JPH02196048A - 感光性ガラス - Google Patents
感光性ガラスInfo
- Publication number
- JPH02196048A JPH02196048A JP1345989A JP1345989A JPH02196048A JP H02196048 A JPH02196048 A JP H02196048A JP 1345989 A JP1345989 A JP 1345989A JP 1345989 A JP1345989 A JP 1345989A JP H02196048 A JPH02196048 A JP H02196048A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- glass
- photosensitive glass
- photosensitive
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000006089 photosensitive glass Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 6
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 6
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 abstract description 6
- GOLCXWYRSKYTSP-UHFFFAOYSA-N Arsenious Acid Chemical compound O1[As]2O[As]1O2 GOLCXWYRSKYTSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N Li2O Inorganic materials [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 2
- XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M dilithium;hydroxide Chemical compound [Li+].[Li+].[OH-] XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract 1
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Inorganic materials O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N lead(II) oxide Inorganic materials [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract 1
- YEAUATLBSVJFOY-UHFFFAOYSA-N tetraantimony hexaoxide Chemical compound O1[Sb](O2)O[Sb]3O[Sb]1O[Sb]2O3 YEAUATLBSVJFOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 31
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N lithium metasilicate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][Si]([O-])=O PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNLWCVNCHLKFHK-UHFFFAOYSA-N aluminum;lithium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Li+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O CNLWCVNCHLKFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- -1 halogen ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052912 lithium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052644 β-spodumene Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/04—Compositions for glass with special properties for photosensitive glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/095—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing rare earths
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
素子となるメモリーディスク、ソフト及び固定ハードデ
ィスク、光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスク基
板及び半導体回路基板に関する。さらに詳しくは、焼結
セラミック、結晶化ガラスでは従来不可能とされていた
切削特性、材料特性を有する感光性のガラス及びガラス
セラミックに関する。
その上にメツキ法又は厚膜法で全面導体を形成したもの
をフォトリゾグラフィーで集積回路を形成するものが開
発されている。しかしセラミック基板の寸法精度が集積
回路の寸法基準に違い付けず現状では多くのマスクを使
って合わせ作業をしている。
O−A It Os系ガラスにAu、Ce0z、Ag等
を含有させたものが知られている(特開昭62〜725
47)。
ン現象を生じ、その部分に一次結晶を析出させ酸に溶け
やすくなるのでケミカルエツチング法によって回路を形
成する。
安定であるとともに結晶核としてのAuが有効に機能し
ない、又、発光源としての高圧水銀灯には種々のスペク
トルを含むためガラスに吸収された熱エネルギーが結晶
核としてのAuコロイドの有効な大きさにも影響を与え
る(2O〜20μm以下では有効でない)。
せることにより寸法精度がすぐれた(最少25μm)孔
、溝のエツチング加工が可能な感光性ガラスを提供する
ことを目的とする。
ガラス及びガラスセラミックにおいて、従来の焼結セラ
ミックス、結晶化ガラスでは不可能と考えられている加
工特性、切削特性を有し、さらに処理工程別の材料特性
の変換が可能な材料を提供することにあり、特に自己融
着性、対摩耗性、優れた加工性、薄膜との優れたマツチ
ングCα: 80〜120X2O−’deg−’) 、
低誘電率(5,0〜6.OL高強度、金属との接合性、
Lowoutgas、耐熱性、低熱収縮特性、耐薬品特
性においていずれも優れた特性を有する感光性ガラスを
提供することを目的とする。
重量%、AI□033〜12重量%、6重量%以下のア
ルカリ金属酸化物、Ce0z0゜02〜0.15重量%
、Ag0.05〜0.2重量%からなる感光性ガラスで
ある。アルカリ金属酸化物はに、O又はNatOないし
はそれらの双方が用いられる。添付成分として2重量%
以下のPt Ol、3重量%以下のB! Os 、Ca
O,MgO及びBaO12重景%以下のSrO、2重量
%以下のTie、 、Zr0z 、ZnO及びPb0.
