JPH02158182A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JPH02158182A JPH02158182A JP63312671A JP31267188A JPH02158182A JP H02158182 A JPH02158182 A JP H02158182A JP 63312671 A JP63312671 A JP 63312671A JP 31267188 A JP31267188 A JP 31267188A JP H02158182 A JPH02158182 A JP H02158182A
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- laser
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は固体レーザ装置に関し、特にフラッシュラン
プ励起による固体レーザ装置のレーザロッドの熱レンズ
効果を補償する機構に関するものである。 〔従来の技術〕 第６図（ａ）は非安定型共振器を持つ従来のＱスイッチ
固体レーザ装置を示す構成図である。図において、（１
）は全反射凹面鏡、
プ励起による固体レーザ装置のレーザロッドの熱レンズ
効果を補償する機構に関するものである。 〔従来の技術〕 第６図（ａ）は非安定型共振器を持つ従来のＱスイッチ
固体レーザ装置を示す構成図である。図において、（１
）は全反射凹面鏡、
【２】はレーザ光を発振するレーザ
発振器で、例えばＱスイッチ、（３）はレーザロッド、
（４） 、 （５）はレーザロッド（３）を励起するフ
ラッシュランプ、（６）はレーザ電源、（７）は出力鏡
、（８）はレーザビームであり、正面から見た時のレー
ザビームのビームパターン（９）を第６図（ｂ）に示す
。 次に動作について説明する。フラッシュランプ（４Ｊ
、 （５）からの光によってレーザロッド（３］が励起
され反転分布が生じる。レーザロッド（３）は冷却され
ており、周辺部の温度より中心部の温度が高いためレー
ザロッド（３）内に屈折率分布が生じ、熱レンズ効果が
現れる。出力鏡（７）は中心部に全反射コーティング、
周辺部に無反射コーティングを施した凸面鏡であり、全
反射鏡（１）とともに非安定型の共振器を構成している
。レーザビーム（８）は周辺部の無反射コーティングを
施した部分から出力されるため、ビームパターン（９）
に示すようにドーナツ状となる。Ｑスイッチ（２）は通
常オフ状態で発振を止めており、レーザロッド（３）の
反転分布が最大になったときに急速にオンとしてジャイ
アントパルスを発生する。 発振効率を上げ、平行性、集光性のよいビームを得るに
は共振器をうまく設計する必要がある。 例えば雑誌（Ｏｐｔ ｉｃｓ Ｃｏｎｗｎｕｎｉｃａｔ
ｉｏｎｓ （Ｖｏｌ ２ｍ 、Ｎｏ ｔ 。 Ａｐｒｉｌ １９７７） ）に掲載されたＮｄ：ＹＡＧ
レーザの例によると、出力鏡（７）の曲率を一５０ｃＩ
ｔ、等測的なフレネル数を１．５とした時に、損失が極
小となるためには、共振器長が６柿へ全反射鏡（１）の
曲率が３ｏｏｃａｔ、レーザロッド（３）の熱レンズ効
果による焦点距離が約４３７ＣＩｌｌであればよいとさ
れている。この雑誌による例ではフラッシュランプ入力
を５００Ｗ（５０Ｊ 、 ｘｏｐｐｓ ’）にした時に
、レーザロッド（３）の焦点距離４３７ｃｍが得られて
いる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の固体レーザ装置は以上のように構成されているの
で、フラッシュランプの入力パワーやパルスの（り返し
周波数を変えると、レーザロッドの熱レンズ効果による
焦点距離も変わり、レーザ出力を制御する際最適なレー
ザビームを得る共振器の条件からはずれ、レーザビーム
の平行度や集光性が悪くなるなどの問題点があった。 この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、（り返し周波数やフラッシュランプ入力パ
ワーなどのレーザ発振条件の違いにかかわらず、平行度
や集光性のよいレーザビームを出力できる固体レーザ装
置を得ることを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る固体レーザ装置は、レーザ光を発振する
