JPH02136801A - 炭酸ガスレーザ用全反射鏡とその製造方法 - Google Patents
炭酸ガスレーザ用全反射鏡とその製造方法Info
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- JPH02136801A JPH02136801A JP29025588A JP29025588A JPH02136801A JP H02136801 A JPH02136801 A JP H02136801A JP 29025588 A JP29025588 A JP 29025588A JP 29025588 A JP29025588 A JP 29025588A JP H02136801 A JPH02136801 A JP H02136801A
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- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野］
本発明は、炭酸ガスレーザの反射板として用いられる炭
酸ガスレーザ用全反射鏡に関する。
酸ガスレーザ用全反射鏡に関する。
［従来の技術］
金属、絶縁物、セラミックス等から成る材料の切断、溶
接、熱処理用とし２て炭酸ガス１ノーザが使用されてい
ることは周知である。ところで、炭酸ガスレーザは、ビ
ームを直接波加工物に照射することは稀で、通常は反射
鏡によって反射されたビームが用いられている。
接、熱処理用とし２て炭酸ガス１ノーザが使用されてい
ることは周知である。ところで、炭酸ガスレーザは、ビ
ームを直接波加工物に照射することは稀で、通常は反射
鏡によって反射されたビームが用いられている。
したがって、被加工物に最も接近し、た状態で、【７か
も汚れ易い苛酷な環境下で使用される反射鏡には、耐熱
性、耐腐食性、機械的強度、高反射率か要求される。こ
の種の反射鏡とｌ、て最も多用されてきたのは、銅やシ
リコンを光学レベルで研磨した金属鏡である。
も汚れ易い苛酷な環境下で使用される反射鏡には、耐熱
性、耐腐食性、機械的強度、高反射率か要求される。こ
の種の反射鏡とｌ、て最も多用されてきたのは、銅やシ
リコンを光学レベルで研磨した金属鏡である。
しかし、これら金属鏡は反射率に優れるが、耐熱性、耐
腐食性、強度の点で問題があった。そこで近年、高融点
、高硬度のモリブデン材を利用１、た全反射鏡が提供さ
れている。従来のこのセリブデン全反射鏡には、多数の
微細結晶粒から構成されたモリブデン多結晶体や、アー
ク溶解法により結晶を溶融、凝固させて結晶粒を粗大化
、単結晶化したモリブデン材の表面をそれぞれ研磨した
ものが用いられていた。
腐食性、強度の点で問題があった。そこで近年、高融点
、高硬度のモリブデン材を利用１、た全反射鏡が提供さ
れている。従来のこのセリブデン全反射鏡には、多数の
微細結晶粒から構成されたモリブデン多結晶体や、アー
ク溶解法により結晶を溶融、凝固させて結晶粒を粗大化
、単結晶化したモリブデン材の表面をそれぞれ研磨した
ものが用いられていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来用いられていたモリブデン多結晶体
には、微細な無数の結晶粒や結晶粒界が存在する。また
、アーク溶解法では、高融点のモリブデンを溶融するた
めの製造設備に大きな制約を受け、実用サイズの粗大粒
、単結晶を得ることは不可能であった。その為、研磨表
面に結晶粒界が存在するモリブデンしか得られず、全反
射鏡としての性能は銅、シリコンより製造されたものに
比べて著しく劣っていた。
には、微細な無数の結晶粒や結晶粒界が存在する。また
、アーク溶解法では、高融点のモリブデンを溶融するた
めの製造設備に大きな制約を受け、実用サイズの粗大粒
、単結晶を得ることは不可能であった。その為、研磨表
面に結晶粒界が存在するモリブデンしか得られず、全反
射鏡としての性能は銅、シリコンより製造されたものに
比べて著しく劣っていた。
そこで、本発明の技術的課題は、モリブデン材の研磨表
面において結晶粒界が存在せず、研磨精度を１５めるこ
とができる炭酸ガスレーザ用全反射鏡を提供することで
ある。
面において結晶粒界が存在せず、研磨精度を１５めるこ
とができる炭酸ガスレーザ用全反射鏡を提供することで
ある。
本発明の他の技術的課題は、ビーム反射率を飛躍的に高
めることができる炭酸ガスレーザ用全反射鏡の製造方法
を提供することである。
めることができる炭酸ガスレーザ用全反射鏡の製造方法
を提供することである。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、表面部の少なくとも一面がビーム反射
面として形成された板状体から成る炭酸ガスレーザ用全
反射鏡において、前記板状体は、モリブデン単結晶体で
あることを特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射鏡が得ら
れる。
面として形成された板状体から成る炭酸ガスレーザ用全
反射鏡において、前記板状体は、モリブデン単結晶体で
あることを特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射鏡が得ら
れる。
また、本発明によれば、粉末冶金法によりモリブデン単
結晶体を製造する製造工程と、前記製造されたモリブデ
ン単結晶体の表面部の少なくとも一面を研磨する研磨工
程とを６することを特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射
鏡の製造方法が得られる。
結晶体を製造する製造工程と、前記製造されたモリブデ
ン単結晶体の表面部の少なくとも一面を研磨する研磨工
程とを６することを特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射
鏡の製造方法が得られる。
［実施例］
