JPH02156144A - シート状物の欠陥検査装置 - Google Patents

シート状物の欠陥検査装置

Info

Publication number
JPH02156144A
JPH02156144A JP31060488A JP31060488A JPH02156144A JP H02156144 A JPH02156144 A JP H02156144A JP 31060488 A JP31060488 A JP 31060488A JP 31060488 A JP31060488 A JP 31060488A JP H02156144 A JPH02156144 A JP H02156144A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
sheet
area
light
defect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31060488A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Kimura
木村 宏晃
Masaki Fuse
正樹 布施
Takao Kawashima
川嶋 伯夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP31060488A priority Critical patent/JPH02156144A/ja
Publication of JPH02156144A publication Critical patent/JPH02156144A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばセラミック基板等のシート状物の表面
に存在するくぼみ等の凹部、突起。
付着したほこり等の凸部、欠陥部をマークしたもの等の
汚れ部の3種類の欠陥を識別して検出することを目的と
したシート状物の欠陥検査装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、シート状物の表面に存在する凹部、凸部、汚れ部
の表面欠陥は、シート状物に光を鋼め方向より照明し目
視観察によって検知していたが、目視観察では欠陥を見
逃しやすい難点を有していた。その目視観察の難点を除
く方法として、画像処理による検出方法があり、例えば
特開昭65−95544号[表面欠陥の検出方法]や特
開昭61−65147号「板状体表面の凹状欠点検出装
置」等が提案されている。
まず、特開昭63−95544号「表面欠陥の検出方法
」は、あらかじめ光源とシート状物の間に縞パターンを
配置しておき、光源から出射し縞パターンを通過した光
が、シート状物面上に縞模様を1慰させる方法をとって
bる。そして、撮像装置がシート状物表面よ抄の反射光
を受光して撮像信号を得て、との撮像信号が中央制御装
置釦より2値化画素データに変換され、画像メモリ内に
記憶される。画像メモリ内の2値化画素データは、前記
縞パターンと直交する方向に走査処理を行ない、縞の幅
、数、また縞の連続性の状態を求め、その結果からシー
ト状物の欠陥を判定するのである。
次く、特開昭61−65147号「板状体表面の四次欠
陥検出装置」は、シート状物表面に先端が摺接する遮へ
い体を設け、この遮へい体の一方の側に光源、他方の側
にライン状に並べた多数個の受光素子を配設している。
シート状物が遮へい体く対し相対移動させた時、シート
状物の欠陥が遮へb体先端の真下くくると、受光素子の
出力が変化してy、  )状物の欠陥を検知するのであ
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、特開昭63−95344号の発明は、シ
ート状物面上く形成される縞パターンの変化をチエツク
する方法をとっているため、シート状物面上の凹部、凸
部、汚れ部はいずれも検出可能であるが、凹部、凸部、
汚れ部を分類して判別することは困難であった。
また、特開昭63−65147号の発明では、凹部によ
る漏れ光を検出するため、汚れ部の検出は不可能である
。また、遮へい体がシート状物表面に摺接させて配置す
るため、凸部の検査には難点を有していた。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、シート状物に存在する凹部、凸部。
汚れ部の3種類の欠陥を検知するだけでなく、それら3
種類の欠陥を正確に分類して検知するシート状物の検査
装置を提供することを目的としておプ、第1図に概要構
成図を示す様に、移動中のシート状物IK対して斜め方
向より光を照射する照明装置2と、シート状物1表面で
の反射光を受光するラインセンサ3を有し、該ラインセ
ンサ3で受光して得られた信号Sに対し異なる閾値cl
、c鵞(OB < Ox )を設定して、8く01とな
る出力レベルを満足する区域を影領域、又8 ) O,
を満足すふ区域を輝点領域に判別し、その判別結果によ