1重量%以下の5bzOz及びAs2O3の少なくとも
1種を含有させることができ、結晶化補助剤として0.
1〜6.0重量%のハロゲン、0゜1〜3.0重量%の
SOlの少なくとも1種を含有させることができる。
スの欠点を解決し、開発に成功したものであり、本発明
の要旨とするところは、前記特許請求の範囲に明記した
とおりであるが、本発明を更に詳細に説明する。
ガラスの基本成分として周知の酸化物である。
及びAgの含有量を前記の組成範囲に限定したものであ
り、前記範囲外の含有量では本発明所期の目的は達成さ
れ得ない、添加成分も上記基本成分の含有量との関係か
ら前記の組成範囲に限定したものであり、各成分が前記
の組成範囲内にある場合に、本発明所期の目的が達成さ
れ、充分な清澄効果を発揮する。
溶融温度は1420°C以下となった。
晶(Sing ・2Li、O)を析出させ曲げ強度は
元のガラスに比べて4倍以上に増加した。さらに、変形
としてメタケイ酸リチウム塩結晶(Sing ・Li
tu)を選択的に生成させ、ぶつ化水素(HF)水に対
する溶解度が元のガラスと著しく異なる現象を利用して
化学切削用ガラスに使用される。結晶化の処理方法は近
紫外光源として、IKw高圧水銀灯を使用し、発光中心
より2O0〜150mの距離で2〜120分照射したの
ち、520〜530°C(屈伏点)で30〜60分、5
70〜600°C(軟化点)で60〜120分各保持す
る0本発明の感光性ガラスに上記の結晶化処理を加える
と照射量に応じた深さの白色結晶層を生じる。この結晶
化物メタケイ酸リリチウムを3〜6vo 1%のHF水
で処理すると白色結晶化部分が著しく侵蝕され、未照射
のガラス部分は殆ど侵蝕されずに残る。溶出比を高める
には20〜200KCの超音波を照射処理を行うとよい
。
性を変換させる)には、その部分が結晶化ガラスの必要
性がある場合には、このガラスにマスクを施さずに再び
紫外線を照射し、それに前述の熱処理に追加して熱処理
を加える。650〜720°Cで60〜90分保持する
ことにより全体が暗色かつ不透明な結晶化ガラスとなる
。
工程を加える(800〜850°Cで60〜120分保
持)とやや異なった特性の結晶化ガラス(コゲ茶色のガ
ラスセラミック)となり、強度、耐熱性、耐久性にすぐ
れたものとなる。
る場合はガラス中のAgコロイドの分散濃度に従い黄色
に変色が起こる。このコロイドの大きさは可視光の波長
より小さいことが必要で、コロイドが波長と同程度以上
の大きさの微粒子に成長すると光は強い散乱をおこし、
白色から黒色となる、Agの量は重量%として0.2w
t、%を超えてはならない、尚、高温処理でのガラスセ
ラミックの結晶体はLi、0・2SiO,、Li。
ポジュームメンの単一又は複数の結晶体である。
度の制御が可能となる。結晶体をとりまくガラスマトリ
ックスの組成自体の安定性や結晶粒径の調整も可能とな
る。
色に変色し、その現象は以下の式で示される(ソラリゼ
ーシコンが生じていると考えられる。)。
e” ;亡Ag’ +*c ) n A g −m−−
→A g ” neo :励起電子 hr:電磁波 * ;余剰エネルギー Ag重量%として0.05〜0.2を含有させたものは
感光範囲が広く安定したAgコロイドが析出するので最
少25μまでの無数の孔や溝をガラスに開けることが可
能となる。エツチングに於ける公差は±8μであり、0
.2〜0.3mの板厚の場合は±3μまでの公差とする
ことも可能である。
は異形の穴や溝を容易に加工でき、しかも金型を必要と
しないため、低価格として量産ができる。
に分類できそれぞれ用途に応じた特性をだすことができ
る。
製品で、特に加工精度がよい(TYPEl)。
性に優れているばかりか、上記透明ガラスよりも化学的
、物理的耐久性に優れている(TYPE2)。
とした場合は、もっとも優れた強度耐熱性、耐久性を持
ち最高使用温度は750°Cであり高膨張係数、無孔、
平滑な加工面を有する材料となる(TYPE3)。
(、化学的に安定で、優れた誘電特性をもち、無孔であ
り、熱膨張係数はフェライト組成及び低融点ガラスとほ
ぼ同等の素材であるので封着が可能である。
グ加工ができ、特に複雑な形状でも正確にエツチングが
でき公差は±3μ以内でガラスの厚みが0.3mm付近
の場合1mm”当たり6000〜7000個の孔加工が
可能であり、30μの孔、溝加工が可能な材料である。
を数十枚重ね熱処理し、結晶化と同時に一体化した多層
構造も加工できる。ケミカルエッチング加工のため治具
としては原版およびフォトマスクのみで、金型は不要で
ある。またエマルジョンマスクの使用により、低コスト
で均一多数の加工ができる0以上の如く、本発明感光性
ガラスは通常のガラス及びガラスセラミックでは不可能
な問題を容易に解決できると言える。
、同表で核材としてのハロゲンイオン、Ag、Cent
は微量のため外掛で表示しである。
優れた加工性、薄膜とのマツチング、高強度、耐熱性、
耐酸性、耐摩耗性いずれの点においても従来にはない優
れた特性を有し、かつ低価格にして量産に適した感光性
ガラスを提供することができた。
Claims (3)
- (1)SiO_268〜84重量%、Li_2O3〜1
6重量%、Al_2O_33〜12重量%、6重量%以
下のアルカリ金属酸化物、CeO_20.02〜0.1
5重量%、Ag0.05〜0.2重量%からなる感光性
ガラス。 - (2)添付成分として2重量%以下のP_2O_5、3
重量%以下のB_2O_3、CaO、MgO及びBaO
、2重量%以下のSrO、2重量%以下のTiO_2、
ZrO_2、ZnO及びPbO、1重量%以下のSb_
2O_3及びAs_2O_3の少なくとも1種を含有す
る特許請求の範囲(1)記載の感光性ガラス。 - (3)結晶化補助剤として0.1〜6.0重量%のハロ
ゲン、0.1〜3.0重量%のSO_3の少なくとも1
