JPH02129919A - ウエハ加工用フィルム - Google Patents
ウエハ加工用フィルムInfo
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- JPH02129919A JPH02129919A JP28251388A JP28251388A JPH02129919A JP H02129919 A JPH02129919 A JP H02129919A JP 28251388 A JP28251388 A JP 28251388A JP 28251388 A JP28251388 A JP 28251388A JP H02129919 A JPH02129919 A JP H02129919A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はシリコンウェハ等を研磨加工する際に用いる破
損防止′用フィルムに関する。
損防止′用フィルムに関する。
半導体集積回路(IC)は通常、高純度シリコン結晶等
をスライスしてウェハとした後、エツチング等により集
積回路を組み込み、グイシングしてチップ化する方法で
製造されているが、これらの各工程において、シリコン
等のウェハの破損を防止したり、加工を容易にするため
、ウェハ表面に粘着剤層を介して貼りつけるウェハ加工
用フィルムが用いられている。
をスライスしてウェハとした後、エツチング等により集
積回路を組み込み、グイシングしてチップ化する方法で
製造されているが、これらの各工程において、シリコン
等のウェハの破損を防止したり、加工を容易にするため
、ウェハ表面に粘着剤層を介して貼りつけるウェハ加工
用フィルムが用いられている。
しかして、近年、回路の複雑化にともない、ウェハ表面
の凹凸が大きくなってきており、又、ウェハ自体も大型
化の傾向にあり、従来のウェハ加工用フィルムではウェ
ハの破損を防止しきれなくなってきている。
の凹凸が大きくなってきており、又、ウェハ自体も大型
化の傾向にあり、従来のウェハ加工用フィルムではウェ
ハの破損を防止しきれなくなってきている。
以上の点に鑑み、本発明の目的は、ウェハ研磨加工に際
し、その破損防止をより確実なものにするウェハ加工用
フィルムを提供することである。
し、その破損防止をより確実なものにするウェハ加工用
フィルムを提供することである。
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行っ
た結果、特定の硬度を有する基材フィルムに、特定の硬
度を有する水エマルジ茸ン系粘着剤層を設けてウェハ表
面に貼り合わせることにより、表面の凹凸の大きいウェ
ハでも破損を防止できることを見出し、本発明を完成し
た。
た結果、特定の硬度を有する基材フィルムに、特定の硬
度を有する水エマルジ茸ン系粘着剤層を設けてウェハ表
面に貼り合わせることにより、表面の凹凸の大きいウェ
ハでも破損を防止できることを見出し、本発明を完成し
た。
即ち本発明は、ショアD型硬度が40以下である基材フ
ィルムの片面にショアA型硬度が20以下である水エマ
ルシロン系粘着剤層を設けてなることを特徴とするウェ
ハ加工用フィルムである。
ィルムの片面にショアA型硬度が20以下である水エマ
ルシロン系粘着剤層を設けてなることを特徴とするウェ
ハ加工用フィルムである。
本発明のウェハ加工用フィルムの使用対象となるウェハ
はシリコンのみならず、ガリウムーヒ素、素−アルミニ
ウム等のウェハがあげられ、特に大口径のシリコンウェ
ハに好適に使用される。
はシリコンのみならず、ガリウムーヒ素、素−アルミニ
ウム等のウェハがあげられ、特に大口径のシリコンウェ
ハに好適に使用される。
本発明で用いる基材フィルムとしては、合成樹脂あるい
は天然、合成ゴム等からなるフィルムのうちショアD型
硬度が40以下、好ましくは30以下のもので、市販品
の中から適宜選択できる。
は天然、合成ゴム等からなるフィルムのうちショアD型
硬度が40以下、好ましくは30以下のもので、市販品
の中から適宜選択できる。
該硬度が40を越えるとウェハを研磨加工する際の破損
率が上昇する。
率が上昇する。
ここでいうショアD型硬度とは、ASTMD−2240
によるD型ショアー硬度針を用いて測定した値である。
によるD型ショアー硬度針を用いて測定した値である。
基材フィルムの組成として例示するならば、エチレン−
酢酸ビニル共重合体、ポリブタジェン、軟質塩化ビニル
樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド等の
熱可塑性エラストマー、およびジエン系、ニトリル系、
シリコン系、アクリル系等の合成ゴム等である。
酢酸ビニル共重合体、ポリブタジェン、軟質塩化ビニル
樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド等の
熱可塑性エラストマー、およびジエン系、ニトリル系、
シリコン系、アクリル系等の合成ゴム等である。
基材フィルムの厚みは保護するウェハの形状、表面状態
および研磨方法等の条件により適宜法められるが、通常
10・μm〜20001!mが好ましい。
および研磨方法等の条件により適宜法められるが、通常
10・μm〜20001!mが好ましい。
本発明で基材フィルム面に設ける水エマルジョン系粘着
剤はシジアA硬度20以下が好ましい。
剤はシジアA硬度20以下が好ましい。
