JPH02187107A - 超音波清浄装置を備えた濾過装置および超音波清浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は濾過要素を超音波清浄する装置を備えた濾過装
置および濾過要素を超音波清浄する方法に関する。

〔従来技術および発明が解決しようとする課題〕液体の
濾過に使用されるものであって、軸方向にケーシングの
或る長さにわたって配置され、ケーシングの横断面の可
成りの部分を占める多孔性材料製の一組の濾過要素をケ
ーシング内に備えた装置は知られている。

濾過すべき液体を流入させる導管ならびに濾過後に液体
を排するための導管はケーシングの軸方向に沿って濾過
要素が占める帯域の両側に位置した帯域でケーシング内
に開口している。

このケーシングは′ａ過済み液体の排出用導管を一般に
固定するカバーを備えており、このカバーは例えば−組
の濾過要素の交換を行うためにこれらの濾過要素に接近
し得るようになっている。

濾過装置の作動中、多孔性材料製の濾過要素は多孔性材
料の孔を次々に満たす流体により移送された不純物を保
持する。

濾過装置を利用している間、濾過要素を通るヘッド損失
が増す。濾過装置の良好な条件を保つには、或る作動時
間後、濾過要素を再生することが必要である。

第１の方法はこれらの要素を通るヘッド損失が特定の限
界値を越えたとき、所定の処理量のために濾過要素をす
べて交換することよりなる。

この方法は、濾過装置の一部を取りはずすことを必要と
し、また清浄済み濾過要素が保持する不純物すべてに相
当する廃棄物及びこれらの濾過要素自身の処理を伴うた
め、欠点が伴う。

これにより、作業時間が長くなり、濾過装置の利用不可
能な期間が長くなり、さらにフィルタの清浄後、多量の
廃棄物を取扱ったり処理したりすることが必要である。

危険物質よりなる不純物を含有する流体を処理するのに
、上記装置のような濾過装置を利用するときには、更ら
に難点が生じる。このことは、例えば、原子力発電所の
場合、放射性物質を移送する流体を処理するのに、例え
ば、原子炉の冷却流体を処理するのに、上記装置のよう
な濾過装置を利用するときにそうである。この場合、濾
過要素の交換を行う作業員は大きい体積を有する一組の
保守を行い、多量の放射性物質を遅閉しなければならな
い。かくして、これらの作業員はイオン化放射能にさら
され、保守の間、汚染されてしまう。

濾過装置の濾過要素を再生する第２方法は装置をその通
常回路から分離し、それを取りはずさずに、或る量の清
浄流体を濾過要素に向流で通ずことよりなる。すると、
これらの要素は装置の作動中に保持された粒子が除去さ
れる。しかしながら、この方法は再生操作中、廃棄物の
回収に関連した問題を部分的にしか解決しない。実際、
これらの廃棄物は濾過要素から分離れた廃棄物を含有す
る濾過要素の清浄を行うのに利用される流体よりなる流
出物の形態で再び存在する。清浄を行うのに必要である
流体の量はかなり多量であることがあり、毒性または放
射性生成物の場合、流出物は汚染されており、濾過装置
を利用している工業設備の場所の外部へ排出する前に処
理しなければならない。流出物の量は非常に多量である
ことがあり、この場合には高コストの処理ステーション
を利用することを必要とする。

上記欠点を回避するために、フィルタ体自身内で超音波
によって濾過要素を清浄することよりなる濾過装置の再
生方法が提案されている。濾過要素に達し、これらの濾
過要素が保持する不純物の抽出を行う方法で超音波をフ
ィルタ体を満たしている流体内に放出する。これらの不
純物をフィルタの下部に集め、排出導管を介して排出す
るのがよい。フィルタボディを満たしている流体内へ超
音波を放出することにより、音響圧力界が生じる。

この圧力界の振幅は十分であり、その結果、キャビテー
ション現象が生じ、そうであるためには、液体内に発生
する平均圧力不足が所期温度における実際の圧力と液体
の蒸発圧との圧力差に少なくとも等しくなるのに十分で
ある。

蒸発泡の形成を伴うキャビテーション現象は音響界によ
って保ち得る。衝撃波ならびにこれがら生じる微小乱流
により、多孔性媒体によって濾過され、集められた粒子
を抽出することができる。