レーザ発振器、レーザロッド、このレーザロッドを励起
するフラッシュランプ、共振器を構成するレンズ、共振
器内のレーザロッドの出力光側の光軸上に配置し得る可
動レンズ、及びこの可動レンズを移動するレンズ駆動機
構を備えたものである。 また、レーザ光を発振するレーザ発振器、レーザロッド
、このレーザロッドを励起するフラッシュランプ、共振
器を構成するレンズ、共振器内のレーザロッドの出力光
側の光軸上に配置し得る可動レンズ、この可動レンズを
移動するレンズ駆動機構、熱レンズ効果によって生ずる
レーザロッドの焦点距離を検出する検出器、この検出器
からの出力に応じて可動レンズの移動情報を決定し、レ
ンズ駆動機構に出力する制御機構を備えたものである。 〔作用〕 この発明における可動レンズは、レンズ駆動機構によっ
てその位置を移動したり、光軸上からはずすことが可能
であり、種々のレーザ発振条件に対して熱レンズ効果の
焦点距離が変化しても、適当なレンズを光軸上に設置し
てその焦点距離を調節することができる。 また、検出器と制御機構は、レーザ電源の設定や自然放
出光の空間分布などからレーザロッドの熱レンズ効果を
評価し、この熱レンズ効果の程度に応じて適当なレンズ
を光軸上の適当な位置に設置する。 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例による固体レーザ装置を示す構
成図であり、図において、明は可動レンズ斡の挿入の有
無を決定するレンズ制御機構を構成するレンズ制御系で
あり、αυは可動レンズ斡を共振器内に挿入するレンズ
駆動機構、Ｑ３はレンズ韓が共振器内へ挿入される位置
を表わしている。 図中、矢印ａは可動レンズ四の移動方向を示している。 次に動作について説明する。このレーザ装置は例えば主
にＡ、Ｂの２種類のパワーで使用するものとする。まず
、あらかじめＡ、Ｂ双方の条件下でのレーザロッド（３
）の熱レンズ効果による焦点距離へ、／Ｂを測定してお
き、共振器はＡの条件で最良のビームが得られるように
調整する。使用する立つように選定する。 レーザＩｔ ＨＡ （６）でＡ、Ｂのどちらかの条件を
選択すると、その信号がレンズ制御系ＱＱに送られる。 レンズ制御系叫ではＡ′の条件とときには可動レンズ四
が共振器外に、Ｂの条件のときには共振器内のレーザ光
軸中四の位置に設置されるようにレンズ駆動機構ａηを
動作させる。レンズの設置が終わった後、レンズ制御系
ＯＱよりレーザ電源（６）へ信号が送られ、レーザ発振
が行われる。 挿入される可動レンズ（２）の位置がレーザロッド（３
）に十分近いならば、Ａの条件での熱レンズ効果の焦点
距離へと、Ｂの条件での熱レンズ効果と挿入したレンズ
の合成した焦点距離がほぼ同じとなり、Ａ、Ｂどちらの
条件下でも、はぼ同程度良質なレーザビームが得られる
。 上記実施例では可動レンズを例えば１個用いたものを示
したが、複数個用いても良（、この場合種々の発振条件
に対応することができる。例えば第２図はそれぞれ異な
る焦点距離を持つ３つの可動レンズ０４．Ｑ◆、に）を
用いた例であり、最大８通りの発振条件に対応すること
ができる。 また、上記実施例では可動レンズ斡をレーザ光軸（８）
上に出し入れする場合について示したが、複数個のレン
ズを常にレーザ光軸中にｔ）、発振条件に応じてレンズ
間の距離を変化させてもよい。 第３図は凹レンズＱｌと凸レンズａηを組合わせ、凸レ
ンズｏＴ）を移動させて焦点距離調整を行う例である。 例えば凹レンズ（ｌｉｌの焦点距離を−１００１１１１
，凸レンズＱηの焦点距離を１００１１１とすると、２
つのレンズ間を矢印す方向にｏ ｍｉから１ｍまで変え
ることで合成された焦点距離を無限大から約ｔｍにまで
変化させることができる。この場合レーザの発振条件に
対応してレンズ間距離を変えることにより、連続的に調
整することができる。 また、上記実施例ではレーザ電源（至）での発振条件の
設定値によってレンズの出し入れあるいはレンズ位置の
設定を行なったが、レーザ光軸（８）外に洩れ出る自然
放出光をもとに熱レンズ効果の焦点距離を測定して、そ
の結果によってレンズ位置の設定を行なってもよい。第
４図は２つの光検出器（７）、０１１を用いる例で、ま
