JPH02144929A - コレットおよびそれを用いたペレットボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コレットおよびそれを用いたペレットボンデ
ィング技術に関し、特に、半導体集積回路装置の組立工
程に用いられるペレットボンディング技術に適用して効
果のある技術に関する。

〔従来の技術〕

たとえば、半導体集積回路装置の組立工程においては、
株式会社工業調査会、昭・和５７年１１月１５日発行、
「電子材料Ｊ　１９８２年１１月号別冊、Ｐ１５８〜Ｐ
１６２などの文献に記載されているように、所定の半導
体集積回路が形成された矩形のペレットをワイヤボンデ
ィング工程などに先立ってリードフレームの一部に固着
させるペレットボンディングが行われている。

すなわち、先端部に開設された真空吸着口の周囲に、ペ
レットの外形寸法に応じた大きさの角錐状のテーパ面を
なす凹部が刻設されたいわゆる角錐コレットを３次元的
に変位自在なボンディングヘッドに垂直下向きに固定す
る。

そして、ボンディングヘッドの移動動作によって、所定
の供給部に位置決めされているペレットを角錐コレット
の先端部に真空吸着によって保持させた後、リードフレ
ームの目的のボンディング部位に搬送して押圧し、予め
ボンディング部位に塗着されているペーストなどを介し
て、固着させるものである。

これにより、角錐コレットの先端部に保持されるペレッ
トは、その外縁部が凹部内周の角錐状のテーパ面に当接
した状態に保持されるため、たとえばペレットの上面に
形成されている、後のワイヤボンディングなどのための
ポンディングパッドなどを損傷することなく、リードフ
レームに対するボンディングが可能となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記の従来技術のようなペレットボンディン
グ技術においては、品種などの変更によってペレットの
外形寸法が変化すると、その都度、変更後のペレットの
寸法などに応じた専用の角錐コレットに交換する必要が
あり、角錐コレットのボンディングヘッドに対する取り
付は精度の調整などのために熟練や時間を要する煩雑な
交換作業が必須となってペレットボンディング工程にお
ける生産性が損なわれるという問題ある。

さらに、ボンディングされるペレットの品種変更などに
遅滞なく対応するためには、ペレットの品種の数だけ角
錐コレットを予め製作し保管しておく必要があるが、コ
レットには耐摩耗性が要求されるため、超硬合金などの
高値な難加工材料が一般に使用され、製作に日数やコス
トを要することとなり、新品種の場合にはボンディング
工程がコレットの完成待ちとなったり、ペレットボンデ
ィング工程における原価高の一因となるなど、種々の問
題があることを本発明者は見出した。

そこで、本発明の目的は、ペレットの品種切り換えなど
に伴う交換作業を不要にして、ペレットボンディング工
程における生産性を向上させることが可能なコレットを
提供することにある。

本発明の他の目的は、ペレットボンディング工程におけ
る原価低減を実現することが可能なコレットを提供する
ことにある。

本発明のさらに他の目的は、ペレットの品種切り換えな
どに伴うコレットの交換作業を不要にして、ペレットボ
ンディング工程における生産性を向上させることが可能
なペレットボンディング装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、ペレットボンディング工程
における原価低減を実現することが可能なペレットボン
ディング装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特黴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願・において開示される発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明になるコレットは、ペレットボンディ
ング装置に用いられるコレットであって、真空吸引口が
開設された本体と、少なくとも一方が本体に互いに接近
および離間する方向に摺動自在に嵌合され、真空吸引口
に吸引されるペレットを支持する複数の保持部材とから
なり、ペレットの外形寸法の変化に応じて複数の保持部
材の間に構成される間口寸法を可変にしたものである。

また、本発明になるペレットボンディング装置は、被ボ
ンディング物の搬送経路に設けられたボンディングステ
ージと、ペレット供給部と、３次元的に変位自在なボン
ディングへ・ラドと、このボンディングヘッドに支持さ
れ、ペレット供給部に位置するペレットを保持して被ボ
ンディング物に対するボンディング動作を行うコレット
とからなるペレットボンディング装置であって、請求項
１゜２または３記載のコレットを使用するとともに、ボ
ンディングヘッドの可動範囲内には、コレットの保持部
材に係合する調整治具が固定された調整ステージを配置
したものである。

