JPH02181623A - 物理量検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は物理量検出装置、特に被測定体の物理量（たと
えば伝達トルク等）を測定する物理量検出装置の改良に
関する。

［従来の技術］ 背景技術 各種の回転駆動装置において、伝達トルク等の物理量を
正確にかつ簡易に測定することが望まれており、このよ
うにして伝達トルク等の物理量の測定を行うことができ
れば、各種の産業分野における駆動装置の分析あるいは
運転状態を把握する上で極めて便利なものとなる。

通常、この種の回転駆動装置としては各種の原動機が知
られており、特に車両のエンジン、電気自動車の電動モ
ータあるいは産業用モータは各種産業分野に幅広く利用
されており、このような回転駆動装置の運転状態を正確
に把握しその分析を行うためには、その回転数と並んで
伝達トルクの＃Ｊ定を正確に行うことが必要とされる。

特に、車両用エンジンなどにおいて、エンジン自体ある
いはその駆動力伝達機構であるトランスミッション、プ
ロペラシャフト、差動ギアなどの各種駆動系における伝
達トルクを測定することにより、エンジンの点火時期制
御、燃料噴射量制御、トランスミッションの変速時期あ
るいは変速比制御を良好に行い、これらの最適制御によ
り車両の燃費を改善し、また運転特性を向上させること
ができる。

また、産業用モータにおいても、伝達トルクの正確な測
定を行うことができれば回転駆動系の最適制御および診
断が可能となり、エネルギー効率および運転特性の向上
を図ることができる。

従来の技術 このため、従来より各種のトルク検出装置の提案が行わ
れており、その中の１つとして回転磁性体を介して伝達
されるトルクを磁性歪みを利用して非接触で測定する装
置が知られている。

すなわち、回転駆動系を介してトルクを伝達する場合に
、回転駆動系のトルク伝達用回転体、例えば回転軸やク
ラッチ板などには伝達トルクに比例した歪みが発生する
ことが知られている。従って、トルクを伝達する回転磁
性体の磁歪量を磁気センサを用いて検出すれば、その伝
達トルクを非接触で測定することができる。

第７図および第８図には、前述したトルク検出装置の磁
気センサ１２を、車両用エンジンのトルク伝達機構に設
けた場合の一例が示されており、ここにおいて第７図は
磁気センサ１２の側面を概略的に示し、第８図は第７図
のｘｍ−ｘｍ断面を概略的に示している。

周知のように、エンジンで発生したトルクは伝達軸１０
を介して図示しない回転フライホイールに伝わり、この
フライホイールと摩擦接合するクラッチ板を介してトラ
ンスミッション側へ伝達される。

このようにしてトルクの伝達が行われると、トルク伝達
軸１０や、クラッチ板、フライホイールなどの回転板に
は、伝達トルクの大きさに比例（７た大きさの歪みεの
異方性が生じる。従って、トルク伝達系が強磁性体を用
いて形成されている場合には、発生する歪みεの異方性
の大きさを磁歪効果を用いて磁気的に検出すれば、伝達
されるエンジントルクの測定を行うことができる。

このため、前述したトルク検出装置では、トルクが伝達
される回転体を回転磁性体とするために、トルク伝達軸
１０あるいはフライホイールそのものを強磁性体を用い
て形成したり、あるいはこれらトルク伝達軸１０または
フライホイールの表面に強磁性体を付着させる。そして
、この回転磁性体に向は磁気センサ１２を所定間隔で離
隔的に対向配置している。

ここにおいて、前記磁気センサ１２は、トルク伝達軸１
０と平行に配置されたコ字状の励磁コア１４と、この励
磁コア１４の内側に直交配置されたコ字状の検出コア１
８とを含み、前記励磁コア１４に励磁コイル１６を巻き
回し、前記検出コア１８に検出コイル２０を巻き回すこ
とにより形成されている。

第１０図には前記トルク検出装置のブロック図が示され
ている。励磁コイル１６には交流電源２２から正弦波電
圧が印加され、磁気センサ１２と対向するトルク伝達軸
１０を交番磁化している。

このとき、トルク伝達軸１０を介してトルクが伝達され
ると、トルク伝達軸１０内に応力が発生し磁歪効果によ
り前記励磁方向と直交する方向に磁束成分が生じる。こ
の磁束成分は、前記磁気センサ１２の検出コイル２０を
用い誘導電圧とし検出され、交流増幅器２４で増幅され
た後、検波器２６を用いて整流検波され、この整流検波
信号Ｓ（以後トルク検出信号と呼ぶ）がトルク検出信号
として出力される。

トルク検出信号Ｓは、伝達トルクに依存する成分とトル
クに依存しないオフセット成分の和として出力されてい
る。そのため前記トルク検出信号Ｓからオフセット成分
を減算することが必要となる。

特に、前記オフセット成分の大きさは、伝達トルクが０
であるにもかかわらず回転磁性体の回転に伴い不規則に
変化する（第１２図）。このため回転磁性体の各ポジシ
ョンで、しかるべきオフセット成分を減算するという手
法が、トルク検出の高精度化には必要となる。

特開昭６２−５５５１１８．５５５３４には、このよう
な手法を採用した従来装置が示されている。この従来装
置は、回転磁性体を介して伝達され、複数の回転角度位
置を変極点とするトルクを、前記各変極点区間毎に測定
するものである。そして、その特徴は前記回転磁性体の
回転角に依存して磁気センサから出力されるオフセット
信号を前記各変極点区間毎に予め設定しておき、回転磁
性体の回転角および変極点を表すタイミング信号に基づ
き、磁気センサから出力される検出信号からオフセット
信号を減算し、各変極点区間毎のトルク平均値を出力す
ることにある。これにより、回転磁性体を介して伝達さ
れるトルクを各変極点区間毎にオフセット成分に影響さ
れることなく測定することをかできる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、この従来のトルク検出装置は、以下に詳述する
２つの問題を有していた。

（ａ）　　まず、この従来装置は、回転磁性体の回転に
伴うオフセット成分の変動については考慮しているもの
の、トルクに依存する出力、すなわちトルク検出感度の
変動については全く考慮していない。このため、トルク
検出精度を高める上で限界があるという問題があった。

すなわち、この種のトルク検出装置では、回転磁性体の
表面に生ずる磁気的特性の変化を利用して、トルク検出
を行っている。このため、その検出精度が被測定体の磁
気特性のバラツキに大きく依存する。従って、被測定体
内、すなわち回転磁性体内で磁気特性が不均一に分布し
ている場合には、そのトルク検出信号（センサ出力）は
印加トルクが一定にもかかわらず、第１３図に示すよう
軸回転に伴い変動してしまう。

本発明者らは、このようなトルク検出信号の変動原因に
ついての検討を進めた。トルク検出信号Ｓは、次式に示
すように印加トルクＴｑの関数で表現される。

Ｓ　ｍ　５ｅｎｓ　＊　Ｔｑ　＋Ｏｆｆ’ｓ　　　　　
　　−（１）ココテ５ｅｎｓを感度、０ｒｒｓをオフセ
ット出力とする。感度とは単位トルク当りの検出出力の
増加量、オフセット出力とは印加トルク零の時のセンサ
出力である。

本発明者らは、その検討を進め、前記第（１）式に示す
感度およびオフセット出力が、被測定体内での磁気特性
のバラツキにより変動することを確認した。

これを式で表すと以下のようになる。ただし、温度Ｔは
一定とする。

５（Ｐ）−８ｅｎｓ（Ｐ）・Ｔｑ＋０ｆｆｓ（Ｐ）　　
　・・（２）ここで、Ｐは回転磁性体の回転位置（測定
点の位置）である。

ここにおいて、感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）とオフセット信号
０ｆｆｓ（Ｐ）Ｇｔ、各々第１１図、第１２図に示すよ
うに変化する。当然ながら、回転磁性体が回転するとト
ルク検出信号Ｓ　（Ｐ）は、印加トルク一定の場合でも
第１３図に示すように変動する。

従って、前述したよ従来装置のように、回転磁性体の回
転に伴うオフセット成分０ｆｒｓ（Ｐ）の変動について
のみ考慮しても、トルクに依存する出力、すなわちトル
ク検出感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）の変動についても考慮しな
ければ、伝達トルクＴｑをより高精度で測定できないこ
とは明らかである。

また、以上説明した被測定体内での磁気特性のバラツキ
の原因としては、 １、組成のバラツキ ２）組織のバラツキ ３、残留応力の分布 などが考えられる。従って、被測定体の製造工程を洗練
し、組成・組織が均一で、残留応力の分布のないものを
作れば、前述した問題は解決されるであろうが、そのた
めには徹底的な製造工程管理が必要となり現実的には不
可能である。

（ｂ）　　また、従来のトルク検出装置は、トルク検出
信号の温度依存性について考慮されていない。このため
、この面からもその検出精度を高める上で限界があると
いう問題があった。

すなわち、本発明者らが検討したところによると、前記
第（１）式に示す感度およびオフセット出力は、検出装
置の温度が変化すると共に変動することが確認された。

第１４図および第１５図には、感度、オフセット出力の
温度依存特性　Ｓ　ｅｎｓ（Ｔ）、ＯｆＴｓ（Ｔ）の−
例が示されている。

これを式で示すと以下のようになる。ただし、回転体の
回転位置Ｐは一定とする。

Ｓ　（Ｔ）　−５ｅｎｓ（Ｔ）・Ｔｑ　＋０ｒｆｓ（Ｔ
）　　　　−（３）ここで、Ｔは、トルク検出装置の温
度である。

この原因としては、センサを構成している材料および被
測定体の物性値が温度変化により変動すること、あるい
はセンサと被測定体との間隙（クリアランス）が、熱膨
張係数の違いにより変化することなどが考えられる。