ずレーザ発振条件を設定しＱスイッチ（２）をオフにし
てレーザ発振を止めた状態でフラッシュランプ（４）
、 （５）を発光させて自然放出光を測定する。熱レン
ズ効果によって自然放出光の空間的な発光分布が変わる
ので、２つの光検出器（ト）、 ０１に到達する先爪の
絶対値や比が変わる。この２つ検出器（ト）、ｏ９の出
力から熱レンズ効果評価部（１）で焦点距離を算定して
、その結果によってレンズ制御系ＱＧでレンズの選択お
よびレーザ光軸（８）内への出し入れを決定し、レンズ
駆動機構仙によりレンズが設定された後、Ｑスイッチ（
２）をオン状態にしてレーザ発振を行う。このように光
検出器（至）、 ０１によって自然放出光を検出して熱
レンズ効果の焦点距離を測定すれば、高精度で応答性の
良く集光できる。 また、さらに他の実施例による固体レーザ装置を第５図
に示す。第５図において、（財）は照準光用の例えば可
視光を発振するレーザ発振器％（２）はコリメータ、■
は照準用のレーザビーム、（ハ）は照準光の一部を反射
し、固体レーザのレーザビームを透過するビームスプリ
ッタである。この実施例は。 レーザ発振器（２）で照準用のレーザビーム（イ）を発
振して共振器に導入すると、照準光が熱レンズ効果によ
り集光されることを利用している。即ちビームスプリッ
タ（財）で照準光の一部を反射して光検出器（ト）、α
９で検出し、この照準光によって熱レンズ効果による焦
点距離を測定するようにしている。 なお、可動レンズの枚数や、光検出器の捕類は上記実施
例に限るものではない。以上非安定型Ｑスイッチレーザ
について述べたが、安定型の共振器や連続発振のレーザ
でもよ（、上記実施例と同様の効果を奏する。 〔発明の効果〕 以とのように、こめ発明によれば、レーザ光を発振する
レーザ発振器、レーザロッド、このレーザロッドを励起
するフラッシュランプ、共振器を構成するレンズ、共振
器内のレーザロッドの出力光側の光軸上に配置し得る可
動レンズ、及びこの可動レンズを移動するレンズ駆動機
構を備えることにより１種々のレーザ発振条件に対して
、平行度や集光性の良いレーザビームを出力できる固体
レーザ装置が時られる効果がある。 また、上記発明に結合して、熱レンズ効果によって生ず
るレーザロッドの焦点距離を検出する検出器、この検出
器からの出力に応じて可動レンズの移動清報を決定し、
レンズ駆動機構に出力する制御機構を備えることにより
１種々のレーザ発振条件に対して、平行度や集光性の良
いレーザビームを高精度で応答性よ（出力できる固体レ
ーザ装置得られる効果がある。
発振器で、例えばＱスイッチ、（３）はレーザロッド、
（４） 、 （５）はレーザロッド（３）を励起するフ
ラッシュランプ、（６）はレーザ電源、（７）は出力鏡
、（８）はレーザビームであり、正面から見た時のレー
ザビームのビームパターン（９）を第６図（ｂ）に示す
。 次に動作について説明する。フラッシュランプ（４Ｊ
、 （５）からの光によってレーザロッド（３］が励起
され反転分布が生じる。レーザロッド（３）は冷却され
ており、周辺部の温度より中心部の温度が高いためレー
ザロッド（３）内に屈折率分布が生じ、熱レンズ効果が
現れる。出力鏡（７）は中心部に全反射コーティング、
周辺部に無反射コーティングを施した凸面鏡であり、全
反射鏡（１）とともに非安定型の共振器を構成している
。レーザビーム（８）は周辺部の無反射コーティングを
施した部分から出力されるため、ビームパターン（９）
に示すようにドーナツ状となる。Ｑスイッチ（２）は通
常オフ状態で発振を止めており、レーザロッド（３）の
反転分布が最大になったときに急速にオンとしてジャイ
アントパルスを発生する。 発振効率を上げ、平行性、集光性のよいビームを得るに
は共振器をうまく設計する必要がある。 例えば雑誌（Ｏｐｔ ｉｃｓ Ｃｏｎｗｎｕｎｉｃａｔ
ｉｏｎｓ （Ｖｏｌ ２ｍ 、Ｎｏ ｔ 。 Ａｐｒｉｌ １９７７） ）に掲載されたＮｄ：ＹＡＧ
レーザの例によると、出力鏡（７）の曲率を一５０ｃＩ
ｔ、等測的なフレネル数を１．５とした時に、損失が極
小となるためには、共振器長が６柿へ全反射鏡（１）の
曲率が３ｏｏｃａｔ、レーザロッド（３）の熱レンズ効
果による焦点距離が約４３７ＣＩｌｌであればよいとさ
れている。この雑誌による例ではフラッシュランプ入力
を５００Ｗ（５０Ｊ 、 ｘｏｐｐｓ ’）にした時に
