JPH02164706A - セラミツク前駆体化合物からの細かく分割されたカーバイド及びナイトライドの製造方法 - Google Patents

セラミツク前駆体化合物からの細かく分割されたカーバイド及びナイトライドの製造方法

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JPH02164706A
JPH02164706A JP1250825A JP25082589A JPH02164706A JP H02164706 A JPH02164706 A JP H02164706A JP 1250825 A JP1250825 A JP 1250825A JP 25082589 A JP25082589 A JP 25082589A JP H02164706 A JPH02164706 A JP H02164706A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、式MX、@またはR,MX、、[式中、 Xはハロゲンであり、そして Rは水素まl;はアルキルまたはアリールを表し、そし
て nは、lから元素Mの最高原子価段階より1少ない値を
有してよい整数である] の化合物から、炭化水素を含む反応性化合物及び/また
は炭化水素を含む化合物の反応性混合物との反応によっ
て、そして生成する生成物を熱分解して対応するカーバ
イドをあるいは付随する窒化によって対応するナイトラ
イド及び/またはカーボナイトライドを生成する、元素
の周期系の主族III及びIVそして亜族Ill、IV
、■及び■の元素の金属及び/またはメタロイドの細か
く分割されたカーバイド及び/またはナイトライド及び
/またはカーボナイトライドの製造方法に関する。
発明の背景 カーバイド、ナイトライドまたはカーボナイトライドを
金属またはメタロイドから製造する時には、細かく分割
された高品質の生成物を生成するために、遊離体(ed
ucts)を均一な分布で反応させる。
ある種のカーポサーマル(carbothermal)
プロセスにおいては、対応する酸化物及び、熱によって
分解された時に高い炭素の残査を有しそしてそれ故金属
酸化物及び非金属の酸化物の還元のだめの細かく分割さ
れた炭素の源として利用できる有機炭化水素化合物(多
くの場合には液体として)の混合物から出発することに
よって均一な分布が達成される。
もし酸化性化合物をまた極端に細かく分割された形で使
用するならば、付加的な改良が得られる。
かくしてセラミック プレタン(Bulletin)、
63巻、NO,8(1984)に従って、細かく分割さ
れたまたは液体の金属または非金属成分を、コロイド5
i02またはメチルトリメトキシシランとのプロセス中
に置く。しかしながら、コロイドSin、は高価で複雑
な火炎加水分解の方法によって製造されそしてアルコレ
ートはアルコール分解の方法によって製造されるが、こ
れはこの方法を不経済にする。もう一つの欠点は、有機
炭化水素化合物に加えて、水が溶媒またはゲル化剤とし
て使用され、この水を一50°Cでの凍結乾燥の長たら
しい方法によってゲルから取り出すことである。
このゲルを引き続いて500〜800°Cの温度で5i
n2及びCに転換しそして1600°Cの温度で4〜1
6時間反応させてSiCを生成する。得られた生成物は
、この手の込んだ方法にも拘わらずなお未反応SiO□
によって汚染されている。
US−A 3085863によれば、SiC粉末の製造
のためにアルコキシドまたはコロイドSiO□の代わり
に出発材料としてSiC1gを使用する。しかしながら
、炭素の源として使用される蔗糖水溶液のために、時間
を消費する蒸留のプロセス(200〜300℃で24時
間)を、SiCへの転換を1800℃で実施できるよう
になる前に、シリカゲルを脱水するために引き続いて実
施しなければならない。加水分解反応はいずれにせよ激
しいので、S+CIaの導入は極めてゆっくりと実施し
なければならない。この方法は、SiC+、が導入され
る装置の部分において閉塞が起き易いという事実によっ
てさらに複雑になる。
アドバンスト セラミック マテリアルズ(Advan
ced Ceramic Materials) 2(
3AX1987)253−56によれば、アルコキシド
が再びSi、N、及びAINの製造のために使用される
がこれらのアルコキシドは加水分解のプロセスによって
油煙の上にゲルとして沈析する。使用されるコストのか
かる出発材料を別にしても、このプロセスが要求する低