該硬度が20を越えると基材フィルムの硬度に関係なく
ウェハを研磨加工する際の破損率が上昇する。
ウェハを研磨加工する際の破損率が上昇する。
又、ここでいうショアA型硬度とは、ASTMD−22
40によるA型ショアー硬度計を用いて測定した値であ
る。
40によるA型ショアー硬度計を用いて測定した値であ
る。
本発明でいう水エマルジヨン系粘着剤とは、例えばメタ
クリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル−2−エ
チルヘキシル、アクリル酸エチル等の(メタ)アクリル
酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤
を添加し水中でエマルジゴン重合した粘着剤であり、モ
ノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適
宜行うことが可能である。こうして重合された水エマル
ジヨン系粘着剤は通常30〜60wt%の固形分を含有
するが、塗布時には粘着調整のためさらに水で希釈する
こともできる。
クリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル−2−エ
チルヘキシル、アクリル酸エチル等の(メタ)アクリル
酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤
を添加し水中でエマルジゴン重合した粘着剤であり、モ
ノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適
宜行うことが可能である。こうして重合された水エマル
ジヨン系粘着剤は通常30〜60wt%の固形分を含有
するが、塗布時には粘着調整のためさらに水で希釈する
こともできる。
また、必要に応じ研磨加工後のウェハの洗浄効果を上げ
るため、該粘着剤に非イオン系界面活性剤および/また
は水溶性有機化合物を含有させることが可能である。
るため、該粘着剤に非イオン系界面活性剤および/また
は水溶性有機化合物を含有させることが可能である。
基材フィルムの表面に設ける該粘着剤の膜厚みとしては
、シリコンウェハの表面状態、形状、研磨方法等により
適宜法められるが、通常5pm〜200μmが好ましい
。
、シリコンウェハの表面状態、形状、研磨方法等により
適宜法められるが、通常5pm〜200μmが好ましい
。
粘着剤を基材フィルム面に塗布する方法としては、従来
公知の塗布方法、例えばロールコータ−法、グラビアロ
ール法、バーコード法、浸漬性、ハケ塗り法、スプレー
法等が採用でき、基材フィルムの全面もしくは部分面に
塗布することができる。
公知の塗布方法、例えばロールコータ−法、グラビアロ
ール法、バーコード法、浸漬性、ハケ塗り法、スプレー
法等が採用でき、基材フィルムの全面もしくは部分面に
塗布することができる。
実施例1
厚さ200μのショアD型硬度が30であるエチレン−
酢酸ビニル共重合樹脂フィルムの片面にコロナ放電処理
を施し、アクリル系粘着剤をロールコータにより塗布、
乾燥して、厚さ約50μのショアA型硬度が10である
粘着剤層を設けたフィルムを作成した。このフィルムを
、表面の凹凸差が約50.crmであるシリコンウェハ
(6インチ)表面に貼り合わせ、裏面を研磨機(ディス
コ社製)で研磨した後、該フィルムを剥がし純水で洗浄
して100枚の加工済シリコンウェハを製造した。
酢酸ビニル共重合樹脂フィルムの片面にコロナ放電処理
を施し、アクリル系粘着剤をロールコータにより塗布、
乾燥して、厚さ約50μのショアA型硬度が10である
粘着剤層を設けたフィルムを作成した。このフィルムを
、表面の凹凸差が約50.crmであるシリコンウェハ
(6インチ)表面に貼り合わせ、裏面を研磨機(ディス
コ社製)で研磨した後、該フィルムを剥がし純水で洗浄
して100枚の加工済シリコンウェハを製造した。
この時のウェハ破損率は皆無であった。
実施例2
厚さ300μのショアD型硬度が20士あるブタジェン
ゴムシートを用いて、実施例1と同様の方法により厚さ
約30μのシップA型硬度が20である粘着剤層を設け
たフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸差が
約30μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面に貼
り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚の加
工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ破損率
は0であった。
ゴムシートを用いて、実施例1と同様の方法により厚さ
約30μのシップA型硬度が20である粘着剤層を設け
たフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸差が
約30μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面に貼
り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚の加
工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ破損率
は0であった。
実施例3
厚さ200μのショアD型硬度が40である塩化ビニル
