JPH02184047A - 半導体ウエハの位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、外周部に位置合わせ基準としてのオリエンテ
ーションフラット（直線状の切欠き）が形成されている
半導体ウェハの位置合わせ装置に関する。

〈従来の技術〉 オリエンテーションフラットが形成された半導体ウェハ
においては、方形の素子パターンにおける互いに直交す
るＸ方向、Ｙ方向の二辺がオリエンテーションフラット
に平行および垂直な状態で形成されている。しかし、ミ
クロ的には、素子パターンとオリエンテーションフラッ
トとの間には角度のずれが存在する。

したがって、位置合わせ装置によりスクライブ装置等に
対して半導体ウェハを位置合わせする際には、まず、オ
リエンテーションフラットを基準として粗調整としての
位置合わせを行い、次いで、ウェハパターン（素子パタ
ーンの集合）をＴＶカメラで撮影し、予め登録しである
基準のウェハパターンとの比較に基づいて角度ずれ攪を
判断し、その角度ずれ量がゼロとなるようパターンマツ
チングを行うことにより微調整としての位置合わせを行
うようにしている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、パターンマツチングの基準となるウェハ
パターンの登録に際し°ζ、位置合わせしようとする半
導体ウェハの種類ごとに登録すべきウェハパターンを選
択しなければならず、しかも、パターンマツチングに適
したウェハパターンの選定が非常にむずかしく、その登
録作業に充分な熟練を要する上に多大な時間を必要とし
ており、これが作業能率を低下させる原因となっていた
。

また、ウェハパターンの１最影にＴＶカメラを用いてい
るため、装置コストの高騰を招いていることに加えて、
ＴＶカメラに入力されるウェハパターンおよび登録され
た基準のウェハパターンの画像データがＸ方向、Ｙ方向
に沿った二次元方向の画像データであり、これら２つの
二次元方向の画像データどうしの照合に基づき角度ずれ
量を判断し゛てパターンマツチングを行わなければなら
ないため、データの処理効率が悪く、さらに作業能率を
低下させているという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、基準としてのウェハパターンの登録作業を不要化し
、角度ずれ量の判断およびそれをなくす補正を自動化し
て作業能率の向上を図るとともに、装置コストの低減を
図ることを目的とする。

く課題を解決するための手段〉 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。

理解を容易にするため、本発明の構成を、第１図および
第２図に示した概念図に基づいて説明すると、 外周部にオリエンテーションフラットｌａが形成された
半導体ウェハ１の位置合わせ装置であって、 半導体ウェハｌの中心と回転中心とを一致させた状態で
半導体ウェハｌを保持して回転させるウェハ回転手段２
と、 このウェハ回転手段２によって回転されている半導体ウ
ェハ１のオリエンテーションフラットｌａを検出するオ
リエンテーションフラット検出手段３と、 このオリエンテーションフラット検出手段３によるオリ
エンテーションフラット１ａの検出に基づいてオリエン
テーションフラットｌａが所定の基準方向へに対して平
行となるよう前記ウェハ回転手段２を制御する回転制御
手段４と、半導体ウェハ１において前記基準方向Ａに対
して平行な方向（第２図（ａ）参照）または直角な方向
（第２図（ｂ）参照）に沿って離れた２箇所の場影領域
Ｅ、、Ｅ、からの各光束り、、Ｌ□を両撮影領域Ｅ、、
Ｅ、の離間方向Ｂで収束して、その離間方向Ｂに対する
直角方向Ｃに沿った細長光束ｔ、＋、ｔ、ｚ’とする一
方向収束光学系５と、前記細長光束Ｌ＋、Ｌ２′を入力
するライン状撮像素子６と、 このライン状撮像素子６が検出した前記両細長光束り、
、Ｌ、’の画像信号の半導体ウェハｌの表面上でのピー
ク間距離ＤＰＰを求めるピーク間距離演算手段７と、 前記両撮影領域間距離Ｄ４と前記ピーク間距離ＤＰＦと
に基づいて補正回転量αを求めて前記回転制御手段４に
与える補正回転量演算手段８とを備えたことを特徴とす
るものである。