、レーザロッド（３）の焦点距離４３７ｃｍが得られて
いる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の固体レーザ装置は以上のように構成されているの
で、フラッシュランプの入力パワーやパルスの（り返し
周波数を変えると、レーザロッドの熱レンズ効果による
焦点距離も変わり、レーザ出力を制御する際最適なレー
ザビームを得る共振器の条件からはずれ、レーザビーム
の平行度や集光性が悪くなるなどの問題点があった。 この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、（り返し周波数やフラッシュランプ入力パ
ワーなどのレーザ発振条件の違いにかかわらず、平行度
や集光性のよいレーザビームを出力できる固体レーザ装
置を得ることを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る固体レーザ装置は、レーザ光を発振する
レーザ発振器、レーザロッド、このレーザロッドを励起
するフラッシュランプ、共振器を構成するレンズ、共振
器内のレーザロッドの出力光側の光軸上に配置し得る可
動レンズ、及びこの可動レンズを移動するレンズ駆動機
構を備えたものである。 また、レーザ光を発振するレーザ発振器、レーザロッド
、このレーザロッドを励起するフラッシュランプ、共振
器を構成するレンズ、共振器内のレーザロッドの出力光
側の光軸上に配置し得る可動レンズ、この可動レンズを
移動するレンズ駆動機構、熱レンズ効果によって生ずる
レーザロッドの焦点距離を検出する検出器、この検出器
からの出力に応じて可動レンズの移動情報を決定し、レ
ンズ駆動機構に出力する制御機構を備えたものである。 〔作用〕 この発明における可動レンズは、レンズ駆動機構によっ
てその位置を移動したり、光軸上からはずすことが可能
であり、種々のレーザ発振条件に対して熱レンズ効果の
焦点距離が変化しても、適当なレンズを光軸上に設置し
てその焦点距離を調節することができる。 また、検出器と制御機構は、レーザ電源の設定や自然放
出光の空間分布などからレーザロッドの熱レンズ効果を
評価し、この熱レンズ効果の程度に応じて適当なレンズ
を光軸上の適当な位置に設置する。 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例による固体レーザ装置を示す構
成図であり、図において、明は可動レンズ斡の挿入の有
無を決定するレンズ制御機構を構成するレンズ制御系で
あり、αυは可動レンズ斡を共振器内に挿入するレンズ
駆動機構、Ｑ３はレンズ韓が共振器内へ挿入される位置
を表わしている。 図中、矢印ａは可動レンズ四の移動方向を示している。 次に動作について説明する。このレーザ装置は例えば主
にＡ、Ｂの２種類のパワーで使用するものとする。まず
、あらかじめＡ、Ｂ双方の条件下でのレーザロッド（３
）の熱レンズ効果による焦点距離へ、／Ｂを測定してお
き、共振器はＡの条件で最良のビームが得られるように
調整する。使用する立つように選定する。 レーザＩｔ ＨＡ （６）でＡ、Ｂのどちらかの条件を
選択すると、その信号がレンズ制御系ＱＱに送られる。 レンズ制御系叫ではＡ′の条件とときには可動レンズ四
が共振器外に、Ｂの条件のときには共振器内のレーザ光
軸中四の位置に設置されるようにレンズ駆動機構ａηを
動作させる。レンズの設置が終わった後、レンズ制御系
ＯＱよりレーザ電源（６）へ信号が送られ、レーザ発振
が行われる。 挿入される可動レンズ（２）の位置がレーザロッド（３
）に十分近いならば、Ａの条件での熱レンズ効果の焦点
距離へと、Ｂの条件での熱レンズ効果と挿入したレンズ
の合成した焦点距離がほぼ同じとなり、Ａ、Ｂどちらの
条件下でも、はぼ同程度良質なレーザビームが得られる
。 上記実施例では可動レンズを例えば１個用いたものを示
したが、複数個用いても良（、この場合種々の発振条件
に対応することができる。例えば第２図はそれぞれ異な
る焦点距離を持つ３つの可動レンズ０４．Ｑ◆、に）を
用いた例であり、最大８通りの発振条件に対応すること
ができる。 また、上記実施例では可動レンズ斡をレーザ光軸（８）
上に出し入れする場合について示したが、複数個のレン