従って、第１６図に示すように、この従来装置では、印
加トルクが一定の場合でも検出装置の温度変化と共にト
ルク検出信号（センサ出力）が変動してしまい、十分な
検出精度を得ることができないという問題があった。

以上説明したように、従来のトルク検出装置は、（ａ）
、（ｂ）で詳述した問題点を有しているため、そのトル
ク検出精度が必ずしも十分でなかった。

しかし、近年、自動車、工作機械等の回転駆動制御系に
おいては、低回転領域から高応答でトルク検出可能なセ
ンサが必要とされており、特にエンジンあるいはトラン
スミッシ目ン等の最適制御を行うためには、停止から高
回転、低温から高温へいう広い測定範囲において、伝達
される瞬時トルクを応答性よく、高精度に検出可能であ
ることが要求されている。

このため、前記（ａ）、（ｂ）で詳述した問題を早急に
解決することが必要とされる。

［発明の目的］ 本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもの
であり、その第１の目的は、被測定体の回転または往復
運動位置によるオフセット出力変動および感度変動の影
響を受けることなく、トルク等の物理量をリアルタイム
で高精度に検出できる物理量検出装置を得ることにある
。

また、本発明の第２の目的は、温度によるオフセット出
力変動および感度変動を補正することにより、温度変化
の影響を受けることなく、物理量をリアルタイムで精度
よく検出することができる物理量検出装置を得ることに
ある。

［問題点を解決するための手段］ 前記第１の目的を達成するため、本発明は、回転または
往復運動する被測定体の運動位置を任意の数のセグメン
ト区間に分割しておき、前記被測定体の物理量を検出す
る物理量センサの出力を、各セグメント区間毎にそれぞ
れ独自の係数群をもった補正演算式に基づき演算処理し
、オフセット成分と感度を補正する物理量検出装置であ
って、 前記係数群を各セグメント区間毎に予め測定する補正体
数群演算手段を有し、 この補正体数群演算手段は、 前記被測定体の運動位置を検出するとともに、検出位置
を対応するセグメント区間検出信号として出力する位置
検出手段と、 前記物理量センサの出力較正用の較正物理量信号を出力
する較正信号発生手段と 位置検出手段からセグメント区間検出信号が出力される
度に、物理量センサの出力と較正信号発生手段から出力
される較正物理量信号を各セグメント区間毎に記憶する
波形メモリと、 前記波形メモリに各セグメント区間毎に記憶された物理
量センサの出力と較正物理量信号とに基づき、前記補正
演算式の係数群を各セグメント区間毎に演算する係数演
算手段と、 を含むことを特徴とする。

原　　　理 次に本発明の原理を、回転体を介して伝達されるトルク
を測定する場合を例にとり説明する。

（ａ）　　まず、回転体の回転角度、すなわち測定位置
によるセンサ出力変動について説明する。

前にも述べたように、感度（第１１図参照）とオフセッ
ト出力（第１２図参照）は、回転位置Ｐによって変化す
ることが実験より確認されている。

そして、センサから出力されるトルク検出信号ｓ　（ｐ
）は、回転位置Ｐの関数として、例えば以下にように表
されることは前述したとおりである。

５（Ｐ）＝Ｓｅｎｓ（Ｐ）・Ｔｑ＋０ｒｆｓ（Ｐ）　　
　　・（２）ここでＰは、測定位置を示す回転位置（回
転体の角度）とする。

従って、この第（２）式から、伝達トルクＴｑは次式で
求められることになる。ただし、温度Ｔは一定とする。

間伐からも明らかなように、予め回転体の回転位置Ｐに
対応した感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）　　およびオフセット信
号Ｏｆｆ５（Ｐ）を求めておけば、物理量センサがら出
力されるトルク検出信号ｓ　（ｐ）を前記第（４）式に
代入するのみで、感度変動およびオフセット出力変動を
補正し、正確な伝達トルクｓ　（ｐ）を得ることができ
る。

本発明の特徴は、回転体の回転位置を予め任意の数のセ
グメント区間Ｐ″に分割しておき、前記第（４）式に示
す補正演算式の係数群、すなわち、感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ
”）　、オフセット信号Ｏｆｆ’ｓ（Ｐ”）を各セグメ
ント区間Ｐ”毎に予め求めておくことにある。このよう
にすることにより、物理量センサから出力されるトルク
検出信号Ｓ（Ｐ”）を、各セグメント区間Ｐ″毎にそれ
ぞれ独自の係数をもった前記補正演算式に基づき演算処
理し、オフセット成分と感度を補正し伝達トルクを求め
ることができる。

全セグメント数をＮｐとすると、セグメント区間Ｐ”と
回転位置Ｐとの関係は、次式で表わされる。

均等に分割されているときのセグメント幅Ｗｐは、Ｐ／
Ｎｐとなる。

（ｂ）　　次に、もう一つの問題点である、温度変化に
よるセンサ出力の変動について説明する。

前にも述べたように、感度（第１４図参照）とオフセッ
ト（第１５図参照）が温度変化によって変動することは
、実験より確認されている。したがって、前記（１）式
に示すトルク検出信号Ｓ　（Ｔ）は以下のように表され
る。ただし、回転位置Ｐは一定とする。

５（Ｔ）　−８ｅｎｓ　　＠ｆ　ｒ　（Ｔ）　　・”ｒ
ｑ＋０ｆｆｓ　　・ｆ　２　（Ｔ）　　−（５）ここで
ｔ　ｒ　（Ｔ）　、　　ｅ２（Ｔ）は、温度Ｔの関数（
例えば、温度の一次関数あるいは多次関数、または指数
関数等）である。

ここで留意する点は、被測定体内での磁気特性不均一分
布によるトルク検出信号の変動と、温度変化によるトル
ク検出信号の変動とは、おたがいに独立した事象として
取扱っている点である。

このため、温度Ｔの関数で表される感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｔ
）、オフセット信号Ｏｒｒｓ（Ｔ）は、回転位置Ｐの関
数で表される感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）、オフセット信号０
ｆｒｓ（Ｐ）と、前記温度依存関数ｆ　ｌ　（Ｔ）　。

ｆ　２　（Ｔ）との積として次式のように表されること
となる。

Ｓ　ｅｎｓ（Ｔ）　−Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）　Φｆ　ｔ　（
Ｔ）Ｏｆｆ５（Ｔ）　−Ｏｆ’ｆｓ（Ｐ）　・ｆ　２　
（Ｔ）　　　　　・＝　（８）従って、２つの変動原因
を同時に考慮した場合、トルク検出信号Ｓ（Ｐ、Ｔ）は
、以下の式ように表される。

Ｓ　　（Ｐ、　　Ｔ）　−５ｅｎｓ（Ｐ）　　・　ｆ　
　ｔ　　（Ｔ）　　　−Ｔｑ＋Ｏｆｆ’５（Ｐ）　φｆ
　２　（Ｔ）　　　　　−（７）そこで、式（７）をト
ルクＴｑについて求めると次式が得られる。

ここで、 である。

従って、トルク検出信号Ｓ（Ｐ、Ｔ）にここにおいて、
感度およびオフセット出力が温を乗じ、 Ｂ（Ｐ）　　　（ｆｉ　（Ｔ）　／ｆ＋　（Ｔ）　）を
加えるという補正演算を施してやることにより、測定位
置Ｐおよび温度Ｔに依存することのないトルク検出信号
が得られる。補正係数ＡおよびＢは、勿論、測定位置Ｐ
の関数である。

ここにおいて、感度およびオフセット出力が温度に対し
て一次関数的に変化すると仮定すると、ｆ＋　（Ｔ）、
ｆ２（Ｔ）は次式で表される。

ｆ＋　（Ｔ）　−ａｌ　＋ｂＩ・Ｔ　　　　　　　・・
・（１１）ｆｚ　（Ｔ）　−ａｔ　＋ｂｚ　”　Ｔ　　
　　　　　−（１２）ここで、ａｌ　ｔ　　ａｔ　＋　
　ｂｌ　＋　　ｂ２は定数とする。

従って、予め前記（１１）、　（１２）式に示す感度の
温度依存関数の係数ａｌ＋　　ｂｌと、オフセット信号
の温度依存関数の係数８２＋　　ｂ２を予め求めておけ
ば、前記第（８）式に基づき、温度変化に伴う前記検出
感度およびオフセット成分の変動を補正し、温度変化の
影響を受けることなく伝達トルクＴｑの測定を行うこと
が可能となる。

（Ｃ）　　ところで、前記第（４）式に示す補正演算式
を用いるためには、前述したように、これら各補正演算
式に用いられる係数群を予め各セグメント区間Ｐ′毎に
求めておく必要がある。

また、前記（８）式に示す補正演算式を用いるためには
、前述した係数群星外に、さらにａＩ＋ａ２　ｒ　　ｂ
＋’＋　　ｂ２の温度係数を予め求めておく必要がある
。

本発明の特徴は、このような補正演算式の係数群を予め
各セグメント区間Ｐ′毎に求め、さらに必要に応じ前記
温度係数を予め求める補正係数群演算手段を設けたこと
にある。

