JPH02130939A - ワイヤボンダにおけるボール形成方法 - Google Patents
ワイヤボンダにおけるボール形成方法Info
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- JPH02130939A JPH02130939A JP63285270A JP28527088A JPH02130939A JP H02130939 A JPH02130939 A JP H02130939A JP 63285270 A JP63285270 A JP 63285270A JP 28527088 A JP28527088 A JP 28527088A JP H02130939 A JPH02130939 A JP H02130939A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用骨！ＩＰ）
本発明は、ワイヤボンダにおけるボール形成方法に関す
る。
る。
（従来の技術）
従来のボール形成方法には、第２図（ａｌに示すように
、キャピラリツール２の下端に突出したワイヤテール１
の先端に、直角に対向して平板状電極３を配置し、ワイ
ヤテールｌの先端と電極３の間の放電により、同図（ｂ
）に示すようにボール４を形成する方法（時開、昭５７
−３９０５５）あるいは、第３図（ａ）に示すように、
キャピラリツール２の下端に突出したワイヤテールｌと
、平行に平板状電極３を配置し、ワイヤテール１の先端
と上記平板状電極３の間の放電により、同図（ｂｌに示
すようにボール４を形成する方法（時開、昭５７−１９
２０４３）などがある。
、キャピラリツール２の下端に突出したワイヤテール１
の先端に、直角に対向して平板状電極３を配置し、ワイ
ヤテールｌの先端と電極３の間の放電により、同図（ｂ
）に示すようにボール４を形成する方法（時開、昭５７
−３９０５５）あるいは、第３図（ａ）に示すように、
キャピラリツール２の下端に突出したワイヤテールｌと
、平行に平板状電極３を配置し、ワイヤテール１の先端
と上記平板状電極３の間の放電により、同図（ｂｌに示
すようにボール４を形成する方法（時開、昭５７−１９
２０４３）などがある。
（発明が解決しようとする問題点）
前記第２図（！１）の方法では、ワイヤテール長さｌＩ
のばらつきにより、放電間隔１．が変化する。放電間隔
１２が変化するとボールが均一とならず、ボンディング
の信頼性を低下させるほか、Ｉｌｔが大きい時に放電ミ
スの原因となる。またキャピラリツール２に平板状電極
３が対向した状態でボール４を形成するために、ボール
形成後ボンディングを行う際に、平板状電極３をキャピ
ラリツール２の下より逃がす必要があるため、機構が複
雑となる。
のばらつきにより、放電間隔１．が変化する。放電間隔
１２が変化するとボールが均一とならず、ボンディング
の信頼性を低下させるほか、Ｉｌｔが大きい時に放電ミ
スの原因となる。またキャピラリツール２に平板状電極
３が対向した状態でボール４を形成するために、ボール
形成後ボンディングを行う際に、平板状電極３をキャピ
ラリツール２の下より逃がす必要があるため、機構が複
雑となる。
前記第３図（ａｌの方法は、ワイヤテール長さ！、のば
らつきによる信頼性の低下は少ないが、第３図（ｅ）に
示すように、ワイヤテールのよれにより、ワイヤテール
１の方向が、平板状電極３の反対側へ向いた場合と、第
３図（ｄｌに示すように、ワイヤテール１の方向が、平
板状電極３の側へ向いた場合とでは、放電間隔のばらつ
きが大き（、これに従ってボールの均一性が大幅に損な
われる欠点を持つ。
らつきによる信頼性の低下は少ないが、第３図（ｅ）に
示すように、ワイヤテールのよれにより、ワイヤテール
１の方向が、平板状電極３の反対側へ向いた場合と、第
３図（ｄｌに示すように、ワイヤテール１の方向が、平
板状電極３の側へ向いた場合とでは、放電間隔のばらつ
きが大き（、これに従ってボールの均一性が大幅に損な
われる欠点を持つ。
また第３図（Ｃ１のＩｌ□′が大きくなると、放電ミス
を起こしボールが形成されないことは、第２図（ａ）の
方法と同じである。
を起こしボールが形成されないことは、第２図（ａ）の
方法と同じである。
本発明の目的は、上記欠点つまり、ワイヤテール長さの
ばらつきと、ワイヤテールのよれによる放電間隔のばら
つきにより、ボールの均一性が損なわれることを解消し
、ボンディングの信頼性を向上することにある。
ばらつきと、ワイヤテールのよれによる放電間隔のばら
つきにより、ボールの均一性が損なわれることを解消し
、ボンディングの信頼性を向上することにある。
また本発明のさらに一つの目的は、放電ミスによる不良
発生を防止し、ボンディング工程の生産性を高めること
である。
発生を防止し、ボンディング工程の生産性を高めること
である。
（問題を解決するための手段）
本発明は、キャピラリツールの下端より突出したワイヤ
テールを、囲繞した円形穴電極により、上記目的を達す
るようにしたものである。
テールを、囲繞した円形穴電極により、上記目的を達す
るようにしたものである。
（作用）
本発明によると、ワイヤテール長さのばらつきによる放
電間隔のばらつきは、ワイヤテールを囲繞した電極の性
質上無視できる。
電間隔のばらつきは、ワイヤテールを囲繞した電極の性
質上無視できる。
またワイヤテールのよれがあっても、ワイヤテール先端
は必ず電極に近づくことになるので、ワイヤテールのよ
れ方向によるボールの不均一は解消され、また当然放電
ミスも起こらない。
は必ず電極に近づくことになるので、ワイヤテールのよ
れ方向によるボールの不均一は解消され、また当然放電
ミスも起こらない。
（実施例）
以下本発明の一実施例について、第１図を参照して説明
する。
する。
本発明は、第１図（ａ）に示すように、キャピラリツー
ル２より突出したワイヤテールｌと、キャピラリツール
２の外径よりわずかに大きな穴を有する、円形状の電極
３との間に、放電手段５によって、高電圧を印加すると
、電極３の内壁３ａとワイヤテール１の先端との間で放
電を起こし、同図（ｂ）に示すように、ワイヤテール１
の先端にボール４が形成される。
ル２より突出したワイヤテールｌと、キャピラリツール
２の外径よりわずかに大きな穴を有する、円形状の電極
３との間に、放電手段５によって、高電圧を印加すると
、電極３の内壁３ａとワイヤテール１の先端との間で放
電を起こし、同図（ｂ）に示すように、ワイヤテール１
の先端にボール４が形成される。
このように、ワイヤテール１の先端を囲繞してボール４
を形成するので、同図（ｃ） （ｄｌのようにワイヤテ
