JPH02148822A - 半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバー - Google Patents
半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバーInfo
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- JPH02148822A JPH02148822A JP63302561A JP30256188A JPH02148822A JP H02148822 A JPH02148822 A JP H02148822A JP 63302561 A JP63302561 A JP 63302561A JP 30256188 A JP30256188 A JP 30256188A JP H02148822 A JPH02148822 A JP H02148822A
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- environmental chamber
- chamber
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造及び液晶パネル製造等の露光装置に
おいて、装置の環境温度・湿度を一定に保ち、露光装置
の性能を長期的に高精度に、かつ。
おいて、装置の環境温度・湿度を一定に保ち、露光装置
の性能を長期的に高精度に、かつ。
安定に維持するために使用されるエンバイロメンタルチ
ャンバーに関する。
ャンバーに関する。
従来、この種のエンバイロメンタルチャンバーは第４図
に示すようにクーラー５．ヒーター４゜ファン３ 、
ＨＥＰＡフィルター２．温湿度センサ−６゜異常検出回
路部１２．運転制御部１０．無停電電源８゜電源９等に
より構成されていた。１は露光装置。
に示すようにクーラー５．ヒーター４゜ファン３ 、
ＨＥＰＡフィルター２．温湿度センサ−６゜異常検出回
路部１２．運転制御部１０．無停電電源８゜電源９等に
より構成されていた。１は露光装置。
７は吸気孔である。
上述した従来のエンバイロメンタルチャンバーは第５図
に示すように異常検出回路部１２が働くと、すぐ、にエ
ンバイロメンタルチャンバーの運転を停止するようにな
っているので、停電や瞬時停電により異常検出回路部１
２が誤動作した場合でも、運転を停止してしまい、エン
バイロメンタルチャンバー内の余熱や装置の発生する余
熱で内部の温度が上昇し、露光装置１の光学性能が変化
し、元に戻らなくなることによって著しく性能が悪化す
るという欠点がある。
に示すように異常検出回路部１２が働くと、すぐ、にエ
ンバイロメンタルチャンバーの運転を停止するようにな
っているので、停電や瞬時停電により異常検出回路部１
２が誤動作した場合でも、運転を停止してしまい、エン
バイロメンタルチャンバー内の余熱や装置の発生する余
熱で内部の温度が上昇し、露光装置１の光学性能が変化
し、元に戻らなくなることによって著しく性能が悪化す
るという欠点がある。
また、通常これらの露光装置は数十台というかなり多く
の台数を使用するため、異常発生時、全台数に短時間で
適切な処置を行うことが不可能であり、生産ラインの受
けるダメージは大きいものとなる。
の台数を使用するため、異常発生時、全台数に短時間で
適切な処置を行うことが不可能であり、生産ラインの受
けるダメージは大きいものとなる。
本発明の目的は前記課題を解決したエンバイロメンタル
チャンバーを提供することにある。
チャンバーを提供することにある。
上述した従来のエンバイロメンタルチャンバーに対し、
本発明は異常検出機能の他に、異常発生モードの分析、
装置の運転状況と装置への供給電源の正常・異常の判断
及び異常発生モードが継続しているか否かを判断する等
の制御機能を有するという相違点を有する。
本発明は異常検出機能の他に、異常発生モードの分析、
装置の運転状況と装置への供給電源の正常・異常の判断
及び異常発生モードが継続しているか否かを判断する等
の制御機能を有するという相違点を有する。
さらに、異常がキャンセルされた場合、自動的にチャン
バーの運転がスタートされる自動運転スタート機能を有
するという相違点を有する。
バーの運転がスタートされる自動運転スタート機能を有
するという相違点を有する。
前記目的を達成するため、本発明は半導体露光装置の性
能を長期的に高精度に、かつ、安定に保つために使用さ
れるエンバイロメンタルチャンバーにおいて、動作異常
の発生時にその異常を分析し、適切な復帰処置を行う制
御回路を含むものである。
能を長期的に高精度に、かつ、安定に保つために使用さ
れるエンバイロメンタルチャンバーにおいて、動作異常
の発生時にその異常を分析し、適切な復帰処置を行う制
御回路を含むものである。
以下１本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。
図において、１は露光装置であり、露光装置１を外装す
るチャンバー１８には）ＩＥＰＡフィルター２が設けら
れ、フィルター２と吸気孔７との間にはファン３．ヒー
ター４．クーラー５が設置されている。。
るチャンバー１８には）ＩＥＰＡフィルター２が設けら
