JPH02160006A - 揮発性有機物の除去装置 - Google Patents
揮発性有機物の除去装置Info
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- JPH02160006A JPH02160006A JP31471188A JP31471188A JPH02160006A JP H02160006 A JPH02160006 A JP H02160006A JP 31471188 A JP31471188 A JP 31471188A JP 31471188 A JP31471188 A JP 31471188A JP H02160006 A JPH02160006 A JP H02160006A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は揮発性有機物の除去装置に係り、特に被処理水
中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を除去する
揮発性有機物の除去装置に関する。
中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を除去する
揮発性有機物の除去装置に関する。
近時、半導体等の洗浄水に′用いられる純水及び超純水
の水質の要求は厳しくなり、特に、半導体洗浄水中に溶
存している有機物は微量であっても半導体の歩留まりを
悪くする為、有機物の除去が望まれている。
の水質の要求は厳しくなり、特に、半導体洗浄水中に溶
存している有機物は微量であっても半導体の歩留まりを
悪くする為、有機物の除去が望まれている。
前記有機物を除去する除去装置の一つとして、紫外線照
射装置を用いて被処理水に紫外線を照射し、被処理水中
に水酸ラジカル及びオゾンを生成させ、これらの酸化力
によって被処理水の有機物を分解させて除去し、洗浄用
超純水を採取している。
射装置を用いて被処理水に紫外線を照射し、被処理水中
に水酸ラジカル及びオゾンを生成させ、これらの酸化力
によって被処理水の有機物を分解させて除去し、洗浄用
超純水を採取している。
又は、他の除去装置として、逆浸透膜を用いて被処理水
中の有機物を除去している。
中の有機物を除去している。
一方、脱気を目的としている装置としての真空脱気搭に
は、有機物の除去装置は設けられてはいない。
は、有機物の除去装置は設けられてはいない。
しかしながら、前記紫外線照射装置では、被処理水中に
溶存している有機物はアルコール、メタノール等の低分
子から成る揮発性有機物であるので、前記有機物を除去
する為には照射量を大きくしなければならず、コストが
かかる欠点を生じさせていた。
溶存している有機物はアルコール、メタノール等の低分
子から成る揮発性有機物であるので、前記有機物を除去
する為には照射量を大きくしなければならず、コストが
かかる欠点を生じさせていた。
また、逆浸透膜を用いる除去装置では、低分子から成る
揮発性有機物の除去が不可能という欠点があった。
揮発性有機物の除去が不可能という欠点があった。
一方、真空脱気搭によって脱気された被処理水中には前
記揮発性有機物が多量に溶存されているという欠点があ
った。
記揮発性有機物が多量に溶存されているという欠点があ
った。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたちので、被処
理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を効率
良く除去する揮発性有機物の除去装置を提供することを
目的とする。
理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を効率
良く除去する揮発性有機物の除去装置を提供することを
目的とする。
本発明は前記目的を達成する為に、被処理水を温める加
熱部と、加熱部で温められた被処理水が供給される容器
と容器に取付けられ、容器内を真空にし被処理水中の溶
存酸素を除去する吸気装置と、容器内に複数配置され、
けい素樹脂、ポリフッ化エチレン系繊維等から構成され
た多孔質状の脱気膜、中空糸膜から成るフ′イルタ部と
、から成り、被処理水中の溶存酸素を除去すると共に揮
発性有機物を蒸発させて、吸気装置によって吸引除去す
ることを特徴とする。
熱部と、加熱部で温められた被処理水が供給される容器
と容器に取付けられ、容器内を真空にし被処理水中の溶
存酸素を除去する吸気装置と、容器内に複数配置され、
けい素樹脂、ポリフッ化エチレン系繊維等から構成され
た多孔質状の脱気膜、中空糸膜から成るフ′イルタ部と
、から成り、被処理水中の溶存酸素を除去すると共に揮
発性有機物を蒸発させて、吸気装置によって吸引除去す
ることを特徴とする。
本発明は前記目的を達成する為に、真空ポンプによって
容器内を真空にし、容器内の被処理水中の溶存酸素を除
去する真空脱気搭に於いて、前記真空脱気搭内に加熱部
