JPH0215553A - 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析装置Info
- Publication number
- JPH0215553A JPH0215553A JP63164669A JP16466988A JPH0215553A JP H0215553 A JPH0215553 A JP H0215553A JP 63164669 A JP63164669 A JP 63164669A JP 16466988 A JP16466988 A JP 16466988A JP H0215553 A JPH0215553 A JP H0215553A
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- high frequency
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Links
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Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、高周波誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）イオン源
と質量分析計とを結合した高周波誘導結合プラズマ質量
分析袋Ｒ（Ｉ ＣＰ−ＭＳ）に関し、特にＩＣＰイオン
源への試料の供給の改良に関するものである。
と質量分析計とを結合した高周波誘導結合プラズマ質量
分析袋Ｒ（Ｉ ＣＰ−ＭＳ）に関し、特にＩＣＰイオン
源への試料の供給の改良に関するものである。
［従来の技術］
かかるＩＣＰ−ＭＳは第２図に示すような構造を有して
いる。
いる。
同図において、１はＩｃＰイオン源で、高周波誘導コイ
ル２を巻回した石英等の電気絶縁物質製プラズマトーチ
３と試料液を噴霧するためのネプライザ４とから構成さ
れている。５は試料液６を収納すると共にネプライザ４
に導入管７を介して接続された試料ボトルである。８は
コーン状のノズル９と第１．第２のスキマー１０．１１
とからなるインターフェース、１２は質量分析装置で、
この質量分析装置は磁場型の質量分析計１３を使用して
いる。１４は前記質量分析装置内を高真空に保つための
油拡散ポンプ、１５．１６は前記ノズル９と第１のスキ
マー１０及び第１．第２のスキマー１０．１１との間に
夫々形成される空間Ｓ１．８２を排気するための油回転
ポンプである。
ル２を巻回した石英等の電気絶縁物質製プラズマトーチ
３と試料液を噴霧するためのネプライザ４とから構成さ
れている。５は試料液６を収納すると共にネプライザ４
に導入管７を介して接続された試料ボトルである。８は
コーン状のノズル９と第１．第２のスキマー１０．１１
とからなるインターフェース、１２は質量分析装置で、
この質量分析装置は磁場型の質量分析計１３を使用して
いる。１４は前記質量分析装置内を高真空に保つための
油拡散ポンプ、１５．１６は前記ノズル９と第１のスキ
マー１０及び第１．第２のスキマー１０．１１との間に
夫々形成される空間Ｓ１．８２を排気するための油回転
ポンプである。
１７は加速電極であり、図示外の加速電源より例えば±
１・ＯＫＶ程度の高電圧が印加されている。
１・ＯＫＶ程度の高電圧が印加されている。
１８はイオンを集束して前記質量分析計１３に導人させ
るための電極群である。尚、ノズル９．前記第１及び第
２のスキマー１０．１１にもこの加速電極１７と略同程
度の高電圧が印加されている。
るための電極群である。尚、ノズル９．前記第１及び第
２のスキマー１０．１１にもこの加速電極１７と略同程
度の高電圧が印加されている。
かかる構成において、プラズマトーチ３内には図示外の
ガス供給源からアルゴンガスが供給され、また、ネプラ
イザ４から試料６が霧状となって導入される。この状態
において、高周波誘導コイル２に電力を印加して高周波
磁界を形成すると、高周波誘導結合プラズマＰが発生す
るため、このプラズマ内の試料イオンがノズル９．各ス
キマー１０．１１を通ってインターフェース８内に進入
する。このインターフェース内に進入したイオンは加速
電極１７と電極群１８間に印加された加速電圧により加
速されて質量分析計１３に導入され質量分析される。
ガス供給源からアルゴンガスが供給され、また、ネプラ
イザ４から試料６が霧状となって導入される。この状態
において、高周波誘導コイル２に電力を印加して高周波
磁界を形成すると、高周波誘導結合プラズマＰが発生す
るため、このプラズマ内の試料イオンがノズル９．各ス
キマー１０．１１を通ってインターフェース８内に進入
する。このインターフェース内に進入したイオンは加速
電極１７と電極群１８間に印加された加速電圧により加
速されて質量分析計１３に導入され質量分析される。
［発明が解決しようとする課題］
このようなＩＣＰ−ＭＳにおいて、質量分析装置１２と
して磁場型の質量分析計を使用した場合には、試料イオ
ンを質量分析計１３へ向けて加速するための加速電極１
７をインターフェース８に接近して置かなければならな
い。ノズル９．第１及び第２のスキマー１０．１１もこ
の加速電極１７と略同電位の高電圧に保たれる。ここで
、プラズマは電気伝導度が高い性質を有している。その