れ、フィルター２と吸気孔７との間にはファン３．ヒー
ター４．クーラー５が設置されている。。
本発明のエンバイロメンタルチャンバーは、異常検知信
号分析回路部１３と、異常信号キャンセル回路部１４と
、チャンバーの総合制御部１１と、クーラー５．ヒータ
ー４．ファン３の運転制御部１０゜電′ｇ９．無停電電
源８．温湿度センサー６とを備えている。
号分析回路部１３と、異常信号キャンセル回路部１４と
、チャンバーの総合制御部１１と、クーラー５．ヒータ
ー４．ファン３の運転制御部１０゜電′ｇ９．無停電電
源８．温湿度センサー６とを備えている。
異常検知信号分析回路部１３と異常信号キャンセル回路
部１４により、異常信号の発生が瞬間的かあるいは継続
的かを分析し、自動的に異常信号をリセットし、再度発
生するかを認識する機能を有し、すぐには運転を停止し
ないようになっている。またこの機能には異常信号が継
続して発生した場合は、装置の異常と児なし、運転を停
止するシーケンスも含まれている。
部１４により、異常信号の発生が瞬間的かあるいは継続
的かを分析し、自動的に異常信号をリセットし、再度発
生するかを認識する機能を有し、すぐには運転を停止し
ないようになっている。またこの機能には異常信号が継
続して発生した場合は、装置の異常と児なし、運転を停
止するシーケンスも含まれている。
一連の動作シーケンスの一実施例を第３図に示し、説明
する。通常の運転状態において、何らかの異常信号が発
生した場合、まずその信号が瞬間的か継続的かを異常検
知信号分析回路部１３のタイマー等により、任意の時間
だけサンプリングを行い判断する。次に、この異常信号
が瞬間的であると判断されたときは、異常信号キャンセ
ル回路部１４により異常検出回路部１２のリセットを行
わせ。
する。通常の運転状態において、何らかの異常信号が発
生した場合、まずその信号が瞬間的か継続的かを異常検
知信号分析回路部１３のタイマー等により、任意の時間
だけサンプリングを行い判断する。次に、この異常信号
が瞬間的であると判断されたときは、異常信号キャンセ
ル回路部１４により異常検出回路部１２のリセットを行
わせ。
再度異常信号が発生するかを確認し、再発しない場合は
異常検出回路部１２での誤検出と見なし、運転を続行す
る。また異常信号が継続的に発生している場合はその信
号がどの部分からのものであるかを分析し、クーラー関
係等のすぐにリセットを行っても復帰できない信号のと
きは任意のウェイト時間経過後、リセット動作するよう
になっている。次に、異常信号が継続的に発生している
と判断される場合は、この実施例では１回だけであるが
、任意の回数だけリセット動作を行わせ、回復可能な異
常かを認識し、運転の停止又は続行を行うことができる
ようになっている。
異常検出回路部１２での誤検出と見なし、運転を続行す
る。また異常信号が継続的に発生している場合はその信
号がどの部分からのものであるかを分析し、クーラー関
係等のすぐにリセットを行っても復帰できない信号のと
きは任意のウェイト時間経過後、リセット動作するよう
になっている。次に、異常信号が継続的に発生している
と判断される場合は、この実施例では１回だけであるが
、任意の回数だけリセット動作を行わせ、回復可能な異
常かを認識し、運転の停止又は続行を行うことができる
ようになっている。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。
この実施例では停電・瞬時停電検出回路部１５を追加し
、前述の異常検知信号分析回路部１３及び異常信号キャ
ンセル回路部１４と組合せて、さらに自動運転スタート
回路部１６をチャンバーの総合制御部１１に連結するこ
とにより、異常発生時及び停電・瞬時停電発生時でも異
常信号をリセットするとともに、復電後装置の異常信号
を再確認後、自動的に運転を再開することが可能となる
という利点がある。
、前述の異常検知信号分析回路部１３及び異常信号キャ
ンセル回路部１４と組合せて、さらに自動運転スタート
回路部１６をチャンバーの総合制御部１１に連結するこ
とにより、異常発生時及び停電・瞬時停電発生時でも異
常信号をリセットするとともに、復電後装置の異常信号
を再確認後、自動的に運転を再開することが可能となる
という利点がある。
以上説明したように本発明はエンバイロメンタルチャン
バーの異常検出回路の誤検出や、停電・瞬時停電による
誤動作が発生しても異常内容を分析し、適切なリセット
動作と運転動作を自動で行うことにより、上述の原因に
よりエンバイロメンタルチャンバーが停止することを防
ぐことができる効果があり、露光装置の安定稼動に大き
く貢献する。
バーの異常検出回路の誤検出や、停電・瞬時停電による
誤動作が発生しても異常内容を分析し、適切なリセット
動作と運転動作を自動で行うことにより、上述の原因に
よりエンバイロメンタルチャンバーが停止することを防
ぐことができる効果があり、露光装置の安定稼動に大き
く貢献する。
また、落雷の多発する地域においては、瞬時停電の発生
が多く、特に露光装置においてはほとんどの場合、瞬時
停電の発生によりエンバイロメンタルチャンバーが停止
し、装置の立上げ調整に膨大な費用と時間を費やし、生
産にも支障をきたしている。このような問題も本発明の
エンバイロメンタルチャンバーであれば、完全自動で運
