JPH01141009U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01141009U JPH01141009U JP3661988U JP3661988U JPH01141009U JP H01141009 U JPH01141009 U JP H01141009U JP 3661988 U JP3661988 U JP 3661988U JP 3661988 U JP3661988 U JP 3661988U JP H01141009 U JPH01141009 U JP H01141009U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing head
- wafer processing
- wafer
- semiconductor wafer
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第1図は本考案に係るウエーハ加工用ヘツドを
備えたウエーハ表面の突起除去装置の正面図、第
2図は本ウエーハ加工用ヘツドによる突起除去要
領を説明するための拡大正面図である。第3図は
従来のウエーハ加工用ヘツドを備えたウエーハ表
面の突起除去装置の正面図、第4図は第3図の平
面図、第5図はウエーハ加工用ヘツドを説明する
ための一部断面正面図、第6図は従来のウエーハ
加工用ヘツドの課題を説明するための正面図であ
る。 6……加工用ヘツド、6a……突起に突き当た
る側の側面、6b……下面、7……吹出口、m…
…突起〔マウンド〕、W……半導体ウエーハ。
備えたウエーハ表面の突起除去装置の正面図、第
2図は本ウエーハ加工用ヘツドによる突起除去要
領を説明するための拡大正面図である。第3図は
従来のウエーハ加工用ヘツドを備えたウエーハ表
面の突起除去装置の正面図、第4図は第3図の平
面図、第5図はウエーハ加工用ヘツドを説明する
ための一部断面正面図、第6図は従来のウエーハ
加工用ヘツドの課題を説明するための正面図であ
る。 6……加工用ヘツド、6a……突起に突き当た
る側の側面、6b……下面、7……吹出口、m…
…突起〔マウンド〕、W……半導体ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 下面略中央部にガス吹出口を有し、回転駆動さ
れる半導体ウエーハの上で微小距離浮上して半導
体ウエーハの半径方向に移動可能に配置され、上
記半導体ウエーハ表面の不要な突起を除去するた
めのウエーハ加工用ヘツドにおいて、 上記ウエーハ加工用ヘツドの突起に突き当たる
側の側面と下面とのなす角度を鋭角にしたことを
特徴とするウエーハ加工用ヘツド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3661988U JPH01141009U (ja) | 1988-03-19 | 1988-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3661988U JPH01141009U (ja) | 1988-03-19 | 1988-03-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01141009U true JPH01141009U (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=31263213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3661988U Pending JPH01141009U (ja) | 1988-03-19 | 1988-03-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01141009U (ja) |
-
1988
- 1988-03-19 JP JP3661988U patent/JPH01141009U/ja active Pending