を配置し、この加熱部により被処理水を温めて被処理水
中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を蒸発させ
て、真空ポンプによって吸引除去することを特徴とする
。
容器内を真空にし、容器内の被処理水中の溶存酸素を除
去する真空脱気搭に於いて、前記真空脱気搭内に加熱部
を配置し、この加熱部により被処理水を温めて被処理水
中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を蒸発させ
て、真空ポンプによって吸引除去することを特徴とする
。
本発明によれば、加熱部によって温められた被処理水を
、容器内に配置した中空糸膜に透過させる。また、前記
容器は吸気装置によって真空にされているので、前記中
空糸膜から透過した揮発性有機物は真空中に蒸発し、溶
存酸素と共に吸気装置に吸気されて除去することができ
るようになる。
、容器内に配置した中空糸膜に透過させる。また、前記
容器は吸気装置によって真空にされているので、前記中
空糸膜から透過した揮発性有機物は真空中に蒸発し、溶
存酸素と共に吸気装置に吸気されて除去することができ
るようになる。
一方、真空脱気搭は、脱気塔内部に加熱部を設けて、前
記塔内に流入した被処理水を温めて被処理水中の揮発性
有機物を真空中に蒸発させる。これによって、被処理水
中の溶存酸素と共に真空ポンプによって吸引除去するこ
とができるようになる。
記塔内に流入した被処理水を温めて被処理水中の揮発性
有機物を真空中に蒸発させる。これによって、被処理水
中の溶存酸素と共に真空ポンプによって吸引除去するこ
とができるようになる。
以下添付図面に従って本発明に係る揮発性有機物の除去
装置の好ましい実施例を詳説する。
装置の好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係る揮発性有機物の除去装置の第１実
施例を示す構造図が示されている。
施例を示す構造図が示されている。
第１図に於いて、この揮発性有機物の除去装置は給水ポ
ンプ３６、加温装置３８、容器３０．容器３０内を真空
にする吸気装置４２及び排水ポンプ４０等から構成され
ている。
ンプ３６、加温装置３８、容器３０．容器３０内を真空
にする吸気装置４２及び排水ポンプ４０等から構成され
ている。
また、前記容器３０内には、けい素樹脂又はポリフッ化
エチレン系繊維等から成る多孔質状の中空糸膜３４が多
数配首されている。
エチレン系繊維等から成る多孔質状の中空糸膜３４が多
数配首されている。
前記給水ポンプ３６から送り出された被処理水は、加温
装置３８により温められ、吸気装置４２によって真空に
された容器３０内に流入し中空糸膜３４に通される。流
入した被処理水の溶存酸素及び揮発性有機物は、中空糸
膜３４から透過し、吸気装置４２によって吸引除去され
て処理される。
装置３８により温められ、吸気装置４２によって真空に
された容器３０内に流入し中空糸膜３４に通される。流
入した被処理水の溶存酸素及び揮発性有機物は、中空糸
膜３４から透過し、吸気装置４２によって吸引除去され
て処理される。
そして処理水は排水ポンプ４０によって採取されるよう
に構成されている。
に構成されている。
次に、前記の如く構成された揮発性有機物の除去装置の
第１実施例の作用について説明する。
第１実施例の作用について説明する。
被処理水を給水ポンプから加温装置３８に送り出し、こ
の加温装置３８から吸気装置４２によって真空度１〜２
０Ｔｏｒｒ程度にされた容器３０内に流入させる。この
場合、容器３０内に流入させる被処理水を、前記加温装
置３８によって約り０℃〜５０℃位迄温めて、容器３０
内に配置された中空糸膜３４に流入させる。
の加温装置３８から吸気装置４２によって真空度１〜２
０Ｔｏｒｒ程度にされた容器３０内に流入させる。この
場合、容器３０内に流入させる被処理水を、前記加温装
置３８によって約り０℃〜５０℃位迄温めて、容器３０
内に配置された中空糸膜３４に流入させる。
これによって、被処理水中の揮発性有機物は被処理水が
温められているので中空糸膜３４から透過し、透過した
前記有機物は真空中に蒸発して吸気装置４２によって吸
引除去することができるようになる。
温められているので中空糸膜３４から透過し、透過した
前記有機物は真空中に蒸発して吸気装置４２によって吸
引除去することができるようになる。
第２図は本発明に係る揮発性有機物の除去装置の第２実
施例を示す構造図が示されている。
施例を示す構造図が示されている。
第２図に於いて、この揮発性有機物の除去装置は、真空
脱気搭１０．スチームエジェクター２４、スチーム配管
１２、給水ポンプ２０及び排水ポンプ２２等から構成さ
れている。
脱気搭１０．スチームエジェクター２４、スチーム配管
１２、給水ポンプ２０及び排水ポンプ２２等から構成さ
れている。
前記スチーム配管１２は真空脱気搭１０内に配置され一