樹脂フィルムを用いて、実施例1と同様の方法により厚
さ約5.0μのシリアA型硬度が8である粘着剤層を設
けにフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸差
が約50μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面に
貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚の
加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ破損
率はOであった。
樹脂フィルムを用いて、実施例1と同様の方法により厚
さ約5.0μのシリアA型硬度が8である粘着剤層を設
けにフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸差
が約50μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面に
貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚の
加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ破損
率はOであった。
比較例1
粘着剤としてアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μm
のシップA型硬度が30である粘着剤層を設けた以外、
実施例1と同様の方法で粘着剤付きフィルムを作成し、
同様の方法でシリコンウェハの研磨加工を行った。その
結果5枚のウェハが破損した。
のシップA型硬度が30である粘着剤層を設けた以外、
実施例1と同様の方法で粘着剤付きフィルムを作成し、
同様の方法でシリコンウェハの研磨加工を行った。その
結果5枚のウェハが破損した。
比較例2
厚さ200μのショアD型硬度が50である低密度ポリ
エチレンフィルムを基材フィルムとじて用いた以外は実
施例1と同様の方法で粘着剤層を設けたフィルムを作成
し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加工
を行った。その結果6枚のウェハが破損した。
エチレンフィルムを基材フィルムとじて用いた以外は実
施例1と同様の方法で粘着剤層を設けたフィルムを作成
し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加工
を行った。その結果6枚のウェハが破損した。
比較例3
厚さ200μのショアD型硬度が50である低密度ポリ
エチレンフィルムを基材フィルムとして用い、粘着剤と
してアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μmのシップ
A型硬度が30である粘着剤層を設けたフィルムを作成
し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加工
を行った。その結果8枚のウェハが破損した。
エチレンフィルムを基材フィルムとして用い、粘着剤と
してアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μmのシップ
A型硬度が30である粘着剤層を設けたフィルムを作成
し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加工
を行った。その結果8枚のウェハが破損した。
本発明のウェハ加工用フィルムは柔軟性に富んでおり、
外力を吸収して分散する性質があり、これをウェハ表面
に貼り合わせてウェハ裏面の研磨加工を行うと、表面の
凹凸の大きいウェハにおいても破損を防止できるという
優れた利点を発揮するものである。
外力を吸収して分散する性質があり、これをウェハ表面
に貼り合わせてウェハ裏面の研磨加工を行うと、表面の
凹凸の大きいウェハにおいても破損を防止できるという
優れた利点を発揮するものである。
特許出願人 三井東圧化学株式会社
手続補正書1発)
平成1年11月8日
特許庁長官 吉 1)文 毅 殿
1、事件の表示
昭和63年特許願第282513号
2、発明の名称
ウェハ加工用フィルム
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 東京都千代田区霞が関三丁目2番5号4、補正に
より増加する請求項の数 零 別紙の通り 明細書 1、発明の名称 ウェハ加工用フィルム 2、特許請求の範囲 ショアD型硬度が40以下である基材フィルムの片面に
シップA型硬度が20以下である水エマルジョン系粘着
剤層を設けてなることを特徴とするウェハ加工用フィル
ム。
より増加する請求項の数 零 別紙の通り 明細書 1、発明の名称 ウェハ加工用フィルム 2、特許請求の範囲 ショアD型硬度が40以下である基材フィルムの片面に
シップA型硬度が20以下である水エマルジョン系粘着
剤層を設けてなることを特徴とするウェハ加工用フィル
ム。
3、発明の詳細な説明
[産業上の利用分野〕
本発明はシリコンウェハ等を研磨加工する際に用いる破
損防止用フィルムに関する。
損防止用フィルムに関する。
半導体集積回路(tC)は通常、高純度シリコン結晶等
をスライスしてウェハとした後、エツチング等により集
積回路を組み込み、グイシングしてチップ化する方法で