い圧力での脱水が、このプロセスを工業的規模で経済的
に実施することができるかどうかを疑問あるものにする
さらにまた、1500°Cで製造された粉末は、Si、
N。
に関して2%のOそしてAINに関して3.1%のOに
のぼる、受は入れられない高い酸素含量を有する。
硼酸とグリセロールのポリマーのエステルの熱分解によ
るボロンナイトライド及びポロンカーバイドの製造方法
がケミストリー レターズ(Chemistry Le
ttersX1985)691−692中に述べられて
いる。
これらのオルガノボレートエステルから製造されたホウ
素含有セラミック粉末の欠点は、最終生成物への乏しい
反応である。得られたポロンナイトライドは、ボロンカ
ーバイドでひどく汚染されている。
特許出願EP−A O239301もまた、多価アルコ
ールのエステルの熱分解(1800°Cまで)によるナ
イトライド及びカーバイドの製造方法を述べている。
上で述べた方法とは対照的に、エステル化に使用される
出発材料は、酸化物ではなくて、すべての特許実施例に
おいて述べられているように、コストのかかる金属アル
コキシドまたは非金属のアルコキシドである。
使用されるアルコール成分は、少なくとも二つあるいは
好ましくはそれによってポリマーへの僑かけ結合が起き
るように二つより多いヒドロキシル基を含む化合物であ
る。
11iフルコール、エチレングリコール及ヒクリセロー
ルは、金属まt;は非金属のアルコキシドとのエステル
化を受はアルコールを遊離する。平衡を生成物の側に移
動するために、このアルコールは長いプロセスによって
留去しなければならない。
炭素含量を増すために、小量の有機化合物、例えばフル
フリルアルコールを必要に応じて添加する。
それ故、この方法は、高価な出発材料(アルコレート)
及びコストがかかりかつ時間を消費するプロセスのステ
ップのために不経済である。
本発明の目的は、高価でなくかつ非常に純粋な化学品を
出発材料として使用することができそして上で述べt;
諸方法の欠点を持たない、ナイトライド、カーバイド及
びカーボナイトライドの製造方法を提供することである
。さらにまた、出発材料は、コストのかかるかつ時間を
消費する上で述べたプロセスステップなしで、カーバイ
ド、ナイトライドまたはカーボナイトライドに転換する
ことができなければならない。
これらの要件を満たす方法がここに驚くべきことに見い
出されI;。この方法においては、高価でないハロゲン
化物を、エステル化または加水分解の手の込んだ予備の
ステップなしで出発材料として直接使用することができ
る。
発明の詳細な説明 元素の周期系の主族III及びIVそして亜族I[[、
IV、V及び■からの元素のカーバイド、ナイトライド
またはカーボナイトライドは、 i)式MX、またはRoMX、、−。
c式中、 Mは、元素の周期系の主族IIIまたはIVあるいは亜
族III、IV、VまたはVIからの元素であり、Xは
ハロゲンであり、 Rは水素またはアルキルまたはアリールであり、mはM
の原子価段階に対応する整数であり、nは、lからMの
原子価段階より1少ない数までの整数である] の化合物を、重合可能でありそして一つのC−OH基を
有する反応性化合物を含む反応性炭化水素含有化合物ま
たは化合物の混合物と反応させること、そして 1i)i)から生成する生成物を熱的に分解して対応す
るカーバイドにあるいはさらに窒化して対応するナイト
ライドまたはカーボナイトライドにすること によって製造される。
金属ハロゲン化物またはメタロイドハロゲン化物は、自
発的な、これまで解明されていない反応によってC−O
H官能基の重合可能な化合物またはこのような化合物の
混合物と反応してM−0−Cを含むセラミック予備生成
物への重合を受け、そしてこの予備生成物は簡単な熱処
理によって所望の非常に純粋な耐火金属化合物またはメ
タロイド化合物に転換することができる。
発明の詳細な説明 かくして本発明は、式MX、及び/またはR,MX□−
1 [式中、 Xはハロゲンであり、そして Rは水素、アルキルまたはアリールを表し、そして nは、■から元素Mの最高原子価段階より1少ない値を
有する整数を表す] の化合物から、炭化水素を含む反応性化合物及び/また
は炭化水素を含む化合物の反応性混合物との反応によっ
て、そして生成する生成物を熱分解して付随する窒化に
よって対応するナイトライド及び/またはカーボナイト
ライドを生成する、元素の周期系の主族III及びIV
そして亜族III、IV、V及びVIの元素の金属及び
/またはメタロイドの細かく分割されたカーバイド及び
