JPH02198412A - レーザビーム走査装置 - Google Patents
レーザビーム走査装置Info
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- JPH02198412A JPH02198412A JP1817589A JP1817589A JPH02198412A JP H02198412 A JPH02198412 A JP H02198412A JP 1817589 A JP1817589 A JP 1817589A JP 1817589 A JP1817589 A JP 1817589A JP H02198412 A JPH02198412 A JP H02198412A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 38
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザビームを媒体上で走査するレーザビーム
走査装置に関する。
走査装置に関する。
レーザビーム走査装置では、高速で回転するポリゴンミ
ラー(回転多面鏡)等の主走査手段へ光源から照射され
たレーザビームを照射し、その反射光を走査レンズを介
して記録媒体方向へ案内することにより主走査がなされ
る。なお、副走査は記録媒体を移動することやガルバノ
メークミラーによってレーザビームを偏向することによ
り行うのが一般的である。
ラー(回転多面鏡)等の主走査手段へ光源から照射され
たレーザビームを照射し、その反射光を走査レンズを介
して記録媒体方向へ案内することにより主走査がなされ
る。なお、副走査は記録媒体を移動することやガルバノ
メークミラーによってレーザビームを偏向することによ
り行うのが一般的である。
ここで、レーザビームは、記録媒体上で合焦するように
光路長が調整されており、例えば画像を記録する場合に
は、ドツト径が最小とされ、より鮮明な画像を得ること
ができる。また、記録媒体に記録された画像を読み取る
場合においても読取ミスはない。
光路長が調整されており、例えば画像を記録する場合に
は、ドツト径が最小とされ、より鮮明な画像を得ること
ができる。また、記録媒体に記録された画像を読み取る
場合においても読取ミスはない。
しかしながら、従来の走査光学系では、焦点位置が適正
であるか否かを検出する機構を備えておらず、所謂オー
トフォーカスは全く行っていない。
であるか否かを検出する機構を備えておらず、所謂オー
トフォーカスは全く行っていない。
このため、特に高開口数(N、A、 )で微小スポット
に絞る走査レンズを用いた場合、記録材料の僅かな湾曲
や副走査時の焦点距離の変化が影響し、記録材料上で合
焦されなかったり、ドツト径がばらついたりして、記録
あるいは読取りができなくなるという問題点がある。な
お、記録媒体の像面の湾曲を補正するために、予め定め
られたパターンに従って焦点位置を移動することは行わ
れているが、これによって、レーザビームを記録媒体上
で確実に合焦させることはできない。
に絞る走査レンズを用いた場合、記録材料の僅かな湾曲
や副走査時の焦点距離の変化が影響し、記録材料上で合
焦されなかったり、ドツト径がばらついたりして、記録
あるいは読取りができなくなるという問題点がある。な
お、記録媒体の像面の湾曲を補正するために、予め定め
られたパターンに従って焦点位置を移動することは行わ
れているが、これによって、レーザビームを記録媒体上
で確実に合焦させることはできない。
本発明は上記事実を考慮し、レーザビームによる走査中
に媒体上での焦点位置のずれを検出し、この検出結果に
基づいて常に適正な合焦状態となるように焦点位置を補
正して、記録又は読取りを確実に行うことができるレー
ザビーム走査装置を得ることが目的である。
に媒体上での焦点位置のずれを検出し、この検出結果に
基づいて常に適正な合焦状態となるように焦点位置を補
正して、記録又は読取りを確実に行うことができるレー
ザビーム走査装置を得ることが目的である。
本発明に係るレーザビーム走査装置は、レーザビームを
出力する光源と、入射されたレーザビームを反射して媒
体へ走査する走査手段と、前記媒体と走査手段との間に
配置されて走査手段からのレーザビームを前記媒体上に
集光させる走査レンズと、前記走査レンズから出力され
るレーザビームの焦点位置を変更する変更手段と、前記
媒体上での合焦を基準とする焦点位置のずれ量を検出す
る焦点位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段で検
出された位置ずれ量に応じて前記変更手段を駆動させ前
記媒体上で合焦させるように補正する位置ずれ補正手段
と、を有している。
出力する光源と、入射されたレーザビームを反射して媒
体へ走査する走査手段と、前記媒体と走査手段との間に
配置されて走査手段からのレーザビームを前記媒体上に
集光させる走査レンズと、前記走査レンズから出力され
るレーザビームの焦点位置を変更する変更手段と、前記
媒体上での合焦を基準とする焦点位置のずれ量を検出す
る焦点位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段で検
出された位置ずれ量に応じて前記変更手段を駆動させ前
記媒体上で合焦させるように補正する位置ずれ補正手段
と、を有している。
本発明よれば、記録媒体上での合焦を基準として焦点の
位置ずれを位置ずれ検出手段で検出し、この検出結果に
応じて補正手段では、変更手段を駆動させ記録媒体上で
合焦するように補正するので、常にレーザビームを記録
媒体上で最小スポット径とすることができ、例えば記録
時には鮮明かつ確実に記録を行うことができ、また記録
媒体上に記録された情報を読み取る場合にも読取ミス等
が生じることがない。
位置ずれを位置ずれ検出手段で検出し、この検出結果に
応じて補正手段では、変更手段を駆動させ記録媒体上で
合焦するように補正するので、常にレーザビームを記録
媒体上で最小スポット径とすることができ、例えば記録
時には鮮明かつ確実に記録を行うことができ、また記録
媒体上に記録された情報を読み取る場合にも読取ミス等
が生じることがない。
〔第1実施例〕
第1図には第1実施例に係るレーザビーム走査装置10
の概略構成図が示されている。レーザ12から出射され
たレーザビームはコリメートレンズ14、偏光ビームス
プリッタ16へ入射されている。ここで、レーザ12は
、レーザ゛12から出射されるレーザビームが、偏光ビ
ームスプリッタ16の入射面(紙面)に対して平行に振
動するP偏光になるように配置されている。このため、
偏光ビームスプリッタ16に入射したレーザビームは、
偏光ビームスプリッタ16の接合面16Aを透過するこ
とになる。接合面16Aを透過したレーザビームは、1
74波長板18へと至るようになっている。なお、偏光
ビームスプリッタ16の接合面16Aは、レーザビーム
に対して45°の角度となっている。
の概略構成図が示されている。レーザ12から出射され
たレーザビームはコリメートレンズ14、偏光ビームス
プリッタ16へ入射されている。ここで、レーザ12は
、レーザ゛12から出射されるレーザビームが、偏光ビ
ームスプリッタ16の入射面(紙面)に対して平行に振
動するP偏光になるように配置されている。このため、
偏光ビームスプリッタ16に入射したレーザビームは、
偏光ビームスプリッタ16の接合面16Aを透過するこ
とになる。接合面16Aを透過したレーザビームは、1
74波長板18へと至るようになっている。なお、偏光
ビームスプリッタ16の接合面16Aは、レーザビーム
に対して45°の角度となっている。
上記174波長板18は、光学軸が入射されたレーザビ
ームの偏光面に対して45°の角度を成すように配置さ