製造されているが、これらの各工程において、シリコン
等のウェハの破損を防止したり、加工を容易にするため
、ウェハ表面に粘着剤層を介して貼りつけるウェハ加工
用フィルムが用いられている。
をスライスしてウェハとした後、エツチング等により集
積回路を組み込み、グイシングしてチップ化する方法で
製造されているが、これらの各工程において、シリコン
等のウェハの破損を防止したり、加工を容易にするため
、ウェハ表面に粘着剤層を介して貼りつけるウェハ加工
用フィルムが用いられている。
しかして、近年、回路の複雑化にともない、ウェハ表面
の凹凸が大きくなってきており、又、ウェハ自体も大型
化の傾向にあり、従来のウェハ加工用フィルムではウェ
ハの破損を防止しきれなくなってきている。
の凹凸が大きくなってきており、又、ウェハ自体も大型
化の傾向にあり、従来のウェハ加工用フィルムではウェ
ハの破損を防止しきれなくなってきている。
以上の点に鑑み、本発明の目的は、ウェハ研磨加工に際
し、その破損防止をより確実なものにするウェハ加工用
フィルムを提供することである。
し、その破損防止をより確実なものにするウェハ加工用
フィルムを提供することである。
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行っ
た結果、特定の硬度を有する基材フィルムに、特定の硬
度を有する水エマルジョン系粘着剤層を設けてウェハ表
面に貼り合わせることにより、表面の凹凸の大きいウェ
ハでも破損を防止できることを見出し、本発明を完成し
た。
た結果、特定の硬度を有する基材フィルムに、特定の硬
度を有する水エマルジョン系粘着剤層を設けてウェハ表
面に貼り合わせることにより、表面の凹凸の大きいウェ
ハでも破損を防止できることを見出し、本発明を完成し
た。
即ち本発明は、シ譚アD型硬度が40以下である基材フ
ィルムの片面にシリアA型硬度が20以下である水エマ
ルジ岬ン系粘着剤層を設けてなることを特徴とするウェ
ハ加工用フィルムである。
ィルムの片面にシリアA型硬度が20以下である水エマ
ルジ岬ン系粘着剤層を設けてなることを特徴とするウェ
ハ加工用フィルムである。
本発明のウェハ加工用フィルムの使用対象となるウェハ
はシリコンのみならず、ガリウムーヒ素、ガリウム−リ
ン、ゲルマニウム、ガリウムーヒ素−アルミニウム等の
ウェハがあげられ、特に大口径のシリコンウェハに好適
に使用される。
はシリコンのみならず、ガリウムーヒ素、ガリウム−リ
ン、ゲルマニウム、ガリウムーヒ素−アルミニウム等の
ウェハがあげられ、特に大口径のシリコンウェハに好適
に使用される。
本発明で用いる基材フィルムとしては、合成樹脂あるい
は天然、合成ゴム等からなるフィルムのうちシ四アD型
硬度が40以下、好ましくは30以下のもので、市販品
の中から適宜選択できる。該硬度が40を越えるとウェ
ハを研磨加工する際の破損率が上昇する。
は天然、合成ゴム等からなるフィルムのうちシ四アD型
硬度が40以下、好ましくは30以下のもので、市販品
の中から適宜選択できる。該硬度が40を越えるとウェ
ハを研磨加工する際の破損率が上昇する。
ここでいうショアD型硬度とは、ASTM 0−224
0によるD型ショアー硬度計を用いて測定した値である
。
0によるD型ショアー硬度計を用いて測定した値である
。
基材フィルムの組成として例示するならば、エチレン−
酢酸ビニル共重合体、ポリブタジェン、軟質塩化ビニル
樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド等の
熱可塑性エラストマー、およびジエン系、ニトリル系、
シリコン系、アクリル系等の合成ゴム等である。
酢酸ビニル共重合体、ポリブタジェン、軟質塩化ビニル
樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド等の
熱可塑性エラストマー、およびジエン系、ニトリル系、
シリコン系、アクリル系等の合成ゴム等である。
基材フィルムの厚みは保護するウェハの形状、表面状態
および研磨方法等の条件により適宜法められるが、通常
10〜2000μmが好ましい。
および研磨方法等の条件により適宜法められるが、通常
10〜2000μmが好ましい。
本発明で基材フィルム面に設ける水エマルジヨン系粘着
剤はショアA硬度20以下が好ましい、該硬度が20を
越えると基材フィルムの硬度に関係な(ウェハを研磨加
工する際の破損率が上昇する。
剤はショアA硬度20以下が好ましい、該硬度が20を
越えると基材フィルムの硬度に関係な(ウェハを研磨加
工する際の破損率が上昇する。
又、ここでいうシリアA型硬度とは、ASTM 0−2
240によるA型シコアー硬度計を用いて測定した値で
ある。
240によるA型シコアー硬度計を用いて測定した値で
ある。
本発明でいう水エマルジョン系粘着剤とは、例えばメタ
クリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル−2−エ
チルヘキシル、アクリル酸エチル等の(メタ)アクリル
酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤
を添加し水中でエマルジaン重合した粘着剤であり、モ
ノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適
宜行うことが可能である。こうして重合された水エマル
ジョン系粘着剤は通常30〜60重量%の固形分を含有