転の再スタートが可能であり、露光装置の受けるダメー
ジを最低限にくい止めることができる効果がある。
が多く、特に露光装置においてはほとんどの場合、瞬時
停電の発生によりエンバイロメンタルチャンバーが停止
し、装置の立上げ調整に膨大な費用と時間を費やし、生
産にも支障をきたしている。このような問題も本発明の
エンバイロメンタルチャンバーであれば、完全自動で運
転の再スタートが可能であり、露光装置の受けるダメー
ジを最低限にくい止めることができる効果がある。
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図、第３図は本発明の実施例１
における異常検知時のフローチャート、第４図は従来の
エンバイロメンタルチャンバーを示す構成図、第５図は
従来の異常検知時のフローチャートである。 １・・・露光装置 ２・・・１（ＥＰＡフィ
ルター３・・・ファン ４・・・ヒーター
５・・・クーラー ６・・・温湿度センサ−
７・・・吸気孔 ８・・・無停電電源９・
・電源 １０・・・クーラー、ヒーター、ファンの運転制御部１
１・・・チャンバーの総合制御部 １２・・・異常検出回路部 １３・・・異常検知信号分析回路部 １４・・・、異常信号キャンセル回路部１５・・・停電
・瞬時停電検出回路部 Ｉ６・・・自動運転スタート回路部 実用新案登録出願人 山形日本電気株式会社第３図
明の実施例２を示す構成図、第３図は本発明の実施例１
における異常検知時のフローチャート、第４図は従来の
エンバイロメンタルチャンバーを示す構成図、第５図は
従来の異常検知時のフローチャートである。 １・・・露光装置 ２・・・１（ＥＰＡフィ
ルター３・・・ファン ４・・・ヒーター
５・・・クーラー ６・・・温湿度センサ−
７・・・吸気孔 ８・・・無停電電源９・
・電源 １０・・・クーラー、ヒーター、ファンの運転制御部１
１・・・チャンバーの総合制御部 １２・・・異常検出回路部 １３・・・異常検知信号分析回路部 １４・・・、異常信号キャンセル回路部１５・・・停電
・瞬時停電検出回路部 Ｉ６・・・自動運転スタート回路部 実用新案登録出願人 山形日本電気株式会社第３図
Claims (1)
- （１）半導体露光装置の性能を長期的に高精度に、かつ
、安定に保つために使用されるエンバイロメンタルチャ
ンバーにおいて、動作異常の発生時にその異常を分析し
、適切な復帰処置を行う制御回路を含むことを特徴とす
る半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63302561A JPH02148822A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63302561A JPH02148822A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148822A true JPH02148822A (ja) | 1990-06-07 |
Family
ID=17910458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63302561A Pending JPH02148822A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02148822A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002054464A1 (fr) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Nikon Corporation | Construction a liaison gpib et son utilisation |
| JP2021057485A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社ピーエムティー | 半導体製造装置及び湿度制御方法 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP63302561A patent/JPH02148822A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002054464A1 (fr) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Nikon Corporation | Construction a liaison gpib et son utilisation |
| US6903799B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-06-07 | Nikon Corporation | Exposure method and exposure apparatus |
| JP2021057485A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社ピーエムティー | 半導体製造装置及び湿度制御方法 |
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