れており、レーザビームを直線偏光から円偏光へ、及び
円偏光から直線偏光へ変換する役目を有している。従っ
て、偏光ビームスプリッタ16の接合面16Aを透過し
たP偏光は、1/4波長板18によりビーム進行方向に
対して右回りの円偏光とされて出射される。
ームの偏光面に対して45°の角度を成すように配置さ
れており、レーザビームを直線偏光から円偏光へ、及び
円偏光から直線偏光へ変換する役目を有している。従っ
て、偏光ビームスプリッタ16の接合面16Aを透過し
たP偏光は、1/4波長板18によりビーム進行方向に
対して右回りの円偏光とされて出射される。
偏光ビームスプリッタ16を透過したレーザビームは、
前記174波長板18を通過後、ダイナミックフォーカ
ス光学系20を介して走査手段としてのポリゴンミラー
22へと照射されるようになっている。このダイナミッ
クフォーカス光学系20は、固定レンズ24と光軸方向
へ移動可能な移動レンズ26とを備えており、移動レン
ズ26の位置によりレーザビームの焦点位置P、が変更
されることになる。なお、移動レンズ26を移動させる
ためのオートフォーカス駆動系については後述する。
前記174波長板18を通過後、ダイナミックフォーカ
ス光学系20を介して走査手段としてのポリゴンミラー
22へと照射されるようになっている。このダイナミッ
クフォーカス光学系20は、固定レンズ24と光軸方向
へ移動可能な移動レンズ26とを備えており、移動レン
ズ26の位置によりレーザビームの焦点位置P、が変更
されることになる。なお、移動レンズ26を移動させる
ためのオートフォーカス駆動系については後述する。
ポリゴンミラー22は複数の反射面22Aを有しており
、図示しない駆動モーフの駆動力により回転軸28を介
して回転されるようになっている。
、図示しない駆動モーフの駆動力により回転軸28を介
して回転されるようになっている。
このポリゴンミラー22の回転によって、入射されたレ
ーザビームの入射角を連続的に変更させるようになって
いる。ポリゴンミラー22の反射面22Aで反射された
レーザビームは、テレセントリンク走査レンズ30を介
して図示しない記録ステージに配置された記録媒体32
の記録面上へ照射されて主走査が行われる。記録媒体は
、一定速度で主走査方向とは直交する方向へ移動されて
おり、これにより副走査が行われる。
ーザビームの入射角を連続的に変更させるようになって
いる。ポリゴンミラー22の反射面22Aで反射された
レーザビームは、テレセントリンク走査レンズ30を介
して図示しない記録ステージに配置された記録媒体32
の記録面上へ照射されて主走査が行われる。記録媒体は
、一定速度で主走査方向とは直交する方向へ移動されて
おり、これにより副走査が行われる。
ここで、ダイナミックフォーカス光学系20は、レーザ
ビームが記録媒体32上のレーザビームの集光スポット
である像点P2に集光するように配置されているが、記
録媒体32の湾曲や集光スポットが微小である場合には
、僅かな焦点位置のずれにより記録媒体32上での集光
スポットのドツト径がばらつくことがある。このた必、
本第1実施例のレーザビーム走査装置10では、前記焦
点位置P+ を移動レンズ26を移動させることにより
変更して、この焦点位置を補正することができるオート
フォーカス機構34を備えている。以下にこのオートフ
ォーカス機構34について説明する。
ビームが記録媒体32上のレーザビームの集光スポット
である像点P2に集光するように配置されているが、記
録媒体32の湾曲や集光スポットが微小である場合には
、僅かな焦点位置のずれにより記録媒体32上での集光
スポットのドツト径がばらつくことがある。このた必、
本第1実施例のレーザビーム走査装置10では、前記焦
点位置P+ を移動レンズ26を移動させることにより
変更して、この焦点位置を補正することができるオート
フォーカス機構34を備えている。以下にこのオートフ
ォーカス機構34について説明する。
記録媒体32上に集光されたレーザビームは、記録媒体
32で反射され、同一の光路上を通過して、前記テレセ
ンドリンク走査レンズ30、ポリゴンミラー22の反射
面22A1ダイナミツクフオーカス光学系20を通過し
て、再度1/4波長板18に入射される。ここで、記録
媒体32で反射された後、更に反射面22Aによって反
射されたレーザビームは、反射面22Aへの入射時の右
回り円偏光とは反対のビーム進行方向に対して左回り円
偏光とされるので、174波長板18により円偏光から
直線偏光とされる際、偏光ビームスプリッタ16の入射
面に対して垂直に振動するS偏光とされる。従って、1
74波長板18を通過したレーザビームは、偏光ビーム
スプリッタ16の接合面16Aで直角に反射されること
となり、レーザ12からの入射時とは異なる方向(互い
に直角方向)に案内される。
32で反射され、同一の光路上を通過して、前記テレセ
ンドリンク走査レンズ30、ポリゴンミラー22の反射
面22A1ダイナミツクフオーカス光学系20を通過し
て、再度1/4波長板18に入射される。ここで、記録
媒体32で反射された後、更に反射面22Aによって反
射されたレーザビームは、反射面22Aへの入射時の右
回り円偏光とは反対のビーム進行方向に対して左回り円
偏光とされるので、174波長板18により円偏光から
直線偏光とされる際、偏光ビームスプリッタ16の入射
面に対して垂直に振動するS偏光とされる。従って、1
74波長板18を通過したレーザビームは、偏光ビーム
スプリッタ16の接合面16Aで直角に反射されること
となり、レーザ12からの入射時とは異なる方向(互い
に直角方向)に案内される。
偏光ビームスプリッタ16の接合面16Aで反射された
レーザビームは、集光レンズ36を介して位置ずれ検出
手段を構成するシリンドリカルレンズ38へ入射される
ようになっている。シリンドリカルレンズ38から出射
されるレーザビームは前記シリンドリカルレンズ38と
共に位置ずれ検出手段を構成するフォトダイオード40
へと至るようになっている。フォトダイオード40は4
つの独立した検出面4OA、40B、40C,40Dを
備えており、その中心部にシリンドリカルレンズ38か
ら出射されたレーザビームが照射されるようになってい
る。なお、フォトダイオード40は、記録媒体32上に
レーザビームが合焦したとき、集光レンズ36によりフ
ォトダイオード40上にレーザビームが合焦するように
配置されている。
レーザビームは、集光レンズ36を介して位置ずれ検出
手段を構成するシリンドリカルレンズ38へ入射される
ようになっている。シリンドリカルレンズ38から出射
されるレーザビームは前記シリンドリカルレンズ38と
共に位置ずれ検出手段を構成するフォトダイオード40
へと至るようになっている。フォトダイオード40は4
つの独立した検出面4OA、40B、40C,40Dを
備えており、その中心部にシリンドリカルレンズ38か
ら出射されたレーザビームが照射されるようになってい
る。なお、フォトダイオード40は、記録媒体32上に
レーザビームが合焦したとき、集光レンズ36によりフ
ォトダイオード40上にレーザビームが合焦するように
配置されている。
シリンドリカルレンズ38は、光軸用りに45°回転さ
れた状態で配置されており、記録媒体32上にレーザビ
ームが合焦していないときに非点収差により前記フォト
ダイオード40の検出面40A、40B、40C,40
Dで楕円状のスポットで集光されるようになっている。
れた状態で配置されており、記録媒体32上にレーザビ
ームが合焦していないときに非点収差により前記フォト
ダイオード40の検出面40A、40B、40C,40
Dで楕円状のスポットで集光されるようになっている。
楕円スポットの長軸及び短軸は、フォトダイオード40
の検出面4OA、40B、40C140Dを分割した稜