端がスチームエジェクター２４を介してスチーム２６に
取付けられている。また、前記スチームエジェクター２
４によって前記脱気塔ＩＱ内が真空状態にされている。
端がスチームエジェクター２４を介してスチーム２６に
取付けられている。また、前記スチームエジェクター２
４によって前記脱気塔ＩＱ内が真空状態にされている。
前記給水ポンプ２０から送り出された被処理水は、真空
脱気搭１０の上部から流入し充填材１６を透下し前記脱
気塔１０内部に被処理水１８として貯水されて、排水ポ
ンプ２２によって採取されるように構成されている。
脱気搭１０の上部から流入し充填材１６を透下し前記脱
気塔１０内部に被処理水１８として貯水されて、排水ポ
ンプ２２によって採取されるように構成されている。
次に、前記の如く構成された揮発性有機物の除去装置の
第２実施例の作用について説明する。
第２実施例の作用について説明する。
被処理水を給水ポンプ２０から、スチームエジェクタ２
４によって真空にされている真空脱気搭１０内に流入さ
せる。流入した被処理水は充填材１６に滴下して、充填
材１６の表面に拡がり、この状態で被処理水中の溶存酸
慎を真空中に除去する。更に、スチーム配管１２にスチ
ームを通すことによって前記状態の被処理水を温めて、
被処理水中の揮発性有機物を真空中に蒸発させる。従っ
て、蒸発した前記有機物は前記溶存酸素と共にスチーム
エジェクタ２４によって吸引除去することができるよう
になる。
４によって真空にされている真空脱気搭１０内に流入さ
せる。流入した被処理水は充填材１６に滴下して、充填
材１６の表面に拡がり、この状態で被処理水中の溶存酸
慎を真空中に除去する。更に、スチーム配管１２にスチ
ームを通すことによって前記状態の被処理水を温めて、
被処理水中の揮発性有機物を真空中に蒸発させる。従っ
て、蒸発した前記有機物は前記溶存酸素と共にスチーム
エジェクタ２４によって吸引除去することができるよう
になる。
第３図では第３実施例が示され、第３実施例では、第２
図に示した第２実施例におけるスチーム配管１２が、ヒ
ータ１４を用いた加熱部に構成され、また、スチームエ
ジェクタ２４に真空ポンプ２５が用いられている。
図に示した第２実施例におけるスチーム配管１２が、ヒ
ータ１４を用いた加熱部に構成され、また、スチームエ
ジェクタ２４に真空ポンプ２５が用いられている。
以上のような構成であっても第２実施例と同様に、被処
理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を真空
ポンプ２５によって吸引除去することができるようにな
る。
理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性有機物を真空
ポンプ２５によって吸引除去することができるようにな
る。
以上説明したように本発明に係る揮発性有機物の除去装
置によれば、けい素樹脂、ポリフッ化エチレン系繊維等
から成る膜を真空容器内に配置し、温められた被処理水
をこの容器内に流入させたので、被処理水中の溶存酸素
を除去すると共に揮発性有機物を吸気装置によって吸引
除去することができる。
置によれば、けい素樹脂、ポリフッ化エチレン系繊維等
から成る膜を真空容器内に配置し、温められた被処理水
をこの容器内に流入させたので、被処理水中の溶存酸素
を除去すると共に揮発性有機物を吸気装置によって吸引
除去することができる。
一方、真空脱気搭内にスチームヒータ等の加熱部を設け
たので、被処理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性
有機物を真空ポンプ等によって吸引除去することができ
る。
たので、被処理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発性
有機物を真空ポンプ等によって吸引除去することができ
る。
第１図は本発明に係る揮発性有機物の除去装置の第１実
施例を示す斜視図、第２図は本発明に係る揮発性有機物
の除去装置の第２実施例を示す構造図、第３図は本発明
に係る揮発性有機物の除去装置の第３実施例を示す構造
図である。 １０・・・真空脱気搭、 １２・・・スチーム配管、１
４・・・ヒータ、 １６・・・充填材、 ２０・・
・ポンプ、２２・・・水ポンプ、 ２４・・・スチーム
エジェクタ、２５・・・真空ポンプ、 ２６・・・ス
チーム、 ３０・・・容器、 ３２・・・脱気膜、
３４中空糸膜、 ３６・・・給水ポンプ、 ３８・・・
加温装置、 ４０・・・排水ポンプ、 ４２・・・吸
気装置。 出願人 日立プラント建設株式会社
施例を示す斜視図、第２図は本発明に係る揮発性有機物
の除去装置の第２実施例を示す構造図、第３図は本発明
に係る揮発性有機物の除去装置の第３実施例を示す構造
図である。 １０・・・真空脱気搭、 １２・・・スチーム配管、１
４・・・ヒータ、 １６・・・充填材、 ２０・・
・ポンプ、２２・・・水ポンプ、 ２４・・・スチーム