/またはナイトライド及び/またはカーボナイトライド
の製造方法であって、炭化水素を含む反応性化合物及び
/または炭化水素を含む化合物の反応性混合物がCOH
基を含みそして重合可能であることを特徴とする方法に
関する。
本発明による方法は、使用される金属またはメタロイド
化合物に依存して、黒い粉末としであるいは黒い脆い固
体としてのどちらかとして得られるポリマーの生成物を
与える。もしプロセスが適切に実施されれば、セラミッ
ク予備生成物中の化合物の分子的に分散された分布が得
られる。高い比表面積の細かく分割されたセラミック粉
末を引き続く熱分解から得ることができる。焼入れ(t
emperiB)の間の気体の雰囲気としての窒素の使
用及び、元素によって変わる特定の限界の温度の維持は
、結果としてナイトライドの生成をもたらし、一方もし
適切により高い温度を使用するかあるいはもし水素また
はCOのような不活性保護ガスまたはガス類を使用すれ
ばカーバイドを得ることができる。もし刀−バイト/ナ
イトライド混合相またはカーボナイトライドの生成が所
望であれば、これは、温度及び雰囲気の組成を変えるこ
とによって容易に達成することができる。
本発明による方法は、結果として予備生成物中の上で述
べた化合物の分子的に分散された分布をもたらすので、
酸化物/炭素混合物が出発材料として使用されるカーポ
サーマルプロセスとは対照的に、か焼のために小過剰の
炭素しか必要としない。なお残るかもしれない未反応の
炭素は追加のプロセスステップによって除去することが
できる。
炭化水素を含む化合物の反応性混合物は、例えば、ホル
ムアルデヒドを有するフェノールまたはフェノール誘導
体でよい。この例においては、重合は、酸で接触された
重縮合反応として進行する。
使用される別の炭化水素含有化合物は、重合可能な一価
アルコールまたはその一価誘導体、好ましくはフルフリ
ルアルコールまたはその誘導体である。フルフリルアル
コールに酸を添加すると、酸の強さに依存して、このア
ルコールは、自発的に反応して重縮合あるいは煙りを発
生しながらの激しい分解を受ける。
使用される炭化水素化合物の量を低く維持するために、
上で述べた化合物のような芳香族化合物またはそれらの
混合物を使用することを薦める。
何故ならば重合の後で生成物を熱分解にかけるとこれら
はしばしば高いコークス(coking)残査を有する
からである。多くのその他の炭化水素化合物は、熱分解
の後で小量のコークス残査しか持たない。
式MX、[式中、Xはハロゲンイオン例えばクロリドま
たはプロミドである1の化合物の形で使用される金属及
び/またはメタロイドは、好ましくはT1、Hf、Zr
% V、Nb、Ta、Cr。
Mo及び/またはWそして主族元素B、AI及び/また
はSlである。これらの化合物は非常に純粋な形で容易
に製造することができる。
経済的な理由のために、塩化物例えばT1ClいZ r
C1,、BCl3、A Ic 1.または5iC1+が
、カーバイド、ナイトライドまt;はカーボナイトライ
ドの製造のために好ましく使用される。
使用される金属オルガニル(organyl)化合物は
、好ましくは式R,MX、−,[式中、Rは水素及び/
またはアルキル及び/またはアリール基を表し、そして
nは、1から元素Mの原子価段階より1少ない数までの
整数の値を有する]の化合物または化合物の混合物であ
る。Rは、好ましくは水素をあるいは同一のまたは異な
るc、−CMの基、特にメチルまたはフェニル基を表す
。これらの化合物は、蒸留の方法によって高程度の純度
に容易に持っていくことができる。式R、M X ++
+−+の化合物は、原則的には式R、M X m−+の
その他の化合物とのあるいはまた弐MXffiの化合物
との混合物として使用することもできるが、このような
混合物を使用しても、生成物の品質あるいは方法を実施
する容易さへの正の影響は観察されないので、混合物の
使用は、それらが合成の結果として生成し、その場合に
は蒸留による分離のコストを省くことができる時だけに
、意義がある。
化ft物R、M X ff1−、においては、クロリド
官能基が、その低いコストのために官能基Xとして好ま
しく、例えば化合物CHs S i Cl 3、(CH
3)2 S iC1□、(CH1)zHS iCI及び
CHsHS iC12である。ハロゲン化物を使用する
別の利点は、それらが強いルイス酸でありそしてそれ故
多くの反応性混合物においてそれらの触媒活性によって
自発的な重合をもたらすことである。もし金属化合物ま
