JPH02145800A - 動圧型流体軸受の動圧溝形成方法 - Google Patents
動圧型流体軸受の動圧溝形成方法Info
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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-
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、動圧型流体軸受における動圧溝を形成する方
法に関する。
法に関する。
〈従来の技術〉
従来より、動圧溝は、例えば、機械加工法、転造法、フ
ォトエツチング法、放電加工法、メツキ法および印刷法
などにより形成される。
ォトエツチング法、放電加工法、メツキ法および印刷法
などにより形成される。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、１−記各従来方法には、それぞれ次のよ
うな欠点がある。つまり、機械加圧法、転造法では動圧
溝を精度良く形成しに＜＜、フォトエツチング法は動圧
溝を精度良（形成できるものの工程数が多く手間がかか
り過ぎる。また、メツ、ト法、印刷法でも手間がかかり
過ぎ、放電加工法では装置が大規模になり大電力が必要
である。
うな欠点がある。つまり、機械加圧法、転造法では動圧
溝を精度良く形成しに＜＜、フォトエツチング法は動圧
溝を精度良（形成できるものの工程数が多く手間がかか
り過ぎる。また、メツ、ト法、印刷法でも手間がかかり
過ぎ、放電加工法では装置が大規模になり大電力が必要
である。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、簡素
な構成の装置を利用して、ｍ単かつ迅速に高精度な動圧
溝が得られる方法の提供を目的としている。
な構成の装置を利用して、ｍ単かつ迅速に高精度な動圧
溝が得られる方法の提供を目的としている。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、このような目的を達成するために。
次のような構成をとる。
即ち、本発明にかかる動圧型流体軸受の動圧溝形成方法
は、正負一対の電極間に、電解液吸収保持部材と、得る
べき動圧溝に対応した抜き孔パターンが形成された絶縁
素材よりなるマスクと、軸受母材とを重ねて挟み、前記
電解液吸収保持部材マスクおよび軸受母材を介して電掻
間に通電することにより、軸受母材のマスク側一面をｎ
ｉｊ記マスクの抜き孔パターンに対応して電解腐蝕させ
ることに特徴を有する。
は、正負一対の電極間に、電解液吸収保持部材と、得る
べき動圧溝に対応した抜き孔パターンが形成された絶縁
素材よりなるマスクと、軸受母材とを重ねて挟み、前記
電解液吸収保持部材マスクおよび軸受母材を介して電掻
間に通電することにより、軸受母材のマスク側一面をｎ
ｉｊ記マスクの抜き孔パターンに対応して電解腐蝕させ
ることに特徴を有する。
く作用〉
本発明では、電解液吸収保持部材に含まれる電解液がマ
スクの抜き孔パターンを通じて被加工物の一面に当該抜
き孔パターンに対応して付着された状態にて通電するか
ら、軸受母材の電解液付着部位のみに電解腐蝕作用が起
こる。
スクの抜き孔パターンを通じて被加工物の一面に当該抜
き孔パターンに対応して付着された状態にて通電するか
ら、軸受母材の電解液付着部位のみに電解腐蝕作用が起
こる。
このように電解液を利用して動圧溝を形成する方法なの
で、放電加工のように大電力を必要とせず、簡素な装置
を利用できる。
で、放電加工のように大電力を必要とせず、簡素な装置
を利用できる。
〈実施例〉
以ｒ、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
本発明の動圧溝形成方法に用いる動圧溝形成装置の〜例
を第１図に示す。第１図には、第２図に示ｔようなスラ
スト流体軸受ｌの動圧溝２を形成するための装置を示し
ている。
を第１図に示す。第１図には、第２図に示ｔようなスラ
スト流体軸受ｌの動圧溝２を形成するための装置を示し
ている。
回倒の装置において、基台３の側方には正電極４が取り
（Ｉｊられており、この正電極４の−Ｆ面にはカーボン
台５が固定されているとともに、スポンジやフェルトな
どで形成される電解液吸収保持部材６が着脱自在に載置
されている。この電解液吸収保持部材６にはバイブ７を
介して図外の電解液供給源が連結されており、電解液供
給源から与えられる、例えば亜硝酸ナトリウノ２や塩化
ナトリウムなどの電解液が電解液吸収保持部材６に供給
される。
（Ｉｊられており、この正電極４の−Ｆ面にはカーボン
台５が固定されているとともに、スポンジやフェルトな
どで形成される電解液吸収保持部材６が着脱自在に載置
されている。この電解液吸収保持部材６にはバイブ７を
介して図外の電解液供給源が連結されており、電解液供
給源から与えられる、例えば亜硝酸ナトリウノ２や塩化
ナトリウムなどの電解液が電解液吸収保持部材６に供給
される。
この電解液吸収保持部材６の−Ｌ面には、動圧溝２に対
応したヘリングボーン状の抜き孔パターン８が形成され
た動圧溝形成用マスク９．軸受Ｂ材ＩＡが順次積載され
る。マスク９は、絶縁性、耐腐蝕性および耐圧性に優れ
た、例えばナイロンなどの合成樹脂などで形成するのが
好ましい。
応したヘリングボーン状の抜き孔パターン８が形成され
た動圧溝形成用マスク９．軸受Ｂ材ＩＡが順次積載され
る。マスク９は、絶縁性、耐腐蝕性および耐圧性に優れ
た、例えばナイロンなどの合成樹脂などで形成するのが
好ましい。
そして、圧電８ｉ４の上方には、当該電極に対して遠近
自在（矢印参照）となるよう例えば図示しないエアーシ
リンダによって昇降自在に支持された負電極ｌＯが配置
されている。この負電極１０は棒状に形成されたもので
あって、その下端中心に下方に突出する突起１１を有し
ている。
自在（矢印参照）となるよう例えば図示しないエアーシ
リンダによって昇降自在に支持された負電極ｌＯが配置
されている。この負電極１０は棒状に形成されたもので
あって、その下端中心に下方に突出する突起１１を有し
ている。
このような装置を用いて、第２図に示すスラスト流体軸
受ｌの動圧溝２を形成する手１＠を説明する。