以下、本発明の実施例に係る炭酸ガスレーザ用全反射鏡
の製造方法について説明する。
の製造方法について説明する。
本実施例に係る炭酸ガスレーザ用全反射鏡の製造方法は
、全反射鏡のベースとなるモリブデン単結晶体を製造す
る製造工程を有する。本工程では、粉末冶金法（特ｍ！
昭５８−１２９２８、特開昭５９−１４１４９８）によ
り、２５，４φ×１０のモリブデン単結晶円板を得る。
、全反射鏡のベースとなるモリブデン単結晶体を製造す
る製造工程を有する。本工程では、粉末冶金法（特ｍ！
昭５８−１２９２８、特開昭５９−１４１４９８）によ
り、２５，４φ×１０のモリブデン単結晶円板を得る。
この単結晶円板には広面積にわたり結晶粒界が存在しな
い。従って後述する研磨工程における研磨精度を高める
には最適のベース材料となる。
い。従って後述する研磨工程における研磨精度を高める
には最適のベース材料となる。
本実施例に係る炭酸ガスレーザ用全反射鏡の製造方法は
、また、前記モリブデン単結晶円板の表面部の少なくと
も一面を研磨する研磨工程を有する。モリブデン結晶は
硬度が高いので、メカノケミカルポリッシング法を用い
て精密に研磨する。
、また、前記モリブデン単結晶円板の表面部の少なくと
も一面を研磨する研磨工程を有する。モリブデン結晶は
硬度が高いので、メカノケミカルポリッシング法を用い
て精密に研磨する。
研磨されたモリブデン単結晶円板は、特性検査を受け、
全反射鏡として製品化される。
全反射鏡として製品化される。
本実施例により製造された全反射鏡の研磨表面の粗さ、
ビーム反射率を従来のモリブデン製全反射鏡と比較する
と表１の様なデータが得られた。
ビーム反射率を従来のモリブデン製全反射鏡と比較する
と表１の様なデータが得られた。
表１
この様に、本実施例では、粉末冶金法により従来にない
大きさのモリブデン単結晶体を製造し、これを全反射鏡
のベース祠として用いたので、研磨表面に結晶粒界が存
在せず、研磨精度も著しく向上した。また、本実施例で
は、該モリブデン単結晶体の表面部の少なくとも一面を
メカノケミカルポリッシング法により精密研磨して全反
射鏡としたので、ビーム反射率も高まった。
大きさのモリブデン単結晶体を製造し、これを全反射鏡
のベース祠として用いたので、研磨表面に結晶粒界が存
在せず、研磨精度も著しく向上した。また、本実施例で
は、該モリブデン単結晶体の表面部の少なくとも一面を
メカノケミカルポリッシング法により精密研磨して全反
射鏡としたので、ビーム反射率も高まった。
［発明の効果］
以上の説明のとおり、本発明によれば、モリブデン材の
研磨表面において結晶粒界が存在せず、研磨精度を高め
る炭酸ガスレーザ用全反射鏡を提１共することができる
。
研磨表面において結晶粒界が存在せず、研磨精度を高め
る炭酸ガスレーザ用全反射鏡を提１共することができる
。
また本発明によれば、ビーム反射率を飛躍的に高める炭
酸ガスレーザ用全反射鏡を提供することができる。
酸ガスレーザ用全反射鏡を提供することができる。
以下余白
Claims (2)
- （１）表面部の少なくとも一面がビーム反射面として形
成された板状体から成る炭酸ガスレーザ用全反射鏡にお
いて、前記板状体は、モリブデン単結晶体であることを
特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射鏡。 - （２）粉末冶金法によりモリブデン単結晶体を製造する
製造工程と、前記製造されたモリブデン単結晶体の表面
部の少なくとも一面を研磨する研磨工程とを有すること
を特徴とする炭酸ガスレーザ用全反射鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29025588A JPH02136801A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 炭酸ガスレーザ用全反射鏡とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29025588A JPH02136801A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 炭酸ガスレーザ用全反射鏡とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02136801A true JPH02136801A (ja) | 1990-05-25 |
Family
ID=17753768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29025588A Pending JPH02136801A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | 炭酸ガスレーザ用全反射鏡とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02136801A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6380202A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-11 | Nippon Mining Co Ltd | モリブデンミラ−及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP29025588A patent/JPH02136801A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6380202A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-11 | Nippon Mining Co Ltd | モリブデンミラ−及びその製造方法 |
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