JP2590297Y2 - 光源装置 - Google Patents
光源装置Info
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- JP2590297Y2 JP2590297Y2 JP1991022869U JP2286991U JP2590297Y2 JP 2590297 Y2 JP2590297 Y2 JP 2590297Y2 JP 1991022869 U JP1991022869 U JP 1991022869U JP 2286991 U JP2286991 U JP 2286991U JP 2590297 Y2 JP2590297 Y2 JP 2590297Y2
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- light
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、複数の光波長を使用す
る干渉型顕微鏡の光源部に用いることのできる光源装置
に関する。
る干渉型顕微鏡の光源部に用いることのできる光源装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の干渉型顕微鏡の光源部は、図２に
示すように、レーザー駆動部１からレーザー２に対して
駆動電流を供給してレーザー２を発振させ、これによっ
てレーザー２から放射される発散光束をコリメートレン
ズ３によって平行光束に変換している。平行光束は試料
に照明光を集光させる集光レンズの開口に対応した十分
な径を持った光束に変換される。干渉型顕微鏡では、上
記光源部で作成した平行光束を用いて干渉縞が形成され
る。この干渉縞の間隔はレーザー光の波長λの１／２と
なるので、図２に示すようにレーザー２が一つであれば
波長λも一種類となり必然的に試料の評価に使用される
干渉縞は１種類となる。
示すように、レーザー駆動部１からレーザー２に対して
駆動電流を供給してレーザー２を発振させ、これによっ
てレーザー２から放射される発散光束をコリメートレン
ズ３によって平行光束に変換している。平行光束は試料
に照明光を集光させる集光レンズの開口に対応した十分
な径を持った光束に変換される。干渉型顕微鏡では、上
記光源部で作成した平行光束を用いて干渉縞が形成され
る。この干渉縞の間隔はレーザー光の波長λの１／２と
なるので、図２に示すようにレーザー２が一つであれば
波長λも一種類となり必然的に試料の評価に使用される
干渉縞は１種類となる。
【０００３】ところが、液体試料内部の温度および濃度
の分布をそれらによる屈折率の変化から観察する場合
等、測定すべきパラメータ（温度、濃度）が複数存在す
る場合には、単波長では２つのパラメータによる影響を
分離測定することはできない。
の分布をそれらによる屈折率の変化から観察する場合
等、測定すべきパラメータ（温度、濃度）が複数存在す
る場合には、単波長では２つのパラメータによる影響を
分離測定することはできない。
【０００４】そこで、図３に示すように、波長の異なる
２種類のレーザー４，５を、要求される干渉縞の間隔に
応じてそれぞれ独立に駆動してレーザー光を放射し、そ
のレーザー光を対応するコリメートレンズ６または７で
平行光に変換した後、ダイクロイックミラー８でそれぞ
れ同一光路に導くということが考えられている。この光
源部では、干渉縞を切換えるときに、その都度、対応す
るレーザー駆動部９または１０で該当するレーザー４ま
たは５を発振させることになる。
２種類のレーザー４，５を、要求される干渉縞の間隔に
応じてそれぞれ独立に駆動してレーザー光を放射し、そ
のレーザー光を対応するコリメートレンズ６または７で
平行光に変換した後、ダイクロイックミラー８でそれぞ
れ同一光路に導くということが考えられている。この光
源部では、干渉縞を切換えるときに、その都度、対応す
るレーザー駆動部９または１０で該当するレーザー４ま
たは５を発振させることになる。
【０００５】このような光源部によれば、例えば干渉型
顕微鏡では波長の異なる複数の光束によるそれぞれ間隔
の異なる干渉縞を切換えながら観察できて、温度による
試料屈折率の変化と濃度による試料屈折率の変化の間に
ある分散の違いを利用して、両パラメータを分離するこ
とができる。
顕微鏡では波長の異なる複数の光束によるそれぞれ間隔
の異なる干渉縞を切換えながら観察できて、温度による
試料屈折率の変化と濃度による試料屈折率の変化の間に
ある分散の違いを利用して、両パラメータを分離するこ
とができる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
ー４，５を駆動することによって出力されるレーザー光
は、図４に示すように、光量および波長が安定するま
で、半導体レーザーで５〜１０秒程度の時間を要するた
め、推移の速い現象を捕らえるためには、干渉縞を切換
える速度が十分ではなかった。
ー４，５を駆動することによって出力されるレーザー光
は、図４に示すように、光量および波長が安定するま
で、半導体レーザーで５〜１０秒程度の時間を要するた
め、推移の速い現象を捕らえるためには、干渉縞を切換
える速度が十分ではなかった。
【０００７】本考案は以上のような実情に鑑みてなされ
たもので、レーザー出力が安定するまでの時間的ロスを
削減でき、波長の異なる光束を短時間で切換えて出射で
きる光源装置を提供することを目的とする。
たもので、レーザー出力が安定するまでの時間的ロスを
削減でき、波長の異なる光束を短時間で切換えて出射で
きる光源装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本考案は上記目的を達成
するために光源装置を、複数の波長光を発生する単一の