この清浄操作はフィルタの取りはずしまたは変更を必要
とせず、フィルタボディに連結された入口および出口流
体管は、所定の期間以外、作動回路から分離する必要が
ない。

仏国実用新案第２．４２１，６６１号には、フィルタ体
自身の壁部内に配置するのがよい超音波を放出する変換
器を利用する上記種類のフィルタを清浄する方法および
装置が述べられている。しかしながら、使用された変換
器はフィルタボディの一端に、一般にカバーに配置され
ている。この結果、音古放出がケーシングの軸方向に沿
って設置された細長い濾過要素よりなる濾過集成体の体
禎に影響しなければならない場合には、作動が良好でな
い。

従って、本発明の目的はケーシングと、ケーシング内に
設けられた濾過すべき液体用の流入導管と、濾過済み液
体用の排出管と、上記導管間の多孔性濾過手段と、なら
びに少なくとも１つの超音波変換器を備えた多孔性濾過
手段を超音波清浄する装置とを備え、効果的な方法で清
浄され得る濾過装置を提案することである。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するために、 この濾過装置は、軸方向にケーシングの或る長さにわた
って、かつその横断面の可成りの部分にわたって配置さ
れた束状の濾過要素と、濾過装置のケーシングの少なく
とも１つの横断面平面内でケーシングの周囲に規則正し
く間隔をへだてた位置に配置された変換器の少なくとも
１つの集成体とを備えており、 これらの変換器の各々は円錐体で境界決めされた帯域に
おける濾過要素の束の方向に超音波をケーシング内に放
出するようにケーシングの軸線と直角な方向にケーシン
グを通る開口部内に設けられており、上記円錐体の軸線
は濾過要素と直角な方向を有し、また円錐体の頂点はケ
ーシングの壁部近傍に位置している。

また、この目的を達成するために、本発明の課題は本発
明による濾過装置を清浄する方法である。

（実施例〕 添付図面を参照して、本発明によるおよび複数の変更例
による濾過装置の実施例を以下に非制限例として説明す
る。

第１図は全体として参照番号ｌで示す濾過装置を示して
おり、この装置は軸線を垂直方向にして配置された円筒
形−切頭円錐形状のケーシング２を備えている。

フランジ３がケーシング２とその上端で一体になってい
る。フランジ３には、カバー４が濾過装置のケーシング
２を密封閉鎖するように載置されている。このカバー４
はケーシング２と一体の締イ」けリング６のねし穴に挿
入されたねじ５によって締付けられている。

ケーシング２はその切頭円錐形の下部に、濾過装置で濾
過すべき流体の流入用の管７と、ケーシング２の最も下
の箇所に連結された排出用連結部８とを備えている。

カバーには、清浄済み流体の流入用の連結部が中央位置
に固定されている。

ケーシング２内には、濾過集成体１０が垂直軸線方向に
おけるケーシングの或る長さおよびケーシングの円筒形
部分におけるその横断面の可成りの部分を占めるように
設置されている。この濾過集成体１０は、円筒形カート
リッジよりなる濾過要素１２をそれらの一端でフランジ
３に位置するヘッド板１１に固定してなり、これらのカ
ートリッジは焼結金属材料よりなってもよいし、あるい
は糸から製織によって作ってもよい。あらゆる場合、こ
の材料は或る多孔性を示し、以後、多孔性材料と称する
。

カートリッジ１２はヘッド板１１に互いに平行に固定さ
れ、垂直方向、すなわちケーシング２の軸線の方向に設
置されて、軸方向における濾過装置のケーシングの或る
長さにわたって、かつケーシングの横断面の可成りの部
分にわたって配置される束を構成している。

濾過すべき液体用の流入連結部７および濾過済み液体の
排出用の連結部９はケーシング２の軸方向に濾過集成体
１０の両側に開口している。従って、清浄すべき流体は
カートリッジの壁部を外側から内側へ通り、これらのカ
ートリッジの長さに沿って流れ、その後、ヘッド板１１
の開口部を通ってカバー４の下に位置した空間へ入る。

濾過装置１は更らに、円筒形部分におけるケーシングの
壁部内に、濾過集成体１０が占める帯域の実質的に中心
に位置した位置に設けられた超音波変換器１５よりなる
清浄装置を備えている。

