JPH02159400A - 金属シート基材から保護被覆を電気分解により除去する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、シート類から保護層を取除くことに関する
。より詳しく言うと、この発明は、金属シート、例えば
プリント回路板、銅の箔、その地間様のものから例えば
種々のクロム酸塩の被覆のような保護被覆を電気分解に
より除去する方法及び装置に関する。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕湿式処
理の技術分野においては、より詳しく言うとエレクトロ
ニクス産業においては、プリント回路板、プリント回路
フィルム、箔及びその種の他のもののようなシートはこ
れらのシート上に電子部品を配置するのに先立って様々
な処理工程を経験する。そのような処理を行う間に、物
品の表面は電流の流れのための経路を用意するために一
般にエツチングされる。このようなエツチングは、一般
にはマスキング操作後に行われ、そのマスキング操作の
間にシートの一部にエツチングを避けたい前もって定め
られた帯域を用意し、そして未被覆の層をエツチングし
、次いですすぎ洗い、乾燥等を行う。

シートの所望する表面にマスクを適用する前又は後に、
シートはそれらが加工される源から湿式処理装置へ供給
され、そしてマスクの適用は一般にはそれよりも前のあ
る時点で行なわれ、シートは使用するために必要とされ
るまでの間しばしば保管される。

シートを製造してからのこの期間に、そしてそれらを湿
式処理にかける以前に、シートを保護するために、シー
トを一般に保護層で被覆して、それらを取扱い又は保管
する間それらを保護してその表面に掻き傷ができるのを
避ける。

そのような保護被覆はしばしば酸化物の被覆であり、最
も多いのはクロム酸塩である。そのようなりロム酸塩の
一つはクロム酸亜鉛（ＺｎＣｒ０４）である。時には、
被覆は追加して、又はその代りに、ラッカー又は同様の
物質を使用する。

このような被覆を取除くために、シートは種々の研削、
研摩、こすり取り、ブラシがけ、ホーニング操作、又は
他の同様の操作により機械的に加工されることがある。

ところが、エレクトロニクス産業における開発がもっと
洗練されるとともに、プリント回路シートは、シートに
損傷を与えずに、あるいは下にあるシートの金属を、す
なわち一般には銅を、不都合に薄くせずに、機械的な研
摩技術により保護被覆を取除くことが極めて難しくなる
ように、ますます薄くなる傾向がある。

それゆえに、保護層の機械的な除去には限界がある。

例えばシートを高温の塩酸のような酸の噴霧にさらすこ
とによるような、保護被覆の化学的な除去も試されてい
る。しかしながら、そのような酸は下にある一般には銅
の基材をしばしば攻撃するので、そのような化学的除去
には限界があり、そしてそれは時には望ましくない、と
いうことも分っている。

一部の除去技術では酸化物の被覆を取除くのにアルカリ
性溶液を利用するが、そのようなアルカリ性溶液は基材
を、特にそれが銅である場合に、一般には攻撃しないと
しても、どの酸化物が存在するかに応じて取除かれる被
覆の量がはっきりしないため、そのような除去技術にも
限界がある。

従って、このような従来の技術は、プリント回路シート
から保護被覆を取除くことに関して不十分である。

〔課題を解決するための手段、実施例、及び作用効果〕

本発明は、湿式処理操作の一部としてプリント回路板、
フィルム、箔又は他の同様のもの（シート）を水平方向
に連続的に供給しながら保護被覆を電気分解的に取除く
ことによって、これらのプリント回路板、フィルム、箔
又は他の同様のものくシート）から電気分解により除去
可能な保護被覆を除去することに関する。