〔作用〕

上記した本発明のコレットによれば、品種の変更などに
よってペレットの外形寸法が変化しても、本体に対して
保持部材を適宜移動させ、当該保持部材によって構成さ
れる間口寸法を品種変更後のペレットの外形寸法に対応
するように設定することで容易に対応でき、当該コレッ
トそれ自体を交換するだめの煩雑な作業が不要となり、
ペレットボンディング工程における生産性を向上させる
ことができる。

また、ペレットの個々の品種毎に個別にコレットを用意
する必要がないので、余分なコレットの製作コストの分
だけペレットボンディング工程における原価低減を実現
することができる。

また、上記した本発明のペレットボンディング装置によ
れば、ペレットの品種の変更などに際して、随時、ボン
ディングヘッドに支持されたコレットを調整ステージに
移動させ、調整治具に当該コレットの保持部材を係合さ
せた状態でボンディングヘッド側に支持された本体をｔ
目射的に微小変位させて、保持部材によって構成される
間口寸法をペレットの外形寸法に最適となるように調整
する動作を行うことで、煩雑なコレットの交換作業を行
うことなくボンディング作業を継続することができ、ペ
レットボンディング工程における生産性を向上させるこ
とが可能となる。

さらに、ペレットの個々の品種毎に個別に余分なコレッ
トを準備する必要がないので、コレットの製作コストの
分だけペレットボンディング工程における原価低減を実
現することができる。

〔実施例Ｉ〕

第１図は、本発明の一実施例で′あるコレットの斜視図
であり、第２図は、このコレットが装着されたペレット
ボンディング装置の要部を示す斜視図である。

まず、第２図を参照しながら、本実施例のペレットボン
ディング装置の構成の概略を説明する。

フレーム搬送路１の両端部には、図示しないフレーム供
給カセットおよびフレーム払い出しカセットが配置され
ており、外部から供給カセットに収納されて到来する複
数のリードフレーム２が、個別に図示しない搬送機構な
どによって、同図の手前側から奥側に所定のピッチで間
歇的に送られる構造となっている。

フレーム搬送路１の中央部には、図示しないヒータなど
を内蔵したボンディングステージ３が設けられている。

このボンディングステージ３の近傍には、水平面内にお
いて移動自在なＸ−Ｙテーブル４と、このＸ−Ｙテーブ
ル４に載置され、上下動自在なＺテーブル５が設けられ
ている。

さらにＺテーブル５には、ボンディングステージ３の上
方に位置する姿勢でボンディングヘッド６が支持されて
おり、Ｘ−Ｙテーブル４およびＺテーブル５の変位を適
宜組み合わせることによってこのボンディングヘッド６
０３次元的な変位が実現されるようになっている。

また、Ｘ−Ｙテーブル４およびＺテーブル５は、図示し
ない制御計算機などによってそれぞれ数値制御されるサ
ーボモータ４ａ、４ｂおよびサーボモータ５ａによって
精密に駆動されるものであり、ボンディングヘッド６０
３次元的な変位は、たとえばμｍ単位に精密に制御され
るように構成されている。

このように３次元的な変位が精密に制御されるボンディ
ングヘッド６には、支持アーム７を介して、下方のボン
ディングステージ３に対向するように垂直下向きの姿勢
でコレット８が固定されている。

この場合、第１図に示されるように、コレット８は、た
とえば磁性体または永久磁石などからなるブロック状の
本体８ａと、この１本体８ａの中央部に一端が一体に接
続され、他端部が前記支持アーム７に同軸に嵌合するア
ーム部８ｂとを備えている。

本体８ａの下面中央部には、真空吸引孔８Ｃが開設され
ており、この真空吸引孔８Ｃは、アーム部８ｂおよび支
持アーム７に軸方向に貫通して穿設された真空吸引路８
ｄを介して、外部の図示しない真空ポンプなどに接続さ
れている。

さらに、本体８ａの下面には、前記真空吸引孔８Ｃを挟
んで対向する位置に、たとえば、稀土類磁石などの強力
な永久磁石で構成されるとともに高硬度を有する一対の
コの字型の保持部材８ｅおよび８ｆが、互いに接近およ
び離間する方向に摺動自在に嵌合しており、本体８ａに
対する複数の保持部材８ｅおよび８ｆの嵌合位置は、当
該本体８ａと保持部材８ｅおよび８ｆの各々との間に作
用する磁力による摩擦力によって維持される構造となっ
ている。

