JPH02127603A

JPH02127603A - フィルター、そのフィルターを使用した液晶表示装置およびそのフィルターの製造方法

Info

Publication number: JPH02127603A
Application number: JP63282209A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Nishi; 眞一西; Toru Terasaka; 寺坂　徹; Mayumi Inaba; 稲葉　麻由美
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1988-11-08
Filing date: 1988-11-08
Publication date: 1990-05-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明はフィルター、そのフィルターを使用した液晶
表示装置およびそのフィルターの製造方法に関し、さら
に詳しく言うと、コントラストが高くて良好な画像品質
を実現することかでき、大表示容量の可能な表示装置に
応用することのできるフィルター、そのようなフィルタ
ーを使用した液晶表示装置、およびそのようなフィルタ
ーの製造方法に関する。

［従来技術および発明が解決しようとする課題］光の透
過度を制御する液晶とフィルターとを構成要素とするノ
ルマリ−ホワイトモートの液晶表示袋とにおいては、隣
接する画素間にブラックマトリクスを形成することによ
り画像のコントラストか向上する。

かかるブラックマトリクスの形成方法の一例が、特開昭
６’１−１２：１００２号公報に記載されている。

前記公報に記載の発明においては、ＴＮ、ｌ液晶（液晶
におけるねじれ構造のねじれ角は９０　’Ｃ程度である
。）を用いた表示パネルか開示され、またカラーフィル
ターにおける画素の厚みが１μ程度であり、黒化銀を含
むブラックマトリクス層の厚みは７μ以下とされている
。

前記公報に記載のカラーフィルターは、時計や卓上計算
機等のような小さな表示画面を有する液晶表示装置には
適するのであるが、大容量の表示画面を有する液晶表示
装置に適用すると、画素とブラックマドリスクとの厚み
が大きく相違するので、画素の表面に形成される透明電
極のステップカバレッジか不充分になり、その結果とし
て画像周辺部における色調のズレな生じたりして明瞭な
カラー画像を形成することができないと言う問題点があ
る。

また、前記フィルターにおける画素とブラックマトリク
スとの厚みの相違は１画素の表面に形成された透明電極
層と、液晶を介在させて前記透明電極層に相対向して配
置された対向透明電極層との距離を厳密に等間隔に制御
することもてきなくなり、これがために鮮明なカラー画
像を表示することかできないと言う問題点もある。

本発明は前記事情に基ずいてなされたものである。

すなわち、本発明の目的は、コントラストか高くて良好
な画像品質を実現することができ、大表示容量の可能な
表示装置に応用することのできるフィルター、そのよう
なフィルターを使用した大容量の表示可能な液晶表示装
置、およびそのようなフィルターの製造方法を提供する
ことである。

［前記課題を解決しようする手段］前記目的を達成しようとする本発明において。

請求項１に記載の発明は、光透過性基板上に、画素同士
の境界に設けられたブラックマトリクスと画素とを銀塩
写真法により形成してなるフィルタ層、透明導電膜およ
び感光性樹脂層！層を、この順に積層し、前記光透過性
基板側から露光し、現像することにより前記感光性樹脂
層をパターン化し、次いで、露出する透明導電膜をエツ
チングすることによりブラックマトリクスを露出させた
後に、前記感光性樹脂層を除去することにより、光透過
性基板上に、その表面に透明電極層を備えた画素と画素
同士の境界に設けられたブラックマトリクスとを有する
ことを特徴とするフィルターであり。

請求項２に記載の発明は、前記フィルターか白黒フィル
ターである前記請求項１に記載のフィルターであり、請求項３に記載の発明は、前記フィルターかカラーフィ
ルターである前記請求項１に記載のフィルターであり、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記
載のフィルターと光透過性基板りに透明電極層を有する
透明電極付基板とを、透明電極層同士が対向するように
配置し、前記フィルターと透明電極付基板との間に、ね
じれ構造におけるねじれ角が１８０〜３６０°であるネ
マチック液晶を封じてなることを特徴とする請求ずれかに記載のフィルターを使用した液晶表示装置であ
り、請求項５に記載の発明は、光透過性基板上に、画素と画
素同士の境界に設けられたブラックマトリクスとを銀塩
写真法により形成してなるフィルター層、透明導電膜お
よび感光性樹脂層を、この順に積層し、前記光透過性基
板側から露光し、現像することにより前記感光性樹脂層
をパターン化し、次いで、露出する透明導電膜をエツチ
ングすることによりブラックマトリクスを露出させた後
に、前記感光性樹脂層を除去することを特徴とする請求
項１〜３のいずれかに記載のフィルターの製造方法であ
る。