よって、金属シートからそのような保護被覆を取除くた
めの新しい方法を提供することが本発明の目的である。

一般に水平の進路に沿ってシートが連続的に且つ絶え間
なく供給される上記の方法を提供することが、この発明
の別の目的である。

シートが処理されている時にそれらを一般に平らな水平
面に維持して上記の目的を達成することが更に別の目的
である。

シートをそれらの進路に沿って移動させながら、且つシ
ートを電解液の浴に漬けながら、陽極として機能するシ
ートと浴の中に配置される陰極との間の電流の流れを維
持することにより上記の目的を達成することが、この発
明のもう一つの目的である。

接触ローラーによ嘴浴においてシートとの電気的接触を
維持しながら上記の目的を達成することが、この発明の
更に別の目的である。

シートを一般には水平の進路に連続的に且つ絶え間なく
移動させながら、また水平に向けながら、そしてシート
を、好ましくは水酸化ナトリウムの溶液を含んでなるア
ルカリ性の浴を通して進ませながら、湿式処理操作の一
部としてプリント回路板、フィルム、又は他のシートか
らクロム酸塩酸化物を除去することが、この発明の別の
目的である。

この発明の更にそのほかの目的は、上記の目的を達成す
るのに適した装置を提供することにある。

本発明の他の目的及び利点は、以下に掲げる好ましい態
様の詳しい説明、図面の簡単な説明、そして特許請求の
範囲の記載を読むことにより、当業者には容易に明らか
となろう。

次に、好ましい態様を詳しく説明する。

第１図を詳細に参照すれば、プリント回路板、箔、フィ
ルム又は他の同様のもののシートＳの供給されるのが分
る。シートＳは、それぞれ少なくとも一つの金属層を含
んでなり、そして大部分はそれぞれ、その上に酸化物の
被覆を有する多数の銅の箔の層を一般に含んでなる（こ
の酸化物被覆は一般にはクロム酸塩の被覆であって、時
によるとクロム酸亜鉛の被覆でよい）。汚染に対して保
護される条件で通常のように一般的に保管及び取扱いさ
れてきたシートＳは、このように、１０で一般的に指示
されている湿式処理装置へ供給される。

湿式処理装置１０は、装置全体の一部として作られた多
数の別々のステーションを含んでなることができ、ある
いは、特定の湿式処理装置が機能を果すことができるよ
うに様々な機能を果すモジュールを多数含んでなること
ができる。

場合によっては、特に保護層が非常に厚い場合には、そ
してシー）Ｓが同じように厚い場合には、石粉によるこ
すり取り、ブラシかけ又はペーパーホーニング工程のよ
うな従来技術の予備的除去技術を前もって実施して、保
護層の一部を取除いてもよい。しかしながら、最も一般
的には、本発明にあってはそのような従来技術の研削技
術は必要でもなく、化学的な除去技術が必要でもない。

そうは言っても、それらを本発明と共に利用しても酸塩
過酸化物エツチング剤、塩化第二銅／塩化第二鉄エツチ
ング剤、あるいは様々な種類のエツチング剤を使用する
ことができよう。

いずれにしても、第１図に例示されているように、シー
トＳは電解作用により被覆を除去するステーション１１
へこうして供給される。第１図においては、シートＳは
人口モジュール１３の一部を構成する複数の被動ローラ
ー１２上に配置して示されている。シートＳは、次いで
、上ローラ−１５及び下ローラ−１６により形成される
ダムを通過して、すなわちこれらのローラーの間のニッ
プを通過して、室１４に入る。ローラー１５及び１６の
一方又は両方は、シートＳにそこを通過させるために開
き、その後ばねのような作用でロール間のニップを再び
閉じて、第１図に示されている電解溶液７が漏れ出すの
を防止するように、適当なりッション又はばねに作動さ
れる手段により変形可能である、ということは理解され
よう。

電解液は、好ましくは、保護層を除去するための適切な
化学作用を有するアルカリ性溶液である。

そのような溶液の一つは水酸化す）　ＩＪウムであり、
そして効果的であることが分っている特定の水酸化ナト
リウム溶液濃度は１０％であって、この濃度の水酸化ナ
トリウム溶液はシー）Ｓの銅を浸蝕しない。