第２図でわかるように、４５個の濾過カートリッジ１２
を備えた濾過装置の場合、円筒形ケーシング２のまわり
に互いから１２０６の位置に設けられた３つの変換器１
５を使用する。

これらの変換器１５は、例えば固定板の溶接によって、
ケーシング２の壁部の横スリーブ１６の内面に密封的に
固定されている。

変換器の各々は、清浄装置が作動中であるとき、超音波
を放出する。この超音波の周波数およびパワーは、周波
数の関数である垂直角αの円錐形表面１７と、放出され
るパワーの関数である半径Ｒの球状表面１８とよって境
界決めされる容積内で濾過要素１２の清浄を効果的な方
法で行なえるように選択され、円錐体１７の頂点および
球体１８の中心はケーシング２の壁部に近接して位置決
めされている。

第２図はこの図の水平平面を通る、変換器１５各々の超
音波の有効性帯域の断面を示している。

図示のように分布された４５個のカートリッジを備えた
濾過装置の場合、変換器１５の各々が１５個の濾過要素
の清浄を行う。

変換器の有効性帯域を境界決めする円錐体１７の角度は
一般に９０〜１００’はどであり、球体１８の半径は４
０ｃｍはどである。

それでも、有効性円錐体１７の角度は、変換器１５をケ
ーシング２の壁部に対して背後に位置するように設ける
場合、この変換器１５の横断スリーブ１６の内縁部に対
する回折作用により約１２０°まで広げることができる
。

第３図は圧電型の超音波変換器を示している。

この変換器はコネクタ２３によって電流が供給される２
つの圧電セラミック板２１．２２を備えている。これら
の板２１．２２はねじ２６によって２つの金属部材２４
．２５間に挟持されており、このねじ２６はこれらの板
および金属部材の軸線に沿って配置されている。

変換器の後部を構成する金属部材２４は放出方向と反対
の方向における放出波の減衰を行う。

変換器の前方に配置された金属部材２５は板２１．２２
によって発生される超音波用の放出ホーンを構成する。

この放出ホーン２５の周囲には、固定板２７がこのホー
ンの振動ノードに対応する位置に固定されている。ねじ
２６は圧電板２１゜２２を横切るその一部が拡大されて
ねじの絶縁を行なえるスリーブ２８になっている。

第４図はフィルタ体のケーシングの横断スリーブ１６内
に設置された上記種類の変換器１５を概略的に示してい
る。

この変換器１５は、その放出ホーン２５の前端面をケー
シングの内部の方に向けられたスリーブ１６の端部に対
してわずかに背後になるように位置決めして、スリーブ
１６に固定されている。

９０６にほぼ等しい垂直角３０を有する円錐体内に放出
された超音波のビームは、超音波の有効性の円錐体がほ
ぼ１５″だけ大きい半型直角を有するように、スリーブ
１６の端縁部によって回折されることがわかる。

この結果、スリーブ１６の端部における回折後の有効性
の円錐体の垂直角３１は１２０６に近くなる。

図示の実施例の場合、フィルタ内の超音波の有効性の帯
域は垂直角１２０°の円錐体と、半径が４０ｃｍに近い
球体３２とによって変換器１５各々の位置で境界決めさ
れる。変換器１５の軸線を通る水平平面内のこの帯域の
断面は第４図に示されている。

３組の濾過要素の清浄を行う３つの変換器の場合の同じ
形状の帯域が第２図に示されている。

フィルタのケーシングへの変換器１５およびスリーブ１
６の取付けは、ケーシングを横切る連結部にスリーブ１
６を溶接することによる固定および同様に固定板２７に
よって変換器１５をスリーブ１６内に溶接することによ
る固定を行うことによって達成することができる。その
結果、フィルタのボディへの清浄手段の最終設定および
完全密封が達成される。

しかしながら、このような構成は超音波の有効性帯域の
調整を行うことができない。

第５図、第６図および第７図を参照して、超音波の有効
性帯域の寸法を或る程度まで調整し得るＪＲ成を以下に
説明する。

第５図は超音波変換器１５の通路開口部の位置における
本発明によるフィルタのケーシングの壁部３５の一部を
示している。壁部３５の開口部には連結部３６が固定さ
れており、この水平連結部３６の軸線は半径方向、すな
わち、フィルタのケーシングの軸線と直角な方向を有し
ている。