たはメタロイド化合物が強いルイス酸ではないかあるい
はもし反応性有機化合物が酸触媒の助けによって重合す
ることができなければ、本化合物のポリマーの生成物へ
の転換は、触媒量の酸の添加によっであるいは化合物に
対する別の重合触媒の添加によって本発明に従ってもた
らされる。
本化合物の所望のポリマーの生成物への転換は、好都合
には溶媒中で行われる。何故ならばこれは、プロセスを
簡単化するからである。この反応は原則的には溶媒なし
で実施することもできるが、これは、出発成分の均一な
混合物の製造におけるあるいは反応の熱の除去における
困難をもたらすかもしれない。溶媒例えばトルエン、ア
セトンまたは塩化メチレンは、撹拌による反応物の均一
な混合物の製造を簡単にするばかりでなくまた揮発する
溶媒によって反応の熱の除去を容易にする。
反応の速度は、出発化合物の濃度、それらの反応性及び
温度に依存する。AlCl3及びフルフリルアルコール
と共に、例えば塩化メチレンを溶媒として使用する時に
は、重縮合を含む反応は、使用される希釈剤に拘わらず
、室温で成分が混合されると直ちに完結する。
上で述べた当該技術の現状に対する本発明による方法の
利点の一つは、高分子量の予備生成物の製造を、多官能
アルコール例えばグリセロールと酸まt;は酸誘導体例
えばテトラエトキシシランまたは酸無水物例えばB、0
3との長たらしいエステル化反応によって実施しないこ
とである。このエステル化反応が上で述べたすべての欠
点を有する。
急速な酸で接触された重合は、結果として、高いコーク
ス残査を有しそして溶媒の除去の後で茶色がかった黒い
粉末または脆い固体としてしばしば得られる、高度に僑
かけされたポリマーを与える。
それらは可融性ではなくそしてそれ故困難なく熱分解す
ることができる。
金属及び/またはメタロイドを含むポリマー生成物は、
真空あるいはN2、N2、COまたはArまたはこれら
の混合物の不活性または還元性雰囲気中で実施される第
一熱処理段階において1ooo00の温度tこ加熱して
よい。分解は一般に数段階で進行し、本当のククッキン
グプロセスは、ガスの発生を伴って300°Cの温度で
始まる。その温度に達する前に、使用される出発化合物
に依存して、HC1%H,Oまたはアルコールが発生す
るかもしれない。ガスの発生は70Q’Cまでの温度で
実質的に完結するが、個々のケースにおいては1000
°Cまでのより高い温度が必要かもしれない。
本発明による方法の好ましい実施態様によれば、もし熱
処理の第一段階の間のガス雰囲気が10〜100010
0Oの分圧でスチームを含むならば、ハロゲン化水素を
完全に除去することができるであろう。
スチームと炭素との反応を避けるために、スチームを導
入する時には850°0の温度を越えてはならない。も
し後続する高温段階の間のハロゲンのまたはハロゲン化
水素の発生を避けたいのであれば、ハロゲンの完全な除
去を薦める。ハロゲン化合物は、それらの腐食性のため
に、高温処理のために使用される炉及びるつぼのための
材料の選択を制限するであろう。
熱分解の第一段階において製造される生成物は、放射線
学的に無定形ないし部分的に結晶性の構造及び高い比表
面積を有する黒い粉状または粒状固体である。それらは
、金属またはメタロイド元素、酸素及び炭素から成り、
そしてまたもし上で述べたスチームによる処理を実施し
なければ小量のハロゲンをも含む。
金属またはメタロイドからのカーバイドの製造のために
は、熱的に前処理された生成物を、不活性または還元雰
囲気中で1000℃〜1800°Cの温度で第二熱処理
によってアニールする。希ガス、−酸化炭素、水素また
はこれらのガスの混合物がこの目的のl;めに適当であ
る。
本発明による方法は、例えば、カーポサーマルプロセス
におけるよりもかなり低い温度、より短いか焼時間及び
より小量の炭素を使用するという利点を有する。この原
因は、本発明による方法において形成されるポリマーの
予備生成物のまだ解明されていない構造にあるに違いな
い。
金属またはメタロイドからのナイトライドまたはカーボ
ナイトライドの製造のためには、熱的に前処理された生
成物を、ガス状窒素またはアンモニアガスまたはアンモ
ニアと窒素のガス状混合物のガス雰囲気中で100(1
〜1800℃の温度で第二熱処理にかける。カーバイド
の生成に関するのと同様にこの窒化も他の方法における
よりも低い温度及び短い滞留時間で達成される。加えて
、この細かく分割されたナイトライドまたはカーボナイ
トライド粉末は一般にかなり比較的低い酸素含量を有す