次に、シートＳは、それが上方及び下方の被動電極ロー
ラー１８及び２０の間に進むまで、それがローラー１５
及び１６を通過する時に連続して駆動されながら（望ま
しければローラー１５及び１６を駆動してもよい）、一
般には水平の進路に沿って一般には水平の方向に移動す
るように送られる。第１図に示されているように、複数
組の電極ローラー１８及び２０を進路に沿って用意して
も差支えない。−組の電極ローラーのそれぞれは、第１
図に示されているように、適当な導体２１により接続さ
れており、そしてこの導体２１自体は、導体２２．２３
（上下の組のローラーを電気的に接続するため擬似的に
図示されている）及び２４を介して電気的に接続され、
これらの電極ローラーは図に示されるように主陽極端子
２５と主陰極端子２６を通して適当な電圧源の作用を受
けて陽極として機能する。

ローラー１８及び２０を駆動するための手段は、米国特
許第４０１５７０６号明細書に示されるように、好まし
くはここでの湿式処理装置１０を構成するモジュール又
はステーションの全てのためにローラーの全てを駆動す
るためにつながれた共通の駆動手段によって、複数の歯
車をその端部から回転させるために示されている手段と
同様の手段でよい。

同じように、入ロスチージョン１３、出ロスチージョン
５３、及び中間のステーションは、上述の米国特許明細
書に示されているのと同様に構成してよい。

電解液７の液面２７は電極ローラー１８のレベルよりも
上にあり、そして陰極２８も電解液中にあって、電流が
陽極１８．２０から陰極２８へ流れるのを容易にする、
ということが分るであろう。陰極２８はシートＳから陰
極への電流の流れを容易にし、且つローラー陽極１８．
２０から直接陰極に至る電流の流れを促進しないように
、浴７の範囲内の様々な場所に配置することができる、
ということも明らかであろう。

この発明の方法にあっては、保護被覆がクロム化合物で
あって水酸化ナトリウムの浴７を用いる場合には、陰極
からは水素がそして陽極からは酸素が放出され、クロム
酸塩化合物が最初は陰極に付着する。この点で、陰極は
所望の場合には鋼で作っても差支えない。浴７について
は、電流の流れがない場合又は電流の流れがある場合に
銅のような基礎材料を攻撃しない水酸化ナトリウム溶液
のような溶液を使用する、ということも注目されよう。

一部の金属化合物にあっては、沈殿物が陰極２８で生じ
る場合に、それらはクロム酸塩化合物が還元されるにつ
れて溶液から沈殿してきて浴７の底部でスラッジを形成
する。このスラッジは、ポンプ３１によりタンク１１の
下部に位置するろ過器３０へ徐々に抜き出される。ポン
プ３１は、タンク１１の下部に集まって上部タンクに戻
る溶液をタンク１１の下端部から補充ライン２９を経由
して上部タンクの床１９より上に送り、上部タンクに補
充する役目も果す。上部タンクからの溶液７は、浴７に
撹拌作用を与えるために排液管３９を経て下部タンクへ
液抜きすることができる。これに関しては、溶液をポン
プで上部タンクへ送るためのシステムは米国特許第４４
５９１８３号明細書に開示されているものと同様である
。ろ過器３０は定期的に交換して、上記の如く形成され
たスラッジを取除くことができる。

上部タンクは第１図に示されるように単一の上部タンク
でもよく、あるいは所望ならば水平に配置した一連のタ
ンクでもよい。

シートＳは、前もって決められた進路に沿って送られな
がら室１４を通り抜ける間にクロム酸塩又は他の保護被
覆の全てを除去する十分なだけの期間室１４において処
理された後に、反対側の出口ダムロール３２及び３３の
間に形成されるニップを通して室１４の外へ送り出され
る。