線に対し、それぞれ45°の角度となるように傾斜され
るため、記録媒体32へと照射されるレーザビームが記
録媒体32よりも前で集光されているか(前ピン)、記
録媒体32の後で集光されているか(後ピン)を楕円ス
ポットの傾き方向で認識することができる。ここで、第
1図の実線及び第2図(A)で示されるように楕円スポ
ットとなった場合はく前ピン)、検出面4OA、40C
で検出した光量が検出面40B、40Dで検出した光量
よりも多くなることがわかる。また、第1図の想像線及
び第2図(B)で示されるように楕円スポットとなった
場合は(後ピン)、検出面40B、40Dで検出した光
量が検出面40A、40Cで検出した光量よりも多くな
ることがわかる。
の検出面4OA、40B、40C140Dを分割した稜
線に対し、それぞれ45°の角度となるように傾斜され
るため、記録媒体32へと照射されるレーザビームが記
録媒体32よりも前で集光されているか(前ピン)、記
録媒体32の後で集光されているか(後ピン)を楕円ス
ポットの傾き方向で認識することができる。ここで、第
1図の実線及び第2図(A)で示されるように楕円スポ
ットとなった場合はく前ピン)、検出面4OA、40C
で検出した光量が検出面40B、40Dで検出した光量
よりも多くなることがわかる。また、第1図の想像線及
び第2図(B)で示されるように楕円スポットとなった
場合は(後ピン)、検出面40B、40Dで検出した光
量が検出面40A、40Cで検出した光量よりも多くな
ることがわかる。
検出面40A、40Cにより検出した光量の検出値は加
算器42により加算され、検出面40B、40Dにより
検出した光量の検出値、は加算器44により加算される
ようになっている。加算器42.44の出力は、変更手
段を構成する差動増幅器46の入力端子へ接続されてお
り、差動増幅器46の出力側には加算器42.44の出
力差が出力されるようになっている。差動増幅器46の
出力側はドライバ48を介して差動増幅器46と共に変
更手段を構成するコイル50へ接続されている。
算器42により加算され、検出面40B、40Dにより
検出した光量の検出値、は加算器44により加算される
ようになっている。加算器42.44の出力は、変更手
段を構成する差動増幅器46の入力端子へ接続されてお
り、差動増幅器46の出力側には加算器42.44の出
力差が出力されるようになっている。差動増幅器46の
出力側はドライバ48を介して差動増幅器46と共に変
更手段を構成するコイル50へ接続されている。
第3図に示される如く、移動レンズ26はコイル50に
収容された鉄芯52により支持されている。
収容された鉄芯52により支持されている。
ここで、コイル50へ加算器42.44の出力差に応じ
た電流が流れると、コイル50に内側へ収容されている
鉄芯52が励磁によって吸引されて軸方向移動し、移動
レンズ26を光軸方向へ移動させることができるように
なっている。なお、前記前ピンの場合は移動レンズ26
をポリゴンミラー22方向へ移動させ、後ピンの場合は
移動レンズを174波長板18方向へ移動させるように
している。この結果、合焦されると第2図(C)に示さ
れる如く、フォトダイオード40のスポットは円形とな
り、差動増幅器46の出力は0となる。
た電流が流れると、コイル50に内側へ収容されている
鉄芯52が励磁によって吸引されて軸方向移動し、移動
レンズ26を光軸方向へ移動させることができるように
なっている。なお、前記前ピンの場合は移動レンズ26
をポリゴンミラー22方向へ移動させ、後ピンの場合は
移動レンズを174波長板18方向へ移動させるように
している。この結果、合焦されると第2図(C)に示さ
れる如く、フォトダイオード40のスポットは円形とな
り、差動増幅器46の出力は0となる。
以下に第1実施例の作用を説明する。
レーザ12からレーザビームが照射されると、まず、コ
リメートレンズ14、偏光ビームスプリッタ16の接合
面16Aへと至る。レーザビームは、入射面に対して平
行なP偏光とされているので、レーザビームはこの接合
面16Aを透過する。
リメートレンズ14、偏光ビームスプリッタ16の接合
面16Aへと至る。レーザビームは、入射面に対して平
行なP偏光とされているので、レーザビームはこの接合
面16Aを透過する。
透過されたレーザビームは、1/4波長板18へと至り
、この174波長板18を通過することによりビーム進
行方向に対して右回りの円偏光とされ、ダイナミックフ
ォーカス光学系20を介してポリゴンミラー22の反射
面22Aへ照射される。
、この174波長板18を通過することによりビーム進
行方向に対して右回りの円偏光とされ、ダイナミックフ
ォーカス光学系20を介してポリゴンミラー22の反射
面22Aへ照射される。
ポリゴンミラー22の反射面22Aで反射されたレーザ
ビームは、ビーム進行方向に対して左回りの円偏光とさ
れると共に、ポリゴンミラー22の回転により、入射角
が回転軸28周りに連続的に変更されているので、反射
方向も変更される。
ビームは、ビーム進行方向に対して左回りの円偏光とさ
れると共に、ポリゴンミラー22の回転により、入射角
が回転軸28周りに連続的に変更されているので、反射
方向も変更される。
それぞれの反射方向のレーザビームは、テレセントリッ
ク走査レンズ30で記録媒体32上で集光されるように
屈折され、記録媒体32の記録面上へ主走査される。記
録媒体32は、副走査方向へ一定速度で移動されている
ので、レーザビームは記録媒体32の記録面上で走査さ
れ、画像や文字等の情報を記録したり、あるいは既に記
録されている情報を読み取ったりすることができる。
ク走査レンズ30で記録媒体32上で集光されるように
屈折され、記録媒体32の記録面上へ主走査される。記
録媒体32は、副走査方向へ一定速度で移動されている
ので、レーザビームは記録媒体32の記録面上で走査さ
れ、画像や文字等の情報を記録したり、あるいは既に記
録されている情報を読み取ったりすることができる。
ここで、本第1実施例のレーザビーム走査装置10では
、記録媒体32上で確実にレーザビームが合焦している
か否かを検出し、補正することができる。すなわち、記
録媒体32へと至ったレーザビームは記録媒体32で反
射され、再度テレセントリック走査レンズ30へと至る
。この反射レーザビームは、記録媒体32上の照射時の
光路と同一の光路を通過して、ポリゴンミラー22の反
射面22Aで反射される。ここで、記録媒体22で反射
されると右回りの円偏光とされ、反射面22Aで反射さ
れることにより左回りの円偏光とされて1/4波長板1
8へと至る。
、記録媒体32上で確実にレーザビームが合焦している
か否かを検出し、補正することができる。すなわち、記
録媒体32へと至ったレーザビームは記録媒体32で反
射され、再度テレセントリック走査レンズ30へと至る
。この反射レーザビームは、記録媒体32上の照射時の
光路と同一の光路を通過して、ポリゴンミラー22の反
射面22Aで反射される。ここで、記録媒体22で反射
されると右回りの円偏光とされ、反射面22Aで反射さ
れることにより左回りの円偏光とされて1/4波長板1
8へと至る。
1/4波長板18を通過することにより、レーザビーム
は入射面に対して平行なS偏光とされるので、下流の偏
光ビームスプリッタ16の接合面16Aで直角に反射さ
れる。反射されたレーザビームは集光レンズ36、シリ
ンドリカルレンズ38を介してフォトダイオード40へ
と至り、各検出面4.OA、40B、40C,40D毎
にその光量が検出される。検出面40A及び40Cで検
出された光量は加算器42により加算され、検出面40
B及び40Dで検出された光量は加算器44により加算
されて、これらの加算器42.44の差が差動増幅器4
6により出力される。出力された光量差に応じてドライ