［作用］前記請求項１に記載の発明においては、そのフィルター
層が銀塩写真法により形成されているので、画素と画素
同士の境界に形成されたブラックマトリクスとの厚みは
殆ど等しくなっており、はぼ平坦に形成されたカラーフ
ィルター層の表面に、透明導電膜および感光性樹脂層を
この順に積層し、次いで、カラーフィルター層とは反対
の側から光照射することにより、前記感光性樹脂層をネ
ガ型あるいはポジ型にパターン化し、その後に、前記透
明導電膜をエツチングすることによりブラックマトリッ
クスを露出させてから、前記感光性樹脂層を除去するこ
とによって、光透過性基板上に、その表面に透明電極層
を備えた画素と画素同士の境界に設けられたブラックマ
トリクスとを備えた構造を有する。

このカラーフィルターを使用して大容量の液晶表示装置
を製造した場合、液晶層中にスペーサを介在させても、
画素上の透明電極層とこの透明電極層に相対向して配置
された透明電極層との間隔に狂いを生じることがなく、
殆ど等間隔に維持することができる。

このように、請求項１に記載のカラーフィルターを使用
して、対向電極層間に、ねじれ構造におけるねじれ角が
１８０〜］６０°であるネマチック液晶を封じて液晶表
示装置を構成すると、画素とブラックマトリクスとのコ
ントラストが２００対ｌにまで向上する。

また１画素と透明電極層との厚みの差が透明電極の厚み
程度に小さくしであるから、ステップカバレッジか殆ど
なく、したがって画素により形成されるカラー画像の色
調が不良になることもなく、鮮明な画像が表示される。

この場合、フィルターは、黒白フィルターであっても（
請求項２）、またカラーフィルターであっても（請求項
３）良い。

白黒フィルターにおいては、ブラックマトリクスは黒化
銀により形成され、カラフィルタ−においては、ブラッ
クマトリクスは黒化銀および／またはシアン、イエロー
およびマゼンタの減色混合により、あるいは赤色、青色
及び緑色に現像された各有色部の加色混合により形成さ
れる。

請求項４に記載の発明によると、請求項１に記載のフィ
ルターを使用することにより、大容量の画像面を有する
表示装置が構成される。

請求項５に記載の発明によると、請求項１に記載のフィ
ルターが、簡単な製造工程により製造される。

〔実施例］以下に本発明の実施例について説明する。

本発明におけるフィルターおよびそのフィルタを使用す
る液晶表示装置は以下のようにして製造される。

一フィルターの製造− まず、光透過性基板上に、銀塩写真法により、画業同士
の境界に設けたブラックマトリクスと画素とを有するフ
ィルター層を形成する。

銀塩写真法により白黒フィルター層を製造する場合、結
合剤中にハロゲン化銀を分散したものを光透過性基板上
あるいは画素上に塗布し、画素の境界のみに光が当たる
ように露光し、現像、定着処理をするが１画素の境界部
分以外に光が当たるように露光し、反転現像処理をする
方法を採用することかできる。

ハロゲン化銀としては一般に臭化銀やヨク化銀が使用さ
れる。また、前記結合剤としては、ゼラチン、カゼイン
、合成樹脂等が挙げられる０分散姓および分散の安定性
からするとゼラチンか好ましい、なお、ハロゲン化銀お
よび結合剤については、カラーフィルター層についての
説明においても詳述する。

前記現像により、ハロゲン化銀乳剤が黒化銀になるので
あるが、現像処理としては、たとえば湿式の写真的処理
が行なわれる。現像液には、ハロゲン化銀の還元剤とし
て、ｐ−フェニレンジアミン、ｐ−メチルアミノフェノ
ール、ハイドロキノン、ｌ−フェニル−３−ピラゾリド
ン、トリヒドロキシベンゼン、シュウ酸第−鉄、ｐＨＷ
衝剤としてホウ砂、炭酸ナトリウム、ホウ酸ナトリウム
、水酸化ナトリウム等、その他亜硫酸ナトリウム等の酸
化防止剤、臭化カリウム等のカブリ抑制剤等の一般的な
添加剤か含まれていても良い。