る。
空間/時間収率を増しそしてプロセスをより経済的にす
るために、生成物を第二熱処理の前に圧縮するのが好ま
しい。圧縮は、例えば、ローラーコンプレッサー、真空
ローラーコンプレッサーまたはエツジランナーミキサー
中で実施してよい。
金属またはメタロイド化合物から製造されたカーバイド
、ナイトライド及びカーボナイトライドは、過剰の炭素
の残査を除去するために、800°Cまでの温度で酸素
含有雰囲気中で熱後処理にかけてよい。
本発明による方法は、高い比表面積を有する細かく分割
された焼結物の活性な粉末を与える。あるプロセス条件
下で得られるゆるい集塊は、それらを短時間粉砕するこ
とによって破壊することができる。得られる粉末は、化
学的に純粋でありそして、金属ハロゲン化物またはメタ
ロイドハロゲン化物の使用にも拘わらず、たとえ重合の
後でスチーム処理によって残留ハロゲンを除去しなくて
も、予想外に低いハロゲン含量を有することが驚くべき
ことに見い出される。
以下に本発明を実施例の助けによってさらに詳細に説明
するが、これらの実施例は本発明を限定するものとはみ
なされない。
実施例1 700m lの塩化メチレン中の130.0gのフルフ
リルアルコールの溶液を、800+nlの塩化メチレン
中の266.7gの塩化アルミニウムの懸濁液に撹拌及
び還流冷却しながら30分以内に滴加した。蒸留による
塩化メチレンの除去の後で、372gの茶色がかった黒
い粉状の固体が後に残った。
この粉末を、窒素雰囲気中で第−熱処理において6時間
以内に600°Cに加熱しそしてそれをこの温度で6時
間保持した後でゆっくりと冷却した。
以下の化学組成を有する、192gの黒い細かく分割さ
れた放射線学的に無定形な粉末が得られた:Al・26
.9%;0=23%;C=36%;CI=4%。これは
、l:1.45:3のAl:O:Cの比に対応する。比
表面積は62m2g−’である。
第一熱処理からの15.79gの物質を窒素雰囲気下で
グラファイトるつぼ中で1650℃で5時間加熱した。
冷却の後で9.04g(=57%)が細かく分割された
黒い固体として残った。この生成物は、結晶性AIN(
X線回折分析)及び放射線学的に無定形な炭素から成っ
ていた。化学分析によると28%の炭素含量及び0.3
9%の酸素含量であった。
第二熱処理からの7.93gの物質をコランダムるつぼ
中で空気中で700°Cで5時間焼入れして過剰の炭素
を除去した。
0.18%ノ炭素含量、0.90%ノ酸素含量及び0.
005%の01含量を有する、細かく分割された薄い灰
色のAIN粉末(5,70g・72%残査)を製造する
ことができた。
比表面積は3.1m2g””であることがわかった。ラ
スター電子顕微鏡(REV)写真から測定した一次(p
r imary)粒径は0.3μm以下であった。プロ
セスに投入されたAlCl、の量を基にした、AINの
収率は96%であった。
実施例2 3100gのAlC1,を10す7トルの塩化メチレン
及び1.5リツトルのアセトン中に溶かし、そして5リ
ツトルの塩化メチレン中の1250gのフルフリルアル
コールの溶液を実施例1におけるように添加した。
溶媒を留去した。次に粉状の反応生成物を石英球(bu
lb)中でN2下で200°Cで2時間、400°Cで
さらに2時間そして次に900°Cで6時間加熱した。
以下の化学組成を有する、1950gの粉状の部分的に
結晶性の固体(α−A12Ch)が得られた: C=4
4%;0=30%;C1=0゜20%;BET=468
m2g−’ (Nzによる一点測定)。
この粉末の一部(500g)を、1550°Cで10時
間までで実施された第二熱処理によって結晶性AIN(
34の炭素含量及び1.4:2%の酸素含量を存するT
iN粉末0g)に転換した。
この粉末(10,2g)からの炭素の除去は実施例1に
おけるように実施した。以下の化学組成を有するAIN
粉末(6,6g)が得られた二N・33%:C・0.0
88%:0・0.93%;C1<0.005X;BET
=5.1m2*g−’ ;−次粒u (REV写真によ
る)<0.3μm0 実施例3 700m lの塩化メチレン中の44gのフルフリルア
ルコールを、実施例1におけるように2.5時間以内に
Iooomlの塩化メチレン中の95gのT1Cl+の
溶液に添加した。次に黒い溶液を1時間撹拌しそして最
後に溶媒を留去した。
茶色がかった黒い粉末の第一熱処理は、500°Cで窒
素雰囲気下で10時間実施したが、この時間の終わりに
は71gの放射線学的に無定形な粉末が後に残った。