保持部材８ｅおよび８ｆの互いに対向する側面には、下
方に向かって相互の間隔が漸増するようなテーパ部８ｇ
および８ｈが形成されている。

そして、このテーバ部８ｇおよび８ｈに、上部外縁を当
接させることにより、本体８ａの下面と所定の間隙Ｇを
なした姿勢で、後述の矩形のベレット９が真空吸着によ
って保持されるものである。

ボンディングヘッド６が支持されるＸ−Ｙテーブル４な
どとフレーム搬送路ｌを挟んで対向する位置には、中間
位置決めステージ１０と、複数のベレット９が収納され
たカセットリングｌｌａなどからなるベレット供給部１
１が設けられている。

さらに、ペレット供給部１１の上方には、カセットリン
グｌｌａに保持された複数のベレット９を真空吸着など
の方法によって個別に採取して中間位置決めステージ１
０に搬送する採取アーム１２が配置されている。

この場合、さらに、中間位置決めステージ１０の近傍に
は、前記ボンディングヘッド６によって駆動されるコレ
ット８の可動範囲内に、第２図に示されるように、調整
ステージ１３が配置されている。

この調整ステージ１３の上面には、先端部が、前記コレ
ット８０本体８ａにおける複数の保持部材８ｅおよび８
ｆの長手方向での幅寸法よりも内法の幅寸法が僅かに大
きく設定された凹部１４ａをなす調整治具１４がほぼ垂
直に固定されている。

そして、随時、ボンディングヘッド６の移動動作によっ
て、コレット８をこの調整ステージ１３の直上部に移動
させ、たとえば第３図（ａ）およびら）などに示される
ように、コレット８の本体８ａを調整治具１４の凹部１
４ａに嵌合させ、当該凹部１４ａを一方の保持部材８ｅ
（８ｆ）に係合させた状態で、当該本体８ａを保持部材
８ｅおよび８ｆの対向方向に微動させることにより、当
該保持部材８ｅと８ｆとの間隔（間口寸法Ｍ）を任意の
値に調整する動作が行われるものである。

また、特に図示しないが、フレーム搬送路１におけるリ
ードフレーム２の搬送方向におけるボンディングステー
ジ３の上手側には、後述のような一連のボンディング動
作によるリードフレーム２に対するベレット９のボンデ
ィング操作に先立って、リードフレーム２におけるベレ
ット９のボンディング部位にたとえば銀ペーストなどの
接着材を予め塗着させるプリフォームステージが配置さ
れている。

以下、本実施例の作用の一例について説明する。

まず、フレーム搬送路１の上手側端部には、複数のリー
ドフレーム２を収納した図示しないフレーム供給カセッ
トがセットされるとともに、下手側端部には、空のフレ
ーム払い出しカセットがセットされ、さらに、ペレット
供給部１１には、フレーム供給カセットに収納されてい
るリードフレーム２にボンディングすべき複数のペレッ
ト９が収納されたカセットリングｌｌａがセットされる
。

さらに、コレット８の間口寸法Ｍは、後述のような調整
動作によって予め当該ベレット９の外形寸法に応じた最
適な値に設定されている。

そして、フレーム搬送路１に設けられた図示しない搬送
機構によって、フレーム供給カセットから個別に取り出
されたリードフレーム２は、当該リードフレーム２の中
央部におい′て長手方向に所定の間隔で配置された図示
しないボンディング部位のピッチで間歇的にボンディン
グステージ３の方向に移動する。

そして、ボンディングステージ３の上手側に設けられた
図示しないプリフォームステージにおいて、まず、ペレ
ット９のボンディング部位に対して接着材が塗着される
。

一方、ベレット供給部１１の側においては、採取アーム
１２の採取動作によって、カセットリングｌｌａの複数
のペレット９の一つが選択され、中間位置決めステージ
１０にセットされる。

