JPH0216039U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案になるレンズ集光特性測定装置
の一実施例構成図、第２図は本考案の要部である
繰り返し周期型ストツパの具体的な構成図、第３
図は従来のレンズの集光特性測定装置の構成を示
す図、第４図は繰り返し周期型ストツパ２の具体
的な構成を示す図、第５図Ａ〜Ｃは夫々、発振器
の出力、受光素子の出力、微分された信号の波形
を示す図、第６図Ａ，Ｂ及び第７図Ａ，Ｂは、夫
々、第５図Ｂ，Ｃ注にある時間部分を時間軸上に
拡大した場合にオシロスコープで観測できる信号
波形を示す図である。 １……レンズ集光特性測定装置、２，４０……
繰り返し周期スリツト、３……受光素子、５_−１
〜５_−ｎ……遮光帯部、６_−１〜６_−ｎ……光透
過帯部、７……レンズ、８……第１のレーザー光
源、９……反射鏡、１３……駆動装置、１４……
オシロスコープ（表示手段）、３１……第２のレ
ーザー光源、３２……偏光プリズム、３３……１
４λ板、３４……ダイクロイツクミラー、３５…
…２分割検出器、３６……差動アンプ、３７……
フオーカス制御回路、３８……アクチユエータ３
８、４２……反射部、４３……スリツト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 受光素子上に配され、所定の繰り返し周期で形
   成されたスリツトと、このスリツトに隣接して形
   成された反射部とを有する繰り返し周期スリツト
   と、 集光特性を測定すべきレンズにより集光され、
   前記スリツト近傍上に集光される第１のビームス
   ポツトを生成する第１のレーザー光源と、 前記レンズにより集光され、前記反射部上に集
   光され、前記第１のビームスポツトとは異なる波
   長を有する第２のビームスポツトを生成する第２
   のレーザー光源と、 前記第１のビームスポツトと前記スリツトとの
   相対位置を変える相対位置変化手段と、 この相対位置変化手段の動作時、前記受光素子
   で検出される検出信号に基づいて前記レンズの集
   光特性を表示する表示手段と、 前記反射部に集光された前記第２のビームスポ
   ツトの反射光に基づいて、前記レンズのフオーカ
   スサーボを行なうフオーカスサーボ手段とを有す
   ることを特徴とするレンズ集光特性測定装置。