上記本発明の構成は、２箇所の撮影領域Ｅ、。

Ｅ８を撮影するところの対となった一方向収束光学系５
およびライン状場像素子６からなる撮像手段として、両
礒影領域Ｅ、、Ｅ、のそれぞれに対応してその２＆Ｉｌ
を配置した場合を含むほか、その対を１＆Ｉｌのみとし
、それを一方の撮影領域Ｅ１から他方の撮影領域Ｅｔま
で移動するようにした場合も含む。

また、所定の基準方向Ａとは、ウェハ回転手段２の回転
中心とオリエンテーションフラット検出手段３とを結ぶ
方向に対して直角な方向の場合のみを意味するのではな
く、任意の角度をなす方向をも含むものである。

なお、一方向収束光学系５としては、例えばシリンドリ
カルレンズを組み込んだものを挙げることができ、ライ
ン状撮像素子６としては、例えばＣＣＤ等のラインイメ
ージセンサを挙げることができる。

く作用〉 本発明の構成による作用は、次のとおりである。

すなわち、回転制御手段４は、オリエンテーションフラ
ット検出手段３によるオリエンテーションフラットｌａ
の検出に基づいてウェハ回転手段２を制御し、オリエン
テーションフラット１ａが所定の基準方向Ａに対して平
行となった状態で停止させる。

これによって、オリエンテーションフラット１ａを基準
とした半導体ウェハ１の粗調整とし°この位置合わせが
行われたことになる。

この粗調整では、方形の素子パターンにおける一辺に沿
ったＸ方向と基準方向へとの間には角度のずれが存在し
ているのが一般的である。

この状態で、前述のように１組または２＆１１の一方向
収束光学系５が両撮影領域Ｅ、、Ｅ、からの各光束Ｌ＋
、Ｌｘを両撮影領域Ｅ、　、　　Ｉ！、、の離間方向Ｂ
で収束し、離間方向Ｂに対する直角方向Ｃに沿った細長
光束Ｌｌ　、Ｌｘ’として、対をなす１１′ｌまたは２
＆ｌｌのライン状撮像素子６に導く。

そして、ピーク間距離演算手段７が、ライン状撮像素子
６が検出した両細長光束Ｌ＋、Ｌｘの画像信号のピーク
間距離Ｄ□（半導体ウェハ１の表面上での換算距離）を
演算する。このピーク間距離ＤＰＰは、前記の粗調整と
しての位置合わせが完了したオリエンテーションフラッ
トｌａに対する素子パターンの角度ずれ量に対応したも
のとなる。

補正回転用演算手段８は、撮影領域間距離Ｄ−（前述の
撮像手段が２＆［ｌの場合はそれらの撮影光軸間距離、
撮像手段が１組の場合はその撮像手段の移動距離）と、
前記の演算によって求められたピーク間距ＨＤ　Ｐ　Ｐ
とに基づいて補正回転量αを演算し、それを回転制御手
段４に与える。すると、回転制御手段４はウェハ回転手
段２を制御して、前述の粗調整としての位置合わせ状態
から補正回転量αだけ補正回転を行う。