以下に、その原理を、例えば第（８）　（１１）　（１
２）式に示す補正演算式に用いる係数群Ａ（Ｐ）　、　
Ｂ（Ｐ）　。

ａｌ＋ａ２）ｂ、、ｂ、を求める場合を例にとり説明す
る。

（ｄ）　　係数Ａ　（Ｐ）　、　Ｂ　（Ｐ）の決定原理
前記第（９）式および第（１０）式より、Ａ　（Ｐ）Ｂ
　（Ｐ）は、次式で表わされる。

Ａ　（Ｐ）−・・・（９） Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ） Ｏｆ’ｆｓ（Ｐ） Ｂ（Ｐ）−−・・・（１０） Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ） したがって、これらＡ　（Ｐ）　、　　Ｂ　（Ｐ）を求
めるためには、感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）、オフセット信号
Ｏｆ’ｒｓ（Ｐ）を各セグメント区間Ｐ′毎に求めてや
ればよい。

これら感度およびオフセット信号は、物理量センサの出
力Ｓ　（Ｐ）と、真の伝達トルクＴｑを用いて次式で表
わされることは前述したとおりである。

したがって、各セグメント区間毎に感度およびオフセッ
ト信号を求めるためには、感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）および
オフセット信号Ｏｆｆ’５（Ｐ）を未知数とする二元連
立１次方程式を解いてやればよい。

しかし、センサ等を用いて伝達トルクの測定を行うと、
このセンサ出力Ｓ　（Ｐ）には、計測上手ずる誤差εが
含まれることは避けられない。これを式で表わすと次の
ようになる。

Ｓ　（Ｐ）　＝　Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）＋　Ｏｆ’ｆｓ（Ｐ
）＋　ε−（２°）このように、センサ出力５（Ｐ）に
は誤差εが含まれるため、単に感度およびオフセット信
号の二元連立１次方程式を解いても感度Ｓ　ｅｎｓおよ
びオフセット信号Ｏｆｌｓを十分な精度決定することは
できない。

（ｅ）　　このような誤差εの影響を受けることなく、
感度およびオフセット信号を決定するためには、次のよ
うにすればよい。

ｅ−１）　まず、理解を容易にするために、物理量セン
サを回転体の所定位置Ｐに固定し、センサに対する回転
体の位置Ｐが一定の場合を想定する。

この場合には、感度およびオフセット信号は、回転体の
回転の影響を受けないため、この値は次式で示すように
定数となる。

Ｏｆｆ’ｓ　＃　ａ　　　　　　　　−（１３）Ｓ　ｅ
ｎｓ　　＃　ｂ　　　　　　　　　　　　−（１４）し
たがって、前記（２゛）式は、これら定数ａ、　　ｂを
用いて次式で表わされる。

Ｓ−ａ十ｂＴｑ　＋ε＝ｌ１５） 次に、回転体の伝達トルクＴｑが予め知られているもの
とし、この伝達トルクＴ９に対応して物理量センサから
出力される信号Ｓを測定する。この測定は、伝達トルク
Ｔｑの値を変えてｎ回行われる。この測定の結果、伝達
トルクＴｑとセンサ出力Ｓのデータ対は次のように表わ
される。

ＣＴｑ　　Ｉ　　、　　ＳＬ　　］　　＋−＋　　：（
ＴＱ＋、　　ＳＬ）、　　（ＴＱ２．　　Ｓ２）・”（
ＴＱｔ＋　　Ｓ　ｌ　）”’（ＴＱｓ＋　　Ｓｎ）・・
・（ＩＢ） このとき、第１回目の測定により得られるデータを前記
第（１５）式に代入すると、この式は次のように表わさ
れる。

ＳＬ　−ａ＋ｂＴｑ　＋　＋ｓ　＋　　　　　　　　−
（１７）ここで、誤差平方和Ｑを次式で表わし、Ｑｗｍ
’Ｘｅ、２−Σ（Ｓｔ　　　（ａ＋ｂＴｑ＋　）１２・
・・（１８） この誤差平方和Ｑが最少となるようにａ、ｂを求めるこ
とができれば、測定に伴う誤差εを最少とする定数ａ、
ｂを一義的に決定できる。

このようなａ、ｂを求めるためには、前記第（１８）式
をａ、ｂで微分する。Ｑは最小値をとるようにするため
、その微分値を０とする。このようにすると、この微分
演算式は次式で表わされる。

−〇　　　　　　　　　　　　　・・・（１９）Ｑ ご　ｂ −−２Σ’ｒｑ　　ｌ　　（Ｓｔ　　　　（ａ＋ｂＴＱ
　　ｌ　　）］−〇　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　・・・（２０）この連立微分方程式を解
くと、ａ、ｂは次式で表わされる。

この係数ａ、ｂは、誤差平方Ｑを最少とする値である。

このため、次式で示すように十分な精度で、オフセット
信号および感度を表わすものと見なすことができる。

Ｏｆｆｓ″：ａ　　　　　　　　　・（２３）Ｓ　ｅｎ
ｓ　＃　ｂ　　　　　　　　　−（２４）なお、このよ
うにして求めたオフセット信号および感度の精度を保証
するためには、データ数ｎが多く、かつ各データが有意
に測定範囲を覆っていることが重要である。

ｅ−２）　なお、以上は物理量センサを回転体上の一点
に固定し、感度およびオフセット信号を求める場合であ
るが、実際に伝達トルクを測定するためには、回転体と
物理量センサとは離隔的に対向配置され、物理量センサ
に対する回転体の回転位置（セグメント区間Ｐ′）が時
事刻々と変化する。

したがって、これら各セグメント区間Ｐ′毎に前記（ｅ
−１）で詳述した手法を用いて、そのオフセット信号お
よび感度を求めてやればよい。

このため、ここでは、回転体１回転する３６０＠を、ｐ
個のセグメント区間に分割する。そして、セグメント区
間Ｐ′毎に印加トルクＴｑおよびセンサ出力Ｓ（Ｐ”）
を測定しながら回転体を「回転してやる。これにより、
のべｍ個（ただし、ｍｍｐＸｒ）のセグメント区間につ
いての測定が行われる。

このとき、回転体を１回転する毎に全セグメント区間に
ついての測定が行われるため、回転体を「回転すると、
同一のセグメント区間について合計１回の測定が行われ
る。

ここでは、このような測定を、印加トルクＴｑの値を変
化させ、ｎ回行う。このような測定を行うと、次のよう
なデータ群を得ることができる。

［Ｔｑ　　１１・　Ｓ　＋１］　　＋−ｔ　　　＋−＋
；　　（Ｔｑ　ｌＩ＋　　Ｓ目）、（ＴＱＩ２・　５１
２）・・・　（ＴＱ　　ＩＩ、　　Ｓ＋＋）　　・・・
　（’ｒｑ　　１１１＋　　Ｓ　＋５）（Ｔｑ　２１．
５２１）・　（Ｔｑ　　２２．　８２２）・・・　（Ｔ
ｑ　　２１．　５２１）　　・・・　（Ｔｑ　　２ｍ＋
　　８２−）（ＴＱ　　ｚ、　　Ｓａ＋）　　、　　（
Ｔｑ　　ｌ□、Ｓ＋２）・・・　（Ｔｑ　　ｌｌ＋　　
Ｓ　目）　　・・・　（Ｔｑ　　＋　−、Ｓ　１−）（
ＴＱ　　ｌｌｌ＋　　Ｓａ＋）　　・　　（Ｔｑ　　−
２，５−２）・・・　（ＴＱ　　１１１１　５ｆｉｉ）
　　・・・　（Ｔｑ　　ｆｉ■、　Ｓｏ）・・・（２５
） この結果、次式で示すように、各セグメント区間Ｐにつ
いてｎＸｒ個のデータ対からなるデータ小群が得られる
ことが理解されよう。

・・・　（ＴＱ　　ＩＩ＋　　Ｓ　ｚ）　　、　　・・
・　（Ｔ（！　　ｌｌＩ＋　　５ａｉ）・・・（２６） したがって、任意のセグメント区間Ｐ、において、この
ように求められたデータ小群を用い、前述した（２１）
、　（２２）式の演算を行えば、次式で示すように、こ
のセグメント区間Ｐ、におけるオフセット信号Ｏｒｆｓ
（Ｐ　ｈ　）　、感度５ｅｎｓ（Ｐ　ｈ　）を得ること
ができる。

Ｏｒｒｓ（Ｐ　ｈ　） ｎ　・　　「 ｎ　・　　ｒ ・・・（２７） Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ　　ｈ　　） （Ｔｑ　　ｌＩ＋　　ｓｌ□）、　　（Ｔｑ　　２１＋
　　８２１）・・・（２８） このような演算を繰り返し、全セグメント区間について
感度およびオフセット信号の係数群［Ｏｆｆ５（Ｐ　　
ｈ　　）　　、　　　Ｓ　　ｅｎｓ（Ｐ　　ｈ　　）　
　］　　ｈ−ｔ・・・（２９） を求める。

このようにして、本発明によれば、各セグメント区間Ｐ
毎に、補正演算式に用いられる独自の係数群、すなわち
、オフセット成分と感度を求めることができる。

また、前記第（９）式、第（１０）に示す係数Ａ、　　
Ｂを各セグメント区間毎に求める場合には、前記第（２
９）式で表わされる各セグメント区間毎のオフセット信
号および感度を第（９）式、第（ｌＯ）に代入してやれ
ばよい。これより、各セグメント区間毎に、独自の係数
群 ［Ａ　　（Ｐｈ　　）　　、　　　Ｂ　　（Ｐｈ　　）
　　コ　　ゎ−１・・・　（３０）を得ることができる
。