エジェクタ、２５・・・真空ポンプ、 ２６・・・ス
チーム、 ３０・・・容器、 ３２・・・脱気膜、
３４中空糸膜、 ３６・・・給水ポンプ、 ３８・・・
加温装置、 ４０・・・排水ポンプ、 ４２・・・吸
気装置。 出願人 日立プラント建設株式会社
Claims (2)
- （１）被処理水を温める加熱部と、 加熱部で温められた被処理水が供給される容器と、 容器に取付けられ、容器内を真空にし被処理水中の溶存
酸素を除去する吸気装置と、 容器内に複数配置され、けい素樹脂、ポリフッ化エチレ
ン系繊維等から構成された多孔質状の脱気膜、中空糸膜
から成るフィルタ部と、 から成り、被処理水中の溶存酸素を除去すると共に揮発
性有機物を蒸発させて、吸気装置によって吸引除去する
ことを特徴とする揮発性有機物の除去装置。 - （２）真空ポンプによって容器内を真空にし、容器内の
被処理水中の溶存酸素を除去する真空脱気搭に於いて、
前記真空脱気搭内に加熱部を配置し、この加熱部により
被処理水を温めて被処理水中の溶存酸素を除去すると共
に揮発性有機物を蒸発させて、真空ポンプによって吸引
除去することを特徴とする揮発性有機物の除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31471188A JPH02160006A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 揮発性有機物の除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31471188A JPH02160006A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 揮発性有機物の除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02160006A true JPH02160006A (ja) | 1990-06-20 |
Family
ID=18056640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31471188A Pending JPH02160006A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 揮発性有機物の除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02160006A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07709A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 脱気装置 |
| WO2000053292A1 (de) * | 1999-03-10 | 2000-09-14 | Metallgesellschaft Ag | Verfahren und vorrichtung zur trennung von flüssigen und/oder dampfförmigen stoffgemischen durch pervaporation und/oder dampfpermeation |
| US6755898B2 (en) * | 2002-07-26 | 2004-06-29 | Daewoo Electronics Corporation | Oxygen-enriched air supplying apparatus |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187006A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-17 | Hitachi Ltd | Deaerating device |
| JPS6068010A (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-18 | Yamatake Honeywell Co Ltd | オイル脱気装置 |
| JPS6333434A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Nippon Rubber Co Ltd | フオ−ムラバ−の製造法 |
| JPS63158106A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 脱気方法 |
-
1988
- 1988-12-13 JP JP31471188A patent/JPH02160006A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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