結果、プラズマがノズル９．各スキマー１０．１１に触
れたとき、プラズマトーチ１内のプラズマ領域も高電圧
になる。この場合、試料として電気伝導率の低いもので
あれば、試料ボトル５部に高電圧が伝わることはないが
、逆に電気伝導率の高いものであれば、試料ボトル部に
高電圧が伝わるため、非常に危険である。
して磁場型の質量分析計を使用した場合には、試料イオ
ンを質量分析計１３へ向けて加速するための加速電極１
７をインターフェース８に接近して置かなければならな
い。ノズル９．第１及び第２のスキマー１０．１１もこ
の加速電極１７と略同電位の高電圧に保たれる。ここで
、プラズマは電気伝導度が高い性質を有している。その
結果、プラズマがノズル９．各スキマー１０．１１に触
れたとき、プラズマトーチ１内のプラズマ領域も高電圧
になる。この場合、試料として電気伝導率の低いもので
あれば、試料ボトル５部に高電圧が伝わることはないが
、逆に電気伝導率の高いものであれば、試料ボトル部に
高電圧が伝わるため、非常に危険である。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、試料の電気伝導率が高い場合でも試料ボトル部に高電
圧が伝達されないようにすることを目Ｃ自とするもので
ある。
、試料の電気伝導率が高い場合でも試料ボトル部に高電
圧が伝達されないようにすることを目Ｃ自とするもので
ある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明は高周波誘導結合プラ
ズマイオン源を用いて試料をイオン化し、生じたイオン
をインターフェースを介して質量分析計に導入するよう
にした装置において、前記高周波誘導結合プラズマイオ
ン源に試料を供給するにあたり、送液ポンプで吸引した
試料液を電気絶縁物質製で、しかも内径が微小なキャピ
ラリチューブを介して行うように構成したことを特徴と
するものである。
ズマイオン源を用いて試料をイオン化し、生じたイオン
をインターフェースを介して質量分析計に導入するよう
にした装置において、前記高周波誘導結合プラズマイオ
ン源に試料を供給するにあたり、送液ポンプで吸引した
試料液を電気絶縁物質製で、しかも内径が微小なキャピ
ラリチューブを介して行うように構成したことを特徴と
するものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明における試料供給部を示す構成略図であ
り、第２図と同一符号のものは同一構成要素を示す。
り、第２図と同一符号のものは同一構成要素を示す。
即ち本実施例では、試料ボトル５内の試料液６を送液ポ
ンプ１９で吸引しながら、キャピラリーチューブ２０を
介してネプライザ４に供給するように構成したことを特
徴とするものである。前記キャピラリーチューブ２０と
しては、フユーズシリカ等の電気絶縁物質で形成され、
しかも、その内径が例えば５０〜６０μｍのように非常
に小さく、さらに、長さが２〜３ｍのものが使用される
。
ンプ１９で吸引しながら、キャピラリーチューブ２０を
介してネプライザ４に供給するように構成したことを特
徴とするものである。前記キャピラリーチューブ２０と
しては、フユーズシリカ等の電気絶縁物質で形成され、
しかも、その内径が例えば５０〜６０μｍのように非常
に小さく、さらに、長さが２〜３ｍのものが使用される
。
このように長くて、しかも非常に細いキャピラリーチュ
ーブに試料液を流せば、試料液の電気伝導率が高くても
キャピラリーチューブ全長にわたっての電気抵抗値は飛
躍的に高くなるため、試料ボトル５（送液ポンプ１９）
部の電位はアースを維持することができる。
ーブに試料液を流せば、試料液の電気伝導率が高くても
キャピラリーチューブ全長にわたっての電気抵抗値は飛
躍的に高くなるため、試料ボトル５（送液ポンプ１９）
部の電位はアースを維持することができる。
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、非常に細いキャピ
ラリーチューブを使用して試料液をネプライザに供給す
るようにしであるため、チューブ内を流れる試料液の電
気抵抗値を実質的に高くすることができる。そのため、
試料として電気伝導率の高いものを使用しても試料ボト
ル部に質量分析計の高電圧が伝達されることを防止でき
る。また、送液ポンプで試料液をネプライザに供給する
ようにしているため、プラズマトーチ内に導入する試料
液の噴霧量の微調整が可能となる。
ラリーチューブを使用して試料液をネプライザに供給す
るようにしであるため、チューブ内を流れる試料液の電
気抵抗値を実質的に高くすることができる。そのため、
試料として電気伝導率の高いものを使用しても試料ボト
ル部に質量分析計の高電圧が伝達されることを防止でき
る。また、送液ポンプで試料液をネプライザに供給する
ようにしているため、プラズマトーチ内に導入する試料
液の噴霧量の微調整が可能となる。
第１図は本発明における試料供給部を示す構成略図、第
２図はＩ ＣＰ−ＭＳの構成を示す図である。 １：ＩＣＰイオン源 ３：プラズマトーチ ５：試料ボトル ７：導入管 ８：インターフェース ２：高周波コイル ４：ネプライザ ６：試料液 ９：ノズル １０．１１：第１．第２のスキマ− １２二質量分析装置 １３：質量分析計１４二浦拡