この連結部３６内には、リング３７が溶接により固定さ
れている。このリング３７はフランジ４０をねじ込み組
立体３９によって固定するためにねじ３８が通るための
穴を備えている。リング３７とフランジ４０との間には
、シール４１が挿入されている。フランジ４０は雌ねし
部分４０ａを備えており、この雌ねじ部分４０ａに、外
面がねじになっているリング４４が係合されている。

外リングと称するリング４４はその内側部分４４ａがね
じになっていて、外面にねじ部を有する第２リングずな
わち内側リング４５を受は入れている。フランジ４０と
リング４４の外面の滑らかな部分との間、および外側リ
ング４４と内側リング４５の外面の滑らかな部分との間
には、夫々、摺りシール４６．４７が介入されている。

構造が第３図を参照して述べたものと同様である変換器
１５はねじ込み組立体４８およびシール４９によってリ
ング４５の内側肩部に密封的に取付けられた固定板２７
によりリング４５の内（！！１１部分に固定されている
。

第５図に示すような装置は、変換器の軸線に相当する半
径方向における濾過集成体１２の横面に対する変換器１
５の位置、および外側リング４４の端面に対する変換器
１５の放出ホーン２５の前面の位置の調整を行うことが
できる。

濾過集成体１２に対する変換器１５の位置は、ねじ部４
０ａに対してリング４４をねじ込むか、あるいはねじ戻
しすることによって調整することができる。

外側リング４４の端部分に対する変換器１５の放出ホー
ン２５の前面の位置はねじ部４４ａに対して内側リング
４５をねじ込むかあるいはねじ戻しすることによって８
周整することができる。

外側リングの部分５０に対する変換器１５の放出面２５
ａの変位によれば、リング４４の端部で構成される縁部
５０から放出円錐体の頂点が離れる長さしの調整によっ
て（垂直角αが実質的に９０°に等しい）変換器の放出
円錐体の遮断帯域の位置を調整し得る。

濾過集成体１２の横面に対する変換器１５の変位によれ
ば、放出超音波により濾過要素の遮断直径ＤＩを調整し
得る９ これらの種々の調整により、開口部および超音波の有効
性円錐体の位置を濾過集成体の寸法に適合させることが
できる。

尚、濾過集成体は比較的高い高さを示し、変換器１５は
フィルタのケーシングの高さに沿って種々の高さで位置
決めされた水平平面内に位置する複数の組により配置す
ることができる。次いで、濾過要素の全高さに影響する
ために、濾過要素の高さに沿った種々の有効性帯域が重
ねられるか、あるいはわずかに交差するように変換器の
調整を行う。

同様に、超音波の有効性球体が所望化の濾過要素を取囲
むように、変換器１５の放出面と濾過要素との間の半径
方向の距離を調整する。

この調整を行ったとき、フランジ４０に対する外側リン
グ４４の位置および外側リング４４に対する内側リング
４５の位置の固定を行う。

第６図および第７図はこの位置固定の２つの異なる具体
例を示している。

第６図および第７図と、第５図とにおける対応要素には
、同じ参照符号が付しである。

第６図の具体例による装置は夫々、溶接接合部５２．５
３によるフランジ４０に対する外側リング４４の位置お
よび外側リング４４に対する内側リング４５の位置の固
定を特徴としている。溶接接合部５２．５３は同様に対
応部片間のシールを行っている。

第７図に示す実施例では、フランジ４０に対する外側リ
ング４４′の位置の固定および外側リング４４′に対す
る内側リング４５′の位置の固定はねし５４．５５によ
って達成される。シール５６．５７により、対応部片間
のシールを行っている。

尚、あらゆる場合、外側リング４４（又は４４　′）の
端面５０によって回折される超音波のビームが同様に連
結部３６とフィルタケーシング３５の壁部との間の連結
縁部５８によって回折されるように変換３１５をフラン
ジ４０に対して変位させることが可能である。

一体化清浄装置を備えた本発明による濾過装置は、多孔
性濾過要素を取りはずさずに再生し得る程度に、保守が
非常に容易である。再生を行うには、流体流入導管およ
び排出導管の弁を閉ることによりフィルタボディをその
回路から分離すれば十分である。次いで、フィルタボデ
ィのケーシングに回路から分離れた流体を満たす。次に
、有効性帯域がそれらの全体として濾過要素１２に及ぶ
超音波を発生させるように、フィルタのケーシング内に
設けられた種々の変更器に給電する。これらの超音波は
フィルタのケーシングを満たしている流体によって９云
送される。

