JPH02138710U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案が適用された測定顕微鏡のオ
ートフオーカス装置の第１実施例を示す斜視図、
第２図は、第１実施例の信号処理回路を示すブロ
ツク線図、第３図は、第１実施例における音叉の
振動状況を示す線図、第４図乃至第６図は、フー
コープリズムを用いた合焦位置検出の原理を説明
するための線図、第７図は、本考案の第２実施例
における信号処理回路を示すブロツク線図、第８
図は、従来のフーコープリズムを用いた表面形状
測定の原理を示す光路図、第９図は、該従来例に
おいて、測定対象物のエツジに光スポツトがあた
つた状況を示す断面図である。 １……レーザダイオード（光源）、２……光ビ
ーム、４……対物レンズ、５……測定対象物、５
Ａ……被測定表面、６……フーコープリズム、２
０……音叉、２２……反射鏡、２４Ａ〜２４Ｄ…
…受光素子、３２，３４，３６……ハーフミラー
、５０……信号処理回路、５２……加振器、５４
……発振器、７０，９４……積分器、７２……ウ
インドコンパレータ、９０……微分回路、９２…
…乗算器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光ビームを射出する光源と、 測定対象物の被測定表面に対向して配置され、
   該被測定表面と略直交する前記光ビームの光路上
   に光軸を備えた対物レンズと、 該対物レンズを通つた前記光ビームが、前記被
   測定表面で反射されて形成された反射光を、再び
   前記対物レンズを通した後、集光する、断面三角
   形のフーコープリズムと、 該フーコープリズムによつて前記反射光が集光
   される光スポツトの合焦位置近傍に配置された、
   少なくとも１つの受光素子と、 被測定表面上で前記光ビームが微少振動するよ
   うに、該光ビームの往路と復路が重なつている個
   所で、該光ビームを振動させる手段と、 該光ビームの振動と同期して、前記受光素子に
   よる受光量の平均値を求める手段とを備え、 該受光量平均値から、被測定表面の平均高さの
   合焦位置からのずれを検知することを特徴とする
   光学測定機のオートフオーカス装置。 (2) 請求項１において、前記受光量平均値を求
   める手段に、前記受光量を積分する手段と、前記
   光ビームを振動させるための周期信号が中立領域
   にあるときにのみ、前記積分手段を動作させるた
   めのウインドコンパレータとが備えられているこ
   とを特徴とする光学測定機のオートフオーカス装
   置。 (3) 請求項１において、前記受光量平均値を求
   める手段に、前記光ビームを振動させるための周
   期信号を微分する手段と、前記受光量に該微分手
   段出力を乗算する手段と、該乗算手段出力を一周
   期分積分する手段とが備えられていることを特徴
   とする光学測定機のオートフオーカス装置。