ール長さが１１Ｚ’１″と変わっても、電極の内壁３ａ
とワイヤテール１の先端との放電間隔は変わらないので
、均一なボールが形成される。
を形成するので、同図（ｃ） （ｄｌのようにワイヤテ
ール長さが１１Ｚ’１″と変わっても、電極の内壁３ａ
とワイヤテール１の先端との放電間隔は変わらないので
、均一なボールが形成される。
また同図（ｅ）に示すように、ワイヤテールがどの方向
によれても、電極の内壁３ａとワイヤテール１の放電間
隔は、ワイヤテールのよれかない場合の放電間隔１２と
比較して、必ずｆ！ｔ’＜１２あるいは６．＃＜１．と
なるため放電ミスが起こることはない。
によれても、電極の内壁３ａとワイヤテール１の放電間
隔は、ワイヤテールのよれかない場合の放電間隔１２と
比較して、必ずｆ！ｔ’＜１２あるいは６．＃＜１．と
なるため放電ミスが起こることはない。
ボール形成後ボンディングを行う際には、キャピラリツ
ール２が電極３の穴を通るために、電極３は固定で良い
。
ール２が電極３の穴を通るために、電極３は固定で良い
。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ワイ
ヤテール長さがばらついても、常に均一なボールが形成
され、放電ミスも起こらない。またワイヤテールがどの
方向によれても常に均一なボールが形成され、放電ミス
も起こらない。上記の効果によりボンディングの信頼性
が向上し、ボンディング工程の生産性が高まる。またボ
ンディングの際に、電極をキャピラリツール下部より逃
がす機構が不要となるので、装置の信頼性が向上し且つ
安価となる。
ヤテール長さがばらついても、常に均一なボールが形成
され、放電ミスも起こらない。またワイヤテールがどの
方向によれても常に均一なボールが形成され、放電ミス
も起こらない。上記の効果によりボンディングの信頼性
が向上し、ボンディング工程の生産性が高まる。またボ
ンディングの際に、電極をキャピラリツール下部より逃
がす機構が不要となるので、装置の信頼性が向上し且つ
安価となる。
第２図（１） （ｂｌ、第３図（ａｌ （ｂｌ （Ｃ）
（ｄ）は従来例のボール形成方法を示す説明図である
。 第１図（ａ） （ｂ） （ｃ） （ｄ＞ （ｅ）は、本
発明になるボール形成方法の一実施例を示す説明図であ
る。 １ 、、、、ワイヤテール ２ 、、、、キャピラリツ ール ３ 、、、、電極 ３ａ、、、、電極内壁 ４、、、、ボール ５、、、、放電手段
（ｄ）は従来例のボール形成方法を示す説明図である
。 第１図（ａ） （ｂ） （ｃ） （ｄ＞ （ｅ）は、本
発明になるボール形成方法の一実施例を示す説明図であ
る。 １ 、、、、ワイヤテール ２ 、、、、キャピラリツ ール ３ 、、、、電極 ３ａ、、、、電極内壁 ４、、、、ボール ５、、、、放電手段
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 キャピラリツールを使用したワイヤボンダ において、上記ツールを挿通したワイヤと、上記ワイヤ
のテールを囲繞した円形穴電極との間の放電により、ワ
イヤテール先端にボールを形成する事を、特徴とするボ
ール形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63285270A JP2805314B2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | ワイヤボンダにおけるボール形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63285270A JP2805314B2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | ワイヤボンダにおけるボール形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02130939A true JPH02130939A (ja) | 1990-05-18 |
| JP2805314B2 JP2805314B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17689328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63285270A Expired - Fee Related JP2805314B2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | ワイヤボンダにおけるボール形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2805314B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100343035B1 (ko) * | 1998-07-27 | 2002-07-02 | 후지야마 겐지 | 와이어본딩에서의 볼 형성방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6043839A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-03-08 | フエアチアイルド カメラ アンド インストルメント コ−ポレ−シヨン | ボ−ルボンドを形成する方法及び装置 |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP63285270A patent/JP2805314B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6043839A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-03-08 | フエアチアイルド カメラ アンド インストルメント コ−ポレ−シヨン | ボ−ルボンドを形成する方法及び装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100343035B1 (ko) * | 1998-07-27 | 2002-07-02 | 후지야마 겐지 | 와이어본딩에서의 볼 형성방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2805314B2 (ja) | 1998-09-30 |
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