これによって、素子パターンの一辺の方向（Ｘ方向）が
基準方向Ａに対して平行となり、微調整としての位置合
わせが完了する。

以上のことから理解されるように、本発明の構成によれ
ば、パターンマツチングの基準とすべきウェハパターン
の登録を必要とせずに１．微調整としての位置合わせが
自動的に行われ、とりわけ、撮影領域Ｅｌ、Ｅ２からの
光束り、、Ｌ、を撮像手段に導く前に、予め一方向収束
光学系５によって所定の方向で収束して光学的な積分を
行っておき、その収束（光学的に積分）された細長光束
Ｌｌ　　、［−□′を撮像手段に導くようにしであるた
め、撮像手段に入力された画像信号からピーク間距離Ｄ
□を演算するための処理速度が、従来の二次元方向画像
データどうしの照合の場合に比べて高速化されるととも
に、撮像手段として、発明の構成のとおり、従来のＴＶ
カメラに比べて安価なライン状撮像素子６の採用が可能
となったのである。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第３図は実施例に係る半導体ウェハの位置合わせ装置の
要部の構成を示す概略説明図であって、図の左側は斜視
図、右側はブロック図となっている。

半導体ウェハ１を載置し真空吸引によって吸着保持する
ウェハチャックテーブルＩＩと、このウェハチャックテ
ーブル１１を駆動回転するパルスモータ１２とが前記ウ
ェハ回転手段２に対応している。

ウェハチャックテーブル１１の外側において対向配置さ
れた位置合わせ板１３ａ、１３ｂは、ウェハチャックテ
ーブルＩＩの半径方向に沿って出退自在に構成され、そ
の内側面は半導体ウェハ１の径と同径の円弧状基準面１
４ａ、１４ｂに形成されている。

ウェハチャックテーブルｌｌ上にｉ３！！された半導体
ウェハ１に対して位置合わせ板１３ａ、１３ｂを同時に
同速度で接近移動させ、その円弧状基準面１４ａ、１４
ｂを半導体ウェハ１の外周面（円弧部）に当接させるこ
とにより、半導体ウェハ１の中心をウェハチャックテー
ブル１１の回転中心と一致させるように位置決めし、こ
の位置決め後において半導体ウェハ１を真空吸引によっ
てウェハチャックテーブル１１に吸着保持し、さらに吸
着保持の後に位置合わせ板１３ａ、１３ｂを半導体ウェ
ハｌの外周面から離れるように復帰移動するように構成
しである。

オリエンテーションフラット検出手段３に対応した光電
素子１５が、半導体ウェハｌの下方近傍位置で、ウェハ
チャックテーブル１１の回転中心から半導体ウェハｌの
半径よりわずかに小さい距離だけ離れた位置に設けられ
ている。

この光電素子１５は、パルスモーク１２の駆動により半
導体ウェハ１を回転させた状態で、オリエンテーション
フラットｌａの両端部（円弧部との境界点）ｌａｌ、ｌ
ａｇを検出するもので、図示の状態での左側端部１ａ＋
　は反時計方向回転時に、右側端部１ａ、は時計方向回
転時に検出する。いずれの場合も、オリエンテーション
フラットｌａが光電素子１５の直上を通過している状態
から円弧部に移った瞬間に検出信号を出力するようにな
っている。

この実施例の場合、オリエンテーションフラット１ａの
検出に基づいて行う粗調整としての位置合わせのための
Ｉｆｆ方向へが、ウェハチャックテーブル１１の回転中
心と光電素子１５とを結ぶ方向に対して直角な方向とし
て定められている（第２図参照）。

さらに、この実施例の場合、一方向収束光学系５とライ
ン状撮像素子６との対からなる撮像手段が２紐設けられ
ており、第３図の図示の状態で左側に位置する第１の撮
像手段１６ａと右側に位置する第２の撮像手段１６ｂと
は、それらの視野中心どうしが基準方向Ａに平行な方向
に沿って所定の距離（Ｄｏ：第４図参照）だけ離間した
状態で配置されている。この離間の方向をＢで表すと、
この実施例の場合、離間方向日、！：基準方向Ａとは同
じ方向となる（第２図（ａ）の状態）。

第１．第２の１最像手段１６ａ、１６ｂはそれぞれ、半
導体ウェハ１において前記の離間方向Ｂに沿って離れた
２箇所にある方形の第１．第２の撮影領域Ｅ、、Ｅ、か
らの各光束Ｌ＋、Ｌｘをとらえるものである。各撮影領
域Ｅ、、Ｅ、の各−辺は基準方向Ａと平行であり、かつ
、同一直線上に位置している。