光源と、この光源から発生する光束の透過領域内に設け
られ、それぞれ異なる波長を選択する複数のフィルター
と、これらのフィルターにより選択された各分離光路を
同一の光路に導く光路結合手段と、この光路結合手段と
前記光源との間に設けられ、前記複数のフィルターによ
り選択される波長の透過領域を任意に遮光する光学シャ
ッターとを具備した構成とした。
するために光源装置を、複数の波長光を発生する単一の
光源と、この光源から発生する光束の透過領域内に設け
られ、それぞれ異なる波長を選択する複数のフィルター
と、これらのフィルターにより選択された各分離光路を
同一の光路に導く光路結合手段と、この光路結合手段と
前記光源との間に設けられ、前記複数のフィルターによ
り選択される波長の透過領域を任意に遮光する光学シャ
ッターとを具備した構成とした。
【０００９】
【作用】本考案によれば、単一の光源から発生した複数
の波長光の光束が、複数のフィルター毎に設けられてい
る光学フィルターを介して光路結合手段へ入射されて所
定光路に導かれる。よって、単一の光源を安定状態に保
持しておいてシャッターにより所定の波長を有する光を
選択できるので、光源出力が安定するまでの時間ロスが
削減され、波長の切換えを高速に行えるものとなる。
の波長光の光束が、複数のフィルター毎に設けられてい
る光学フィルターを介して光路結合手段へ入射されて所
定光路に導かれる。よって、単一の光源を安定状態に保
持しておいてシャッターにより所定の波長を有する光を
選択できるので、光源出力が安定するまでの時間ロスが
削減され、波長の切換えを高速に行えるものとなる。
【００１０】
【実施例】以下、本考案の実施例について説明する。図
１には本考案の第１実施例に係る光源装置が示されてい
る。本実施例は、光源として種々の波長を含む白色光を
発するハロゲンランプ等からなる白色光源４０が用いら
れている。この白色光源４０から発した白色光はコリメ
ートレンズ４１で平行光束にされる。コリメートレンズ
４１の出射面には、その面を２分して２枚のフィルター
４２，４３が対向配置されている。両フィルター４２，
４３は、透過光の波長範囲が互いに異なっている。この
両フィルター４２，４３の出射側にはそれぞれ光学シャ
ッター４４，４５が配置され、さらに各光学シャッター
４４，４５の対向面にダイクロイックミラー４６が配置
されている。
１には本考案の第１実施例に係る光源装置が示されてい
る。本実施例は、光源として種々の波長を含む白色光を
発するハロゲンランプ等からなる白色光源４０が用いら
れている。この白色光源４０から発した白色光はコリメ
ートレンズ４１で平行光束にされる。コリメートレンズ
４１の出射面には、その面を２分して２枚のフィルター
４２，４３が対向配置されている。両フィルター４２，
４３は、透過光の波長範囲が互いに異なっている。この
両フィルター４２，４３の出射側にはそれぞれ光学シャ
ッター４４，４５が配置され、さらに各光学シャッター
４４，４５の対向面にダイクロイックミラー４６が配置
されている。
【００１１】なお、ダイクロイックミラー４６は、一方
の光学シャッター４４を通って入射した光束は透過し、
他方の光学シャッター４５を通って入射した光束は第１
面４６ａおよび第２面４６ｂで反射して、共に矢印方向
へ導くように特性が設定されている。
の光学シャッター４４を通って入射した光束は透過し、
他方の光学シャッター４５を通って入射した光束は第１
面４６ａおよび第２面４６ｂで反射して、共に矢印方向
へ導くように特性が設定されている。
【００１２】以上のように構成された本実施例では、白
色光源４０から出射しコリメートレンズ４１で平行光束
に変換された白色光の半分が一方のフィルター４２へ入
射してある波長範囲の光のみが抽出され、残りの半分の
白色光が他方のフィルター４３へ入射して異なる波長範
囲の光が抽出される。そして、不図示の光学フィルター
駆動部によって、光学フィルター４４および４５を制御
して、フィルター４２，４３でそれぞれ抽出された異な
る波長の２光束からいずれか一方の光束が選択される。
選択された光束はダイクロイックミラー４６に入射して
所定の光路へ導かれる。
色光源４０から出射しコリメートレンズ４１で平行光束
に変換された白色光の半分が一方のフィルター４２へ入
射してある波長範囲の光のみが抽出され、残りの半分の
白色光が他方のフィルター４３へ入射して異なる波長範
囲の光が抽出される。そして、不図示の光学フィルター
駆動部によって、光学フィルター４４および４５を制御
して、フィルター４２，４３でそれぞれ抽出された異な
る波長の２光束からいずれか一方の光束が選択される。
選択された光束はダイクロイックミラー４６に入射して
所定の光路へ導かれる。
【００１３】この様に本実施例によれば、複数の波長を
含んでいる白色光を透過特性の異なるフィルター４２，
４３で波長の異なる光束として抽出し、この抽出した２
光束をそれぞれ光学フィルター４４，４５を介してダイ
クロイックミラー４６に入射し、ここで同一光路へ導く
ようにしたので、波長の異なる複数の光源を設けなくと
も一つの光源で、波長の異なる出射を高速に切換えるこ
とができる。
含んでいる白色光を透過特性の異なるフィルター４２，
４３で波長の異なる光束として抽出し、この抽出した２
光束をそれぞれ光学フィルター４４，４５を介してダイ
クロイックミラー４６に入射し、ここで同一光路へ導く
ようにしたので、波長の異なる複数の光源を設けなくと
も一つの光源で、波長の異なる出射を高速に切換えるこ
とができる。
【００１４】
【考案の効果】以上詳記したように本考案によれば、レ
ーザー出力が安定するまでの時間的ロスを削減でき、波
長の異なる光束を短時間で切換えて出射できる光源装置
を提供できる。
ーザー出力が安定するまでの時間的ロスを削減でき、波