第二熱処理においては、20gのこの粉末を、窒素雰囲
気下で1400℃に15時間加熱することによってチタ
ンナイトライド(log残査)に転換した。23%が得
られt;。
本発明の主なる特徴及び態様は以下の通りである。
l)元素の周期系の主族III及びIVそして亜族■、
■、■及び■からの元素の細かく分割されたカーバイド
、ナイトライドまたはカーボナイトライドの製造方法で
あって、 i)式MX、またはR,MX−。
[式中、 Mは、元素の周期系の主族IIIまたはIVあるいは亜
族m、rv、vまたは■からの元素であり、Xはハロゲ
ンであり、 Rは水素またはアルキルまたはアリールであり、mはM
の原子価段階に対応する整数であり、nは、1からMの
原子価段階より1少ない数までの整数である] の化合物を、重合可能でありそして一つのC−OH基を
有する反応性化合物を含む反応性炭化水素含有化合物ま
たは化合物の混合物と反応させること、そして 1i)i)から生成する生成物を熱的に分解して対応す
るカーバイドにあるいはさらに窒化して対応するナイト
ライドまたはカーボナイトライドにすること を有して成る方法。
2)該重合可能な化合物の混合物がC−OH基含有炭化
水素含有化合物またはそれらの混合物及びホルムアルデ
ヒドから成る、上記lに記載の方法。
3)−COHを含む化合物がフェノールまたはフェノー
ル誘導体である、上記2に記載の方法。
4)反応性の重合可能な化合物がアルコールである、上
記lに記載の方法。
5)該アルコールがフルフリルアルコールまたはその誘
導体である、上記4に記載の方法。
6)元素Mが、Ti%Hf、Zr、V%Nb。
Ta、Cr、Mo及びWから成る群から選ばれたーまた
はそれ以上の金属である、上記lに記載の方法。
7)Mが元素B、AIまたはSlの−またはそれ以上で
ある、上記lに記載の方法。
8)反応性の重合可能な化合物が、R、M X m−a
[式中、Rはメチルまたはフェニルを表す]と反応させ
られるアルコールである、上記lに記載の方法。
9)反応i)が溶媒中で実施される、上記lに記載の方
法。
lO)反応i)が重合触媒の存在下で実施される、上記
lに記載の方法。
11)熱分解i)が、i)からの生成物を、不活性また
は還元性雰囲気中であるいは真空下で1000℃までの
温度への第一熱処理段階にかけることを有して成る、上
記lに記載の方法。
12)もし雰囲気中であれば該第−熱処理段階が、生成
物によるハロゲン化水素の完全な除去のI;めに充分な
lO〜looombarの分圧でスチームを含む、上記
10に記載の方法。
13)熱分解■)が、不活性ガス雰囲気または還元性雰
囲気中の1000°C−1800°Cの温度での付加的
な第二熱処理を有して成る、上記10に記載の方法。
14)処理される材料を第二熱処理の前に圧縮する、上
記13に記載の方法。
15)熱分解Li)の後で、得られたカーバイド、ナイ
トライドまたはカーボナイトライドを、過剰の炭素の除
去のために酸素を含む雰囲気中で800°Cまでの温度
での熱後処理にかける、上記lに記載の方法。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 周期律表の主族III及びIVそして亜族III、IV、V及びV
    Iからの元素の細かく分割されたカーバイド、ナイトラ
    イドまたはカーボナイトライドの製造方法であって、 i)式MX_mまたはR_nMX_m_−_a[式中、 Mは、周期律表の主族IIIまたはIVあるいは亜族III、I
    V、VまたはVIからの元素であり、 Xはハロゲンであり、 Rは水素またはアルキルまたはアリールであり、mはM
    の原子価段階に対応する整数であり、nは、1からMの
    原子価段階より1少ない数までの整数である] の化合物を、重合可能でありそして一つのC−OH基を
    有する反応性化合物を含む反応性炭化水素含有化合物ま
    たはそれらの化合物の混合物と反応させ、そして ii)i)から生成する生成物を熱的に分解して対応す
    るカーバイドにするかあるいはさらに窒化して対応する
    ナイトライドまたはカーボナイトライドにする ことを特徴とする方法。
JP1250825A 1988-10-01 1989-09-28 セラミツク前駆体化合物からの細かく分割されたカーバイド及びナイトライドの製造方法 Granted JPH02164706A (ja)

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