受ｌの動圧溝２を形成する手１＠を説明する。
まず、第２図に示すヘリングボーン状の動圧溝２に対応
する抜き孔パターン８を有するマスク９を用意するとと
もに、中心に透孔を有する環状の軸受体（例えば５ｕｓ
４２０製）よりなる軸受母材ＩＡを用意し、この軸受母
材ＩＡ（少なくとも動圧溝形成面）を脱脂洗浄しておく
。そして、−上記装置における電解液吸収保持部材６上
に、前記マスク９および軸受母材ＩＡを載せる。軸受母
材ｌＡは動圧溝２を形成すべき面を上にする。
する抜き孔パターン８を有するマスク９を用意するとと
もに、中心に透孔を有する環状の軸受体（例えば５ｕｓ
４２０製）よりなる軸受母材ＩＡを用意し、この軸受母
材ＩＡ（少なくとも動圧溝形成面）を脱脂洗浄しておく
。そして、−上記装置における電解液吸収保持部材６上
に、前記マスク９および軸受母材ＩＡを載せる。軸受母
材ｌＡは動圧溝２を形成すべき面を上にする。
この後、電解液吸収保持部材６に十分な量の電解液を含
ませてから、負電極１０を下降させて軸受母材ＩＡ、マ
スク９および電解液吸収保持部材６に対して所定圧力を
加えた状態で、画電極４．ｌＯ間に所定時間通電する。
ませてから、負電極１０を下降させて軸受母材ＩＡ、マ
スク９および電解液吸収保持部材６に対して所定圧力を
加えた状態で、画電極４．ｌＯ間に所定時間通電する。
前記加圧力は例えば４〜６ （ｋｇ／ｃｍＺ）程度とし
、通電電流は０．５（Ａ）程度でよい。この加圧力１通
電１ま流および通電時間は、得るべき動圧溝２の溝深さ
に応して適宜設定すればよい。そして７１両電極４．１
０の加圧により、電解液吸収保持部材６に含まれる電解
液がマスク９の抜き孔パターン８を通して当該抜き孔パ
ターン状に軸受母材ＩＡの一面に付着され、画電極４．
１０間の通電によって軸受母材ＩＡの一面における電解
液付着部位のみが電解腐蝕される。この電解腐蝕された
部分が凹状に食刻されるので、抜き孔パターン８に対応
した形状の動圧溝２が形成される。
、通電電流は０．５（Ａ）程度でよい。この加圧力１通
電１ま流および通電時間は、得るべき動圧溝２の溝深さ
に応して適宜設定すればよい。そして７１両電極４．１
０の加圧により、電解液吸収保持部材６に含まれる電解
液がマスク９の抜き孔パターン８を通して当該抜き孔パ
ターン状に軸受母材ＩＡの一面に付着され、画電極４．
１０間の通電によって軸受母材ＩＡの一面における電解
液付着部位のみが電解腐蝕される。この電解腐蝕された
部分が凹状に食刻されるので、抜き孔パターン８に対応
した形状の動圧溝２が形成される。
次いで、軸受母材ＩＡに付着している電解液を中和させ
る。
る。
このようにして第２図に示すスラスト流体軸受ｌの動圧
嘴２が得られる。
嘴２が得られる。
なお、形成すべき動圧溝２のパターンは周知の流体軸受
に採用される種々なものにできることは言うまでもない
、また、上記実施例ではスラスト流体軸受１の動圧溝２
の形成について説明しているが、本発明はそれのみに限
定されず、種々な流体軸受の動圧溝を形成するのに適用
できる。上記実施例のように、両電ｉ４，１０で電解液
吸収保持部材６．マスク９および軸受母材１． Ａを押
圧すれば、電解液吸収保持部材６に含まれる電解液が軸
受母材ＩＡに対して付着しやすくなる。ただし、このよ
うな押圧を行わずとも、電解液の電解液吸収保持部材６
に対する供給圧を適宜に設定することで、前記同様の付
着性を得ることができる。
に採用される種々なものにできることは言うまでもない
、また、上記実施例ではスラスト流体軸受１の動圧溝２
の形成について説明しているが、本発明はそれのみに限
定されず、種々な流体軸受の動圧溝を形成するのに適用
できる。上記実施例のように、両電ｉ４，１０で電解液
吸収保持部材６．マスク９および軸受母材１． Ａを押
圧すれば、電解液吸収保持部材６に含まれる電解液が軸
受母材ＩＡに対して付着しやすくなる。ただし、このよ
うな押圧を行わずとも、電解液の電解液吸収保持部材６
に対する供給圧を適宜に設定することで、前記同様の付
着性を得ることができる。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、電解液を用いて
通電するので、消費電力が少なくて済むとともに、加工
時間が短時間で済む上、使用する装置が放電加工法のよ
うな大規模のものでなくて事足りる。しかも、マスクの
抜き孔パターンを通して軸受母材に対する電解液の付着
ｉｌ域を設定しているので、精度良い動圧溝を形成でき
る。このように、簡単かつ迅速に高精度な動圧溝を形成
する方法を提供できる。
通電するので、消費電力が少なくて済むとともに、加工
時間が短時間で済む上、使用する装置が放電加工法のよ
うな大規模のものでなくて事足りる。しかも、マスクの
抜き孔パターンを通して軸受母材に対する電解液の付着
ｉｌ域を設定しているので、精度良い動圧溝を形成でき
る。このように、簡単かつ迅速に高精度な動圧溝を形成
する方法を提供できる。
第１図および第２図は本発明の一実施例にかかり、第１
図は動圧溝形成装置の一例の外観を示す側面図、第２図
はスラスト？Ｒ体軸受の外観を示す斜視図である。 ２・・・動圧溝、 ４・・・正電極、６・・・
電解液吸収保持部材、 ８・・・抜き孔パターン、 ９・・・マスク、＋Ａ・・
軸受母材、 ｌｏ・・・負電極。
図は動圧溝形成装置の一例の外観を示す側面図、第２図
はスラスト？Ｒ体軸受の外観を示す斜視図である。 ２・・・動圧溝、 ４・・・正電極、６・・・
電解液吸収保持部材、 ８・・・抜き孔パターン、 ９・・・マスク、＋Ａ・・
軸受母材、 ｌｏ・・・負電極。
Claims (1)
- （１）正負一対の電極間に、電解液吸収保持部材と、得
るべき動圧溝に対応した抜き孔パターンが形成された絶
縁素材よりなるマスクと、軸受母材とを重ねて挟み、前
記電解液吸収保持部材、マスクおよび軸受母材を介して
電極間に通電することにより、軸受母材のマスク側一面
を前記マスクの抜き孔パターンに対応して電解腐蝕させ