（ｆ）温度補正係数の決定原理 なお、前記（２９）、（３０）の係数群は、いずれも検
出装置の温度Ｔが一定のときの値である。

これを温度Ｔの変化に応じて補正するためには、次式を
用いなければならないことは前述した。

Ｓ　ｅｎｓ（Ｔ）　−Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）−ｆ　、　（Ｔ
）Ｏｆｆ５（Ｔ）　−Ｏｆ’ｒｓ（Ｐ）　・ｆ　２　（
Ｔ）　　　　　　・＝　＜８）ｆ、　（Ｔ）　ｗａ、　
＋ｂ、　−７−（ｔＤｆ　２（Ｔ）　＝ａ２　＋ｂ２　
＊　Ｔ　　　　　　　−（１２）従って、検出温度Ｔに
基づき補正演算を行う場合には、前記（１１）、　（１
２）式に用いられる各温度係数ａｌ　ｒ　　ｔ）ｌ　＋
　　２＋　　ｂ２を求めてやる必要がある。

このため、本発明では、前記（２５）式に示すデータ群
を、温度Ｔをパラメータとして２回求めている。これに
より、次式で示すように、温度Ｔｉをパラメータとした
１個のデータ群が得られる。

・・・（３６） ところで、回転体の回転による変動成分Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ
）、　Ｏｆｆ’５（Ｐ）と、温度Ｔによる変動成分子　
１（Ｔ）　、　　ｆ２（Ｔ）は互いに独立であると考え
てよい。

したがって、温度Ｔを一定とした場合に、印加トルクＴ
ｑとセンサ出力Ｓの値として、平均値〒ｑ＋、３＋を用
いれば、前記第（６）式は次式で与えられることになる
。

３、−３ｅｎｓ　　　ｆ　１（Ｔ）　　・〒ｑ＋　５　
ｆｆ５−ｆ　２　（Ｔ）　　　−（３１）となる。ただ
し Ｓ　■　− ・・・（３２） Ｔ（１ ・・・（３３） ″ｉ：、Ｏｆ’ｆ’ｓ（ｈ　） 本発明では、前記（３４）、　（３５）式で示す感度お
よびオフセット信号の平均値を、温度Ｔｋをパラメータ
としてＥ細末める。これにより、各温度Ｔ。

に対応した感度平均値およびオフセット平均値からなる
データ群が得られる。

このようにして求めたデータ群と、前記（１１）。

（１２）とを用い、前記（ｄ）で述べた手法（すなわち
、係数Ａ、Ｂの決定原理で述べた手法）と同様な手法で
、３　ｅｎｓとΦｒｒｓの温度依存関数（ここでは−次
関数近似）に用いられる近似係数ｂ１゜。

ａｌ。、ｂ２゜＋ａ２０を次式により求める。

３ｅｎｓ　ｋ　−ａ　１６＋　ｂ　１０”　Ｔｔ　＋　
εｈＳｅｎｓ　　霧 ・・・（３４） Ｑ−Σ　　ε　。

Ｉ ？５　ｆｆ’ｓ　　ｋ　　−８２６＋ｂ２ｏ”　”ｒｋ
　　＋ε＊！ ＝　ｂｌ０ ！ ・・・（４０） Ｉ− ！ −ｂ　１０　□ ！ ・・・（３８） ・・・（４１） ここにおいて、補正演算に用いる係数ａ。

ｂｌ　＋　　ａ２　＊　　ｂ、は相対値であることから
、これらの値はＳａ　ＩＱ＋　　ｂｌ１）、　　ａ　２
０ｒ　　ｂｌ０を用い１次式に基づき求めることができ
る。

・・・（３９） ！　・　ｂ、。

１ｍ ・・・（４３） Ｓｅｎｓ　　叙 ！　・　ａ２０ ・・・（４４） Φｒｆｓ　　＊ ！　・　ｂ２゜ ！ Σ　　◇ｆｆｓ　　ｈ ｋ曽１ ・・・（４５） このようにして、本発明によれば、温度Ｔの補正に用い
られる係数”ｌ　＋　ｂｌ　＋　　ａ２　＊　ｂ２を求
めることができる。

［作　用］ 次に本発明の詳細な説明する。

本発明の物理量検出装置は、回転または往復運動する被
測定体の回転または往復運動位置を任意の数のセグメン
ト区間に分割しておく。そして、物理量センサを用いて
被測定体の物理量を検出し、このセンサ出力を各セグメ
ント区間毎にそれぞれ独自の係数をもった補正演算式に
基づき演算処理する。これにより、オフセット成分と感
度を補正し、真の物理量を検出している。

ここにおいて、前記補正演算式として第（４）式を用い
れば、被測定体の回転または往復１動位置に起因する感
度変動およびオフセット出力変動を補正し、物理量を求
めることができる。

また、前記補正演算式として、第（８）式を用いれば、
被測定体の回転または往復運動位置のみならず、温度に
よる感度変動およびオフセット出力温度変動を同時に補
正し、より正確な物理量を測定することができる。

本発明の特徴は、補正係数群演算手段を用い、前記各補
正演算式に用いられる係数群を、各セグメント区間毎に
求めることにある。

このため、本発明の装置は、予め被測定体の回転または
往復運動位置を任意の数のセグメントに分割しておく。

そして、位置検出手段を用いて、被ａ−１定休の回転角
度位置または往復運動位置を検出するとともに、検出さ
れた位置を対応するセグメント区間の検出信号として出
力する。

また、本発明の装置は、物理量センナの出力と比較する
ための較正物理量信号を出力する較正信号発生手段が設
けられている。

この較正信号発生手段は、被測定体の実際の物理量を較
正物理量信号として出力するよう形成する必要がある。

そして、位置検出手段がセグメント検出信号を出力する
毎に、物理量センサの出力と較正信号発生手段から出力
される較正物理量信号が波形メモリに書込まれる。これ
により、波形メモリには各セグメント区間毎に、物理量
センサの出力とこれと対をなす較正物理量信号が書込ま
れることになる。

ここにおいて、前記セグメント区間の数は、被測定体の
１回転または１往復当りｐ個とする。このようにすると
、被測定体が１回転または１往復運動すると、波形メモ
リにはｐ組のセンサ出力および較正物理量信号が入力さ
れる。

（ａ）感度およびオフセット信号の演算ここにおいて、
前記第（４）式または第（８）式の補正演算式に用いら
れる係数のうち、感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ）およびオフセッ
ト信号Ｏｆｆ５（Ｐ）は次のようにしてい求められる。

まず、温度Ｔを一定にし、被測定体の１回転またはｒ往
復骨のデータを波形メモリに書込む。これにより、波形
メモリには［Ｔｑ　Ｉ　）　ｓ、　］　＋−ｔのデータ
群が書込まれる。ただし、ｍ””ｐＸｒである。

このようなデータの書込みを、物理量Ｔｑをパラメータ
として、異なる物理量でｎ回行う。これにより、波形メ
モリには、次式で示すように、２×ｎｘｍ個のデータが
書込まれる。

（以下余白） ［Ｔｑ　　ｌｌ＋　　３１］１＋ｌ　　　ｌ＋ｌ　　；
ｃＴｑ　　ｌｏ＋　　Ｓ　＋＋）　　、　　（ＴＱ　　
１２．　　Ｓ　＋２）・・・（Ｔｑ口、Ｓ＋＋）・・・
（Ｔｑ　１ｍ＋　　Ｓ　ｔ−）（Ｔｑ　　２１．　５２
１）、　　（Ｔｑ　　２２．　５２２）・・・　（Ｔ　
Ｑ　　２１１　　Ｓ　２１）　　・・・　（Ｔｑ　　２
ｍ＋　　５２−）（ＴＱ　　ｚ、　　Ｓ　ｚ）　　、　
　（Ｔｑ　　１２＋　　Ｓ　＋□）・・・（Ｔｑ　目、
Ｓｌ）・・・（Ｔｑ　＋−，Ｓ　＋−）（Ｔｑ　　−ｒ
、　　Ｓ、＋）　　、　　（Ｔｑ　　−２，Ｓ、２）・
・・　（Ｔ　ｑ　　ａｌ＋　　Ｓ　ａｌ）　　・・・　
（Ｔｑ、、、Ｓ、□）・・・（２５） このようにして求めたデータ群を、各セグメント位置Ｐ
、について整理すると、そのデータ小群は、前述したよ
うに、次式で表わされることになる。

（Ｔｑ　　ｌＩ＋　　Ｓｚ）　　・　（ＴＱ　　２１．
　　Ｓ２＋）・・・　　（Ｔｑ　　　ｌＩ＋　　　Ｓ　
　−１）　　　＋　　　　（Ｔｑ　　　ｌｌＩ＋　　　
Ｓ　　ｎ　ｊ）・・・（２６） そして、係数演算手段は、各セグメント区間Ｐ、毎に求
めたデータ小群を、前記（２７）、（２８）式に代入し
、各セグメント区間Ｐ、について感度Ｏｆｆ５（Ｐｈ　
）　　Ｓ　ｅｎｓ（Ｐｈ　）を係数として求める。

このようにして、本発明の係数演算手段は、Ｐ個に分割
された各セグメント区間についての係数群［０１’ｆｓ
（Ｐ　ｈ　）　、Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ　ｈ　）　］　ｈ−１
を求める。