ステーション１１の長さは、シートＳが進む方向のステ
ーション１１の長さがシートＳがこのステーションを通
って連続的に通過するのを可能とするように、所定の浴
溶液が所定の基材から所定の厚さの保護被覆を除去する
のに要する時間に従って予め決定される、ということが
注目されよう。

この発明によれば、たとえシートＳが必要とされるより
も長い間溶液７の中に取り残されるとしても、基材に対
して損傷は少しも与えられないはずであるから、保護層
は下にある基材を損傷することなしに除去される。過度
の除去はあり得す、たとえそれがあるとしても被覆の全
体についてだけのことである。

また、一部の金属化合物は溶液から沈殿してろ過器３０
でもって集められるべきスラッジになるので、陰極２８
にクロムが過度に付着することもない。

シートＳは、ステーション１１を通過した後、後続の処
理ステーション、例えば、エツチングステーション３５
、すすぎステーション３６や、所望ならば３７で示され
ているような種々の中間ステーションへ、そして恐らく
は所望に応じて乾燥ステーション３８のようなステーシ
ョンへ連続的に送られ、この間シートＳは第１図に示さ
れるように水平にして、一般には水平の進路に沿って送
られる。上記の後続処理ステーションは全て、連続湿式
処理装置の一部としてのステーションである。

大抵の場合には、後に乾燥ステーション３８が続くすす
ぎステーション３６が一般に利用されるので、エツチン
グステーション３５は被覆除去ステーション１１の直ぐ
後にほこない。とは言うものの、所望ならば、そしてシ
ートＳがステーション１１で取除かれる保護被覆を通用
する以前にエツチングのために別に準備されている場合
には、シートＳは多分直接エツチングステーション３５
へやっても差支えない。そのような場合には、シートが
被動ローラーに沿って進むにつれてそれらにエツチング
液がうまく吹付けられるよう、ポンプ４２から配管４１
を経由して供給される適当なエツチング液をスプレーヘ
ッダー４０から配給することができる。

全体装置１０の一部として、すすぎステーション３６は
一般に、シートＳがステーション３６を通り抜ける時に
それらをすすぎ洗いするために水を供給し、このような
すすぎ水は第１図に示されているようにポンプ４６から
ヘッダー４５を経由して供給される。

乾燥ステーション３８では、やはりシートＳが連続的に
そこを通って送られている間に、それらがそこを通過す
るにつれてそれらを都合よく乾燥させるために、空気ポ
ンプ５１から送り出されて加熱器５０より供給される熱
風が上方及び下方の排気口５２から供給され、シートＳ
は最終的にそこを通過して湿式処理装置から排出コンベ
ヤーユニット５３へ送り出される。

そのようなステーションは、所望ならば、上述の米国特
許第４０１５７０６号明細書に記載される同様のステー
ションに準拠して組み立てて差支えない。

この米国特許明細書の開示全体は参照によりここに組み
入れられる。

スプレーヘッダー４０．４５は一般に、装置を横の方向
に横切って延びるということ、そしてそれらは所望なら
ば、公知の技術に従って溢流管（ｆｌｏｏｄｂａｒｓ）
として作製することができるということが、ここで理解
されよう。同様に、排気口５２もまた装置を横の方向に
横切って延ばすことができ、そして公知の技術に従って
作製することができる。

ステーション１１の出口端部で排出ニップ又はダムを形
成するローラー３２．３３の操作方法は、ローラー１５
．１６について上で説明したのと同様である。

更に、ステーション３５〜３８はプリント回路構成要素
を製作するのに使用されるシートＳを適当に処理するた
めの代表的ステーションとして単に示されているに過ぎ
ない、ということが理解されよう。そのようなステーシ
ョンで果すことができる他の処理工程には、脱脂工程、
すすぎ工程、乾燥工程、スミア除去工程、検査工程、エ
ッチバック工程や、予備浸漬、活性化及び同様の湿式処
理工程が含まれよう。そのような工程を実施する際には
、種々の公知の構成要素及び種々の公知特許文献による
構成を利用してもよい。例えば、米国特許第３９０５８
２７号明細書による種々の噴霧、ポンプ移送及び液溜め
の操作を利用することができ、米国特許第３７７６８０
０号明細書からは種々のエツチング及びろ過操作を利用
することができ、米国特許第３８０１３８７号明細書に
記載されているような種々のエツチング剤除去技術を利
用することができる。

