JPH032631U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032631U JPH032631U JP6221389U JP6221389U JPH032631U JP H032631 U JPH032631 U JP H032631U JP 6221389 U JP6221389 U JP 6221389U JP 6221389 U JP6221389 U JP 6221389U JP H032631 U JPH032631 U JP H032631U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing head
- mound
- gas discharge
- rotating table
- cutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す斜視図、第２図
は本考案の前提となる装置の主要部分を示す斜視
図、第３図及び第４図は第１図装置の動作を説明
する要部断面図である。 １……半導体ウエハ、２……加工ヘツド、３…
…支持体（アーム）、５……突起、６……ジンバ
ル。
は本考案の前提となる装置の主要部分を示す斜視
図、第３図及び第４図は第１図装置の動作を説明
する要部断面図である。 １……半導体ウエハ、２……加工ヘツド、３…
…支持体（アーム）、５……突起、６……ジンバ
ル。
Claims (1)
- 回転テーブル上で間隔を保つてその半径方向に
相対移動する支持体に、下端面にガス吐出口を有
する加工ヘツドを上下動可能に弾性支持し、回転
テーブルに載置したウエハ上で加工ヘツドをガス
吐出圧により浮上させウエハ上の突起を加工ヘツ
ドにより切削除去するマウンドカツタにおいて、
上記加工ヘツドを全方向に揺動自在としたことを
特徴とするマウンドカツタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6221389U JPH032631U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6221389U JPH032631U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032631U true JPH032631U (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=31591153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6221389U Pending JPH032631U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032631U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093373A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Sanyo Electric Co Ltd | クリップを有する電気機器及び該クリップの取付け方法 |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP6221389U patent/JPH032631U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093373A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Sanyo Electric Co Ltd | クリップを有する電気機器及び該クリップの取付け方法 |
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