第４図に示すように、第１の撮像手段１６ａは、第１の
撮影領域Ｅ、からの光束り、を離間方向Ｂで収束して、
その離間方向Ｂに対する直角方向Ｃに沿った細長光束り
、Ｆとする第１の一方向収束光学系１７ａと、その細長
光束り、Ｆを入力する方向Ｃに沿った第１のラインイメ
ージセンサ１８ａとから構成されている。

そして、第１の一方向収束光学系１７ａは、半導体ウェ
ハＩの表面から焦点距離だけ離れて位置する集光レンズ
１９ａと、この集光レンズ１９ａによって平行光束とな
った光束を離間方向Ｂで収束するシリンドリカルレンズ
２０ａと、その収束光束をさらに集光して第１のライン
イメージセンサ１８ａ上に゛結像させる集光レンズ２１
ａとから構成されている。

第２の撮像手段１６ｂも同様であり、第２の撮影領域Ｅ
ｘからの光束Ｌ２を離間方向Ｂで収束して、方向Ｃに沿
った細長光束Ｌ％とする第２の一方向収束光学系１７ｂ
と、その細長光束Ｌ！′を入力する方向Ｃに沿った第２
のラインイメージセンサ１８ｂとから構成されている。

第２の一方向収束光学系１７ｂは、前述同様の集光レン
ズ１９ｂと、この集光レンズ１９ｂによる平行光束を離
間方向Ｂで収束するシリンドリカルレンズ２０ｂと、結
像用の集光レンズ２１ｂとから構成されている。

このような構成により、各撮影領域ＥＩ、Ｅｘからの光
束Ｌ＋、Ｌよは、離間方向Ｂでの収束によって光学的に
積分され細長光束り、、Ｌアとなった状態で各ラインイ
メージセンサ１８ａ、１８ｂに達する。

第３図に戻って、２２は、ＣＰＵ２３．ＲＯＭ２４゜Ｒ
ＡＭ２５およびインターフェイス２６からなるマイクロ
コンピュータであり、このマイクロコンビエータ２２は
、前述の回転制御手段４．ピーク間距離演算手段７およ
び補正回転量演算手段８に対応している。

マイクロコンピュータ２２は、インターフェイス２６を
介してパルスモータ１２に回転量を出力する一方、パル
スモータ１２から停止状態であるか否かの情報および停
止状態になるまでの回転量を入力したり、ラインイメー
ジセンサ１８ａ、１８ｂが検出した細長光束り、、Ｉ、
□′の画像信号のデータをインターフェイス２６を介し
てｆ？ＡＭ２５に格納するとともに、そのデータに基づ
いて半導体ウェハｌの表面上でのピーク間距離ＤＰＰを
演算し、かつ、補正回転量αを演算して、その補正回転
量αをパルスモータ−１２に出力するように構成されて
いる。

上述の制御プログラムや演算プログラムはＲＯＭ２４に
書き込まれている。

次に、この実施例の半導体ウェハの位置合わせ装置の動
作を第５図のフローチャートに基づいて説明する。

半導体ウェハ１がウェハチャックテーブル１１に吸着保
持されると、マイクロコンピュータ２２は、ステップＳ
Ｌからの動作を開始する。

ウェハチャックテーブル１１が１回転することによりオ
リエンテーションフラット１ａの端部の検出が必ず行わ
れるようにするために、反時計方向に３６０°の回転量
を設定し、その回転指令をパルスモーク１２に出力する
（ステップＳｌ）。

これによって半導体ウェハ１が反時計方向に回転される
が、その１回転中において、オリエンテーションフラッ
ト（フローチャートでは、略号“ＯＦ”で表す）ｌａの
左側端部１ａ、が光電素子１５によって検出されると（
ステップＳ２）、マイクロコンピュータ２２はパルスモ
ータ１２に停止指令を出力する（ステップＳ３）。