同じように、米国特許第４０１７９８２号明細書に記載
されているような種々の乾燥技術を利用してもよく、更
に、この発明の種々の処理ステーションを、米国特許第
４０１５７０６号及び同第４０４６２４８号明細書の原
理に従って同じように一緒に且つ共通の駆動装置に接続
されたモジュールにまとめても差支えない。好ましい態
様においては、処理されるシートは一般に水平の進路を
移動するばかりでなく、なおその向きを一般に平らな水
平面にも合わされる、ということが更に理解されよう。

とは言うものの、そのより広い側面においては、本発明
は米国特許第４４０２７９９号明細書に開示されている
向きと同じように垂直の向きで水平に輸送されている物
品を処理することを包含することができる。

更に、本発明の方法のそのほかの改変や変更は、特許請
求の範囲に明示されている本発明の範囲内にあるものと
理解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、模式的に例示されているタイプの装置により
被覆の除去が行われ、続いてエツチング、すすぎ洗い、
乾燥及び同じような湿式処理操作が行われる、本発明に
よる多数の処理工程を説明する模式説明図である。 図中、７は電解液の浴、１０は湿式処理装置、１１は電
解被覆除去ステーション、１３は人ロスチージョン、１
５．１６は人口ダムローラー、１８．２０は陽極ローラ
ー、２８は陰極、３０はろ過器、３１はポンプ、３２．
３３は出口ダムローラー、３５はエツチングステーショ
ン、３６はすすぎステーション、３７は中間ステーショ
ン、３８は乾燥ステーション、５３は出ロスチージョン
、 Ｓはシート。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、次の工程（ａ）〜（ｆ）、すなわち、 （ａ）保護被覆のある表面部分を有する少なくともいく
   らかの平らな外表面があるシートを用意する工程、 （ｂ）これらのシートを予め定められた一般に水平な進
   路に沿って連続的に且つとだえることなく送る工程、 （ｃ）上記のシートをそれらの一般に水平な進路に沿っ
   て連続的に送りながらこれらのシートを電解液の浴の中
   に浸漬させる工程、 （ｄ）上記の浴中に少なくとも一つの陰極を用意する工
   程、 （ｅ）上記シートを上記浴を通してそれらの進路に沿っ
   て送りながらこれらのシートを連続して陽極と電気的に
   接触させる工程、 （ｆ）これらの陽極シートと上記陰極との間に電流の流
   れを維持してこれらのシートから保護被覆を電気分解に
   より除去する工程、 を含んでなる、金属シートから電気分解により除去可能
   な保護被覆を取除くための方法。 ２、前記シートをそれらの一般に水平な進路に沿って送
   りながらそれらを一般に平らな水平面で一般に平らな水
   平の向きに維持する工程が含まれている、請求項１記載
   の方法。 ３、前記シートをそれらの一般に水平な向きに維持しな
   がら前記浴からこれらのシートを連続的に且つとだえる
   ことなく取出す工程が含まれている、請求項２記載の方
   法。 ４、前記シートを前記陽極と電気的に接触させる前記工
   程に前記シートを前記浴を通して送りながらこの浴中で
   接触ローラーと連繋（ｅｎｇａｇｅ）させることが含ま
   れている、請求項２記載の方法。 ５、前記シートを浴中に浸漬させる前記工程に、該浴へ
   の入口及び出口に電解液の浴のためにダムとして機能す
   るように相対する対のローラーを用意し、それと同時に
   該電解液の浴を上記相対する対のローラーよりも高いレ
   ベルに維持することが含まれている、請求項２記載の方
   法。 ６、前記シートがそれらの予め定められた進路に沿って
   進んでいる時及びそれらが一般に水平の向きに維持され
