JPH02163944A - 半導体装置のペレット吸着方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体装置における短冊状の半導体ペレット
（以下、半導体バーと呼ぶ）の吸着方式に関する。その
利用用途としては、半導体レーザーのポイントスクライ
バ（短冊状のレーザーのバーを１個ずつのペレットに分
割するためにケガキを入れる装置）におけるバーの自動
移載時の吸着や、短冊状のＬＥＤアレイの組立時におけ
るバーの移載時の吸着などがある。

〈従来の技術〉 半導体バーの寸法は幅が約０．２５ｍ會、長さがｌＯ〜
２０■１、厚さが１００〜２００μｍと極めて微細であ
り、このため、半導体バーのハンドリングはバーの一端
をピンセット等ではさんで行なうのが一般的である。

しかし、人手による方法は能率が悪いことから、自動化
装置が用いられつつある。自動化装置により半導体バー
をハンドリングする方法として真空吸着が用いられる。

従来では、第７図に示すように、先端部に複数個の真空
吸着穴１２が一列に設けられた真空吸着コレット１１に
対して、トレイ１４のポケット１５に入っている半導体
バー１３がコレット１１の真空吸着穴１２の列と一致す
るようにトレイ１４の位置を調整した後、コレット１１
を降下させ、半導体バー１３に先端部を接触させ真空引
きすることにより、コレット１１に半導体バー１３を吸
着させる。その後、コレット１１を所定位置へ移動させ
、半導体バー１３を搬送する。なお、第７図には仮想的
に半導体バー１３がポケット１５から浮き上がったかの
ように示されているが、実際にはポケット１５内に半導
体バー１３が入っている。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述のように半導体バー１３をトレイ１４へ載置した状
態で半導体バー１３の位置をコレット１１の真空吸着穴
１２の列と一致させる必要があり、半導体バー１３が真
空吸着穴１２の列から大きくずれないようにするため、
トレイ１４のポケット１５の幅Ｗは半導体バー１３の幅
Ｗよりわずかに広い程度とする必要がある。このため、
半導体バー１３をトレイ１４へ載置するのを人手によっ
て行なう場合、作業が煩雑であり、能率が悪いという問
題があった。

一方、トレイ１４への載置を容易にするためにポケット
１５の幅Ｗを広くした場合は、半導体バー１３の位置が
定まらないため、パターン認識等による自動位置合わせ
装置を必要とし、設備コストが高くなる。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的は、トレイのポケットの幅が広い場合でも、パターン
認識等を必要とせずに半導体バーを確実に吸着できるよ
うにした半導体装置のペレット吸着方式を提供すること
である。

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、本発明によるペレット吸着
方式は、ペレット幅Ｗに等しいかやや小さめの直径の真
空吸着穴がペレット幅Ｗに等しいかやや大きめの間隔で
一列に複数個設けられたコレットと、複数本の半導体バ
ーを並置する複数の溝を有するトレイとを使用し、トレ
イの溝の中に置かれた半導体バーをコレットの真空吸着
穴の列の方向が半導体バーの方向と交差する角度でコレ
ットに吸着する。

〈作用〉 本発明によるペレット吸着方式は、コレットの真空吸着
穴の列の方向と交差する位置で半導体バーを吸着する。

したがって、コレットに対する半導体バーの厳密な位置
合わせを不要とし、トレイの広幅の溝に適当に置かれた
半導体バーを確実に吸着することができる。

〈実施例〉 第１図は本実施例の半導体バー吸着方式を説明する底面
図、第２図は側面図であり、図中、１はコレット、２は
半導体バー、３はトレイである。

コレット１は、その下端面に複数個の真空吸着穴４が一
列に並んで設けられている。この真空吸着穴４は、直径
が半導体バー２の幅Ｗに等しいかやや小さめであり、例
えば約２００μｍである。この真空吸着穴４の中心の間
隔は半導体バー２の幅Ｗに等しいかやや大きめで例えば
０　、３　ｍｍである。

真空吸着穴４は８個設けられており、この真空吸着穴４
が並んだ幅はトレイ３のポケット６の幅Ｗより大きい。

コレット１の下端部分には、真空吸着穴４の列と平行方
向に面取り部５が設けられている。この面取り部５は、
コレット１の取付時に真空吸着穴４の列の方向をトレイ
３のポケット６の長手方向と直角に合わせるための目印
として設けられでいる。このコレット１は、その上端が
図示しない真空源に配管により接続されている。さらに
、このコレット１は、図示しない移動機構に取り付けら
れている。