バ48からはコイル50へ電流が流れ、この電流値に応
じて移動ミラー26が光軸方向へ移動する。
は入射面に対して平行なS偏光とされるので、下流の偏
光ビームスプリッタ16の接合面16Aで直角に反射さ
れる。反射されたレーザビームは集光レンズ36、シリ
ンドリカルレンズ38を介してフォトダイオード40へ
と至り、各検出面4.OA、40B、40C,40D毎
にその光量が検出される。検出面40A及び40Cで検
出された光量は加算器42により加算され、検出面40
B及び40Dで検出された光量は加算器44により加算
されて、これらの加算器42.44の差が差動増幅器4
6により出力される。出力された光量差に応じてドライ
バ48からはコイル50へ電流が流れ、この電流値に応
じて移動ミラー26が光軸方向へ移動する。
例えば、記録媒体32上で焦点が合わず、前ピンであっ
た場合のフォトダイオード40上のスポット形状は、第
1図実線及び第2図(A)で示されるような右へ傾斜さ
れた楕円となるため、検出面40A、40Gで検出した
光量の方が、検出面40B、40Dで検出した光量より
も多くなる。
た場合のフォトダイオード40上のスポット形状は、第
1図実線及び第2図(A)で示されるような右へ傾斜さ
れた楕円となるため、検出面40A、40Gで検出した
光量の方が、検出面40B、40Dで検出した光量より
も多くなる。
従って、差動増幅器46の出力値はプラスとなり、これ
に応じて移動ミラー26は、ポリゴンミラー22方向へ
移動される。この結果、焦点が記録媒体32上方向へ移
動され、徐々に差動増幅器46の出力が0に近づく (
第2図(C)参照)。差動増幅器46の出力が0となる
と、移動ミラー26はその位置で停止され、合焦された
ことになる。
に応じて移動ミラー26は、ポリゴンミラー22方向へ
移動される。この結果、焦点が記録媒体32上方向へ移
動され、徐々に差動増幅器46の出力が0に近づく (
第2図(C)参照)。差動増幅器46の出力が0となる
と、移動ミラー26はその位置で停止され、合焦された
ことになる。
なお、後ピンの場合は第1図想像線及び第2図(B)に
示される楕円スポットとなり、差動増幅器46の出力は
マイナスとなる。
示される楕円スポットとなり、差動増幅器46の出力は
マイナスとなる。
以上を繰り返すことにより、記録媒体32上で常に合焦
されることになり、スポット径が変化したり、ばらつい
たすせず確実な記録あるいは読取りを行うことができる
。
されることになり、スポット径が変化したり、ばらつい
たすせず確実な記録あるいは読取りを行うことができる
。
〔第2実施例〕
以下、第4図及び第5図に従い本発明の第2実施例につ
いて説明する。なお、上記第1実施例と同一部分につい
ては、同一の番号を付し、その構成の説明を省略する。
いて説明する。なお、上記第1実施例と同一部分につい
ては、同一の番号を付し、その構成の説明を省略する。
第4図及び第5図には第2実施例に係るレーザビーム走
査光学系54の概略構成図が示されている。レーザ゛1
2から出射されたレーザビームはコリメートレンズ14
、偏光ビームスプリッタ16、周囲に永久磁石56を備
えたファラデー素子58.1/2波長板60、ダイナミ
ックフォーカス光学系20、ミラー62.64及び集光
レンズ66を介して偏光ビームスプリッタ68へ入射さ
れている。
査光学系54の概略構成図が示されている。レーザ゛1
2から出射されたレーザビームはコリメートレンズ14
、偏光ビームスプリッタ16、周囲に永久磁石56を備
えたファラデー素子58.1/2波長板60、ダイナミ
ックフォーカス光学系20、ミラー62.64及び集光
レンズ66を介して偏光ビームスプリッタ68へ入射さ
れている。
ここで、レーザ′12から出射されるレーザビームは、
1/2波長板60によって偏光ビームスプリッタ68の
入射面(紙面)に対して垂直に振動するS偏光になるよ
うになっているため、偏光ビームスプリッタ68に入射
したレーザビームは、偏光ビームスプリッタ68の接合
面68Aにおいて直角に反射されることになる。接合面
68Aで反射されたレーザビームは、1/4波長板70
へと至るようになっている。なお、偏光ビームスプリッ
タ68の接合面68Aは、レーザビームに対して45°
の角度となっている。
1/2波長板60によって偏光ビームスプリッタ68の
入射面(紙面)に対して垂直に振動するS偏光になるよ
うになっているため、偏光ビームスプリッタ68に入射
したレーザビームは、偏光ビームスプリッタ68の接合
面68Aにおいて直角に反射されることになる。接合面
68Aで反射されたレーザビームは、1/4波長板70
へと至るようになっている。なお、偏光ビームスプリッ
タ68の接合面68Aは、レーザビームに対して45°
の角度となっている。
上記174波長板70は、光学軸が入射されたレーザビ
ームの偏光面に対して45°の角度を成すように配置さ
れており、レーザビームを直線偏光から円偏光へ、及び
円偏光から直線偏光へ変換する役目を有している。従っ
て、偏光ビームスプリッタ68の接合面68Aによって
反射されたレーザビームはS偏光であるので、1/4波
長板70によりビーム進行方向に対して左回りの円偏光
とされて出射される。
ームの偏光面に対して45°の角度を成すように配置さ
れており、レーザビームを直線偏光から円偏光へ、及び
円偏光から直線偏光へ変換する役目を有している。従っ
て、偏光ビームスプリッタ68の接合面68Aによって
反射されたレーザビームはS偏光であるので、1/4波
長板70によりビーム進行方向に対して左回りの円偏光
とされて出射される。
偏光ビームスプリッタ68により反射されたレーザビー
ムは、前記174波長板70を通過後、テレントリツク
走査レンズ30を介してポリゴンミラー22へと照射さ
れるようになっている。ここで、このレーザビームはテ
レセントリック走査レンズ30の光軸に沿ってポリゴン
ミラー22へ照射されている。
ムは、前記174波長板70を通過後、テレントリツク
走査レンズ30を介してポリゴンミラー22へと照射さ
れるようになっている。ここで、このレーザビームはテ
レセントリック走査レンズ30の光軸に沿ってポリゴン
ミラー22へ照射されている。
ポリゴンミラー22の反射面22Aで反射されたレーザ
ビームは、再度テレセントリック走査レンズ30を介し
て1/4波長板70に入射されるようになっている。こ
こで、反射面22Aによって反射されたレーザビームは
、反射面22Aへの入射時の左回り円偏光とは反対のビ
ーム進行方向に対して右回り円偏光とされるので、l/
4波長板70により円偏光から直線偏光とされる際、偏
光ビームスプリッタ68の入射面に対して平行に振動す
るP偏光とされる。従って、174波長板70を通過し
たレーザビームは、偏光ビームスプリッタ68の接合面
68Aを透過することとなり、レーザ12からの入射時
とは異なる方向く互いに直角方向)とされるようになっ
ている。
ビームは、再度テレセントリック走査レンズ30を介し
て1/4波長板70に入射されるようになっている。こ
こで、反射面22Aによって反射されたレーザビームは
、反射面22Aへの入射時の左回り円偏光とは反対のビ
ーム進行方向に対して右回り円偏光とされるので、l/
4波長板70により円偏光から直線偏光とされる際、偏
光ビームスプリッタ68の入射面に対して平行に振動す
るP偏光とされる。従って、174波長板70を通過し
たレーザビームは、偏光ビームスプリッタ68の接合面
68Aを透過することとなり、レーザ12からの入射時
とは異なる方向く互いに直角方向)とされるようになっ
ている。
偏光ビームスプリッタ68の接合面68Aを通過したレ
ーザビームは、記録媒体32の記録面上へ照射して主走
査を行うようになっている。
ーザビームは、記録媒体32の記録面上へ照射して主走
査を行うようになっている。