するが、塗布時には粘着調整のためさらに水で希釈する
こともできる。
クリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル−2−エ
チルヘキシル、アクリル酸エチル等の(メタ)アクリル
酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤
を添加し水中でエマルジaン重合した粘着剤であり、モ
ノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適
宜行うことが可能である。こうして重合された水エマル
ジョン系粘着剤は通常30〜60重量%の固形分を含有
するが、塗布時には粘着調整のためさらに水で希釈する
こともできる。
また、必要に応じ研磨加工後のウェハの洗浄効果を上げ
るため、該粘着剤に非イオン系界面活性剤および/また
は水溶性有機化合物を含有させることが可能である。
るため、該粘着剤に非イオン系界面活性剤および/また
は水溶性有機化合物を含有させることが可能である。
基材フィルムの表面に設ける該粘着剤の膜厚みとしては
、シリコンウェハの表面状態、形状、研磨方法等により
適宜法められるが、通常5〜200pmが好ましい。
、シリコンウェハの表面状態、形状、研磨方法等により
適宜法められるが、通常5〜200pmが好ましい。
粘着剤を基材フィルム面に塗布する方法としては、従来
公知の塗布方法、例えばロールコータ−法、グラビアロ
ール法、バーコード法、浸漬法、へヶ塗り法、スプレー
法等が採用でき、基材フィルムの全面もしくは部分面に
塗布することができる。
公知の塗布方法、例えばロールコータ−法、グラビアロ
ール法、バーコード法、浸漬法、へヶ塗り法、スプレー
法等が採用でき、基材フィルムの全面もしくは部分面に
塗布することができる。
以下実施例により本発明を説明する。
実施N1
厚さ200μmのシ譚アD型硬度が30であるエチレン
ー酢酸ビニル共重合樹脂フィルムの片面にコロナ放電処
理を施し、アクリル系粘着剤をロールコータにより塗布
、乾燥して、厚さ約50μmのショアA型硬度が10で
ある粘着剤層を設けたフィルムを作成した。このフィル
ムを6、表面の凹凸差が約50tImであるシリコンウ
ェハ(6インチ)表面に貼り合わせ、裏面を研磨機(デ
ィスコ社製)で研磨した後、該フィルムを剥がし純水で
洗浄して100枚の加工済シリコンウェハを製造した。
ー酢酸ビニル共重合樹脂フィルムの片面にコロナ放電処
理を施し、アクリル系粘着剤をロールコータにより塗布
、乾燥して、厚さ約50μmのショアA型硬度が10で
ある粘着剤層を設けたフィルムを作成した。このフィル
ムを6、表面の凹凸差が約50tImであるシリコンウ
ェハ(6インチ)表面に貼り合わせ、裏面を研磨機(デ
ィスコ社製)で研磨した後、該フィルムを剥がし純水で
洗浄して100枚の加工済シリコンウェハを製造した。
この時のウェハの破損は皆無であった。
実施例2
厚さ300μmのショアD型硬度が20であるブタジェ
ンゴムシートを用いて、実施例1と同様の方法により厚
さ約30IJmのショアA型硬度が20である粘着剤層
を設けたフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹
凸差が約30μmであるシリコンウェハ(6インチ)表
面に貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100
枚の加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ
の破損は皆無であった。
ンゴムシートを用いて、実施例1と同様の方法により厚
さ約30IJmのショアA型硬度が20である粘着剤層
を設けたフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹
凸差が約30μmであるシリコンウェハ(6インチ)表
面に貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100
枚の加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハ
の破損は皆無であった。
実施例3
厚さ200μmのショアD型硬度が40である塩化ビニ
ル樹脂フィルムを用いて、実施例1と同様の方法により
厚さ約50μmのシリアA型硬度が8である粘着剤層を
設けたフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸
差が約50μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面
に貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚
の加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハの
破損は皆無であった。
ル樹脂フィルムを用いて、実施例1と同様の方法により
厚さ約50μmのシリアA型硬度が8である粘着剤層を
設けたフィルムを作成した。このフィルムを表面の凹凸
差が約50μmであるシリコンウェハ(6インチ)表面
に貼り合わせ、実施例1と同様の方法により、100枚
の加工済シリコンウェハを製造した。その結果ウェハの
破損は皆無であった。
比較例1