種を含有する特許請求の範囲(1)又は(2)記載の感
光性ガラス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1345989A JPH02196048A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 感光性ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1345989A JPH02196048A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 感光性ガラス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02196048A true JPH02196048A (ja) | 1990-08-02 |
JPH0474294B2 JPH0474294B2 (ja) | 1992-11-25 |
Family
ID=11833732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1345989A Granted JPH02196048A (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 感光性ガラス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02196048A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2315266A (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-28 | Ibm | Magnet-photosensitive glass composite |
JP2015504400A (ja) * | 2011-10-14 | 2015-02-12 | イフォクレール ヴィヴァデント アクチェンゲゼルシャフトIvoclar Vivadent AG | 四価の金属酸化物を含むケイ酸リチウムガラスセラミックおよびガラス |
CN106542733A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-03-29 | 北方夜视技术股份有限公司 | 微孔光学元件及其制备方法 |
CN111718120A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-09-29 | 电子科技大学 | Li-Al-Si光敏玻璃及其制备方法 |
CN114873918A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-09 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏玻璃材料 |
CN114933416A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-23 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏微晶玻璃 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163542A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Hoya Corp | 熱膨脹係数の大きな結晶化ガラスとその製法 |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP1345989A patent/JPH02196048A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163542A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Hoya Corp | 熱膨脹係数の大きな結晶化ガラスとその製法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2315266A (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-28 | Ibm | Magnet-photosensitive glass composite |
US5932498A (en) * | 1996-07-12 | 1999-08-03 | International Business Machines Corporation | Magnet and method for manufacturing a magnet |
GB2315266B (en) * | 1996-07-12 | 1999-11-17 | Ibm | Magnet and method for manufacturing a magnet |
US10160687B2 (en) | 2011-10-14 | 2018-12-25 | Ivoclar Vivadent Ag | Lithium silicate glass ceramic and glass with tetravalent metal oxide |
US9695082B2 (en) | 2011-10-14 | 2017-07-04 | Ivoclar Vivadent Ag | Lithium silicate glass ceramic and lithium silicate glass comprising a tetravalent metal oxide |