濾過要素により保持される粒子は上記現象によりこれら
の要素の孔から除去される。

これらの粒子は重力下でフィルタのケーシングの基部へ
落下し、そこに溜まる。

清浄化により濾過要素の十分な浸透性を回復した後、変
換器への給電をしゃ断し、フィルタから除去された粒子
を排出導管８を介して排出する。

このフィルタをすぐに使用状態に戻す。

本発明は上記の実施例に限定されない。

かくして、濾過要素の寸法に応じて、１つの変換器また
は一組の変換器を使用することが可能であり、−組の変
換器はこれらの放出円錐体の交差を達成し、かくしてフ
ィルタの全容積において効果的な作用を達成するために
、１つの水平平面内、あるいはフィルタの高さに沿って
間隔をへたてられかつ斜めに片寄らされた複数の水平平
面内にケーシングの周囲で分布されている。

圧電変換器と同様に、強磁性変換器を使用することが可
能である。

フィルタの壁部における定位置または調整可能位置での
これらの変換器の装着は上記方法と異なる方法で行って
もよい。

最後に、本発明は原子カニ業分野または危険流体を発生
するかあるいは使用する化学工業などの他の工業分野で
流体の濾過に使用する濾過要素を設けたケーシングを備
えているいずれの濾過装置の場合にも適用できる。本発
明による装置は濾過要素がすぐに詰まるフィルタの場合
に特によく適している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による濾過装置の集成体の切取り斜視図
：第２図は超音波変換器の位置における濾過装置のボデ
ィの横断面；第３図は超音波変換器の側面図：第４図は
超音波変換器の配置および生じた音響放出の有効性帯域
を示す概略図；第５図は第１変形例による濾過装置の壁
部に設けられた超音波変換器を示す横断面図；第６図は
第２変形例による濾過装置の壁部に設けられた超音波変
換器を示す横断面半休図；第７図は第３変形例による濾
過装置の壁部に設けられた超音波変換器の横断面半休図
である。 ■・・・・・・濾過装置、　　　　　２・・・・・・ケ
ーシング、３・・・・・・フランジ、　　　　　４・・
・・・・カバー５・・・・・・ね　じ、　　　　　　６
・・・・・・締付はリング、９・・・・・・清浄済み流
体、　　１０・・・・・・濾過集成体、１２・・・・・
・カートリッジ、　　１５・・・・・・変換器、１６・
・・・・・スリーブ、　　　　１７・・・・・・円錐体
、２１．２２・・・・・・圧電セラミック板、２４．２
５・・・・・・金属部材、 ２７・・・・・・固定板、 ２８・・・・・・スリーブ、 ３７゜ ５・・・・・・リング、 ４０・・・・・・フランジ、 ４４゜ ４７・・・・・・シール。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ケーシング（２）と、ケーシング（２）内に設けら
   れた濾過すべき液体用の流入導管（７）と、濾過済み液
   体用の排出導管（９）と、上記導管間に設けられた多孔
   性濾過手段と、少なくとも１つの超音波変換器（１５）
   を備えた多孔性濾過手段（１２）を超音波清浄する装置 （１５、１６）とを備えている濾過装置において、 該濾過装置は、軸方向にケーシングの或る長さに沿って
   かつケーシングの横断面の可成りの部分にわたって配置
   された束状の多孔性濾過要素（１２）と、ケーシング（
   ２）の周囲に一様に間隔をへだてた位置で濾過装置のケ
   ーシング（２）の少なくとも１つの横断面平面内に配置
   された変換器の少なくとも１つの集成体とを備えており
   、 変換器（１５）の各々は、軸線が濾過要素と直角な方向
   を有しかつ頂点がケーシング（２）の壁部近傍に位置す
   る円錐体により境界決めされる帯域において束状濾過要
   素（１２）の方向に超音波をケーシング（２）内に放出
   するようにケーシングの軸線と直角な方向にケーシング
   を通る開口部内に設けられていることを特徴とする濾過
   装置。 ２、少なくとも２組の変換器を備えており、各変換器は
   ケーシングの横断面平面内に配置されており、変換器（
   １５）を有する平面はケーシング（２）の軸方向に沿っ