そして、間歇的な移動によって、前記の図示しないプリ
フォームステージにおいて接着材が塗着されたリードフ
レーム２のボンディング部位がボンディングステージ３
の上に至ると、ボンディングヘッド６の適宜の移動動作
により、当該ボンディングヘッド６に固定されたコレッ
ト８は中間位置決めステージ１０のペレット９の上に降
下し、さらに真空吸引孔８Ｃを排気することによる真空
吸着によって、ペレット９は複数の保持部材８Ｃおよび
８ｆのテーパ部８ｇおよび８ｈに上部外縁部を当接させ
た第１図に示される状態でコレット８に保持される。

その後、ボンディングヘッド６の移動動作によって、ペ
レット９を保持した状態のコレット８はボンディングス
テージ３の上に移動して、当該ボンディングステージ３
の上に位置されるリードフレーム２の目的のボンディン
グ部位に降下し、ペレット９を当該ボンディング部位に
加振しながら押圧する。

この押圧によって、ペレット９は予め塗着されていた接
着材層を介してリードフレーム２の目的のボンディング
部位に圧着される。

なお、本発明者らの研究によれば、ペレット９のボンデ
ィング時の押圧荷重は、通常１００ｇ程度であるが、本
実施例のように本体８ａを磁性体または永久磁石にする
とともに、保持部材８ｅおよび８ｆを稀土類磁石のよう
な強力な永久磁石で構成した場合には、磁力による摩擦
力に打ち勝って本体８ａに対して保持部材８ｅ・および
８ｆを移動させるためには８００ｇ以上の大きな力が必
要であり、ボンディング作業中に保持部材８ｅおよび８
ｆが所定の位置からずれる懸念はない。

こうして、リードフレーム２をボンディング部位の間隔
で間歇的に移動させながら、接着材の塗着およびそれに
引き続くコレット８によるペレット９のボンディング動
作が繰り返され、所定数のボンディング部位に対するペ
レット９のボンディングが完了したリードフレーム２は
、フレーム搬送路ｌの下手側端部に設けられている図示
しないフレーム払い出しカセットに順次収納されていく
。

ここで、リードフレーム２にボンディングされるペレッ
ト９の品種の変更などにより、当該ペレット９の外形寸
法が変化すると、従来のような角錐コレットなどを使用
する場合には、ボンディングヘッド６に固定されていた
角錐コレットを変更後のペレット９の外形寸法に応じた
ものに交換する必要があったが、本実施例の場合には、
次のような一連の調整動作によってコレット８自体を交
換することなく対応する。

すなわち、ペレット９０品種の変更があった場合には、
まず、ボンディング６の精密な移動動作により、コレッ
ト８を調整ステージ１３の上に移動させ、たとえば第３
図（ａ）および（ｂ）に示されるように、当該調整ステ
ージ１３に設けられている調整治具１４の先端部の凹部
１４ａを、保持部材８ｅおよび８ｆの内側においてコレ
ット８の本体・８ａに嵌合させ、一方の保持部材８ｅが
調整治具１４に係合されるようにする。

そして、この状態で、ボンディングヘッド６を微動させ
、コレット８の本体８ａを調整治具１４から遠ざかる方
向に、当該本体８ａと保持部材８ｅとの間の摩擦力より
も大きな力で徐々に所望の量だけ変位させることにより
、保持部材８ｅは他の保持部材８ｆから遠ざかる方向に
所定量だけ移動される。

同様の操作を保持部材８ｆの側に対しても行うことによ
り、保持部材８ｅおよび８ｆとの間の間口寸法Ｍを所定
量だけ太き（する調整動作が完了する。

また、第３図（ａ）および（ｂ）は間口寸法Ｍを大きく
する場合の動作が示されているが、逆に間口寸法Ｍを小
さくする場合には、個々の保持部材８ｅおよび８ｆの各
々の外側において本体８ａに調整治具１４の凹部１４ａ
を嵌合させ、本体８ａと調整治具１４とを接近させる方
向に微動させればよい。

なお、本体８ａに対する保持部材８ｅおよび８ｆの適正
な変位機は、本実施例のような構造のコレット８の場合
には、保持部材８ｅおよび８ｆの各々のテーパ部８ｇお
よび８ｈに外縁部が当接するペレット９の上面と本体８
ａの底面との間隙Ｇが所定の値以下になる値に設定され
る。