ズを常にレーザ光軸中にｔ）、発振条件に応じてレンズ
間の距離を変化させてもよい。 第３図は凹レンズＱｌと凸レンズａηを組合わせ、凸レ
ンズｏＴ）を移動させて焦点距離調整を行う例である。 例えば凹レンズ（ｌｉｌの焦点距離を−１００１１１１
，凸レンズＱηの焦点距離を１００１１１とすると、２
つのレンズ間を矢印す方向にｏ ｍｉから１ｍまで変え
ることで合成された焦点距離を無限大から約ｔｍにまで
変化させることができる。この場合レーザの発振条件に
対応してレンズ間距離を変えることにより、連続的に調
整することができる。 また、上記実施例ではレーザ電源（至）での発振条件の
設定値によってレンズの出し入れあるいはレンズ位置の
設定を行なったが、レーザ光軸（８）外に洩れ出る自然
放出光をもとに熱レンズ効果の焦点距離を測定して、そ
の結果によってレンズ位置の設定を行なってもよい。第
４図は２つの光検出器（７）、０１１を用いる例で、ま
ずレーザ発振条件を設定しＱスイッチ（２）をオフにし
てレーザ発振を止めた状態でフラッシュランプ（４）
、 （５）を発光させて自然放出光を測定する。熱レン
ズ効果によって自然放出光の空間的な発光分布が変わる
ので、２つの光検出器（ト）、 ０１に到達する先爪の
絶対値や比が変わる。この２つ検出器（ト）、ｏ９の出
力から熱レンズ効果評価部（１）で焦点距離を算定して
、その結果によってレンズ制御系ＱＧでレンズの選択お
よびレーザ光軸（８）内への出し入れを決定し、レンズ
駆動機構仙によりレンズが設定された後、Ｑスイッチ（
２）をオン状態にしてレーザ発振を行う。このように光
検出器（至）、 ０１によって自然放出光を検出して熱
レンズ効果の焦点距離を測定すれば、高精度で応答性の
良く集光できる。 また、さらに他の実施例による固体レーザ装置を第５図
に示す。第５図において、（財）は照準光用の例えば可
視光を発振するレーザ発振器％（２）はコリメータ、■
は照準用のレーザビーム、（ハ）は照準光の一部を反射
し、固体レーザのレーザビームを透過するビームスプリ
ッタである。この実施例は。 レーザ発振器（２）で照準用のレーザビーム（イ）を発
振して共振器に導入すると、照準光が熱レンズ効果によ
り集光されることを利用している。即ちビームスプリッ
タ（財）で照準光の一部を反射して光検出器（ト）、α
９で検出し、この照準光によって熱レンズ効果による焦
点距離を測定するようにしている。 なお、可動レンズの枚数や、光検出器の捕類は上記実施
例に限るものではない。以上非安定型Ｑスイッチレーザ
について述べたが、安定型の共振器や連続発振のレーザ
でもよ（、上記実施例と同様の効果を奏する。 〔発明の効果〕 以とのように、こめ発明によれば、レーザ光を発振する
レーザ発振器、レーザロッド、このレーザロッドを励起
するフラッシュランプ、共振器を構成するレンズ、共振
器内のレーザロッドの出力光側の光軸上に配置し得る可
動レンズ、及びこの可動レンズを移動するレンズ駆動機
構を備えることにより１種々のレーザ発振条件に対して
、平行度や集光性の良いレーザビームを出力できる固体
レーザ装置が時られる効果がある。 また、上記発明に結合して、熱レンズ効果によって生ず
るレーザロッドの焦点距離を検出する検出器、この検出
器からの出力に応じて可動レンズの移動清報を決定し、
レンズ駆動機構に出力する制御機構を備えることにより
１種々のレーザ発振条件に対して、平行度や集光性の良
いレーザビームを高精度で応答性よ（出力できる固体レ
ーザ装置得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による固体レーザ装置を示
す構成図、第２図〜第５図はそれぞれこの発明の他の実
施例による固体レーザ装置を示す構成図、第６図（ａ）
は従来の固体レーザ装置を示す構成図、第６図（ｂ）は
第６図ｆａ）に示す装置で得られるレーザビームを示す
パターン図である。 （１）は全反射凹面鏡、（２）はＱスイッチ、（３）は
レーザロッド％（４Ｊ 、 ＋５）はフラッシュランプ
、（６）はレーザ電源、（７）は出力鏡、（８）は固体
レーザのレーザビーム、（９）は固体レーザの出力ビー
ムパターン、（１０はレンズ制御系、Ｏηはレンズ駆動
機構、（ロ）は可動レンズ、口はレンズをレーザ光軸上
に入れたときの位置、σ脣、（イ）は可動レンズ、Ｑｌ