また、このようにして求めた感度およびオフセット信号
を、前記（９）　、　（１０）式に代入することにより
、次式で示すよう、各セグメント区間毎に補正演算式の
係数Ａ、Ｂを求めることができる。

［１ｐｈ　　）　　、　　　Ｂ　　（ｐ　ｈ　）　　コ
　、−１（ｂ）温度係数の演算 また、本発明の物理量検出装置は、前記第（８）式を用
いて補正演算を行う場合には、（１１）、　（１２）式
に示す温度係数ａＩ　＋　　ｂＩ　＋　　ａ２　＋　　
ｂ、を予め求めておく。

このような温度係数の演算は、次のような手順で行われ
る。まず検出装置の動作温度Ｔをパラメータとして、異
なる１個の温度Ｔ＆　　（ただし、１≦に≦りに対し、
それぞれ前記　（２５）式に示すデータを繰返し測定し
、そのデータを波形メモリへ書込む。

このようにして、求めたデータ群は、前述したように次
式で表わされる。

・・・（３Ｂ） そして、補正演算手段は、このようにして求めたデータ
群を各温度Ｔｋ毎にグループ分けする。

そして、各グループ毎に（３４）、　（３５）式の演算
を行い、感度およびオフセット信号の平均値を求める。

これにより、次式で示すように、各温度Ｔ、毎に、感度
、オフセット群の平均値が得られることになる。

！ ［百ｅｎＳ　ｋ　Ｉ　Ｔｋ　］　ｋ−Ｉ　１！ ［５ｒｆｓ　　ｋ　　、　　Ｔ　＊　　］　　ｋ−＋　
　　　　−（３７）そして、このようにして求めたデー
タ群を用い、（３８）〜（４５）式に基づき、温度係数
ａｌ＋ｔ）Ｉｎａ２＋　　ｂ２＋　を求める。

このようにして、本発明によれば、前記（１１）。

（１２）で示す温度関数に用いられる係数群を求めるこ
とができる。

以上説明したように、本発明によれば、前記（４）また
は（８）式に示す補正演算式の係数群を、物理量のｎ１
定を開始する前に予め正確に求めることができる。この
ため、前記（４）または（８）式に示す補正演算式を用
い、被測定体の物理量を、被測定体の運動位置および動
作温度の変化のいずれの影響を受けることなく、正確に
測定することが可能となる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、被測定体の回転
又は往復運動に伴い、物理量センサの検出感度およびそ
の出力信号中に含まれるオフセット成分が変動する場合
でも、この変動分をリアルタイムで補正することができ
るように補正演算式の係数群を決定することができる。

このため、被測定体の物理量を、被測定体の停止、低速
運動領域から高速運動領域までリアルタイムでかつ高精
度に測定することが可能となる。

また、本発明によれば、検出装置の動作温度の変化に伴
う物理量センサの検出感度およびその出力信号中に含ま
れるオフセット成分の変動を補正することができるよう
、補正演算式の温度係数群を予め求めることもできる。

このため、低温から高温という広い温度条件の下でも正
確に物理量の測定を行うことが可能となる。

［実施例］ 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。

トルク検出装置 第２３図には、本発明をトルク検出装置に適用した場合
の好適な実施例が示されている。

このトルク検出装置は、トルク伝達軸１０に対し離隔的
に対向配置された磁気センサ１２を用い、伝達軸１０内
に発生する磁歪量を検出、している。

第５図および第６図には、磁気センサ１２の概略が示さ
れており、第５図にはその側面の概略、第６図にはその
正面が示されている。

実施例において、磁気センサ１２はトルク伝達軸１０と
平行に配置された励磁コア１４と、この励磁コア１４の
内側に直交配置された検出コア１８と、を含み、これ各
コア１４．１８にそれぞれ励磁コイル１６および検出コ
イル２０を巻回すことにより形成されている。

第９図には、前記磁気センサ１２の励磁コイル１６に接
続された駆動回路３０と、検出コイル２０に接続された
検出信号処理回路３２の一例が示されている。

前記駆動回路３０は、発振器３４および交流増幅器３６
を含み、発振器３４から出力される正弦波または三角波
等の対称交流波形電圧を交流増幅器３６を介して励磁コ
イル１６に印加し、トルク伝達？ｄ１１０を交番磁化し
ている。

これにより、磁気センサ１２の検出コイル２０は、トル
ク印加時にトルク伝達軸内に発生する磁歪量を起電力と
して検出し、その検出信号を検出信号処理回路３２へ向
は出力する。

前記検出信号処理回路は、濾波器３８．交流増幅器４０
および検波器４２を含み、検出コイル２０の出力電圧を
直流検波し、この直流検波信号をトルク検出信号（実施
例ではアナログ信号）として出力している。

本発明の第１の特徴は、トルク伝達軸１０の回転に伴う
トルク検出信号（センサ出力）Ｓの変動（第１３図）、
すなわちトルク検出感度の変動（第１１図）およびトル
ク検出信号Ｓ中に含まれるオフセット成分の変動（第１
２図）を補正し、これらの影響を受けることなく伝達ト
ルクの測定を正確に行うことにある。

このため、本発明の装置には、トルク伝達軸１０の回転
角を検出する回転角検出器５０と、トルク検出信号Ｓ中
に含まれるオフセット成分が予め設定登録されたオフセ
ット信号発生器６０と、トルク検出信号Ｓの感度が予め
設定登録された感度信号発生器７０とを含む。

前記回転角検出器５０は、予めトルク伝達軸１０の回転
角θを任意の数のセグメント区間に分割しておき、検出
回転角θを対応するセグメント区間の検出信号Ｐ′とし
て出力するよう形成されている。

本実施例において、この回転角検出器５０は、トルク伝
達軸１０の回転角θを検出する角度検出部５２と、予め
回転体１０の回転角θを任意の数のセグメント区間に分
割しておき、検出回転角θを対応するセグメント区間検
出信号Ｐ′に変換出力するセグメント区間検出部５４と
を含む。

前記角度検出部５２は、ロータリエンコーダをを用い回
転角度信号θを得るよう形成することが一般的である。

ロータリエンコーダとしては、磁気式、先代等があり、
実施例では、先代ロータリーエンコーダをトルク伝達軸
１０に取付は回転角度信号θを検出している。

また、前記セグメント区間検出部５４は、トルク伝達軸
１０の回転角を１度毎に３６０個のセグメント区間に分
割しておき、検出回転角θに基づき対応するセグメント
区間の検出信号Ｐ′を出力するよう形成されている。

また、前記オフセット信号発生器６０には、トルク伝達
軸１０の回転角θに依存して、前記検出信号処理回路３
２から出力されるトルク出力信号Ｓに含まれるオフセッ
ト信号が、各セグメント区間毎に予め設定されている。

本実施例では、３６０”の回転角が１度毎に３６０個の
セグメント区間に分割されている。このため、実施例の
オフセット信号発生器６０にも、各セグメント区間Ｐ′
に対応した３６０個のオフセット信号Ｏｆ’ｆｓ（Ｐ”
）が登録されている。

また、感度信号発生器７０は、同様にトルク伝達軸１０
の回転角θに依存している前記センサ１２の感度に相当
する信号が、前記各セグメント区間毎に予め設定登録さ
れている。本実施例では、３６０個に分割された各セグ
メント区間Ｐ′に対応した３６０個の感度５ｅｎｓ（Ｐ
“）が予め設定登録されている。

そして、前記補正演算回路８０は、回転角検出器５０か
ら出力されるセグメント区間検出信号Ｐ′に基づき、オ
フセット信号発生器６０および感度信号発生器７０から
、対応するセグメント区間のオフセット信号０ｆｆｓ（
Ｐ”）および感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ”）を読み出す。そし
て、読み出したオフセット信号および感度を、検出信号
処理回路３２から出力されるトルク検出信号Ｓと共に前
記第（４）式に代入し、オフセット成分と感度の補正演
算を行い、演算された伝達トルクＴｑを出力している。

ところで、前記第（４）式に示すオフセット信号および
感度は、温度による影響を受けやすく、温度の変化する
測定条件下では、その測定精度にバラツキが生じてしま
う。

本発明の第２の特徴はこのような温度変化の影響を受け
ることなく、伝達トルクのｎ１定をより正確に行なうこ
とある。

このため、本発明のトルク検出装置は、トルク検出装置
の温度を検出する温度検出器９０と、オフセット信号の
温度依存関数の係数が予め設定された温度補正用オフセ
ット係数信号発生器６２と、感度の温度依存関数の係数
が予め設定された温度補正用感度係数信号発生器７２を
含む。

前記温度検出器９０は、どの部位の温度をもって温度補
正するかによりその温度検出箇所が異なるが、一般的に
はトルク検出出力特性に最も影響を及ぼす部分の温度を
測定することが好ましい。

このような温度検出箇所としては、センサ部あるいはト
ルク伝達軸１０とすることが考えられるが、本実施例で
は、磁気センサ１２の温度を検出出力するように形成さ
れている。

また、このような温度検出器９０は、熱電対あるいは赤
外線センサ等各種のセンサを用いて形成することができ
るが、一般的には、測定対象が静止物体の場合には熱電
対を、測定対象がトルク伝達軸１０のように回転体であ
る場合には赤外線センサ等を使用する。実施例では、熱
電対を用いて、磁気センサ１２の温度検出を行っている
。