すなわち、真空吸引動作に際して当該間隙Ｇから真空吸
引孔８Ｃに流入する外気の流量を所定の値以下に制限し
、真空吸着によるペレット９のコレット８に対する保持
動作の安定性が損なわれないように設定される。

こうして、本実施例の場合には、ペレット９の品種の変
更に伴う外形寸法の増減に対して、当該コレット８自体
を交換するなどの煩雑な作業を行うことなく、容易かつ
迅速に対応できる。

このため、たとえば、コレット８の交換や交換後の位置
合わせや平行出しなどの調整作業などのために、ボンデ
ィング作業が長時間にわたって中断されることもなく、
また、前述の一連の作業におけるボンディングヘッド６
の変位動作のための数値制御動作を予めプログラムして
おくことにより、作業者が調整作業に介入する必要もな
くなる。

この結果、ペレットボンディング装置の可動率が大幅に
向上し、たとえば半導体集積回路装置の組立工程におけ
るペレットボンディング作業、さらには半導体集積回路
装置の製造工程全体の生産性が確実に向上する。

さらに、ペレット９の品種毎に、高価なコレットを多数
用意する必要がなく、ペレットボンディング工程におけ
る製造原価の低減を実現することができる。

また、新品種のペレット９の出現に際して、新たにコレ
ットを製作するなどのために、ペレットボンディング工
程における着工が・待たされることもなく、半導体集積
回路装置の新製品の開発期間などの短縮が可能となる。

さらに、調整ステージ１３を設け、ボンディングヘッド
６の精密な移動動作を利用してコレット８における間口
寸法の調整を行わせることにより、コレット８自体に間
口寸法Ｍの調整のための複雑な機構を装着する必要がな
く、コレット８自体の構造の簡略化および調整動作の信
頼性を向上させることができる。

〔実施例２〕 第４図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明の他の
実施例であるコレット８１の正面図および側面図であり
、第５図（ａ）および（ｂ）は、その間口寸法Ｍの調整
動作の一例を示す正面図および側面図である。

本実施例のコレット８１の場合には、本体８１ａに嵌合
する複数の保持部材８１ｅおよび８１ｆによって構成さ
れる間口寸法Ｍの維持が、前記実施例１の場合のような
磁力による摩擦力の代わりに、機械的にセルフ・ロック
現象を利用して実現されるようにしたものである。

すなわち、本実施例２の場合には、複数の保持部材８１
ｅおよび８１ｆは矩形の板状の部材で構成されていると
ともに、本体８１ａはこの板状の保持部材８１ｅおよび
８１ｆの各々の下端の近傍を貫通した状態で摺動自在嵌
合している。

さらに、当該保持部材８１ｅおよび８１ｆの各々の上端
部と、アーム部８１ｂとの間には、一端が固定ねじ８１
ｍおよび８１ｎによってそれぞれ当該アーム部８１ｂの
基端部に係止され他端部は保持部材８１ｅおよび８１ｆ
の各々の上端部に係止される複数の逆Ｕ字型の板ばね８
１におよび８１１が介設されている。

そして、この板ばね８１におよび８１βの拡開力によっ
て、保持部材８１ｅおよび８１ｆの各々には、本体８１
ａに対する摺動方向に交差する方向の回動力が常時作用
する構造となっており、さらに、保持部材８１ｅおよび
８１ｆに対する板ばね８１におよび８１１の回動力の作
用点と本体８１ａに対する嵌合部との距離ｙが、個々の
保持部材８１ｅおよび８１ｆの本体８１７ａに対する嵌
合部の幅Ｘよりも充分大きく　（たとえば１０倍程度）
なるように設定されている。

このため、板ばね８１におよび８１βからの回動力によ
って保持部材８１ｅおよび８１ｆに作用する当該保持部
材８１ｅおよび８１ｆの摺動方向の水平分力よりも、本
体８１ａと保持部材８１ｅおよび８１ｆとの嵌合部にお
ける摩擦力のほうが大となり、保持部材８１ｅおよび８
１ｆは、外力を作用させない状態では本体８１ａに自動
的にロックされた状態となる。

この板ばね８１におよび８１ｆの回動力によるロック作
用を利用して、本実施例２の場合には、保持部材８１ｅ
と８１ｆとの間に構成される間口寸法Ｍをボンディング
作業時に維持する。