なお、集光レンズ66は、記録媒体32上のレーザビー
ムの集光スポットである像点P3と偏光ビームスプリッ
タ68の接合面68Aに関して共役となる位置点P4に
レーザビームを集光するように配置されている。
ムの集光スポットである像点P3と偏光ビームスプリッ
タ68の接合面68Aに関して共役となる位置点P4に
レーザビームを集光するように配置されている。
また、記録媒体32で反射されたレーザビームは、入射
時と同一の光路で偏光ビームスプリッタ68へと至り、
この偏光ビームスプリッタ68の接合面68Aで直角に
反射されて、集光レンズ36へと案内されるようになっ
ている。この集光レンズ36以降のオートフォカス機構
34及び移動レンズ26の移動させるための機構につい
ては第1実施例と同様であるので、構成の説明は省略す
る。
時と同一の光路で偏光ビームスプリッタ68へと至り、
この偏光ビームスプリッタ68の接合面68Aで直角に
反射されて、集光レンズ36へと案内されるようになっ
ている。この集光レンズ36以降のオートフォカス機構
34及び移動レンズ26の移動させるための機構につい
ては第1実施例と同様であるので、構成の説明は省略す
る。
以下に第2実施例の作用を説明する。
レーザ12からP偏光のレーザビームが照射されると、
まず、コリメートレンズ14を通過し、偏光ビームスプ
リッタ16の接合面16Aを透過し、ファラデー素子5
8によって偏光面が順方向へ45°回転され、1/2波
長板60によってさらに順方向へ45°回転されて偏光
ビームスプリッタ68に対してS偏光とされた後、ダイ
ナミックフォーカス光学系20、ミラー62.64及び
集光レンズ66を通過して、偏光ビームスプリッタ68
の接合面68Aへと至る。レーザビームは、1/2波長
板60で入射面に対して垂直なS偏光とされているので
、レーザビームはこの接合面68Aで直角に反射される
。反射されたレーザビームは、174波長板70へと至
り、この174波長板70を通過することによりビーム
進行方向に対して左回りの円偏光とされ、テレセントリ
ック走査レンズ30の光軸に沿ってポリゴンミラー22
の反射面22Aへ照射される。ここで、レーザビームは
、テレセントリック走査レンズ30の光軸に沿ってテレ
セントリック走査レンズ30を通過するので、屈折等の
テレセントリック走査レンズ30の影響を受けることな
く、直進することができる。
まず、コリメートレンズ14を通過し、偏光ビームスプ
リッタ16の接合面16Aを透過し、ファラデー素子5
8によって偏光面が順方向へ45°回転され、1/2波
長板60によってさらに順方向へ45°回転されて偏光
ビームスプリッタ68に対してS偏光とされた後、ダイ
ナミックフォーカス光学系20、ミラー62.64及び
集光レンズ66を通過して、偏光ビームスプリッタ68
の接合面68Aへと至る。レーザビームは、1/2波長
板60で入射面に対して垂直なS偏光とされているので
、レーザビームはこの接合面68Aで直角に反射される
。反射されたレーザビームは、174波長板70へと至
り、この174波長板70を通過することによりビーム
進行方向に対して左回りの円偏光とされ、テレセントリ
ック走査レンズ30の光軸に沿ってポリゴンミラー22
の反射面22Aへ照射される。ここで、レーザビームは
、テレセントリック走査レンズ30の光軸に沿ってテレ
セントリック走査レンズ30を通過するので、屈折等の
テレセントリック走査レンズ30の影響を受けることな
く、直進することができる。
ポリゴンミラー22の反射面22Aで反射されたレーザ
ビームは、ビーム進行方向に対して右回りの円偏光とさ
れると共に、ポリゴンミラー22の回転により、入射角
が回転軸28周りに連続的に変更されているので、反射
方向も変更される。
ビームは、ビーム進行方向に対して右回りの円偏光とさ
れると共に、ポリゴンミラー22の回転により、入射角
が回転軸28周りに連続的に変更されているので、反射
方向も変更される。
それぞれの反射方向のレーザビームは、テレセンドリン
ク走査レンズ30で記録媒体32上で集光されるように
屈折され、再度174波長板70へと至る。174波長
板70では、右回りの円偏光が直線のP偏光に変換され
る。このP偏光は、偏光ビームスプリッタ68の接合面
68Aを透過し、記録媒体32の記録面上へ主走査され
る。記録媒体32は、副走査方向へ一定速度で移動され
ているので、レーザビームは記録媒体32の記録面上で
走査され、画像や文字等の情報を記録したり、あるいは
既に記録されている情報を読み取ったりすることができ
る。
ク走査レンズ30で記録媒体32上で集光されるように
屈折され、再度174波長板70へと至る。174波長
板70では、右回りの円偏光が直線のP偏光に変換され
る。このP偏光は、偏光ビームスプリッタ68の接合面
68Aを透過し、記録媒体32の記録面上へ主走査され
る。記録媒体32は、副走査方向へ一定速度で移動され
ているので、レーザビームは記録媒体32の記録面上で
走査され、画像や文字等の情報を記録したり、あるいは
既に記録されている情報を読み取ったりすることができ
る。
このように本第2実施例では、偏光ビームスプリッタ6
8及び1/4波長板70とを用い、光路を変更させるよ
うにしたので、レーザ12がポリゴンミラー22から記
録媒体32へと至る光路を遮ることがない。また、この
ように、本第2実施例では、レーザ12から照射される
レーザビームをテレセントリック走査レンズ30の光軸
に沿って入射させることができるので、反射面22Aに
より反射された記録媒体32の記録面上での主走査線が
湾曲するようなことはなく、直線とすることができる。
8及び1/4波長板70とを用い、光路を変更させるよ
うにしたので、レーザ12がポリゴンミラー22から記
録媒体32へと至る光路を遮ることがない。また、この
ように、本第2実施例では、レーザ12から照射される
レーザビームをテレセントリック走査レンズ30の光軸
に沿って入射させることができるので、反射面22Aに
より反射された記録媒体32の記録面上での主走査線が
湾曲するようなことはなく、直線とすることができる。
また、ミラーサイズを有効に用いることができる。さら
に、記録媒体32上の集光スポットが歪んだり、スポッ
ト径が大きくなることがないので、集光スポットのエネ
ルギ密度の低下がなく、記録時の熱量不足や読取時の読
取不良等を防止することができる。
に、記録媒体32上の集光スポットが歪んだり、スポッ
ト径が大きくなることがないので、集光スポットのエネ
ルギ密度の低下がなく、記録時の熱量不足や読取時の読
取不良等を防止することができる。
次に本第2実施例における、オートフォーカスについて
説明する。記録媒体32で反射されたレーザビームは、
入射時と同一の光路を通って、再度1/2波長板60へ
と至る。この場合は、174波長板70を2回通過する
ので、S偏光である。S偏光のレーザビームは、この1
72波長板60によって逆方向へ45°偏光され、次い
でファラデー素子58により順方向へ45°偏光される
ので、ファラデー素子58通過後は、S偏光のままであ
り、これにより、偏光ベームスプリッタ16の接合面1
6Aで直角に反射されて、集光レンズ36へと案内させ
ることができる。以下、オートフォカスのための移動ミ
ラー26の移動手順は第1実施例と同様であるので、説
明を省略する。
説明する。記録媒体32で反射されたレーザビームは、
入射時と同一の光路を通って、再度1/2波長板60へ
と至る。この場合は、174波長板70を2回通過する
ので、S偏光である。S偏光のレーザビームは、この1
72波長板60によって逆方向へ45°偏光され、次い
でファラデー素子58により順方向へ45°偏光される
ので、ファラデー素子58通過後は、S偏光のままであ
り、これにより、偏光ベームスプリッタ16の接合面1