現像処理および定着処理の具体例としては１例えば３サ
クラＣＤＨ−１００現像液［コニカ（株）］中に、露光
済みの感光性樹脂を、２０±ｏ、ｓ’ｃにて５分間浸し
、現像を行ない、次に１９〜２１’Ｃで３０秒間水洗し
、その後に、サクラＣＦＬ−Ｘ定着液［コニカ（株）製
］中、１９〜２１°Ｃにて３分間浸して定着し、１９〜
２１”Ｃで５〜１０分水洗し、自然乾燥することを挙げ
ることかできる。

前記光透過性基板については、後述の通りである。

また、タンニング現像処理をすることによって光の当た
った部分のレリーフを作成してこれを黒化銀を含むブラ
ックマトリクスとすると、画素となるべき部分には黒化
銀か残らないので画素の透過率を低下させることもない
。

銀塩写真法によりカラーフィルター層を製造する場合、
内式現像法を採用することもできるのであるが、鮮明に
発色をした画素を得るのてあれば外式現像法によりカラ
ーフィルター層を形成するのが好ましい。

そこで、以下に外式現像法によるカラーフィルター層の
製造について説明する。

すなわち外式現像法においては、光透過性基板と、この
光透過基板の上に設けられた感光剤層とを有するハロゲ
ン化銀感光材料をパターン露光し、その後、パターン露
光部分を、カプラーおよび現像主薬を有する発色現像液
に浸漬して現像。

発色させることにより、三原色の画素おヨヒフラックマ
トリクスを有するカラーフィルター層を製造する。

（Ａ）光透過性基板光透過性基板は、液晶カラー表示装置の組立の際には、
蒸着工程などカラーフィルターが高温にさらされること
があるので、基板の素材としては、良好な耐熱性を有す
るものか好ましい。

このような光透過性基板を構成する素材の例としては、
ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフオン
、ポリスチレン、ポリカーボネート、酢酸セルロースお
よびポリイミドなどの高分子化合物、ガラス（例、ソー
ダガラス、ホウケイガラス、石英ガラスなど）、石英お
よびサファイアなどの無ａ′！ｆ＠賀などを挙げること
ができる。光透過性基板は、上記の素材を用い゛Ｃ１板
状、シート状あるいはフィルム状などの形態て使用いる
ことができる。

光透過性基板の厚さは、用途および材質に合せて適宜に
設定することかてきるが、通常は、ｌＯｐｍ〜１０ｍｍ
の範囲内にある。特に液晶カラーデイスプレー用として
例えばガラスを用いる場合には、０．３〜２ｍｍの範囲
内の厚さの光透過性基板を用いるのかよい。

基板は、光′ｉｆ１過性であることか必要であり、した
かって、本発明においては、透明基板は勿論、半透明基
板をも用いることかてきる。

（Ａ−１）下引層前記光透過性基板上には、直接に感光剤を塗設すること
もできるが、感光剤層と基板との接着力を補強するため
に下引層を介して感光剤層を設けることが望ましい。

下引層を設ける場合、この下引層を形成する素材として
は、たとえば、ゼラチン、アルブミンカゼイン、セルロ
ース誘導体、澱粉誘導体、アルギン酸ナトリウム、ポリ
ビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリ
ル酸共重合体およびポリアクリルアミドを挙げることが
できる。下引層は、カラーフィルタの分光特性を考慮す
ると薄いのか好ましく、通常は、１ｇｍ以下（好ましく
は口、０５〜ｏ、ｓ、ｍの範囲内）である。

（Ａ−２）バッキング層（アンチハレーション層）光透
過性基板の背面には、バッキング層を形成しても良い。

前記バッキング層には、紫外線吸収剤を含ましめても良
い。

この紫外線吸収剤は、バスフ社製のＵＶＩＮＵＬ　　Ｍ
Ｓ−１０あるいはチバガイギー社製のＴＩＮＵＶＩＮ　
　Ｐ等として商業的に容易に入手することかできる前記紫外線吸収剤等は、公知の溶媒に溶解した後に、界
面活性剤含有のゼラチン水溶液と混合し１次いで攪拌し
、ホモジナイザー等により分散、乳化してから、親木性
コロイドバッキング層用塗布組成物中に添加して使用さ
れる。

