JPH02148994A - 固体撮像素子用テストチャート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 ３板式テレビカメラ等において、固体撮像素子の位置調
整、検査に用いられる固体撮像素子用テストチャートに
関する。

従来の技術 ＣＣＤ　（電荷結合素子）などの固体撮像素子を３個用
いる３板式テレビカメラでは、それぞれの固体撮像素子
の配置は極めて正しい位置にあることが要求される。各
固体撮像素子が正しい位置関係にないと画像の重ね合わ
せの際に色ずれや偽信号が生じてしまうからである。

そこで、従来固体撮像素子の位置調整を高精度に行うた
めのものとして、特開昭６１−２８８６８４号公報（固
体撮像素子のレジストレーション測定用テストチャート
）に記載されているテストチャートがある。これは、水
平及び垂直方向に少なくとも一本の濃淡の繰り返しパタ
ーンを有するテストチヤードであり、固体撮像素子で撮
像して得られる映像信号のビート成分を検出して位置ず
れの測定を行うものである。第４図はそのビート成分を
示し、テストチャートの繰り返しパターンの繰り返しピ
ッチとの差によってビートの周期Ｔが決まり、繰り返し
パターンと固体撮像素子との位置関係によってビートの
位相Ｐが決まる。従って、ビートの周期Ｔや位相Ｐを検
出することによって固体撮像素子の位置ずれを測定する
ことができる。

前記のようなテストチャートを用いて、３板式テレビカ
メラなどにおける複数の固体撮像素子間の１画素以内の
微少な位置ずれを測定する場合、第５図に示すように各
固体撮像素子からの映像信号のビート成分に着目し、ビ
ートの位相差を計測する。固体撮像素子の画素配列ピッ
チをＰＣＣＤ　　（μｍ）、ビートの位相差をΔＴ（Ｓ
ＥＣ）、ビートの周期をＴ（ＳＥＣ）とすると、固体撮
像素子間の位置ずれ量Ｅ　（μｍ）は、Ｅ＝ＰＣＣＤ、
ΔＴ／Ｔで求めることができる。

本発明者はこのような従来例に基すき、特願昭６２−２
０００２２号く固体撮像素子用テストチャート）におい
て繰り返しピッチが同一で繰り返しの位相が所定の関係
で異なる複数の繰り返しパターンを組み合わせたテスト
チャートを示している。これは、繰り返しピッチが同一
で繰り返しの位相が所定の関係で異なる繰り返しパター
ンを組み合わせて設けたものである。

発明が解決しようとする課題 ところが、単一の繰り返しピッチの繰り返しパターンを
有するテストチャートで画素ピッチの異なる複数の種類
の固体撮像素子の位置調整を行なうには、画角すなわち
結像倍率を変えることによって適当なビートを発生させ
るか、あるいは、繰り返しパターンのピッチが異なる複
数の種類のテストチャートから適当な１つを選択して用
いるしかなかっな。

しかし、結像倍率を変えることは色収差などの光学系収
差の発生状態が変化するため調整条件を一定にできない
という欠点がある。

また、複数種のテストチャートの中から１つを選択して
用いるというのは多頷のチャート製作費を要するばかり
ではなく、テストチャートの交換の度にチャート調整が
必要となり得策ではない。

本発明はかかる点に鑑み、画素ピッチの異なる複数の種
類の固体撮像素子の位置調整、しかも画素ずらし調整が
容易にできる固体撮像素子用テストチャートを提供する
ことを目的とする。

課題を解決するための手段 前記問題点を解決するための手段は、規則的に画素が配
列された固体撮像素子の画素ピッチと所定の関係の繰り
返しピッチで、水平あるいは垂直方向に濃淡を繰り返す
縁り返しパターンを有し、前記固体撮像素子で撮像され
得られる映像信号に基づいて前記固体撮像素子の位置を
測定するテストチャートにおいて、繰り遅しピッチが同
一で位相が所定の関係で互いに異なる複数の繰り返しパ
ターンにより構成する第１の繰り返しパターン群と、第
１の繰り返しパターン群と同様の位相関係にある複数の
繰り返しパターンを備えその繰り返しピッチが第１の繰
り返しパターン群の繰り返しパターンと異なる他の繰り
返しパターン群とを設けたものである。

作用 上記手段による作用は以下の通りである。

すなわち、繰り返しピッチの互いに異なる第１の繰り返
しパターン群と他の繰り返しパターン群とがそれぞれ画
素ピッチの異なる固体撮像素子に対応して、同一画角に
おいてすなわち結像倍率を変えることなくそれぞれ適当
なビートを発生させることができるとともに、それぞれ
の繰り返しパターン群を構成する複数の繰り返しパター
ンが画素ずらしにおける位相差と等価な位相差を備えて
いるので画素ずらしを行う固体撮像素子のビートに位相
差が生じることがなく位置調整が容易となる。