マイクロコンピュータ２２は、パルスモーク１２の停止
を確認すると（ステップＳ４）、今度は時計方向に３６
０°の回転量を設定し、その回転指令をパルスモータ１
２に出力する（ステップＳ５）。

これによって半導体ウェハ１が時計方向に回転されるが
、その１回転中において光電素子１５がオリエンテーシ
ョンフラット（ＯＦ）ｌａの右側端部ｌａｗを検出する
と（ステップＳ６）、マイクロコンピュータ２２はパル
スモータ１２に停止指令ヲ出力する（ステップＳ７）。

マイクロコンビエータ２２は、パルスモータ１２の停止
を確認すると（ステップＳ８）、回転開始から回転停止
までの、すなわち左側端部１ａ、の検出から右側端部１
ａ、の検出までの時計方向での回転量θを読み取り（ス
テップＳ９）、その回転量θの２分の１だけ反時計方向
に回転させる回転量θ／２を設定し、パルスモータ１２
に出力する（ステップ５１０）。

そして、パルスモータ１２は、半導体ウェハｌを左側端
部ｆａ＋から右側端部ｌａｇに向かう反時計方向にθ／
２だけ回転させた後に停止する。

これによっ°ζ、半導体ウェハｌは、そのオリエンテー
ションフラットｌａが、ウェハチャックテーブル１１の
回転中心と光電素子１５とを結ぶ方向に対して直角な基
準方向Ａに平行となった姿勢で停止する。すなわち、オ
リエンテーションフラット１ａを基準とした半導体ウェ
ハ１の粗調整としての位置合わせが完了する。

マイクロコンビエータ２２は、パルスモータ１２の停止
を確認すると（ステップ５ｌｌ）、第１．第２のライン
イメージセンサ１８ａ、１８ｔ＋から出力されＡ／Ｄ変
換された画像信号のデータを取り込む（ステップ５１２
）。

第６図に示すように、第１．第２の撮影領域Ｅ、、Ｅ、
でのパターンが例えば同図（ａ）。

（ｄ）のようなものであるとすると、そこからの光束ｔ
、Ｉ、Ｌ□は、第１．第２の一方向収束光学系１７ａ、
１７ｂにおける各シリンドリカルレンズ２０ａ、２０ｂ
によって離間方向Ｂ（基準方向Ａ）で収束されて光学的
に積分され、方向Ｃに沿った細長光束り、　　・　Ｌ！
／となってし）る。

その結果、この細長光束り、、Ｌ、’を入力した第１．
第２のラインイメージセンサ１８ａ、１８ｂからの画像
信号は、それぞれ同図（ｂ）、（Ｃ）のようになり、半
導体ウェハ１における基準方向へにほぼ沿った方向のス
クライプラインに対応する位置にピークＰ＋、Ｐｇをも
つ。

マイクロコンピュータ２２は、両画像信号のピーク間距
離であって半導体ウェハｌの表面上での距離に換算した
ピーク間圧ＨＤ　Ｐ　Ｐを算出する（ステップ３１３）
、このピーク間圧Ｎ　Ｄ　Ｐ　Ｐは、両撮影領域Ｅ、、
Ｅ、におけるスクライブライン交点Ｑ　ｌ＋Ｑ２の方向
Ｃに沿った位置ずれ量である。

次に、マイクロコンビエータ２２は、前記のピーク間距
離ＤＰＰと、予め判っていてＲＡＭ２５に格納されてい
る両撮影領域Ｅ、、　　Ｅ、間の離間方向Ｂ（基準方向
Ａ）での離間距離（撮影領域間距離：両撮影領域Ｅ１．
巳２の視野中心間距離とするのが昔通である）Ｄｉｔと
に基づいて、次式に従って補正回転量αを算出する（ス
テップ５１４）。