また、本実施例の装置は、感度およびオフセット出力が
、温度に対して一次関数的に変化するものと仮定し、前
記第（１１）式、第（１２）式に示す関数を温度依存関
数として用いる。

そして、前記温度補償用オフセット係数信号発生器６２
には、前記第（１２）式に示すオフセット信号温度依存
関数の係数ａ２．ｂ２が予め設定登録されている。さら
に、温度補正用感度係数発生器７２には、第（１１）式
に示す感度温度依存関数の係数ａｔ、ｂ＋が登録されて
いる。

そして、実施例の補正演算回路８０は、所定のタイミン
グ毎に温度検出器９０から出力される検出温度Ｔと、各
係数信号発生器６２．７２に設定登録された係数を読み
出し、前記第（１２）式、第（１１）式に示す温度依存
関数の演算を行う。

そして、オフセット信号発生器６０．感度信号７０から
読み出されるオフセット信号および感度と、前述したよ
うに演算して求めた温度依存関数との検出信号処理回路
３２から出力されるトルク検出信号Ｓとを、それぞれ前
記第（８）式に代入し、伝達トルクＴｑを演算出力する
。

このようにすることにより、トルク伝達軸１０の回転位
置Ｐによるオフセット出力変動および感度変動を補正す
る共に、温度Ｔによるオフセット出力変動および感度変
動も同時に補正し、伝達トルクの測定を極めて高い精度
で行うことが可能となる。

本実施例の補正演算回路８０は、このような補正演算を
行うために、演算器８２．第１のタイミング信号発生器
８４および第２のタイミング信号発生器８６を含む。

前記第１のタイミング信号発生器８４は、トルク検出タ
イミングに合せて一定の時間間隔Δｔで動作する。そし
て、回転角検出器５０から出力されるセグメント検出信
号Ｐ′を続出アドレスとしてオフセット信号発生器６０
および感度信号発生器７０へ向は出力し、これら発生器
６０．７０から対応するセグメント区間Ｐ＃のオフセッ
ト信号０’ｒｆｓ（Ｐ”）および感度信号Ｓ　ｅｎｓ（
Ｐ”）を演算器８２へ向は出力させる。

また、前記第２のタイミング信号発生器８６は、一定時
間毎にタイミング信号を温度検出器９ｏおよび各係数信
号発生器６２．７２へ向は出力する。

これにより、温度検出器９０は、検出温度Ｔを演算器８
２へ向は出力する共に、各係数発生器６２゜７２は、設
定された係数を演算器８２へ向けそれぞれ出力する。

そして、演算器８２は、このようにして人力される各信
号および検出信号処理回路３２から出力されるトルク検
出信号Ｓを用い、前記第（８）式に基づき伝達トルクＴ
ｑを演算出力する。

このようにすることにより、本実施例のトルク検出装置
によれば、トルク伝達軸１０の回転によるオフセット出
力変動および感度変動をリアルタイムで補正することが
でき、さらに温度によるオフセット出力変動および感動
変動をも同時に補正し、伝達トルクを高精度で検出する
ことが可能となる。

補正体数群演算回路 ところで、このような補正演算を行うためには、前記（
８）式に表わされる補正演算式の係数群を予め演算し、
この係数群を、オフセット信号発生器６０、感度信号発
生器７０、温度補償用オフセット係数信号発生器６２）
温度係数信号発生器７２へそれぞれ設定登録してやるこ
とが必要となる。

第１図には、このような係数群の演算を行う補正係数群
演算回路の好適な第１実施例が示されている。

本実施例では、第２３図に示すセンサ１２）検出信号処
理回路３２）回転角検出器５０および温度検出器９０を
そのまま用いるため、ここではその詳細な説明は省略す
る。

実施例の補正係数群演算回路は、トルク伝達軸１０の回
転位置を対応するセグメント区間検出信号として出力す
る角度検出器５０と、検出装置の動作温度Ｔを検出する
温度検出器９０と、較正物理量信号を較正信号として出
力する較正信号発生器２００とを含む。

本実施例において、前記角度検出器５０および温度検出
器９０は、第２３図に示す装置において用いられる角度
検出器５０および温度検出器９０をそのまま用い、その
出力信号を波形メモリ２１０へ向は出力している。

また、前記較正信号発生器２００は、トルク伝達軸１０
を介して実際に伝達されるトルクＴｑを、磁気センサ１
２の出力信号Ｓを較正するための較正信号として出力す
るように形成されている。この較正信号発生器２００は
、トルクの測定範囲、軸の停止から高回転、低温から高
温に至り、センサ出力Ｓを較正するに十分な精度と応答
性を有する較正信号を出力するように形成する必要があ
る。

このため、実施例では歪ゲージとテレメータからなるト
ルクメータを用い、トルク伝達軸１０を介して伝達され
るトルクＴｑを直接測定し、これを較正信号Ｔｑとして
出力するように形成されている。

そして、波形メモリ２１０は、角度検出器５０からセグ
メント区間検出信号Ｐ′が出力されるごとに、磁気セン
サ１２から出力されるトルク検出信号Ｓと、較正信号発
生器２００から出力される較正信号Ｔｑおよび温度検出
器９０から出力される検出温度Ｔをデジタル化し、記憶
する。このように、波形メモリ２１０は、トルク伝達軸
１０の回転速度に依存することなく、角度検出器５０か
ら出力されるセグメント区間検出信号Ｐ′に同期して人
力データ（Ｓ、■ｑＳＴ）を記憶する。本実施例では、
１回転当り３６０個のセグメントに分割されている。こ
のため、トルク伝達軸１０が１回転すると、３６０組の
データ（Ｓ、Ｔｑ　ＳＴ）を記憶することになる。

本実施例は、前述した発明の原理の項で述べたように、
（２５）式で表わされるデータ群を、動作温度Ｔをパラ
メータとして、異なる温度ＴＫで１回測定し、その測定
データを波形メモリ２１０へ順次書込む。これにより、
波形メモリ２１０内には、（３６）式で表わされるデー
タ群が記憶されることになる。

なお、実施例の波形メモリ２１０は、このようにして、
入力されるデータ群を、各セグメント区間毎に記憶する
ように形成されている。

そして、係数演算器２２０は、波形メモリ２１０内に各
セグメント区間毎に記憶されたデータに基づき、（４）
式又は（８）式に表わされる補正演算式の係数群を、各
セグメント区間毎に演算する。

実施例の係数演算器２２０は、総和器２２２）乗算器２
２４、割算器２２６、減算器２２８、レジスタ２３２お
よび制御器２３４を含む。そして、波形メモリ２１０か
ら読出されたデータは、２２２〜２３０の各演算器へ送
られ、ここで、所定の演算処理を施され、各演算器の出
力はレジスタ２３２へ書込まれることになる。

このとき、前記制御器２３４は第３図および第４図に示
すフローチャートに基づき、レジスタ２３２内のデータ
と、波形メモリ２１０内のデータを、２２２〜２３０の
各演算器へ入出力する制御を行い、これら演算器に、前
記（２７）、（２８）、（３４）、（３５）、（３８）
〜（４５）式の演算を行わせる。そして、前述したよう
に、次式で表わされる各セグメント区間毎の補正係数群
を求め、 ［ＯＨｓ　　（Ｐｈ　）　、　　５ｅｎｓ　　（Ｐ＋　
）　］　ニーｔ［Ａ　（ｐｂ）、　　Ｂ　（Ｐｉ］ｈ−
ｔ　　　　　・・・（３７）さらに、温度補正係数ａｌ
　ｒ　ｔ）１　＊　　ａ３１　　ｂ２を求める。

そして、このようにして求められた係数群は、ＦＲＯＭ
　（プログラマブル　リード　オンリーメモリ）２５０
に記憶される。

したがって、前記第２図に示すオフセット信号発生器６
０．感度信号発生器７０．温度補正用オフセット係数発
生器６２．温度補正用感度係数発生器７２を、前記ＦＲ
ＯＭ２５０を用いて形成することにより、前記（８）式
を用いた補正演算を、各セグメント区間毎に行い、停止
から高回転、低温から高温に至るまで、瞬時トルクを高
精度で測定することが可能となる。

特に、従来は、トルク伝達軸１ｏを取替えた場合に、高
精度でトルク測定を行うことができなかったが、本実施
例によれば、補正係数用のＰＲＯＭ２５０Ｍ２５０を取
替えるだけで簡単にトルク測定を行うことができ、極め
て便利なものとなることが理解されよう。

具　　体　　例 第２図には第１図に示す補正体数群演算回路の具体的な
回路構成が示されている。

本実施例において、前記較正信号発生器２００は、歪ゲ
ージ２０２）ロータリトランス２０４、較正信号処理回
路２０６を含む。前記歪ゲージ２０２は、トルク伝達軸
１０上にブリッジ回路として貼着されており、伝達トル
クＴｑによる回転軸１０の歪みを検出する。

そして、歪ゲージ２０２と、較正信号処理回路２０６と
の間は、ロータリトランス２０４で回転自在に結合され
、歪ゲージ２０２の出力は、このロータリートランス２
０４を介して較正信号処理回路２０６へ向は出力される
。そして、較正信号処理回路２０６は、歪ゲージ２０２
によって検出された伝達トルクをセンサ出力較正用の較
正信号Ｔｑとして波形メモリ２１０へ向は出力する。

また、本実施例の温度検出器９０は、熱電対９４、温度
信号処理回路９６を含み、磁気センサ１２の温度を検出
し、その検出温度Ｔを波形メモリ２１０へ向は出力して
いる。