   ている間にこれらのシートを少なくともすすぎ洗いし及
   び乾燥させる次の工程が含まれている、請求項２記載の
   方法。 ７、前記浴から保護被覆の成分を沈殿させそしてそれら
   を該浴から取除くために集める工程が含まれている、請
   求項２記載の方法。 ８、シートを用意する前記工程に保護被覆のある少なく
   とも一つの銅の表面をそれぞれが有するシートを用意す
   ることが含まれている、請求項２記載の方法。 ９、保護被覆のあるシートを用意する前記工程に酸化物
   の被覆を有するシートを用意することが含まれている、
   請求項１から８までのいずれか一つに記載の方法。 １０、保護被覆のあるシートを用意する前記工程にクロ
   ム酸塩の被覆を有するシートを用意することが含まれて
   いる、請求項１から８までのいずれか一つに記載の方法
   。 １１、保護被覆のあるシートを用意する前記工程にクロ
   ム酸亜鉛の被覆を有するシートを用意することが含まれ
   ている、請求項１から８までのいずれか一つに記載の方
   法。 １２、前記浸漬工程に前記シートにアルカリ性の浴を通
   り抜けさせることが含まれている、請求項１から８まで
   のいずれか一つに記載の方法。 １３、前記浸漬工程に前記シートに水酸化ナトリウム溶
   液の浴を通り抜けさせることが含まれている、請求項１
   から８までのいずれか一つに記載の方法。 １４、保護被覆のあるシートを用意する前記工程にクロ
   ム酸塩の被覆を有するシートを用意することが含まれて
   おり、前記浸漬工程に前記シートにアルカリ性の浴を通
   り抜けさせることが含まれている、請求項８記載の方法
   。 １５、前記シートをそれらの一般に水平な向きに維持し
   ながら前記浴からこれらのシートを連続的に且つとだえ
   ることなく取出す工程を含んでおり、前記シートを浴中
   に浸漬、させる前記工程に該浴への入口及び出口に電解
   液の浴のためにダムとして機能するように相対する対の
   ローラーを用意し、それと同時に該電解液の浴を上記相
   対する対のローラーよりも高いレベルに維持することが
   含まれ、前記シートを前記陽極と電気的に接触させる前
   記工程に前記シートを前記浴を通して送りながらこの浴
   中で接触ローラーと連繋させることが含まれていて、前
   記浴から保護被覆の成分を沈殿させそしてそれらを該浴
   から取除くために集める工程を含んでおり、そして、前
   記シートがそれらの予め定められた進路に沿って進んで
   いる時及びそれらが一般に水平の向きに維持されている
   間にこれらのシートを少なくともすすぎ洗いし及び乾燥
   させる次の工程を含んでいる、請求項１４記載の方法。 １６、次の（ａ）〜（ｆ）の手段、すなわち、（ａ）保
   護被覆のある表面部分を有する少なくともいくらかの平
   らな外表面があるシートを用意する手段、 （ｂ）これらのシートを予め定められた一般に水平な進
   路に沿って連続的に且つとだえることなく送るための手
   段、 （ｃ）上記のシートをそれらの一般に水平な進路に沿っ
   て連続的に送りながらこれらのシートを電解液の浴の中
   に浸漬させるための手段、 （ｄ）上記の浴中に少なくとも一つの陰極を用意する手
   段、 （ｅ）上記シートを上記浴を通してそれらの進路に沿っ
   て送りながらこれらのシートを連続して陽極と電気的に
   接触させるための手段、 （ｆ）これらの陽極シートと上記陰極との間に電流の流
   れを維持してこれらのシートから保護被覆を電気分解に
   より除去するための手段、 を含んでなる、金属シートから電気分解により除去可能
   な保護被覆を取除くための装置。 １７、前記シートをそれらの一般に水平な進路に沿って
   送りながらそれらを一般に平らな水平面で一般に平らな
