸着法やスパッタリング法等の適当な方法を用い
てＩＴＯ等の透明導電材料を素材とする透明電極２を形
成し、次いでこの上に絶縁破壊を防ぐため、５ｌＯｚ＋
　ＡＱ、ｏ、、　Ｙ２Ｏ３４ａｔＯｓ等の酸化物絶縁材
料を素材とする第１の絶縁層３、ＺｎＳ等の母体材料内
にＭｎ等の発光中心を添加した螢光材料を素材とする発
光Ｎ４、第１の絶縁層３と同様な材料から成る第２の絶
縁層５、及び前記透明電極２と対向すると共に反射性を
有する電極としてＡＱ等の導電材料を素材とする背面電
極６をこの順序で順次蒸着法やスパッタリング法等の適
当な方法を用いて積層形成して成るものである。

ところで、このようなＥＬ素子の低電圧駆動を図るため
に第１の絶縁層３をＴａ２Ｏ，やＢａＴｔＯ，を用いて
スパッタリング法により形成する場合がある。

この場合、第４図に示すように、透明電極２を形成した
基板１を基板ホルダ７に保持し、透明電極２の下方に間
隔を置いて中央に窓８を有する枠状例えば額縁状のスパ
ッタリング用マスク９（第５図参照）を配設し、下方に
Ｔａ、０３やＢａＴｉＯ３のターゲット１０を配設して
スパッタリング法によりマスク９の窓８を介してマスク
９の内側の透明電極２上にＴａ、０３やＢａＴｉＯ３を
付着させるものである。しかし、マスク９はステンレス
５ＯＳ３０４などの金属板から成り導電性を有するため
、このマスク９の内縁などが透明電極２に触れるとその
部分の酸素が抜けて透明電極２が黒色化されたりあるい
は剥離が生じたりする。このため、第１の絶縁層３を形
成する前には予め透明電極２に全面にわたってＳｉｎｇ
、　ＡｌＢ１２等の絶縁材料から成る絶縁保護層１１を
薄（形成しておく構成のものも考えられている。

（発明が解決しようとする課題） 前記従来例のように、Ｓｉｎｇ等の絶縁保護層１１を形
成すると透明電極２の黒色化等を防止できるが、Ｓｉｎ
ｇは低誘電率材料であるため、この絶縁保護層１１を形
成したことにより素子の駆動電圧が高くなり、折角低電
圧化のためにＴａ、０．やＢａＴｉＯ３により第１の絶
縁層３を形成してもその効果が薄れると言う問題があっ
た。

そこで、本発明は前記問題に基づいて成されたものであ
り、黒色化を防止できるとともに、駆動電圧を低くする
ことのできる薄膜ＥＬ素子を提供することを目的とする
ものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、対向配設された透明電極と背面電極との間に
発光層を設け、少なくともこの発光層と透明電極との間
に枠状のマスクを配設してこのマスク内側の前記透明電
極上にスパッタリング法により絶縁層を設けた薄膜ＥＬ
素子において、前記透明電極上の前記マスク内縁付近に
対応する部分に低誘電率の絶縁材料から成る絶縁保護層
を設けたものである。

（作用） 絶縁保護層は枠状であり、素子の有効表示面積部分を覆
わないで形成されているため、駆動電圧を低くすること
ができる。

（実施例） 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を詳述する。尚
、本実施例において、第３図〜第５図で示した従来例と
同一機能を有する箇所には同一符号を付しその詳細な説
明は省略する。透光性のガラス基板１　（ＮＡ−４０）
上には従来例と同様な方法例えばスパッタリング法によ
り透明電極２（膜厚２０００人）を形成し、所望のパタ
ーンにバターニングする。

そして、この透明電極２の上には第２図で示すように、
第５図で示したスパッタ用マスク９の内縁９Ａ等に対応
する部分に沿って額縁状にＳｉＯ２等の低誘電率の絶縁
材を塗布法、蒸着法、スパッタリング法等の適宜な方法
で約３０００人の膜厚で形成して絶縁保護層１２と成す
。この絶縁保護層１２は素子の有効面積を覆わないよう
に発光層４より外側に形成されているとともに、少なく
ともマスク９が触れる恐れのある部分に形成されている
。

次に、この絶縁保護Ｎ１２を形成している透明電極２の
上には第４図の従来例で示したようにスパッタリング法
を用いてＢａＴｉＯｓによる第１の絶縁層３、ＺｎＳ：
Ｍｎによる発光層４、ＨｆＯ２による第２の絶縁層５及
び舷による背面電極６が順次積層されて薄膜ＥＬ素子が
形成される。

以上のように構成される本発明の薄膜ＥＬ素子は、スパ
ッタリング法により第１の絶縁Ｎ３を形成する前に、予
め透明電極２に保護用の額縁状の絶縁保護層１２を形成
したものである。すなわち、この絶縁保護層１２は第１
の絶縁層３を形成する際に透明電極２を覆うマスク９が
透明電極２と触れる恐れのある部分に形成されている。

そして、この絶縁保護層１２は金属板のマスク９が触れ
ても絶縁材であるため透明電極２を保護し黒色化や剥離
を防止できる。また、この絶縁保護層１２は従来と異な
り、発光層４が位置する有効表示面積の部分を覆ってい
ないため、ＳｉＯ□と言う誘電率の低い材料を用いても
駆動電圧を高めることがほとんどなく　、ＢａＴｉ０ｚ
を第１の絶縁層として用いている低電圧駆動の効果を充
分に発渾することができる。

以上、本発明の一実施例を詳述したが、本発明の要旨の
範囲内で適宜変形できる。例えば前記実施例では二重絶
縁層構造を示したが、第２の絶縁Ｎ５のないタイプのＥ
Ｌ素子にも適用できる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように本発明によれば対向配設された透明
電極と背面電極との間に発光層を設け、少なくともこの
発光層と透明電極との間に枠状のマスクを配設してこの
マスク内側の前記透明電極上にスパッタリング法により
絶縁層を設けた薄膜ＥＬ素子において、前記透明電極上
の前記マスク内縁付近に対応する部分に低誘電率の絶縁
材料から成る絶縁保護層を設けたことにより、黒色化を
防止できるとともに、駆動電圧を低くすることのできる
薄膜ＥＬ素子を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

断面図、第４図は従来例を示す模式図、第５図はマスク
の平面図である。 ２・・・透明電極 ３・−第１の絶縁層 ４・−発光層 第１図 第２図 ６・・・背面電極 ９−マスク １２〜絶縁保護層 特許出願人　　日本精機株式会社 代理人　弁理士　　牛　木　　護 同　　弁理士　　薄　１）長門部 第３ｇＪ 第４図 ！ｌ！５８ 手 続 補 正 書 （自 発

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　対向配設された透明電極と背面電極との間に発
   光層を設け、少なくともこの発光層と透明電極との間に
   枠状のマスクを配設してこのマスク内側の前記透明電極
   上にスパッタリング法により絶縁層を設けた薄膜ＥＬ素
   子において、前記透明電極上の前記マスク内縁付近に対
   応する部分に低誘電率の絶縁材料から成る絶縁保護層を
   設けたことを特徴とする薄膜ＥＬ素子。