JPH02140842U - - Google Patents
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- JPH02140842U JPH02140842U JP4976989U JP4976989U JPH02140842U JP H02140842 U JPH02140842 U JP H02140842U JP 4976989 U JP4976989 U JP 4976989U JP 4976989 U JP4976989 U JP 4976989U JP H02140842 U JPH02140842 U JP H02140842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- blade
- parallel
- semiconductor
- optical distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の一実施例である半導
体製造装置を示し、第１図は平面図、第２図は測
定台と旋回装置の関係を説明する側面図、第３図
は測定台とターンテーブルの関係を説明する正面
図である。第４図は従来の不要突起物を除去する
従来装置を示す側面図である。 １……刃（刃状硬質物質）、３……半導体ウエ
ーハ、２……ターンテーブル、６……旋回装置、
８……平行移動手段（アーム）、１０……光学式
距離計、１１……測定台、１２……半導体製造装
置。
体製造装置を示し、第１図は平面図、第２図は測
定台と旋回装置の関係を説明する側面図、第３図
は測定台とターンテーブルの関係を説明する正面
図である。第４図は従来の不要突起物を除去する
従来装置を示す側面図である。 １……刃（刃状硬質物質）、３……半導体ウエ
ーハ、２……ターンテーブル、６……旋回装置、
８……平行移動手段（アーム）、１０……光学式
距離計、１１……測定台、１２……半導体製造装
置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 テーブルに吸着保持した半導体ウエーハの表面
を、平行移動手段に取付けられ噴出する気体の圧
力で浮上させた刃によつて走査し、半導体ウエー
ハ上の不要突起物を切断除去する装置において、 上記半導体ウエーハの上面と同一高さを持ち、
上面に光学式距離計を埋め込んだ測定台を、上記
刃の平行移動可能な位置に設けたことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4976989U JPH02140842U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4976989U JPH02140842U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140842U true JPH02140842U (ja) | 1990-11-26 |
Family
ID=31567740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4976989U Pending JPH02140842U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02140842U (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP4976989U patent/JPH02140842U/ja active Pending
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