粘着剤としてアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μm
のショアA型硬度が30である粘着剤層を設けた以外、
実施例1と同様の方法で粘着剤付きフィルムを作成し、
同様の方法でシリコンウェハの研磨加工を行った。その
結果5枚のウェハが破損した。
のショアA型硬度が30である粘着剤層を設けた以外、
実施例1と同様の方法で粘着剤付きフィルムを作成し、
同様の方法でシリコンウェハの研磨加工を行った。その
結果5枚のウェハが破損した。
比較例2
厚さ200μmのシ町アD型硬度が50である低密度ポ
リエチレンフィルムを基材フィルムとして用いた以外は
実施例1と同様の方法で粘着剤層を設けたフィルムを作
成し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加
工を行った。その結果6枚のウェハが破損した。
リエチレンフィルムを基材フィルムとして用いた以外は
実施例1と同様の方法で粘着剤層を設けたフィルムを作
成し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加
工を行った。その結果6枚のウェハが破損した。
比較例3
厚さ200amのショアD型硬度が50である低密度ポ
リエチレンフィルムを基材フィルムとして用い、粘着剤
としてアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μmのショ
アA型硬度が30である粘着剤層を設けたフィルムを作
成し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加
工を行った。その結果8枚のウェハが破損した。
リエチレンフィルムを基材フィルムとして用い、粘着剤
としてアクリル系粘着剤を用い、厚さ約50μmのショ
アA型硬度が30である粘着剤層を設けたフィルムを作
成し、実施例1と同様の方法でシリコンウェハの研磨加
工を行った。その結果8枚のウェハが破損した。
本発明のウェハ加工用フィルムは柔軟性に富んでおり、
外力を吸収して分散する性質があり、これをウェハ表面
に貼り合わせてウニノー裏面の研磨加工を行うと、表面
の凹凸の大きいウエノ1においても破損を防止できると
いう優れた利点を発揮するものである。
外力を吸収して分散する性質があり、これをウェハ表面
に貼り合わせてウニノー裏面の研磨加工を行うと、表面
の凹凸の大きいウエノ1においても破損を防止できると
いう優れた利点を発揮するものである。
特許出願人 三井東圧化学株式会社
Claims (1)
- ショアD型硬度が40以下である基材フィルムの片面に
ショアA型硬度が20以下である水エマルジョン系粘着
剤層を設けてなることを特徴とするウェハ加工用フィル
ム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28251388A JPH02129919A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ウエハ加工用フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28251388A JPH02129919A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ウエハ加工用フィルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02129919A true JPH02129919A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17653427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28251388A Pending JPH02129919A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ウエハ加工用フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02129919A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6500689B2 (en) | 1996-11-29 | 2002-12-31 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Process for producing GaN related compound semiconductor |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP28251388A patent/JPH02129919A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6500689B2 (en) | 1996-11-29 | 2002-12-31 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Process for producing GaN related compound semiconductor |
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