ここにおいて、温度信号処理回路９６は、熱電対９４の
検出する温度に室温補償、増幅を施し、検出温度Ｔを波
形メモリ２１０に記憶する最適な電圧レベルの信号とし
て出力するように形成されている。

また、実施例の角度検出器５０は、角度検出部としての
先代ロータリーエンコーダ５２ａと、セグメント区間検
出部としての位置信号処理回路５４ａとを含む。前記比
較式ロータリーエンコーダ５２ｍは、トルク伝達軸１０
に設けられている。

そして位置信号処理回路５４ａは、先代ロータリーエン
コーダ５２ｇの出力に基づき、トルク伝達軸１０が１回
転する毎に基準位置検出信号を出力するとともに、トル
ク伝達軸１０が１度回転する毎にセグメント区間検出信
号Ｐ′を波形メモリ２１０へ向は出力するように形成さ
れている。

なお、角度検出部５２としては、前記先代ロータリーエ
ンコーダ５２ａに替え、例えば磁気式のロータリーエン
コーダを用いてもよく、また絶対位置を検出するアブソ
リリュートエンコータヲ用いてもよい。

また、実施例の波形メモリ２１０は、サンプルホールド
回路２１２）マルチプレクサ２１４、Ａ／Ｄ変換器２１
６およびメモリ２１８を含む。

そして、角度検出器５０から検出されるセグメント区間
検出信号Ｐ′に同期して、検出信号処理回路３２から出
力されるトルク検出信号Ｓと、較正信号発生器２００か
ら出力される較正信号Ｔｑと、温度検出器９０から検出
される検出温度Ｔとを同時にサンプルホールドする。そ
して、サンプルホールドされたこれら３個のデータは、
マルチプレクサ２１４を介してＡ／Ｄ変換器２１６に入
力され、ここでデジタル信号に変換された後、メモリ２
１８に記憶される。

ここにおいて、前記Ａ／Ｄ変換器２１６は、１２ビツト
のＡ／Ｄ変換を行うように形成されている。その理由は
波形メモリ２１０のアナログ−デジタル変換精度を、補
正係数として０．１％とするためである。

また、波形メモリ２１０の動作スピードは、データ記憶
スピードを決定する上で重要な要素である。例えば回転
速度を８，０００　ｒ　ｐ　ｍのトルク伝達軸１０から
、回転角で１度毎にデータを記憶するとすれば、１００
　ｘ　３８０　ｘ　３　＝　１０８　ｋ　Ｈｚのデータ
処理速度が必要となる。その理由は、トルク伝達軸１０
の１秒当りの回転数は、８．０Ｃ１Ｏｒ　ｐ　ｍ　ｘ（
Ｌ／８０）−１００回転であり、また１回転当りのセグ
メント数は３６０個であり、しかも本実施例では３チャ
ンネル分のアナログ／デジタル変換を同時に行っている
からである。

一般的には、波形メモリ２１０内に回転速度で１．００
０　ｒ　ｐ　ｍ程度でデータを記憶すれば十分である。

したがって、Ａ／Ｄ変換器２１６のアナログ−デジタル
変換スピードは、１８ｋＨｚ程度の変換周波数を用いれ
ば十分である。なお、実施例では余裕を見て１００ｋＨ
ｚ以上の変換周波数を持つＡ／Ｄ変換器２１６が用いら
れている。

また、本実施例ではデータの同時性が重要であるため、
サンプルホールド回路２１２として３チャンネル分のデ
ータを同時にサンプルホールドできるものを用いた。

また、波形メモリ２１０として、特に高速動作が必要な
ものでは、サンプルホールド回路２１２から出力される
３チャンネル分のデータを同時にアナログ−デジタル変
換できるよう、３個のＡ／Ｄ変換器２１６を用いデータ
を並列処理するように形成するようにするのが好ましい
。

また、本実施例の係数演算器２２０は、積和演算器２４
０、マイクロコンピュータ２４２）ＲＡＭ２４４および
ＲＯＭ２４６を含む。

そして、前Ｓ己ＲＯＭ２４６１こは、マイクロコンピュ
ータ２４２の動作プログラムが書込まれており、また、
前記ＲＡＭ２４４は第１図に示すレジスタ２３２として
機能するように形成されている。

また、前記積和演算器２４０は、第１図に示す２２２〜
２３０の各演算器と同じ働きをし、しかも各演算をパイ
プライン的に並列処理できるように形成されている。

そして、マイクロコンピュータ２４２は、ＲＯＭ２４６
内に格納された動作プログラムにしたがい、前記第１図
に示す制御器２３４と同じ役割を果し、メモリ２１８か
らＲＡＭ２４４へのデータ転送、積和演算器２４０への
データの受渡し、またこの演算器２４０の演算結果を受
取りＲＡＭ２４４へ格納する動作を行うよう形成されて
いる。

そして、このマイクロコンピュータ２４２は、このよう
な演算により得られる補正演算式の係数群を、ＦＲＯＭ
２５０へ書込み記憶する。

本実施例は以上の構成からなり、次にその作用を説明す
る。

まず、前記（４）式または（８）式に用いられる係数Ａ
、Ｂを、各セグメント区間毎に求める動作について説明
する。

第３図には、このような係数Ａ、Ｂを求める演算動作の
一例が示されている。本実施例では、まず、検出装置の
温度Ｔを一定に保ち、しかも平均印加トルクＴｑを一定
にする。そして、このとき波形メモリ２１０に人力され
る信号ｓ、Ｔｑ、”ｒを、セグメント区間検出信号Ｐに
同期して、トルク伝達軸１２の１回転分だけメモリ２１
８内に記憶する。

第１９図には、このようにしてメモリ２１８内に書込ま
れたセンサ出力Ｓと、較正信号発生器２００から出力さ
れる瞬時トルクＴｑの１回転分のデータが示されている
。なお、このデータ測定に際し、温度Ｔ−６０℃、平均
印加トルク〒ｑ−１０ｋｇｆ’ｍとした。

この測定では、平均印加トルク〒９が一定であるが、瞬
時印加トルクＴ９は変化している。したがって、センサ
出力Ｓは、瞬時印加トルクＴ９に対応した変化を示し、
しかもトルク伝達軸１０の回転に伴う感度の変動および
オフセット成分の変動を重畳した値となる。

第１９図では、１回転分のデータを示したが、本実施例
においては、１回転分のデータが記憶される。ここでは
ｒ−２２回転とした。

このｒ回転分のデータを平均印加トルク〒ｑを変化させ
ることにより、ｎ回測定し、これを波形メモリ２１０に
記録する。

第２０図には、このように平均印加トルク〒ｑをパラメ
ータとして求めたｎ組のデータ群が示されている。

そして、このようにして求めたデータ群を第２１図に示
すようにセグメント区間Ｐ″毎の小データ群に分類し、
各セグメント区間Ｐ”、毎にトルクとセンサ出力のテー
ブルを作成する。

そして、このようにして作成された各セグメント区間毎
の小データ群を（２７）、（２８）式に代入し、各セグ
メント区間毎のオフセット信号Ｏｆｆ５（Ｐ”）および
感度Ｓ　ｅｎｓ（Ｐ”）を求める。第１１図および第１
２図にはこのようにして求めた感度およびオフセット信
号が示されている。このようにして求められた感度およ
びオフセット信号は、各セグメント区間毎にＦＲＯＭ２
５０へ書込まれる。

前述したように、磁気センサ１２から出力されるセンサ
出力Ｓは、トルク伝達軸の回転に伴う感度変動（第１１
図）およびオフセット出力変動（第１２図）のために、
印加トルクＴｑは一定の場合でも第１６図に示すように
変化してしまう。

したがって、従来装置では、トルク伝達軸１０を介して
伝達される瞬時トルクＴｑを精度良く測定することがで
きなかった。

しかし、本発明によれば、第１１図および第１２図に示
すように、トルク伝達軸１０の回転位置Ｐに対応した感
度５ｅｎｓ（Ｐ”）およびオフセット信号Ｏｆｆ５（Ｐ
”）を各セグメント区間Ｐ′毎に演算し、予めＦＲＯＭ
２５０内にトルクしておく。このため、磁気センサ１２
の出力信号Ｓを、各セグメント区間Ｐ１毎にそれぞれ独
自の係数群をもった補正演算式、例えば（４）式を用い
補正演算処理し、感度とオフセット成分の補正を行うこ
とができる。

これにより、第１７図に示すように、瞬時トルクＴｑを
一定に制御すると、磁気センサ１２からはトルク伝達軸
１０の回転位置に依存しないほぼフラットな特性をもっ
た検出信号Ｓが出力される。

このため、トルク伝導軸１０の停止から高回転まで瞬時
トルクＴｑを高精度に検出することが可能となる。

また、第４図には、前記（８）式に示す温度係数ａｌ　
ｔ　　ｌ）ｌ　＊　　ａ２　＊　　ｂ２を求めるための
演算動作の一例が示されている。

第２０図に示すデータ群は、温度Ｔが一定の場合のデー
タ群であるが、このような温度係数ａｌ＋ｂｌｌ　　ａ
２１　　ｂ２を求める場合には、温度Ｔをパラメータと
して第２０図に示すようなデータ群を異なる温度で１回
測定し、第２２図に示すようなデータ群を求める。そし
て、このようにして求めたデータ群を波形メモリ２１０
内に記録する。