り輝点領域と影領域の間で変化するパターン別忙凹部、
凸部、汚れ部の三種の欠陥に分類処理を行う画像処理装
置14とから構成したことに特徴を有している。
なお、同図において5は、信号処理装置4により凹部、
凸部、汚れ部の各欠陥を検知した信号を入力して、欠陥
のデータ処理などを行なうマイクロコンピュータで、ま
た6はマイクロコンピュータ5の結果を出力表示するた
めのデイスプレィである。また、シート状物の移動方向
は同図面の向こうからこちらにむかう方向である。
次に、本発明のシート状物の検査装置における欠陥検出
の機構の一例を、第2図に基づbて説明する。
第2図はシート状物面に存在する傾斜角βl。
β2を有する凹部について、入射角α1.α2(α]キ
α宜、α鵞〉βl)なる光を照射した状態断面図である
。同図において凹部はシート状物表面のくぼみである。
照明装置it2は、シート状物に存在する凹部に対して
所定入射角で斜め照明するのであるが、照明装置2より
出射させる光は完全な平行光ではなく拡散光であるため
、入射角α1゜α、(但し、α1中α、が望ましい。)
の照明光Ll。
L、の光がシート状物の凹部に対して照射される。
凹部付近のシート状物表面には、照明光り、 、 L。
くより、前記照明光Ll、L、の入射角αhα2と凹部
の傾斜角β1の関係から、以下■〜■に示す影。
輝点が発生する ■α1≦β1   影は発生しない。
■α2≦β1くα1 半影ができる。
■  β1くα鵞 長さ1.の木彫、長さβ3 ■半影
ができる。さらに長さβ4の輝点 ができ、輝点の光強度はシート 状物が先生拡散光の場合は、平 坦部のCo日ecβ2倍となる。
従って、照明装置の入射角の範囲は、前記■。
■の状態のいずれでも凹部の検出は可能であるが、前記
■の状態が最も感度よく検出できる。
次に、第3図は、前述した第2図に示した照明装置で、
各欠陥、凹部、凸部、汚れ部に対して斜め照明し、各欠
陥凹部、凸部、汚れ部の出カバターンの変化から各欠陥
を判別する処理方法を説明する図である。
同図(a)は、各欠陥をラインセンサで画像入力した画
像データのパターンであシ、31は凹部、32は凸部、
33け汚れ部であり、照明方向はラインH&C示す様に
図の左側から斜め照明している。また、同図(1))は
、同図(a)中のラインN上の固体撮像装置の出力を8
ビツトでA/D交換した場合の多値データである。凹部
、凸部、汚れ部の各欠陥の出カバターンは、多値データ
より異なる変化を示し、凹部が照明方向より低レベルか
ら高レベルへと、凸部は高レベルから低レベルへと変化
し、汚れは低レベルのままでおる。従って、凹部、凸部
、汚れ部の各欠陥の多値データは、同図(b)の如く影
領域を検知する閾fIICI及び輝点領域を検知する閾
値C2を設定して2値化すると、同図((り、 (il
l)の2値化データが結果として得られ、同図(c)で
は出力「0」が影領域と判定し、同図(a)では出力「
1」が輝点領域と判定している。これより凹部は同図(
c)の出力「0」から同図(d)の出力「1」へと急激
に変化し、凸部は凹部と逆に同図(c)の出力「1」か
ら同図(d)の出力「0」に急激に変化し、また汚れ部
は同図(C)で「0」とな石のみである。従って、本発
明の処理方法は、凹部、凸部、汚れ部の各欠陥を正確に
判別することができる。
以下、本発明のシート状物の検査装置の実施例を図面に
よって詳細に説明する。
〔実施例〕
第4図は、本発明の詳細な説明するための図である。
検査対象物1は、側面方向から光源7に取付けた光フア
イバ照明2で斜め照明されながら、一定速度で走行して
いる。ここで、検査対象物1を照明する装置としては、
出射光が平行光となるレーザ光が最も好ましいが、前述
した光フアイバ照明や点光源でも可能である。渣た、光
フアイバ照明の配役位置け、検査対象物1の移動方向に
対して側面方向としたが、正面方向あるいは背面方向で
もよい。
検査対象物1の贋射光は、ラインCODカメラ3で読み
取り、その信号を画像処理装置4で処理することにより
、検査対象物に含まれる凹部、凸部、汚れ部の3種類の
欠陥を判別してカウントしている。欠陥のデータ処理、
警報出力などはマイクロコンピュータ5で行っており、
その結果をデイスプレィ6に出力表示する。
第5図は、第4図の装置で得られた凹部、凸部、汚れ部
の3種類の画像データ及び画像データ中に点線表示した
中心部の縦1行分のヒストグラムである。
同図で(al)〜(C4)は凹部の多値画像、2値画像
(閾値0里)、2値画像(閾値C2)、ヒストグラムを
示し、以下(bl)〜(b4)は凸部、(C1)〜(C
4)は汚れに関するものを示している。凹部。
凸部、汚れ部の各画像データ(,1) 〜(C3)、(
bl)〜(b3)、(C1)〜(C3)では照明方向が
上から下へ向ってb6、またヒストグラム(C4) 、
 (b4)。
(C4)での照明方向は、左から右へ座標方向に数値が
大きくなる向きとなっている。
凹部は、多値画像(al)釦点線表示した1行分の出カ