6Aで直角に反射されて、集光レンズ36へと案内させ
ることができる。以下、オートフォカスのための移動ミ
ラー26の移動手順は第1実施例と同様であるので、説
明を省略する。
〔第3実施例〕
以下本発明の第3実施例について説明する。
第6図及び第7図に示される如く、本第3実施例に係る
レーザビーム走査装置71では、第2実施例で用いた偏
光ビームスプリッタ68と1/4波長板70 (第4図
参照)と同様の偏光ビームスプリッタ72と174波長
板74とを適用して、記録媒体32からの反射光をテレ
セントリック走査レンズ30の手前で直角に偏光する構
成である。なお、レーザ12から出射されたレーザビー
ムはコリメートレンズ14を介して、ポリゴンミラー2
2の反射面22Aへと至るようになっている。
レーザビーム走査装置71では、第2実施例で用いた偏
光ビームスプリッタ68と1/4波長板70 (第4図
参照)と同様の偏光ビームスプリッタ72と174波長
板74とを適用して、記録媒体32からの反射光をテレ
セントリック走査レンズ30の手前で直角に偏光する構
成である。なお、レーザ12から出射されたレーザビー
ムはコリメートレンズ14を介して、ポリゴンミラー2
2の反射面22Aへと至るようになっている。
偏光ビームスプリンタ72の接合面72Aで直角に反射
されたレーザビームは、集光レンズ76を介して、第1
実施例及び第2実施例で適用したフォトダイオード40
へと至るようになっている。
されたレーザビームは、集光レンズ76を介して、第1
実施例及び第2実施例で適用したフォトダイオード40
へと至るようになっている。
また、本第3実施例では、テレセンドリンク走査レンズ
30、偏光ビームスプリッタ72.1/4波長板74及
びフォトダイオード40が光学系ユニット78に配設さ
れている、この光学系ユニット78はコイル50に収容
された鉄芯52に支持されており、ドライバ48の出力
に応じてコイル50へ電流が流れ記録媒体32へ接近及
び記録媒体32から離反する方向へ移動可能となってい
る。
30、偏光ビームスプリッタ72.1/4波長板74及
びフォトダイオード40が光学系ユニット78に配設さ
れている、この光学系ユニット78はコイル50に収容
された鉄芯52に支持されており、ドライバ48の出力
に応じてコイル50へ電流が流れ記録媒体32へ接近及
び記録媒体32から離反する方向へ移動可能となってい
る。
この場合、上記テレセンドリンク走査レンズ30、偏光
ビームスプリッタ72.1/4波長板74及びフォトダ
イオード40の相対位置には変化はない。
ビームスプリッタ72.1/4波長板74及びフォトダ
イオード40の相対位置には変化はない。
集光レンズ76とフォトダイオード40との間には、ナ
イフェツジ80が配置されている。このナイフェツジ8
0は、集光レンズ76から出射される光束の内、第6図
の上半分のビームを遮光している。これにより、フォト
ダイオード40の検出面40A、40B、40C,40
Dには、半分の光量が照射されることになる。
イフェツジ80が配置されている。このナイフェツジ8
0は、集光レンズ76から出射される光束の内、第6図
の上半分のビームを遮光している。これにより、フォト
ダイオード40の検出面40A、40B、40C,40
Dには、半分の光量が照射されることになる。
ここで、フォトダイオード40の手前に合焦点がある場
合は、第8図(A)に示される上半分の半円が照射され
、フォトダイオード40の奥側に合焦点がある場合は第
8図(B)に示される下半分の半円が照射されることに
なり、各検出面40A、40B、40C140Dにより
検出される光量が異なることになる。各検出面4OA、
40B、40C,40Dによる検出結果は、加算器82
により検出面4QA、40Bの値が加算され、加算器8
4により検出面40C,40Dの値が加算されて、これ
らの加算器82.84の出力側が差動増幅器86の入力
端に接続されている。この差動増幅器86の出力側は前
記ドライバ48へ接続されている。
合は、第8図(A)に示される上半分の半円が照射され
、フォトダイオード40の奥側に合焦点がある場合は第
8図(B)に示される下半分の半円が照射されることに
なり、各検出面40A、40B、40C140Dにより
検出される光量が異なることになる。各検出面4OA、
40B、40C,40Dによる検出結果は、加算器82
により検出面4QA、40Bの値が加算され、加算器8
4により検出面40C,40Dの値が加算されて、これ
らの加算器82.84の出力側が差動増幅器86の入力
端に接続されている。この差動増幅器86の出力側は前
記ドライバ48へ接続されている。
一方、加算器88では、検出面40A、40Dで検出さ
れた値が加算され、加算器90では検出面40B、40
Cで検出された値が加算され、これらの加算器88.9
0の出力側は差動増幅器92の入力側に接続されている
。差動増幅器92の出力側はドライバ48へ接続されて
おり、オートフォーカス信号検出のタイミング信号とし
て適用されている。すなわち、本第3実施例では、集光
レンズ76が主走査開始位置にあり、この時点で、差動
増幅器92の出力が0となり、オートフォーカスのため
の駆動を開始させるようになっている。
れた値が加算され、加算器90では検出面40B、40
Cで検出された値が加算され、これらの加算器88.9
0の出力側は差動増幅器92の入力側に接続されている
。差動増幅器92の出力側はドライバ48へ接続されて
おり、オートフォーカス信号検出のタイミング信号とし
て適用されている。すなわち、本第3実施例では、集光
レンズ76が主走査開始位置にあり、この時点で、差動
増幅器92の出力が0となり、オートフォーカスのため
の駆動を開始させるようになっている。
以下に本第3実施例の作用を説明する。
記録媒体32から反射されたレーザビームは、S偏光で
あるので、偏光ビームスプリッタ72の接合面72Aで
直角に反射され、集光レンズ76へと至る。集光レンズ
76により集光されたレーザビームのスポットはフォト
ダイオード40へと至るが、この光束中にナイフェツジ
80が介在されているので、上半分の光束が遮光される
。ここで、記録媒体32へ照射されるレーザビームが前
ピンである場合は、集光レンズ76で集光されるレーザ
ビームの集光点もフォトダイオード40の前で集光され
るので、フォトダイオード40には第8図(A)に示さ
れる如く、上半分の半円のスポットが照射される。従っ
て、加算器82の出力の方が加算器84の出力よりも大
きくなり、差動増幅器86からの出力はプラスとなり、
ドライバ48からは光学系ユニット78を記録媒体32
に接近させる方向へ移動させる信号が出力される。
あるので、偏光ビームスプリッタ72の接合面72Aで
直角に反射され、集光レンズ76へと至る。集光レンズ
76により集光されたレーザビームのスポットはフォト
ダイオード40へと至るが、この光束中にナイフェツジ
80が介在されているので、上半分の光束が遮光される
。ここで、記録媒体32へ照射されるレーザビームが前
ピンである場合は、集光レンズ76で集光されるレーザ
ビームの集光点もフォトダイオード40の前で集光され
るので、フォトダイオード40には第8図(A)に示さ
れる如く、上半分の半円のスポットが照射される。従っ
て、加算器82の出力の方が加算器84の出力よりも大
きくなり、差動増幅器86からの出力はプラスとなり、
ドライバ48からは光学系ユニット78を記録媒体32
に接近させる方向へ移動させる信号が出力される。
これにより、光学系ユニット78は記録媒体32に接近
する方向へ移動され、記録媒体32上で合焦させること
ができる。この時点で、差動増幅器86の出力は0とな
る(第8図(C)参照)。
する方向へ移動され、記録媒体32上で合焦させること
ができる。この時点で、差動増幅器86の出力は0とな