ることを特徴とする動圧型流体軸受の動圧溝形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29891088A JPH02145800A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 動圧型流体軸受の動圧溝形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29891088A JPH02145800A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 動圧型流体軸受の動圧溝形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02145800A true JPH02145800A (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=17865754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29891088A Pending JPH02145800A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 動圧型流体軸受の動圧溝形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02145800A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998023405A1 (en) * | 1996-11-28 | 1998-06-04 | Loadpoint Limited | Method and apparatus for forming recesses in a bearing surface |
| WO1998035779A1 (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-20 | Skf Engineering And Research Centre B.V. | Method of providing a metal bearing component with a pattern by electrochemical machining and an apparatus therefor |
| WO2004065047A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-08-05 | Seagate Technology Llc | Critical orifice gap setting for ecm grooving of flat plates |
| CN101804488A (zh) * | 2010-04-22 | 2010-08-18 | 西安交通大学 | 套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法 |
| JP2015206082A (ja) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | 清水建設株式会社 | 高力ボルト摩擦接合用鋼板の製造方法および製造装置 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP29891088A patent/JPH02145800A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998023405A1 (en) * | 1996-11-28 | 1998-06-04 | Loadpoint Limited | Method and apparatus for forming recesses in a bearing surface |
| WO1998035779A1 (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-20 | Skf Engineering And Research Centre B.V. | Method of providing a metal bearing component with a pattern by electrochemical machining and an apparatus therefor |
| US6245212B1 (en) | 1997-02-14 | 2001-06-12 | Skf Engineering And Research Centre B.V. | Method of providing a metal bearing component with a pattern by electrochemical machining and an apparatus therefor |
| CN1112271C (zh) * | 1997-02-14 | 2003-06-25 | Skf工程和研究中心有限公司 | 通过电解加工对金属轴承件设置图形的方法及其设备 |
| WO2004065047A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-08-05 | Seagate Technology Llc | Critical orifice gap setting for ecm grooving of flat plates |
| US7632391B2 (en) | 2003-01-21 | 2009-12-15 | Seagate Technology Llc | Critical orifice gap setting for grooving fluid dynamic bearings |
| CN101804488A (zh) * | 2010-04-22 | 2010-08-18 | 西安交通大学 | 套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法 |
| JP2015206082A (ja) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | 清水建設株式会社 | 高力ボルト摩擦接合用鋼板の製造方法および製造装置 |
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