散ポンプ １５．１６：油回転ポンプ １７：加速電極 １８：電極群１９：送液ポン
プ ２０：キャピラリーチューブ
２図はＩ ＣＰ−ＭＳの構成を示す図である。 １：ＩＣＰイオン源 ３：プラズマトーチ ５：試料ボトル ７：導入管 ８：インターフェース ２：高周波コイル ４：ネプライザ ６：試料液 ９：ノズル １０．１１：第１．第２のスキマ− １２二質量分析装置 １３：質量分析計１４二浦拡
散ポンプ １５．１６：油回転ポンプ １７：加速電極 １８：電極群１９：送液ポン
プ ２０：キャピラリーチューブ
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマイオン源を用いて試料をイオン
化し、生じたイオンをインターフェースを介して質量分
析計に導入するようにした装置において、前記高周波誘
導結合プラズマイオン源に試料を供給するにあたり、送
液ポンプで吸引した試料液を電気絶縁物質製で、しかも
内径が微小なキャピラリチューブを介して行うように構
成したことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分
析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164669A JPH0215553A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164669A JPH0215553A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215553A true JPH0215553A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15797578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164669A Pending JPH0215553A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215553A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001185073A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Yokogawa Analytical Systems Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法 |
| JP4756406B1 (ja) * | 2010-12-20 | 2011-08-24 | 義知 徳重 | 自動車のフットブレーキと連動機能を有する非常用セーフティーブレーキ |
| CN106449348A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-02-22 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种用于纳米颗粒物气溶胶质谱仪的毛细管进样接口装置 |
| DE102016102128B4 (de) * | 2015-03-10 | 2019-10-10 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Faserwickelvorrichtung und Verfahren zum Steuern einer Faserwickelvorrichtung |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP63164669A patent/JPH0215553A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001185073A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Yokogawa Analytical Systems Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法 |
| JP4756406B1 (ja) * | 2010-12-20 | 2011-08-24 | 義知 徳重 | 自動車のフットブレーキと連動機能を有する非常用セーフティーブレーキ |
| DE102016102128B4 (de) * | 2015-03-10 | 2019-10-10 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Faserwickelvorrichtung und Verfahren zum Steuern einer Faserwickelvorrichtung |
| CN106449348A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-02-22 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种用于纳米颗粒物气溶胶质谱仪的毛细管进样接口装置 |
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