そして、係数演算器２２０は、第２°２図に示すように
、各温度Ｔについてのデータ群のそれぞれについて（８
４）、（３５）を用い平均感度および平均オフセット信
号を求める。

第１４図、第１５図には、このようにして求めた平均感
度および平均オフセット信号の温度依存特性が表わされ
ている。同図に示すように、平均感度および平均オフセ
ット信号は、温度Ｔの関数として変化することが理解さ
れよう。

このため、従来のトルク検出装置では、磁気センサ１２
から出力される信号Ｓが、第１６図に示すように、温度
Ｔの変化により変化してしまい、正確なトルク検出を行
うことができなかった。

これに対して、本発明の装置は、第１４図および第１５
図に示すように温度Ｔをパラメータとして求めた平均感
度および平均オフセット信号を用い、前記（３８）〜（
４５）式に基づき、その温度係数ａｌ　＋　ｔ）１　＊
　ａ２　＋　ｂ２を求めこれをＦＲＯＭ２５０に記憶さ
せる。

すなわち、第１４図、第１５図に示すように温度Ｔの関
数として得られた平均感度および平均オフセット信号を
次式で近似して、その係数ａＩｎｂｌ　＊　　ａ２　＋
　　ｂ２を係数演算器２２０により求める。

５ｅｎｓ（Ｔ）−３ｅｎｓ−ｆ　１（Ｔ）＝　３ｅｎｓ
　　　（ａ　Ｉ＋　ｂ　ＩＴ）　　　・・・（４８）Ｏ
ｒｒｓ（Ｔ）＝　Ｏｆｆ’ｓ　　　ｆ　２　　（Ｔ）−
５ｆｆｓ　　　　（ａ　２　　＋　ｂ　２　　Ｔ）　　
　−（４７）そして、これら各温度係数ａｌ　ｒ　　ｂ
ｌ　＋　　ａ２ｂ２をＰＲＯＭ２５０内に書込む。

したがって、このようにして求めた温度係数群と、前述
したように求めた各セグメント区間毎の係数群を用いる
ことにより、前記（８）式に基づき磁気センサ１２のセ
ンサ出力Ｓに対する補正演算を行うことができる。これ
により、トルク伝達軸１０の回転位置のみならず、温度
Ｔの変化による影響を受けることなく、トルク伝達軸１
０を介して伝達される平均トルクＴｑをより正確に測定
することが可能となる。

第１８図には、このようにして求めた瞬時トルクＴｑの
温度依存特性が示されている。なお、同図においては、
平均トルクＴｑは一定に制御されているものとする。

同図から明らかなように、本実施例の装置によれば、０
〜１５０℃にわたる広範囲な温度領域で、はぼフラット
な検出出力を得ることができ、このことからも本実施例
の装置によれば、温度Ｔの影響を受けることなく、瞬時
トルクＴｑを高い精度で測定することが可能となる。

なお、前記各実施例においては、センサ検出出力に位置
補正と温度補正を施す場合を例にとり説明したが、本発
明はこれ以外に、直線性の補正機能を付加することも可
能である。すなわち、トルク測定においてよく見られる
現象として、高トルク側でトルク検出出力が飽和すると
いう傾向にあるということが挙げられる。こうした問題
に対し、本発明を用いて直線性を補正することにより、
より高精度なトルク測定を行うことが可能となる。

この場合には、例えば補正変換テーブル等を採用すれば
よい。

また、前記実施例においては、係数演算器２２０として
、マイクロコンピュータ２４２とＲＡＭ２４４とが別体
に形成されたものを例にとり説明したが、これ以外に、
例えばＲＡＭが集積された１チツプマイクロコンピユー
タを用いてもよく、またデータ領域とプログラム領域を
分離し、専用の積和演算器を有し、高速演算が可能なり
ＳＰ（Ｄｅｇｌｔａｌ　Ｓｌｇｎａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓ
ｏｒ）を用いてもよい。

また、前記実施例においては、１組の総和器２２２）乗
算器２２４、割算器２２６、減算器２２８および加算器
２３０を用いた場合を例にとり説明したが、本発明はこ
れに限らず、これら各演算器を複数組設け、これら複数
組の演算器を互いに結合し、その演算を並列に行うこと
により、係数群の演算をより高速で行うよう形成しても
よい。

また、前記各実施例では被測定体として回転運動するト
ルク伝達軸を例にとり説明したが、本発明はこれに限ら
ず、並進往復運動するトルク伝達体に対しても同様に適
用可能であることは言うまでもない。この場合には、位
置検出手段は、被測定体の往復運動位置を任意の数のセ
グメント区間に分割し、被測定体の測定位置を対応する
セグメント区間信号として出力するように形成すればよ
い。

また、前記実施例ではヘッド型磁気センサを用いた場合
を例にとり説明したが、リング形状の磁気センサを用い
た場合にも適用可能であることはいうまでもなく、また
これ以外に磁気センサ以外の他のタイプの物理量センサ
を用いた場合においても適用可能であることはいうまで
もない。

また、前記実施例では、本発明のトルク検出装置に対し
適用した場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限
らず、これ以外の他の物理量、例えば力、歪、圧力、温
度、反射率を検出する物理量センサを用いた場合でも、
同様にして被測定体の位置および温度変動の影響を補正
できることは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るトルク検出装置に用いられる補
正係数群演算回路の好適な実施例を示すブロック回路図
、 第２図は、第１図に示す補正係数群演算回路の具体的な
回路構成を示すブロック回路図、第３図および第４図は
、第１図および第２図に示す補正係数群演算回路の動作
を示すフローチャ−ト図、 第５図および第６図は、前記第１図および第２図に示す
補正係数群演算回路に用いられる磁気センサの概略説明
図、 第７図および第８図は、従来技術において用いられる磁
気センサの概略説明図、 第９図は、第１図および第２図に示す回路に用いられる
磁気センサ用の駆動回路および検出信号処理回路のブロ
ック回路図、 第１０図は、従来のトルク検出装置のブロック回路図、 第１１図および第１２図は、回転体上の測定位置による
感度およびオフセット信号の変動を示す説明図、 第１３図は、磁気センサから出力される補正前のトルク
検出出力の説明図、 第１４図および第１５図は、温度による感度およびオフ
セット信号の変動を示す説明図、第１６図は、温度補正
を行う前のトルク検出出力の説明図、 第１７図は、感度およびオフセット信号の変動を補正し
た後のトルク検出信号の説明図、第１８図は、温度補正
を行った後のトルク検出出力の説明図、 第１９図〜第２１図は、第１図、第２図に示す回路の波
形メモリ内に記憶されるデータと、係数演算により取扱
われるデータの形状を示す説明図、第２２図は、温度補
正係数を演算するために、波形メモリ内に記憶されたデ
ータ群を係数演算器により取扱うためのデータ形状を示
す説明図、第２３図は、第１図および第２図に示す補正
係数群演算回路により演算された補正係数群を用いて、
磁気センサの出力を各セグメント区間毎に補正演算する
トルク検出装置の一例を示すブロック回路図である。 １０　・・・　トルク伝達軸 １２　・・・　磁気センサ ５０　・・・　位置検出器 ９０　・・・　温度検出器 ２００　・・・　較正信号発生器 ・・・　係数演算器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転または往復運動する被測定体の運動位置を任
   意の数のセグメント区間に分割しておき、前記被測定体
   の物理量を検出する物理量センサの出力を、各セグメン
   ト区間毎にそれぞれ独自の係数群をもった補正演算式に
   基づき演算処理し、オフセット成分と感度を補正する物
   理量検出装置であって、 前記係数群を各セグメント区間毎に予め測定する補正係
   数群演算手段を有し、 この補正係数群演算手段は、 前記被測定体の運動位置を検出するとともに、検出位置
   を対応するセグメント区間検出信号として出力する位置
   検出手段と、 前記物理量センサの出力較正用の較正物理量信号を出力
   する較正信号発生手段と 位置検出手段からセグメント区間検出信号が出力される
   度に、物理量センサの出力と較正信号発生手段から出力
   される較正物理量信号を各セグメント区間毎に記憶する
   波形メモリと、 前記波形メモリに各セグメント区間毎に記憶された物理
   量センサの出力と較正物理量信号とに基づき、前記補正
   演算式の係数群を各セグメント区間毎に演算する係数演
   算手段と、 を含むことを特徴とする物理量検出装置。
2. （２）特許請求の範囲（１）に記載の装置において、 前記波形メモリは、各セグメント区間毎に複数組の物理
   量センサ出力および較正物理量信号を記憶し、 前記係数演算手段は、波形メモリに記憶された複数組の
   物理量センサ出力および較正物理量信号を各セグメント
   区間毎に読出し、その物理量センサ出力群及び較正物理
   量信号群の誤差平均和が最少となるよう各セグメント区
   間の係数群を演算により求めることを特徴とする物理量
   検出装置。
3. （３）特許請求の範囲（１）、（２）のいずれかに記載
   の装置において、 前記補正係数群演算手段は、物理量検出装置の動作温度
   を検出する温度検出手段を有し、位置検出手段からセグ
   メント区間検出信号が出力されるたびに、物理量センサ
   の出力と、較正物理量信号と、温度検出手段の検出温度
   とを各セグメント区間毎に記憶するように形成され、 前記係数演算手段は、波形メモリに各セグメント区間毎
   に記憶されたデータ基づき、前記補正演算式の温度係数
   群を演算することを特徴とする物理量検出装置。