ｔはレーザ光軸上に固定された凹レンズ、σηはレーザ
光軸上で移動する凸レンズ、（７）、 Ｃ１ｌは光検出
器、（１）は熱レンズ効果評価部である。 なお、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
す構成図、第２図〜第５図はそれぞれこの発明の他の実
施例による固体レーザ装置を示す構成図、第６図（ａ）
は従来の固体レーザ装置を示す構成図、第６図（ｂ）は
第６図ｆａ）に示す装置で得られるレーザビームを示す
パターン図である。 （１）は全反射凹面鏡、（２）はＱスイッチ、（３）は
レーザロッド％（４Ｊ 、 ＋５）はフラッシュランプ
、（６）はレーザ電源、（７）は出力鏡、（８）は固体
レーザのレーザビーム、（９）は固体レーザの出力ビー
ムパターン、（１０はレンズ制御系、Ｏηはレンズ駆動
機構、（ロ）は可動レンズ、口はレンズをレーザ光軸上
に入れたときの位置、σ脣、（イ）は可動レンズ、Ｑｌ
ｔはレーザ光軸上に固定された凹レンズ、σηはレーザ
光軸上で移動する凸レンズ、（７）、 Ｃ１ｌは光検出
器、（１）は熱レンズ効果評価部である。 なお、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）レーザ光を発振するレーザ発振器、レーザロッド
、このレーザロッドを励起するフラッシュランプ、共振
器を構成するレンズ、上記共振器内の上記レーザロッド
の出力光側の光軸上に配置し得る可動レンズ、及びこの
可動レンズを移動するレンズ駆動機構を備えた固体レー
ザ装置。 - （２）レーザ光を発振するレーザ発振器、レーザロッド
、このレーザロッドを励起するフラッシュランプ、共振
器を構成するレンズ、上記共振器内の上記レーザロッド
の出力光側の光軸上に配置し得る可動レンズ、この可動
レンズを移動するレンズ駆動機構、熱レンズ効果によつ
て生ずる上記レーザロッドの焦点距離を検出する検出器
、この検出器からの出力に応じて上記可動レンズの移動
情報を決定し、上記レンズ駆動機構に出力する制御機構
を備えた固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312671A JP2666441B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312671A JP2666441B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02158182A true JPH02158182A (ja) | 1990-06-18 |
| JP2666441B2 JP2666441B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=18032026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63312671A Expired - Fee Related JP2666441B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2666441B2 (ja) |
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPH03214682A (ja) * | 1989-06-02 | 1991-09-19 | Lumonics Ltd | レーザ |
| JP2001320114A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Inst Of Physical & Chemical Res | レーザー共振器 |
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1988
- 1988-12-09 JP JP63312671A patent/JP2666441B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2666441B2 (ja) | 1997-10-22 |
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