る(第8図(C)参照)。
また、記録媒体32へ照射されるレーザビームが後ピン
である場合は、集光レンズ76で集光されるレーザビー
ムの集光点はフォトダイオード4Dの奥で集光されるの
で、フォトダイオード40には第8図(B)に示される
如く、下半分の半円のスポットが照射される。従って、
加算器84の出力の方が加算器82の出力よりも大きく
なり、差動増幅器86からの出力はマイナスとなり、ド
ライバ48からは光学系ユニット78を記録媒体32か
ら離反する方向へ移動させる信号が出力される。これに
より、光学系ユニット78は記録媒体32から離反する
方向へ移動され、記録媒体32上で合焦させることがで
きるこの時点で、差動増幅器86の出力は0となる(第
8図(C)参照)。
である場合は、集光レンズ76で集光されるレーザビー
ムの集光点はフォトダイオード4Dの奥で集光されるの
で、フォトダイオード40には第8図(B)に示される
如く、下半分の半円のスポットが照射される。従って、
加算器84の出力の方が加算器82の出力よりも大きく
なり、差動増幅器86からの出力はマイナスとなり、ド
ライバ48からは光学系ユニット78を記録媒体32か
ら離反する方向へ移動させる信号が出力される。これに
より、光学系ユニット78は記録媒体32から離反する
方向へ移動され、記録媒体32上で合焦させることがで
きるこの時点で、差動増幅器86の出力は0となる(第
8図(C)参照)。
ところで、集光レンズ76は、その先軸と主走査時のあ
る一点のみの光軸とが一致するため、その位置を検出す
る必要がある。このため、加算器88により検出面40
A、40Dで検出した光量を加算し、加算器90で検出
面40B、40Cで検出した光量を加算し、これらの差
を差動増幅器92で求める。この差動増幅器92の出力
がOとなると、集光レンズ76の光軸と主走査時のレー
ザビームの光軸とが一致したこととなり、オートフォー
カス信号の検出タイミングを得ることができる。
る一点のみの光軸とが一致するため、その位置を検出す
る必要がある。このため、加算器88により検出面40
A、40Dで検出した光量を加算し、加算器90で検出
面40B、40Cで検出した光量を加算し、これらの差
を差動増幅器92で求める。この差動増幅器92の出力
がOとなると、集光レンズ76の光軸と主走査時のレー
ザビームの光軸とが一致したこととなり、オートフォー
カス信号の検出タイミングを得ることができる。
〔第4実施例〕
以下に本発明の第4実施例について説明する。
本第4実施例のレーザビーム走査装置96では、第3実
施例よほぼ同様の構成よなっており、異なる点は常にオ
ートフォーカスのための光学系二ニット78を制御して
いる点である。従って、第3実施例と同一構成分につい
ては同一番号を付してその構成の説明を省略する。
施例よほぼ同様の構成よなっており、異なる点は常にオ
ートフォーカスのための光学系二ニット78を制御して
いる点である。従って、第3実施例と同一構成分につい
ては同一番号を付してその構成の説明を省略する。
第9図及び第10図に示される如く、偏光ビームスプリ
ッタ72とフォトダイオード93との間には、グレーテ
ッド形ファイバで構成されたセルフォック(商品名)レ
ンズ94が配設されている。
ッタ72とフォトダイオード93との間には、グレーテ
ッド形ファイバで構成されたセルフォック(商品名)レ
ンズ94が配設されている。
このセルフォックレンズ94が主走査方向に沿って集光
レンズの如く、レーザビームを集光することができる機
能を有しており、これにより、レーザビームの主走査時
に常にフォトダイオード93上に集光させることができ
る。また、フォトダイオード93は上下に2分割された
検出面93E、93Fを有している。この検出面93E
、93Fにより検出された光量差を差動増幅器95で検
出することにより、ドライバ48を作動させて、光学系
ユニット78を移動させることにより、記録媒体32上
で合焦させることができる。
レンズの如く、レーザビームを集光することができる機
能を有しており、これにより、レーザビームの主走査時
に常にフォトダイオード93上に集光させることができ
る。また、フォトダイオード93は上下に2分割された
検出面93E、93Fを有している。この検出面93E
、93Fにより検出された光量差を差動増幅器95で検
出することにより、ドライバ48を作動させて、光学系
ユニット78を移動させることにより、記録媒体32上
で合焦させることができる。
本第4実施例において、第3実施例で示したようなオー
トフォーカス信号の検出タイミングを必要とせず、常に
検出することができるので、さらに精度が向上する。
トフォーカス信号の検出タイミングを必要とせず、常に
検出することができるので、さらに精度が向上する。
以上説明した如く本発明に係るレーザビーム走査装置は
、レーザビームによる走査中に媒体上での焦点位置のず
れを検出し、この検出結果に基づいて常に適正な合焦状
態となるように焦点位置を補正して、記録又は読取りを
確実に行うことができるという優れた効果を有する。
、レーザビームによる走査中に媒体上での焦点位置のず
れを検出し、この検出結果に基づいて常に適正な合焦状
態となるように焦点位置を補正して、記録又は読取りを
確実に行うことができるという優れた効果を有する。
第1図は第1実施例に係るレーザビーム走査装置の概略
を示す正面図、第2図(A)乃至(C)はフォトダイオ
ード上のスポット形状を示す説明図、第3図はダイナミ
ックフォーカス光学系の拡大図、第4図は第2実施例に
係るレーザビーム走査装置の概略を示す正面図、第5図
は第4図の右側面図、第6図は第3実施例に係るレーザ
ビーム走査装置の概略を示す正面図、第7図は第6図の
右側面図、第8図(A)乃至(C)はフォトダイオード
上のスポット形状を示す説明図、第9図は第4実施例に
係るレーザビーム走査装置の概略を示す正面図、第10
図は第9図の右側面図である。 10.54.71.9B ・・・レーザビーム走査装置 12・・・レーザ、 16・・・偏光ビームスプリッタ、 18・・・174波長板、 20・・・ダイナミックフォーカス光学系、22・・・
ポリゴンミラー 24・・・固定レンズ、 26・・・移動レンズ、 34・・・オートフォーカス機構、 40・・・フォトダイオード、 58・・・ファラデー素子、 60・・・172波長板、 72・・・偏光ビームスプリッタ、 74・・・ 1/4波長板、 80・・・ナイフェツジ、 93・・・フォトダイオード、 94・・・セルフォックレンズ。 第 1□″ (A) (B) 第 図 第 図 第 図
を示す正面図、第2図(A)乃至(C)はフォトダイオ
ード上のスポット形状を示す説明図、第3図はダイナミ
ックフォーカス光学系の拡大図、第4図は第2実施例に
係るレーザビーム走査装置の概略を示す正面図、第5図
は第4図の右側面図、第6図は第3実施例に係るレーザ
ビーム走査装置の概略を示す正面図、第7図は第6図の
右側面図、第8図(A)乃至(C)はフォトダイオード
上のスポット形状を示す説明図、第9図は第4実施例に
係るレーザビーム走査装置の概略を示す正面図、第10
図は第9図の右側面図である。 10.54.71.9B ・・・レーザビーム走査装置 12・・・レーザ、 16・・・偏光ビームスプリッタ、 18・・・174波長板、 20・・・ダイナミックフォーカス光学系、22・・・
ポリゴンミラー 24・・・固定レンズ、 26・・・移動レンズ、 34・・・オートフォーカス機構、 40・・・フォトダイオード、 58・・・ファラデー素子、 60・・・172波長板、 72・・・偏光ビームスプリッタ、 74・・・ 1/4波長板、 80・・・ナイフェツジ、 93・・・フォトダイオード、 94・・・セルフォックレンズ。 第 1□″ (A) (B) 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- (1)レーザビームを出力する光源と、入射されたレー