バターンが、ヒストグラム(C4)となりこのヒストグ
ラム(C4)に対し閾値c1=180、閾値cl=+2
40を設定して二値化すると、2値画像(C2) 、 
(C3)が得られて影領域、輝点領域を検出できる。な
お、凸部、汚れ部についても凹部と同様であるので説明
を略する。
第6図は、画像処理装置4で凹部、凸部、汚れ部の3種
類の欠陥を判別する回路の1実施例である。
ラインCODカメラ3より得られる信号イは、形検出回
路6により閾値C1で2値化された信号口を、輝点検出
回路7によシ閾値C!で2値化された信号二を得る。ゲ
ート信号発生回路8では信号口の立ち上がりエツジから
CODクロック信号の数クロック間のゲート信号ハを発
生する。
ゲート回路9では、ゲート信号ハが発生している間、信
号二をイネーブル状態とすふゲート回路を持つ。この間
に、信号二が発生した場合、この信号は影から輝点に急
激に変化する信号と判別され、これを凹部検出信号ヌと
して出力する。
!た、ゲート回路9では、ゲート信号ハが発生していな
い間、信号二をイネーブル状態とするゲート回路も持つ
。この間に、信号二が発生した場合、これは、影から輝
点に急激に変化する信号以外の信号、即ち、輝点から影
に変化する信号の輝点部分の信号とみなせるから、これ
を、凸部検出信号りとして出力する。
また、信号りは、ゲート信号発生回路10Vc入力され
る。ゲート信号発生回路1oでは、信号りの立ち下がり
エツジからCODクロック信号の数クロック間のゲート
信号ホを発生する。
この信号ホが発生している間、形検出回路6をディスエ
ーブル状態とし、信号イが入力されても、信号口を出力
しないようにする。これにょ抄、凸部欠陥による形検出
部分をカットする。
また、汚れ信号検出回路11では、ゲート信号ハが発生
している間に信号二が変化しない時、ゲート信号ハの立
ち下がりエツジから1クロック間、信号を出力す2回路
である。この出力信号チは、形検出後、急激な輝点への
変化が々込場合忙のみ発生することになり、これは、汚
れを検出した場合に限られ、汚れ部検出信号チが得られ
る。
〔発明の効果〕
以上説明した通り、本発明のシート状物の欠陥検査装置
は、移動中のシート状物に対し斜め方向から照明装置に
よυ照明し、そのシート状物面でのy射光のうち正反射
成分を除く散乱光を固体撮像装置で受光して、その受光
した信号に対してレベルの異なる閾値を設定し影領域、
輝点領域とを判定し、更にその判定結果から輝点領域と
影領域との間で変化するパターンに基づき凹部、凸部、
汚れ部の三種の欠陥に分類するので正確に欠陥を判別す
ることが可能であり、シート状物の欠陥検査装置として
、その効果は大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のy  )状物の欠陥検査装置の概要
図である。 第2図は、欠陥の1つである凹部の欠陥検出方法と、そ
の効果を説明するための図である。 第3図は、凹部、凸部、汚れ部の3種類の画像データの
パターンの差を説明するための図である。 第4図は、本発明の詳細な説明するための図である。 第5図は、本発明の第3図の装置で得られた凹部、凸部
、汚れ部の3種類の画像データの1例とその画像データ
の中心部の縦1行分のヒストグラムである。 第6図は、画像処理装置4の凹部、凸部、汚れ部の3種
類の欠陥を判別する回路の1実施例である。 1は検査対象物、2は光フアイバ照明、3は4は画像処
理装置、5け 6はデイスプレィ、7 7は輝点検出回路、 9けゲート回路、10 11は汚れ信号検出口 ラインcanカメラ、 マイクロコンピュータ、 は光源、6は形検出回路、 8はゲート潜号発生回路、 はゲート信号発生回路、 路である。 特許出願人  三菱レイヨン株式会社 代理人 弁理士 吉 澤 敏 夫 んりマ 弔 図 第2図 第4 図 第5 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)移動中のシート状物に対し斜め方向より光を照射
    する照明装置と、該シート状物面での反射光のうち正反
    射成分を除く散乱光を受光する固体撮像装置と、該ライ
    ンセンサで受光して得た信号Sにレベルの異なる閾値C
    _1、C_2(C_1<C_2)を設定して、信号Sの
    レベルが閾値C_1より小さくなる区域を影領域また信
    号Sのレベルが閾値C_2より大きな区域を輝点領域と
    して判定して、その判定結果により輝点領域と影領域の
    間で変化するパターンに基づき凹部、凸部、汚れ部の三
    種の欠陥に分類処理を行う画像処理装置とから成ること
    を特徴とするシート状物の欠陥検査装置。