（Ｂ）感光剤層感光剤層は、水溶性結合剤中にハロゲン化銀を分散せし
めてなる感光剤により形成することかできる。

前記ハロゲン化銀としては、特に制限はなく、たとえば
、塩化銀、ヨウ化銀、臭化銀、塩ヨウ化銀、塩臭化銀、
ヨウ臭化銀および塩ヨウ臭化銀を挙げることかてきる。

これ等は単独であるいは組み合わせて使用することがで
きる。

前記水溶性結合剤としては、通常のものを使用すること
かできる。

本発明で用いることができる水溶性結合剤の例としては
、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、セルロース誘導体
、澱粉誘導体、アルギン酸ナトリウム、ポリビニルアル
コール、ポリビニルとロリドン、ポリアクリル酸共重合
体およびポリアクリルアミドを挙げることができる。こ
れらは、単独であるいは組み合わせて使用することがで
きる。

特に本発明においては、水溶性結合剤としてゼラチンが
好ましい。

感光剤は、上記のハロゲン化銀と水溶性結合剤とを、ｌ
：６〜８：ｌの範囲内の重量比て含むことか望ましい。

感光剤として、ハロゲン化銀の平均粒子サイズが０．１
　μｍ以下の所謂リップマン乳剤を使用するのか好まし
い。カラーフィルターの分光特性をさらに向上させるこ
とかてきるからである。

なお、本発明における感光剤層は、外式現像法における
感光材料の感光剤層に通常台まれている添加剤を含んで
いてもよい。

前記ハロゲン化銀乳剤の光透明基板表面への塗布法とし
ては特に制限がない。

かくして形成される前記感光剤層の厚さは、通常、０．
１〜５ルｍの範囲内、好ましくは０．５〜２４Ｌｍの範
囲内である。

感光剤層の厚さが０．１４ｍに満たないときには、色素
が充分に発色しないことがあり、また、５ｇｍより厚く
すると、光の透過性が低下してカラーフィルターの透明
度が低下することがある。

特に、本発明においては、感光剤層の厚さを０．５〜２
ｇｍの範囲内にすることにより、得られるカラーフィル
ターの分光特性に向上か認められる。

（Ｃ）カラーフィルター層の形成前記光透過性基板の上に形成した前記感光剤層をパター
ン露光し、次いでカプラーおよび現像主薬を有する現像
液で露光部分を現像することにより発色させる。

（Ｃ−１）現像液前記現像液は、現像主薬とカプラーとを含有する。

現像主薬としては、現像液中に分散もしくは溶解可俺な
ものであれば特に限定することなく使用することかでき
る。

前記現像主薬としては、ｒ　Ｔｈｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ｏ
ｆＰｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ　Ｐｒｏｃｅｇｓ　：ｌｒ
ｄ　Ｅｄｉｔａｉｏｎ、Ｃ，Ｅ、に、Ｍｅｅｓａｎｄ　
Ｊ、Ｔ、Ｊａｍｅｓ著、２９３〜２９８頁」に記載され
た化合物を挙げることができる。

現像主薬の具体例としては、４−アミノ−３−メチル−
Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アニリン硫酸塩、トエチ
ルーＮ−メトキシエチル−３−メチル−ｐ−フェニレン
ジアミン／Ｐ−トルエンスルホン酸塩、４−アミノ−３
−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２−メチルスルホンアミ
ドエチル）アニリン・硫酸塩・水和物、Ｎ。

Ｎ−ジエチル−ｐ−フェニレンジアミン硫酸塩、および
、　Ｎ、Ｎ−ジエチル−３−メチル−ｐ−フェニレンジ
アミン塩酸塩等をを挙げることかてきる。

前記各種の現像主薬は、通常、カプラーの種類および組
み合わせ等を考慮して適宜に選択される。

現像主薬の使用量は１通常の場合、現像液ｉｉ中に対し
て０．１〜１０ｇであり、好ましくは０．５〜７ｇであ
り、特に好ましくは１〜５ｇである。現像主薬の含有量
が０．１ｇより少ないと、有効に現像を行なえないこと
があり、また、ｌＯｇより多く用いても、現像性の著し
い向上は見られないばかりでなく、現像主薬の種類によ
っては、充分に溶解しないことがある。

このような範囲内に現像主薬の配合量を設定することに
より、通常の温度での現像時間を例えば１〜１０分の短
時間にすることができ（作業性の向上）、さらに１発色
性が向」ニするカプラーには、発色する波長の相違により、マゼンタ発
色カプラー、シアン発色カプラーおよびイエロー発色カ
プラーがある。そして、このうちの二種類以上の異なる
発色を示すカラー発色カプラーを組み合わせることによ
り、所望の発色を実現することができる。

