JPH02132656U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02132656U JPH02132656U JP4243589U JP4243589U JPH02132656U JP H02132656 U JPH02132656 U JP H02132656U JP 4243589 U JP4243589 U JP 4243589U JP 4243589 U JP4243589 U JP 4243589U JP H02132656 U JPH02132656 U JP H02132656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- target
- substrate holder
- mounting hole
- sputtering device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の同軸スパツタ装置の縦
断側面図、第２図は第１図−線の横断平面拡
大示図、第３図は他の基板取付部の拡大縦断面図
、第４図イは基板、ターゲツト間隔に対する成膜
速度を、本考案実施結果を従来技術の結果と対比
して示す図表、第４図ロは同じく被膜硬度の結果
の対比図表、第４図ハは同じく被膜スクラツチテ
ストの臨界荷重の結果の対比図表、第５図は従来
技術のマグネトロン方式同軸型スパツタ装置の代
表的１例の縦断側面図、第６図は第５図−線
の横断平面拡大示図である。 １………同軸型スパツタ装置、２……真空容器
、２Ａ……器底絶縁物、３……真空ポンプ、４…
…ガス源、５……接地、６……ターゲツトホルダ
、７……ターゲツト、８……永久磁石、９……冷
却管、１０……高圧電源、１１……スペーサ、１
２……基板ホルダ、１３……基板、１４，１４Ａ
……基板取付穴、１５……基板支持治具、１６…
…ビス、Ｄ……間隔、Ｅ……電界、ａ……真空容
器、ｂ……真空ポンプ、ｃ……ガス源、ｄ……タ
ーゲツト、ｅ……基板、ｆ……基板ホルダ、ｇ…
…永久磁石、ｈ……冷却管、ｉ……高圧電源。
断側面図、第２図は第１図−線の横断平面拡
大示図、第３図は他の基板取付部の拡大縦断面図
、第４図イは基板、ターゲツト間隔に対する成膜
速度を、本考案実施結果を従来技術の結果と対比
して示す図表、第４図ロは同じく被膜硬度の結果
の対比図表、第４図ハは同じく被膜スクラツチテ
ストの臨界荷重の結果の対比図表、第５図は従来
技術のマグネトロン方式同軸型スパツタ装置の代
表的１例の縦断側面図、第６図は第５図−線
の横断平面拡大示図である。 １………同軸型スパツタ装置、２……真空容器
、２Ａ……器底絶縁物、３……真空ポンプ、４…
…ガス源、５……接地、６……ターゲツトホルダ
、７……ターゲツト、８……永久磁石、９……冷
却管、１０……高圧電源、１１……スペーサ、１
２……基板ホルダ、１３……基板、１４，１４Ａ
……基板取付穴、１５……基板支持治具、１６…
…ビス、Ｄ……間隔、Ｅ……電界、ａ……真空容
器、ｂ……真空ポンプ、ｃ……ガス源、ｄ……タ
ーゲツト、ｅ……基板、ｆ……基板ホルダ、ｇ…
…永久磁石、ｈ……冷却管、ｉ……高圧電源。
Claims (1)
- 成膜材料のターゲツトを中心としてその周りに
同軸に実質的に円筒形の基板ホルダを配置し、基
板ホルダに基板取付穴を設けて基板をターゲツト
に対し基板ホルダの内周面と一致する間隔の位置
となるよう基板取付穴にはめ込んで取付けるよう
にしたことを特徴とする同軸型スパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243589U JPH02132656U (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243589U JPH02132656U (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02132656U true JPH02132656U (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=31553979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4243589U Pending JPH02132656U (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02132656U (ja) |
-
1989
- 1989-04-10 JP JP4243589U patent/JPH02132656U/ja active Pending
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