JP2015504400A (ja) * | 2011-10-14 | 2015-02-12 | イフォクレール ヴィヴァデント アクチェンゲゼルシャフトIvoclar Vivadent AG | 四価の金属酸化物を含むケイ酸リチウムガラスセラミックおよびガラス |
CN106542733A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-03-29 | 北方夜视技术股份有限公司 | 微孔光学元件及其制备方法 |
CN106542733B (zh) * | 2016-09-28 | 2019-04-23 | 北方夜视技术股份有限公司 | 微孔光学元件及其制备方法 |
CN111718120A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-09-29 | 电子科技大学 | Li-Al-Si光敏玻璃及其制备方法 |
CN114873918A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-09 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏玻璃材料 |
CN114933416A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-08-23 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏微晶玻璃 |
CN114933416B (zh) * | 2022-06-24 | 2023-07-25 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏微晶玻璃 |
CN114873918B (zh) * | 2022-06-24 | 2023-08-08 | 成都光明光电有限责任公司 | 光敏玻璃材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0474294B2 (ja) | 1992-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4554259A (en) | Low expansion, alkali-free borosilicate glass suitable for photomask applications | |
US8043985B2 (en) | Crystallized glass, and method for producing crystallized glass | |
TWI232850B (en) | Glass-ceramic | |
JP2668057B2 (ja) | 低膨張透明ガラスセラミックス | |
EP0220829B1 (en) | Barium and/or strontium aluminosilicate crystal-containing glasses for flat panel display devices | |
KR20050031975A (ko) | 유리 세라믹 및 그 제조방법 | |
JPS60180934A (ja) | 高膨張性ガラスセラミック体およびその製造方法 | |
JPS60235740A (ja) | 光学着色フイルター用ガラス | |
JPH03164445A (ja) | 透明結晶化ガラス | |
TWI231294B (en) | Glass for a light filter and a light filter | |
US3703388A (en) | High refractive index photochromic glasses | |
JPS60255634A (ja) | リチウムアルミノ・シリケ−トガラス・セラミツク | |
JPH0369528A (ja) | 即応性感光性乳白ガラス | |
KR100615964B1 (ko) | 극저팽창 투명 유리 세라믹스 | |
US7226881B2 (en) | Ultra low thermal expansion transparent glass ceramics | |
GB2134100A (en) | Glass for a photomask | |
JPH02196048A (ja) | 感光性ガラス | |
JPH01208343A (ja) | 透明結晶化ガラス | |
KR102367614B1 (ko) | 결정화 유리 및 화학 강화 유리 | |
JPS6163542A (ja) | 熱膨脹係数の大きな結晶化ガラスとその製法 | |
JP2011073935A (ja) | 結晶化ガラス | |
US4047960A (en) | Refractory partially crystalline materials with good visible transparency | |
JPS63210039A (ja) | 基板用結晶化ガラスの製造方法 | |
JPH07291660A (ja) | コージェライト系結晶化ガラスおよびその製造方法 | |
JPH04331743A (ja) | 結晶化ガラス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071125 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081125 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091125 Year of fee payment: 17 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091125 Year of fee payment: 17 |