   て間隔をへだてられていることを特徴とする請求項１記
   載の濾過装置。 ３、変換器は各々、軸線が濾過要素と直角な方向に沿っ
   て配置されたスリーブ（１６）内でケーシング（２）の
   対応開口部に配置されて、ケーシング（２）の内部に向
   けられた方のスリーブ（１６）の端面に対して背後に位
   置し、変換器（１５）が放出した超音波のビームをケー
   シング（２）の内部に向けられた方のスリーブ （１６）の端面（５０）で回折するようにしたことを特
   徴とする請求項１記載の濾過装置。 ４、変換器（１５）は外面にねじ部分を有する内側リン
   グ（４５）内に固定されており、該内側リング（４５）
   は外面にねじ部分を有する外側リングのねじ部分（４４
   ａ）に係合され、上記外側リングの外面のねじ部分はケ
   ーシング（２）内の変換器（１５）の通路開口部に固定
   されたフランジ（４０）のねじ部分（４０ａ）に係合さ
   れており、該フランジ（４０）、外側リング（４４）お
   よび内側リング（４５）はすべて同軸であり、それらの
   共通軸線としてケーシング（２）の開口部の半径方向を
   有しており、外側リング（４０）をねじ部分（４０ａ）
   に対してねじ込むか、あるいはねじ戻しすることによっ
   て半径方向における変換器（１５）の位置を調整するこ
   とができ、また内側リング（４５）をねじ部分（４４ａ
   ）に対してねじ込むか、あるいはねじ戻しすることによ
   って、ケーシング（２）の内部に向けられた外側リング
   （４４）の端面（５０）に対する変換器（１５）の相対
   位置を調整することができるようにしたことを特徴とす
   る請求項１記載の濾過装置。 ５、外側リング（４４）は密封接合を行う連続溶接接合
   部（５２）によりフランジ（４０）と一体に形成されて
   おり、また内側リング（４５）は密封を行う第２の連続
   溶接接合部（５３）により外側リング（４４）と一体に
   形成されていることを特徴とする請求項４記載の濾過装
   置。 ６、外側リング（４４′）は第１ねじ込み連結部（５４
   ）によりフランジ（４０）と一体に形成されており、ま
   た内側リング（４５′）は第２ねじ込み連結部（５５）
   により外側リング （４４′）と一体に形成されており、フランジ（４０）
   と外側リング（４４′）との間および外側リング（４４
   ′）と内側リング（４５′）との間に夫々挿入されたシ
   ール（５６）、 （５７）により、これらの部材間の密封を行っているこ
   とを特徴とする請求項４記載の濾過装置。 ７、変換器（１５）は放出ホーンを構成する金属部材（
   ２５）と接触している超音波を放出するための少なくと
   も１つの手段（２１、２２）と、フィルタのケーシング
   （２）に設けられ、放出ホーン（２５）の振動ノードに
   対応する位置において放出ホーン（２５）の周囲に固定
   された固定板（２７）とを備えていることを特徴とする
   請求項１記載の濾過装置。 ８、ケーシング（２）と、軸方向にケーシング（２）の
   或る長さにわたって配置された多孔性材料製の一組の要
   素（１２）よりなる濾過手段とを備え、濾過すべき流体
   の供給および濾過済み液体の回収用の回路に配置された
   フィルタ装置の多孔性濾過要素（１２）を超音波清浄す
   る方法において、 流体の回収および排出のためにフィルタのケーシングを
   回路から分離し、 ケーシングの壁部に固定された変換器によって、軸線が
   濾過要素（２）と直角な方向を有しかつ頂点がケーシン
   グ（２）の壁部近傍に位置した円錐体内、濾過要素（１
   ２）の方向にケーシング（２）を満たす流体内にケーシ
   ングの少なくとも１つの箇所で超音波を放出して濾過要
   素（１２）により保持される粒子を除去し、ケーシング
   （２）の内部に向けて放出された超音波をそれらの軸線
   上に心出しされた縁部（５０、５８）で回折して超音波
   が放出された有効性円錐体の垂直角を増大するようにし
   、濾過要素（１２）から除去された粒子を濾過装置のケ
   ーシングの端部から排出することを特徴とする方法。