半導体バー２は、真空吸着によるハンドリングの対象と
なるもので、幅Ｗが０．２５ｕ程度、長さｌが１０〜２
０關、厚さが１００〜２００μｍ程度である。

トレイ３は、半導体バー２を複数本並べて載置するもの
であり、第３図に示すように、半導体バー２が１本ずつ
入る溝状のポケット６が横方向に複数設けられている。

このポケット６は、半導体バー２の幅Ｗに対して十分に
広い幅Ｗを有し、その幅Ｗとしては例えば２龍程度であ
る。ポケット６のほぼ中央部分には、ポケット６の内部
に置かれた半導体バー２を吸着する際のコレット１の下
降時にコレット１の先端を逃げるための切欠き７が設け
られている。また、ポケット６の図中右端部には、切欠
き８が設けられている。この切欠き８は、作業者が半導
体バー２をポケット６にビンセット等ではさんで並べる
際の作業性を良くするために設けられている。このトレ
イ３は、図示しない電動Ｘ−Ｙステージ上に置かれ、Ｘ
、Ｙ各軸方向に移動可能である。

以下、動作について説明する。

まず、作業者が第５図に示すようにトレイ３のポケット
６に半導体バー２を１本ずつ並べる。その後、このトレ
イ３をＸ−Ｙステージ上にセットする。次に、第６図に
示すように、ポケット６の切欠き７の中央位置がコレッ
ト１の真下にくるようにＸ−Ｙステージを駆動してトレ
イ３を位置決めする。この状態では、コレット１の真空
吸着穴４の列の方向は、トレイ３のポケット６の長手方
向と直交する。

次に、コレット１を降下させ、ポケット６内の半導体バ
ー２にその下端面の真空吸着穴４を接触させる。その後
、真空引きを行なうと、真空吸着穴４の真空圧によって
半導体バー２はコレット１の下端面に吸着される。次に
、移動機構の駆動によって、コレット１は、半導体バー
２を吸着した状態で第６図に矢印Ａで示すように上昇、
水平移動、下降を行い、所定位置に到達する。その後、
真空引きを停止すると、半導体バー２は吸着が解かれ、
所定位置に置かれる。

以後、トレイ３をポケット６のピッチずつ移動させ、コ
レット１の上記動作によって、トレイ３上に置かれた半
導体バー２を１本づつ所定位置へ順次移送する。

コレット１による半導体バー２の吸着においては、ポケ
ット６内に適当に置かれたすなわちコレット１の真空吸
着穴４の列の方向に対して半導体バー２の方向がばらつ
いても、真空吸着穴４の列が半導体バー２と交差するた
め、半導体バー２に８個の真空吸着穴４の中のどれかが
接し、そこから発生する真空吸着力により吸着が確実に
行われる。なお、１個の真空吸着穴４の吸引によって半
導体バー２に対する吸着力が十分に得られることが実験
によって確かめられている。

〈発明の効果〉 以上説明したように本発明においては、コレットの真空
吸着穴の列の方向と交差する位置で半導体バーを吸着す
るようにしたので、半導体バーの位置が多少ばらついて
いても確実に吸着することができる。したがって、吸着
に先立って半導体バーをトレイ上へ並べる作業が容易に
なり、能率が向上し、また、自動化が容易である。さら
に、複雑かつ高価な設備を必要とせず、従来の設備の簡
単な改造だけで対応できるので、コストアップにならな
い。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明実施例の構成を示す平面図、第２図は本
発明実施例の構成を示す側面図、第３図は本発明実施例
のトレイの平面構造を示す図、 第４図は本発明実施例のトレイの側面構造を示す図、 第５図は本発明実施例のトレイの部分構造を示す図、 第６図は本発明実施例の動作を説明する図、第７図は従
来例の構成を示す斜視図である。 ・コレット ・半導体バー ・　トレイ ・真空吸着穴 ・ポケット ・切欠き

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ペレット幅ｗに等しいかやや小さめの直径の真空吸着穴
   がペレット幅ｗに等しいかやや大きめの間隔で一列に複
   数個設けられたコレットと、複数本のペレットを並置す
   る複数の溝を有するトレイとを使用し、上記トレイの溝
   の中に置かれたペレットを上記コレットの真空吸着穴の
   列の方向がペレットの方向と交差する角度でコレットに
   吸着するようにしたことを特徴とする半導体装置のペレ
   ット吸着方式。