   水平の向きに維持するための手段が含まれている、請求
   項１６記載の装置。 １８、前記シートをそれらの一般に水平な向きに維持し
   ながら前記浴からこれらのシートを連続的に且つとだえ
   ることなく取出すための手段が含まれている、請求項１
   ７記載の装置。 １９、前記シートを前記陽極と電気的に接触させるため
   の前記手段に前記シートを前記浴を通して送りながらこ
   の浴中で接触ローラーと連繋させることが含まれている
   、請求項１７記載の装置。 ２０、前記シートを浴中に浸漬させるための前記手段に
   、該浴への入口及び出口に電解液の浴のためにダムとし
   て機能させるための相対する対のローラー手段、及び該
   電解液の浴を上記相対する対のローラーよりも高いレベ
   ルに維持するための手段が含まれている、請求項１７記
   載の方法。 ２１、前記シートがそれらの予め定められた進路に沿っ
   て進んでいる時及びそれらが一般に水平の向きに維持さ
   れている間にこれらのシートを後に少なくともすすぎ洗
   いし及び乾燥させるための手段が含まれている、請求項
   １７記載の装置。 ２２、前記浴から沈殿する保護被覆の成分を集めるため
   の手段が含まれている、請求項１７記載の装置。 ２３、シートを用意する前記手段に保護被覆のある少な
   くとも一つの銅の表面をそれぞれが有するシートを用意
   する手段が含まれている、請求項１７記載の装置。 ２４、保護被覆のあるシートを用意する前記手段に酸化
   物の被覆を有するシートを用意する手段が含まれている
   、請求項１６から２３までのいずれか一つに記載の装置
   。 ２５、保護被覆のあるシートを用意する前記手段にクロ
   ム酸塩の被覆を有するシートを用意する手段が含まれて
   いる、請求項１６から２３までのいずれか一つに記載の
   装置。 ２６、保護被覆のあるシートを用意する前記手段にクロ
   ム酸亜鉛の被覆を有するシートを用意する手段が含まれ
   ている、請求項１６から２３までのいずれか一つに記載
   の装置。 ２７、前記浸漬させるための手段に前記シートにアルカ
   リ性の浴を通り抜けさせるための手段が含まれている、
   請求項１６から２３までのいずれか一つに記載の装置。 ２８、前記浸漬させるための手段に前記シートに水酸化
   ナトリウム溶液の浴を通り抜けさせるための手段が含ま
   れている、請求項１６から２３までのいずれか一つに記
   載の装置。 ２９、保護被覆のあるシートを用意する前記手段にクロ
   ム酸塩の被覆を有するシートを用意する手段が含まれて
   おり、前記浸漬させるための手段に前記シートにアルカ
   リ性の浴を通り抜けさせるための手段が含まれている、
   請求項２３記載の装置。 ３０、前記シートをそれらの一般に水平な向きに維持し
   ながら前記浴からこれらのシートを連続的に且つとだえ
   ることなく取出すための手段を含んでおり、前記シート
   を浴中に浸漬させるための前記手段に該浴への入口及び
   出口に電解液の浴のためにダムとして機能させるための
   相対する対のローラー手段と、該電解液の浴を上記相対
   する対のローラーよりも高いレベルに維持するための手
   段とが含まれ、前記シートを前記陽極と電気的に接触さ
   せるための前記手段に前記シートを前記浴を通して送り
   ながらこの浴中で接触ローラーと連繋させる手段が含ま
   れていて、前記浴から沈殿する保護被覆の成分を集める
   ための手段を含んでおり、そして、前記シートがそれら
   の予め定められた進路に沿って進んでいる時及びそれら
   が一般に水平の向きに維持されている間にこれらのシー
   トを後に少なくともすすぎ洗いし及び乾燥させるための
   手段を含んでいる、請求項２９記載の装置。