長の異なる光束を短時間で切換えて出射できる光源装置
を提供できる。
【図１】本考案の第１実施例に係る光源装置の構成図。
【図２】波長切換えできない従来の光源装置の構成図。
【図３】波長切換え可能にした従来の光源装置の構成
図。
図。
【図４】レーザー出力特性を示す図。
４０…白色光源、４１…コリメートレンズ、４２，４３
…フィルター、４４，４５…光学シャッター、４６…ダ
イクロイックミラー。
…フィルター、４４，４５…光学シャッター、４６…ダ
イクロイックミラー。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−99118（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−168622（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−282515（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−247142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−257102（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−257103（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 21/00 - 21/36 G02B 27/00 G02F 1/00 - 1/125
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の波長光を発生する単一の光源と、 この光源から発生する光束の透過領域内に設けられ、そ
れぞれ異なる波長を選択する複数のフィルターと、 これらのフィルターにより選択された各分離光路を同一
の光路に導く光路結合手段と、 この光路結合手段と前記光源との間に設けられ、前記複
数のフィルターにより選択される波長の透過領域を任意
に遮光する光学シャッターと、 を具備してなることを特徴とする光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991022869U JP2590297Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991022869U JP2590297Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525414U JPH0525414U (ja) | 1993-04-02 |
| JP2590297Y2 true JP2590297Y2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=12094703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991022869U Expired - Fee Related JP2590297Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590297Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4521155B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2010-08-11 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡画像処理装置 |
| DE10357584B4 (de) * | 2003-12-08 | 2006-06-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zum Trennen unterschiedlicher Emissionswellenlängen in einem Scanmikroskop |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5419263B2 (ja) * | 1973-10-17 | 1979-07-13 | ||
| JPS6199118A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Seiko Epson Corp | 投射型表示装置 |
| JPS63168622A (ja) * | 1987-01-05 | 1988-07-12 | Canon Inc | 光偏向素子 |
| JPH01282515A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Tokyo Electron Ltd | ビーム走査型光学顕微鏡 |
| DE68924460T2 (de) * | 1988-10-11 | 1996-06-13 | Du Pont | Laserabtastmikroskop und Anwendungsverfahren. |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP1991022869U patent/JP2590297Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525414U (ja) | 1993-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981027 |
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