JP31060488A 1988-12-08 1988-12-08 シート状物の欠陥検査装置 Pending JPH02156144A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31060488A JPH02156144A (ja) 1988-12-08 1988-12-08 シート状物の欠陥検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31060488A JPH02156144A (ja) 1988-12-08 1988-12-08 シート状物の欠陥検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02156144A true JPH02156144A (ja) 1990-06-15

Family

ID=18007257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31060488A Pending JPH02156144A (ja) 1988-12-08 1988-12-08 シート状物の欠陥検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02156144A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04343049A (ja) * 1991-05-20 1992-11-30 Sekisui Chem Co Ltd シート状体のシート面監視装置
WO2017141611A1 (ja) 2016-02-19 2017-08-24 株式会社Screenホールディングス 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04343049A (ja) * 1991-05-20 1992-11-30 Sekisui Chem Co Ltd シート状体のシート面監視装置
WO2017141611A1 (ja) 2016-02-19 2017-08-24 株式会社Screenホールディングス 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム
US11216936B2 (en) 2016-02-19 2022-01-04 SCREEN Holdings Co., Ltd. Defect detection device, defect detection method, and program

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7105848B2 (en) Dual level out-of-focus light source for amplification of defects on a surface
US6462813B1 (en) Surface defect inspection system and method
JP2003139523A (ja) 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置
US7106432B1 (en) Surface inspection system and method for using photo detector array to detect defects in inspection surface
JPH06294749A (ja) 板ガラスの欠点検査方法
JPH11311510A (ja) 微小凹凸の検査方法および検査装置
JP2006138830A (ja) 表面欠陥検査装置
JP2003065966A (ja) フィルムに対する異物検査方法およびその装置
JPH0373831A (ja) 欠陥検査装置
JPH10176995A (ja) 透明体検査方法および装置
JP2003329612A (ja) 被検査物の検査方法
JPH03231144A (ja) 包装物の欠陥検査装置
JPH02156144A (ja) シート状物の欠陥検査装置
JPH09113465A (ja) 亜鉛メッキ系鋼板用表面欠陥検出装置
JPH09105618A (ja) 物体の平滑な面の欠陥検査方法及び装置並びに物体表面の粗さ測定方法及び装置
JPH0236893B2 (ja)
JPS6232345A (ja) 欠点検出装置
JP2002005845A (ja) 欠陥検査装置
JPS63218847A (ja) 表面欠陥検査方法
JP4014027B2 (ja) 車両塗面の微小欠陥検査装置
JP2559470B2 (ja) 外観検査方法
US20240094145A1 (en) Detection method and system for determining the location of a surface defect on a front or back surface of a transparent film
JP3396824B2 (ja) 欠陥検査方法と欠陥検査装置
KR940005944A (ko) 표면결함검사장치
US5402228A (en) On-line dirt counter