実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は本実施例における固体撮像素子用テストチャート
を示す模式図であり、チャートの中央部Ａ、上部Ｂ、下
部Ｃに水平方向に濃淡を繰り返す繰り返しパターンが各
々４列ずつ設けられる。

Ａ、Ｂ、Ｃの領域は同様の構成であり、以下、Ａ領域で
説明する。

Ａ領域は、各々繰り返しピッチの異なる第１の繰り返し
パターン群Ａ１及び第２の繰り返しパターン群Ａ２から
成る。第１の繰り返しパターン群Ａ１は、互いに位相が
１／４ピッチ異なる２つの繰り返しパターンＡｌ−、ａ
、Ａｌ−ｂから成る。

第２の繰り返しパターン群Ａ２は、互いに位相が１／４
ピッチ異なる２つの繰り返しパターンＡ２−ａ、Ａ２−
ｂから成る。たとえば３０万画素固体撮像素子とＡ０万
画素固体撮像素子を例にすると、水平方向画素数は各々
約６００画素、約８００画素となりそれぞれの画素ピッ
チに対応する繰り返しピッチを有する繰り返しパターン
をそれぞれの繰り返しパターン群Ａｌ、Ａ２に設ければ
よい また、それぞれの繰り退しパターン群Ａ１．Ａ２におい
て、繰り返しパターンＡＩ−ａ、Ａｌ−ｂ、Ａ２−ａ、
Ａ２−ｂの位相を１／４ピッチ異ならしめているが、こ
れは、３板式テレビカメラなどの固体撮像素子の位置合
わせとして１／２画素ピッチの空間的画素ずらしを行な
う場合、第２図に示すように例えば同一の繰り返しパタ
ーンＡＩ−ａを撮像して得られる各固体撮像素子のビー
トの位相は１／２周期の位相差が生じてしまう。

これでは位置調整が困難であるから、本実施例では固体
撮像素子における１／２画素ピッチの空間的画素ずらし
と等価な位相関係を有する２つの繰り返しパターンＡＩ
−ａ、Ａｌ−ｂをテストチャートに設けたものである。

これによると、第３図に示すように各固体撮像素子のビ
ートは１／２周期の位相差が生じないため、ゼロクロス
点が同じ位置に発生するように位置調整すればよい。

なお、本実施例では１つの繰り返しパターン群を１／４
ピッチ異なる２つの繰り返しパターンで構成しているが
、１／８ピッチずつ異なる３つの繰り返しパターンで構
成してもよい、また、繰り返しパターン群は２つに限ら
ないことはいうまでもない。

発明の効果 以上述べてきたように、本発明によれば、画素ピッチの
異なる複数の種類の固体撮像素子の位置調整を１つのテ
ストチャートで、しかも、固体撮像素子の画素ずらし調
整を高精度で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１丙は、本発明の一実施例における固体撮像素子用テ
ストチャートを示す模式図、第２図及び第３図は繰り返
しパターン像と固体撮像素子の画素配列との関係と、得
られる映像信号のビート成分とを示す模式図、第４図は
映像信号のビート成分を示す模式図、第５図はビート成
分の位相差から固体撮像素子の位置ずれを求める際の説
明図である。 Ａ１・・・第１の繰り返しパターン群、ＡＩ−ａ、ＡＩ
−ｂ・・・繰り返しパターン、Ａ２・・・第２の繰り返
しパターン群、Ａ２−ａ、Ａ２−ｂ・・・繰り返しパタ
ーン。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名第 図 ＡＩ　・− ＾＋−ｃＬ、Ａ１−ｂ− Ａ２・・・ Ａ２−ａ、Ａｔ−ｂ・°− 第１の陽り恒しノ？Ｓｌ−ン群 鳩　リ　　通　し　ｌで　９−　ソ 第２の締り流しバ９−ン群 精り課しバターソ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）規則的に画素が配列された固体撮像素子の画素ピ
   ッチと所定の関係の繰り返しピッチで、水平あるいは垂
   直方向に濃淡を繰り返す繰り返しパターンを有し、前記
   固体撮像素子で撮像され得られる映像信号に基づいて前
   記固体撮像素子の位置を測定するテストチャートにおい
   て、繰り返しピッチが同一で位相が所定の関係で互いに
   異なる複数の繰り返しパターンにより構成する第１の繰
   り返しパターン群と、第１の繰り返しパターン群と同様
   の位相関係にある複数の繰り返しパターンを備えその繰
   り返しピッチが第１の繰り返しパターン群の繰り返しパ
   ターンと異なる他の繰り返しパターン群とを設けたこと
   を特徴とする固体撮像素子用テストチャート。
2. （２）繰り返しパターン群を構成する複数の繰り返しパ
   ターンの位相が互いに１／４ピッチもしくは１／８ピッ
   チ異なることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子
   用テストチャート。