すなわち、第７図に示すように、スクライブライン交点
Ｑ＋　、Ｑｚ間の距＃Ｄは、ピーク間距離り２．が撮影
領域間距離Ｄ□に比べて充分に小さい（ＤＰＰ（ＤＥＥ
）ことから、ＤＡＤ□と置くことができ、したがって、
補正回転量αは、 α＝−ｊａｎ−’ ＤＥＥ によって求めることができる。

なお、ピーク間圧＃Ｄｏは、実際には、第２のラインイ
メージセンサ１８ｂのピーク位置Ｐ２から第１のライン
イメージセンサ１８ａのピーク位置Ｐ。

を減算し、その結果（ＰニーＰｌ）に一定の係数ｋを乗
算したものである。また、補正回転量αの回転方向は、
時計方向を正方向とするものである。

マイクロコンピュータ２２は、算出した補正回転量αを
パルスモータ１２に出力する（ステップ５１５）、する
と、ウェハチャックテーブル１１が補正回転量αだけ補
正回転され停止する。

これによって、半導体ウェハ１は、そのオリエンテーシ
ョンフラノ）ｌａが基準方向へと平行な粗調整としての
位置合わせ状態から、素子パターンの一辺の方向Ｘが基
準方向Ａ　（ｆｉｉＩ１間方向Ｂ）に対して平行となる
状態まで回転されて停止し、微調整としての位置合わせ
が完了する。

本発明は、次のような構成のものも実施例として含む。

（１）上記実施例の場合、オリエンテーションフラン）
ｌａの左側端部１ａ＋、右側端部ｌａｇの検出に基づい
て行う粗調整としての位置合わせのための基準方向Ａが
、ウェハチャックテーブル１１の回転中心と光電素子１
５とを結ぶ方向に対して直角な方向として定められてい
たが、これ以外に、ウェハ回転手段２の回転中心とオリ
エンテーションフラット検出手段３とを結ぶ方向に対し
て一定の角度をなす方向を基準方向Ａとして定め”ζも
よい。

（Ｕ）上記実施例の場合、第１の撮像手段１６ａと第２
の撮像手段１６ｂとを基準方向へに平行な方向に沿って
離間させ、第１．第２のシリンドリカルレンズ２０ａ、
２０ｂの長さ方向を基準方向Ａに対して直角な方向Ｃに
沿って配置して光束Ｌ＋、Ｌｘを基準方向Ａで収束積分
し、ピーク間距離Ｄ　Ｐ　Ｐは方向Ｃのものとしたが（
第２図（ａ）参照）、これ以外に、第１．第２の撮像手
段１６ａ、１６ｂを方向Ｃに沿って離間させ、シリンド
リカルレンズ２０ａ、２０ｂの長さ方向を基準方向へに
沿って配置して光束Ｌ＋、Ｌｘを方向Ｃで収束積分し、
ピーク間距離ＤＰＰを基準方向へのものとしてもよい（
第２図（ｂ）参照）。

（［［Ｉ）上記実施例の場合、２箇所の撮影領域ＥＥ、
を黒影するところの対となった一方向収束光学系５およ
びライン状撮像素子６からなる撮像手段として、両ｔｉ
影領域Ｅ＋、Ｅｘのそれぞれに対応してその２＆Ｉｌを
配置したが、それ以外に、その対を１組のみとし、それ
を一方の撮影領域Ｅ、から他方の撮影Ｎ域Ｅ、まで移動
するようにしてもよい、この場合の撮影領域間距離り、
は、撮像手段の移動距離とする。