ザビームを反射して媒体へ走査する走査手段と、前記媒
体と走査手段との間に配置されて走査手段からのレーザ
ビームを前記媒体上に集光させる走査レンズと、前記走
査レンズから出力されるレーザビームの焦点位置を変更
する変更手段と、前記媒体上での合焦を基準とする焦点
位置のずれ量を検出する焦点位置ずれ検出手段と、前記
位置ずれ検出手段で検出された位置ずれ量に応じて前記
変更手段を駆動させ前記媒体上で合焦させるように補正
する位置ずれ補正手段と、を有するレーザビーム走査装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1817589A JPH02198412A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | レーザビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1817589A JPH02198412A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | レーザビーム走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02198412A true JPH02198412A (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=11964278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1817589A Pending JPH02198412A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | レーザビーム走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02198412A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8084713B2 (en) | 2006-07-27 | 2011-12-27 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable medium and recording device on which laser processing conditions are recorded |
US8121717B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-02-21 | Keyence Corporation | Three dimensional processing data setting system, method for setting three-dimensional processing data, computer program for setting three-dimensional processing data, medium with three-dimensional processing data stored therein that is readable by computer and laser processing equipment operated by the three-dimensional data |
US8153931B2 (en) | 2006-06-30 | 2012-04-10 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable media and recording device on which laser processing conditions are recorded |
US8235296B2 (en) | 2006-06-28 | 2012-08-07 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable medium and recording device on which laser processing conditions are recorded |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP1817589A patent/JPH02198412A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8121717B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-02-21 | Keyence Corporation | Three dimensional processing data setting system, method for setting three-dimensional processing data, computer program for setting three-dimensional processing data, medium with three-dimensional processing data stored therein that is readable by computer and laser processing equipment operated by the three-dimensional data |
US8235296B2 (en) | 2006-06-28 | 2012-08-07 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable medium and recording device on which laser processing conditions are recorded |
US8153931B2 (en) | 2006-06-30 | 2012-04-10 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable media and recording device on which laser processing conditions are recorded |
US8084713B2 (en) | 2006-07-27 | 2011-12-27 | Keyence Corporation | Method of and system for setting laser processing conditions, laser processing system, computer program for setting laser processing conditions, computer readable medium and recording device on which laser processing conditions are recorded |
US8399802B2 (en) | 2006-07-27 | 2013-03-19 | Keyence Corporation | Laser processing system with a display device |
US8399803B2 (en) | 2006-07-27 | 2013-03-19 | Keyence Corporation | Laser processing system |
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