また、ペレット９の品種の切り換えなどに対応するため
の、保持部材８１ｅおよび８１ｆの間口寸法Ｍの調整は
、第５図（ａ）およびら）に示されるように、前記実施
例１の場合とほぼ同様に、調整ステージ１３の調整治具
１４に保持部材８１ｅおよび８１ｆをそれぞれ係合させ
た状態で、ボンディングヘッド６を微動させ、板ばね８
１におよび８１１によるロック力に抗して保持部材８１
ｅおよび８１ｆを個別に所望の方向にロック位置をずら
すことにより、容易に行うことができる。

このように本実施例２の場合にも、ペレット９の品種の
変更に伴う外形寸法の増減に対して、当該コレット８１
自体を交換するなどの煩雑な作業を行うことなく、容易
かつ迅速に対応できる。

このため、たとえば、コレット８１の交換や交換後の位
置合わせや平行出しなどの調整作業などのために、ボン
ディング作業が長時間にわたって中断されることもなく
、また、前述の一連の作業におけるボンディングヘッド
６の変位動作のための数値制御動作を予めプログラムし
ておくことにより、作業者が調整作業に介入する必要も
なくなる。

この結果、ペレットボンディング装置の可動率が大幅に
向上し、たとえば半導体集積回路装置の組立工程におけ
るペレットボンディング作業、さらには半導体集積回路
装置の製置工程全体の生産性が確実に向上する。

さらに、ペレット９の品種毎に、高価なコレットを多数
用意する必要がなく、ペレットボンディング工程におけ
る製造原価の低減を実現することができる。

また、新品種のペレット９の出現に際して、新たにコレ
ットを製作するなどのために、ペレットボンディング工
程にふける着工が待たされることもなく、半導体集積回
路装置の新製品の開発期間などの短縮が可能となる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、ペレットボンディング装置の構成や、コレッ
トの構造および形状は、前記の各実施例に示されたもの
に限定されない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。

すなわち、本発明になるコレットによれば、ペレットボ
ンディング装置に用いられるコレットであって、真空吸
引口が開設された本体と、少なくとも一方が前記本体に
互いに接近および離間する方向に摺動自在に嵌合され、
前記真空吸引口に吸引されるペレットを支持する複数の
保持部材とからなり、前記ペレットの外形寸法の変化に
応じて複数の前記保持部材の間に構成される間口寸法を
可変にしたので、たとえば、品種の変更などによってペ
レットの外形寸法が変化しても、本体に対して保持部材
を適宜移動させ、当該保持部材によって構成される間口
寸法を品種変更後のペレットの外形寸法に対応するよう
に設定することで容易に対応でき、当該コレットそれ自
体を交換するための煩雑な作業が不要となり、ペレット
ボンディング工程における生産性を向上させることがで
きる。

また、ペレットの個々の品種毎−に個別にコレットを用
意する必要がないので、余分なコレットの製作コストの
分だけペレットボンディング工程における原価低減を実
現することができる。

また、本発明になるペレットボンディング装置によれば
、被ボンディング物の搬送経路に設けられたボンディン
グステージと、ベレット供給部と、３次元的に変位自在
なボンディングヘッドと、このボンディングヘッドに支
持され、前記ペレット供給部に位置する前記ペレットを
保持して前記被ボンディング物に対するボンディング動
作を行うコレットとからなるペレットボンディング装置
であって、前記コレットが請求項１，２または３記載の
コレットからなり、前記ボンディングヘッドの可動範囲
内には、前記コレットの前記保持部材に係合する調整治
具が固定された調整ステージを配置してなる構造である
ため、たとえば、ペレットの品種の変更などに際して、
随時、ボンディングヘッドに支持されたコレットを調整
ステージに移動させ、調整治具に当該コレットの保持部
材を係合させた状態でボンディングヘッド側に支持され
た本体を相対的に微小変位させて、保持部材によって構
成される間口寸法をペレットの外形寸法に最適となるよ
うに調整する動作を行うことで、煩雑なコレットの交換
作業を行うことなくボンディング作業を継続することが
でき、ペレットボンディング工程における生産性を向上
させることが可能となる。