〈発明の効果〉 本発明の半導体ウェハの位置合わせ装置によれば、従来
熟練と多大な時間とを要し′ζいた基準ウェハパターン
の登録作業からオペレータを解放することができ、殊に
、撮像素子に入力される光束を一方向収束光学系によっ
て収束し細長光束として入力するように構成しであるた
め、すなわら、予め光学的に積分しであるため、画像信
号の処理速度を高速化することができ、あわせて、撮像
手段としてライン状撮像素子の採用が可能となり、従来
のＴＶカメラに比べて大幅なコストダウンを回ることが
できるという効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の構成の理解を容易にする
ための概念図である。第３図ないし第７図は本発明の実
施例に係り、第３図は半導体ウェハの位置合わせ装置の
要部の構成を示す概略説明図、第４図は一方向収束光学
系およびライン状撮像素子からなる撮像手段を示す斜視
図、第５図は動作説明に供するフローチャー１・、第６
図はピーク間距離の算出方法の説明図、第７図は補正回
転量の算出方法の説明図である。 １・・・半導体ウェハ、ｌａ・・・オリエンテーション
フラット、１ａ＋　・・・オリエンテーションフラット
の左側端部、Ｉａｚ・・・オリエンテーションフラッド
の右側端部、２・・・ウェハ回転手段、３・・・オリエ
ンテーションフラット検出手段、４・・・回転制御手段
、５・・・一方向収束光学系、６・・・ライン状撮像素
子、７・・・ピーク間距離演算手段、８・・・補正回転
量演算手段、１１・・・ウェハチャックテーブル、１２
・・・パルスモータ、１３ａ、１３ｂ−・・位置合わせ
板、１４ａ。 １４ｂ・・・円弧状基準面、１５・・・光電素子、１６
ａ、　１６ｂ・・・撮像手段、１７ａ、１７ｂ・・・一
方向収束光学系、１８ａ、１８ｂ・、ラインイメージセ
ンサ、１９ａ、　１９ｂ２１ａ、２１ｂ・・・集光レン
ズ、２０ａ、２０ｂ・・・シリンドリカルレンズ、２２
・・・マイクロコンピュータ、２３・・・ＣＰＵ、２４
・・・ＲＯＭ、２５・・・ＲＡＭ、２６・・・インター
フェイス、Ａ・・・基準方向、Ｂ・・・両ｔｉ影領域の
離間方向、Ｃ・・・離間方向に対して直角な方向、Ｅｒ
。 Ｅ２・・・撮影領域、ＬＩ、Ｌｘ・・・撮影領域からの
光束、Ｌ、、Ｌ、’・・・細長光束、Ｄ、・・・ピーク
間距離、Ｄｔｚ・・・撮影領域間距離、α・・・補正回
転置部　３　図 出別人日東電工株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）外周部にオリエンテーションフラットが形成され
   た半導体ウェハの位置合わせ装置であって、半導体ウェ
   ハの中心と回転中心とを一致させた状態で半導体ウェハ
   を保持して回転させるウェハ回転手段と、 このウェハ回転手段によって回転されている半導体ウェ
   ハのオリエンテーションフラットを検出するオリエンテ
   ーションフラット検出手段と、このオリエンテーション
   フラット検出手段によるオリエンテーションフラット検
   出に基づいてオリエンテーションフラットが所定の基準
   方向に対して平行となるよう前記ウェハ回転手段を制御
   する回転制御手段と、 半導体ウェハにおいて前記基準方向に対して平行または
   直角な方向に沿って離れた２箇所の撮影領域からの各光
   束を両撮影領域の離間方向で収束して、その離間方向に
   対する直角方向に沿った細長光束とする一方向収束光学
   系と、 前記細長光束を入力するライン状撮像素子と、このライ
   ン状撮像素子が検出した前記両細長光束の画像信号の半
   導体ウェハ表面上でのピーク間距離を求めるピーク間距
   離演算手段と、 前記両撮影領域間距離と前記ピーク間距離とに基づいて
   補正回転量を求めて前記回転制御手段に与える補正回転
   量演算手段 とを備えたことを特徴とする半導体ウエハの位置合わせ
   装置。