さらに、ペレットの個々の品種毎に個別に余分なコレッ
トを準備する必要がないので、コレットの製作コストの
分だけペレットボンディング工程における原価低減を実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるコレットの斜視図、 第２図はコレットが装着されたペレットボンディング装
置の要部を示す斜視図、 第３図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ間口寸法の調整動
作の一例を示す正面図および側面図、 第４図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施
例であるコレットの正面図および側面図、第５図（ａ）
およびら）は間口寸法の調整動作の一例を示す正面図お
よび側面図である。 １・・・フレーム搬送路、２・・・リードフレーム（被
ボンディング物）、３・・・ボンディングステージ、４
・・・Ｘ−Ｙテーブル、４ａ、４ｂ・・・サーボモータ
、５・・・Ｚテーブル、５ａ・・・サーボモータ、６・
・・ボンディングヘッド、７・・・支持アーム、８・・
・コレット、８ａ・・・本体、８ｂ・・・アーム部、８
ｃ・・・真空吸引孔、８ｄ・・・真空吸引路、８ｅ、８
ｆ・・・保持部材、８ｇ、８ｈ・・・テーパ部、８１・
・・コレット、８１ａ・・・本体、８１ｂ・・・アーム
部、８１ｃ・・・真空吸引孔、８１ｄ・・・真空吸引路
、８１ｅ、８１ｆ・・・保持部材、８１ｇ、８１ｈ・・
・テーパ部、８１ｋ。 ８１１・・・板ばね、８１ｍ、８１ｎ・・・固定ねじ、
９・・・ペレット、ｌＯ・・・中間位置決めステージ、
１１・・・ベレット供給部、ｌｌａ・・・カセットリン
グ、１２・・・採取アーム、１３・・・調整ステージ、
１４・・・調整治具、１４ａ・・・凹部、Ｍ・・・間口
寸法、Ｇ・・・コレットの本体とペレットとの間隙、Ｘ
・・・コレフトの本体に対する保持部材の嵌合幅、ｙ・
・・板ばねの回動力の保持部材に対する作用点とコレッ
トの本体に対する嵌合部との距離。 第 図 第 図 （ａ） （′ｂ） １ａ 図 （ａ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ペレットボンディング装置に用いられるコレットで
   あって、真空吸引口が開設された本体と、少なくとも一
   方が前記本体に互いに接近および離間する方向に摺動自
   在に嵌合され、前記真空吸引口に吸引されるペレットを
   支持する複数の保持部材とからなり、前記ペレットの外
   形寸法の変化に応じて複数の前記保持部材の間に構成さ
   れる間口寸法を可変にしたことを特徴とするコレット。 ２、前記本体および前記保持部材の少なくとも一方が永
   久磁石で構成され、磁力によって前記本体と前記保持部
   材との間に生じる摩擦力により、複数の前記保持部材の
   間に構成される前記間口寸法が維持されるようにした請
   求項１記載のコレット。 ３、前記本体と前記保持部材との間に弾性部材を介設し
   、前記保持部材の前記本体に対する摺動方向に傾斜させ
   る方向に作用する回動力を当該保持部材に与えることに
   より、複数の前記保持部材の間に構成される前記間口寸
   法が維持されるようにした請求項１記載のコレット。 ４、被ボンディング物の搬送経路に設けられたボンディ
   ングステージと、ペレット供給部と、３次元的に変位自
   在なボンディングヘッドと、このボンディングヘッドに
   支持され、前記ペレット供給部に位置する前記ペレット
   を保持して前記被ボンディング物に対するボンディング
   動作を行うコレットとからなるペレットボンディング装
   置であって、前記コレットが請求項１、２または３記載
   のコレットからなり、前記ボンディングヘッドの可動範
   囲内には、前記コレットの前記保持部材に係合する調整
   治具が固定された調整ステージを配置してなるペレット
   ボンディング装置。 ５、前記ペレットの外形寸法や品種の変更に際しては、
   前記ボンディングヘッドに支持された前記コレットを前
   記調整ステージに移動させ、前記調整治具に当該コレッ
   トの前記保持部材を係合させた状態で前記本体を微小変
   位させることにより、当該保持部材によって構成される
   前記間口寸法を前記ペレットの外形寸法に最適となるよ
   うに調整し、前記コレットを交換することなく前記ボン
   ディング作業を継続可能にした請求項４記載のペレット
   ボンディング装置。