これらカラー発色カプラーの組み合わせは、カラーフィ
ルターの有色部に現れる色か減色混合により発現するか
ら、マゼンタ発色カプラーとシアン発色カプラーとを組
み合わせることにより、青色発色現像液が得られ、イエ
ロー発色カプラーとシアン発色カプラーとを組み合わせ
ることにより緑色発色現像液が得られ、マゼンタ発色カ
プラーとイエロー発色カプラーとを組み合わせることに
より赤色発色現像液が得られる。そして、マゼンタ発色
カプラー、シアン発色カプラーおよびイエロー発色カプ
ラーを合わせることにより黒色発色現像液か得られる。

前記カプラーとしては、現像液中に添加して、少なくと
も一部が現像液中に溶解した状態で使用される公知の外
式カプラーを使用することができる。

前記カプラーのうち、イエロー発色カプラーとして、開
環ケトメチレン化合物（例、２−（ｐ−カルボキシフェ
ノキシ）−２−ビグアロイル−２°、４′−ジクロロア
セトアニリドなどのアシルアセトアニリド）を挙げるこ
とかでき、さらに、米国特許３，５１０゜３０６号、同
：ｌ、６１９，１８９号、特公昭４０−３３７７５号お
よび同４４−３［ｉ５４号などの各公報に記載されたも
のも本発明の範囲に含めることができる。

マゼンタ発色カプラーとしては、活性メチレン化合物（
例、　１−（２，４，６−ドリクロロフエニル）−３−
（ｐ−ニトロアニリノ）−２−ビラシソノー５−オンな
どのヒドラゾン類およびシアノアセトアニリド類）を挙
げることができ、さらに、ドイツ特許公開（ＯＬＳ）第
２，０１６，５８７号、米国特許節３，１５２，８９６
号、同３，６１５，５０２号および特公昭４４−１３３
１１１号などの各公報に記載されたものも本発明の範囲
に含めることがてきる。

シアン発色カプラーとしては、フェノール化合物（例、
２−アセトアミド−４，６−ジクロロ−５−メチル−フ
ェノール）あるいはナフトール化合物（例、Ｎ−（０−
アセトアミドフェノエチル）−２−ヒドロキシ−２−ナ
フトアミｌ”　）を挙げることかでき、また、米国特許
節３，００２，８３５号、同３，５４２，５５２号およ
び英国特許環１，０６２，１９０号等の各公報に記載さ
れているものも好適に使用することかできる。

なお、本発明のカラーフィルターの製造に使用すること
がてきるカラー発色カプラーとして、上記のものの他、
シー・イー・ケー・メースおよびジェイ・ティー・ジェ
イムス（Ｃ，Ｅ、に、Ｍｅｅｓ　ａｎｄＪ、Ｔ、Ｊａ■
ｅｓ）　ｒザ　セオリイ　オブ　フォトグラフィック　
プロセス第３版、第１７章Ｊ　（Ｔｈｅ　Ｔｈｅｏｒｙ
ｏｆ　　Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ　　Ｐｒｏｃｅｓｓ
　　３ｒｄ　　Ｅｄｉｔａｉｏｎ、Ｃａｐｔｅｒ１７　
）　）８２〜３９５頁に記載されているものも挙げるこ
とができる。

現像液におけるカプラーの含有量は、現像液１文に対し
て通常は、０．５〜２０ｇの範囲内である。

０．５ｇより少ないと、充分に発色しないことかあリ、
他方、２０ｇより多く用いた場合には、所謂カブリか発
生することかある。カプラーの含有量が特に１〜１０ｇ
の範囲内であると、色濁りか少なく分光特性の良好なカ
ラーフィルターを製造することができる。

カラーフィルター製造用の現像液中における異なる発色
を示すカラー発色カプラーの配合比率は、用いるカラー
発色カプラーの発色性を考慮して適宜に設定することか
できる。たとえば、シアン発色カプラーとマゼンタ発色
カプラーとを組み合わせる場合には１両者を重量比て、
通常はｌ：９〜７・３（好ましくはｌ：９〜４：６）の
範囲内にする。また　シアン発色カプラーとイエロー発
色カプラーとを組み合わせる場合には、両者を重量比で
、通常は１：９〜７：３（好ましくは１．９〜４・６）
の範囲内にする。さらに、マゼンタ発色カプラーとイエ
ロー発色カプラーとを組み合わせる場合には、両者を重
量比で、通常は９：１−８：２（好ましくは８：２〜６
：４）の範囲内にする。そして、発色カプラーとマゼン
タ発色カプラーとイエロー発色カプラーとの王者を組み
合わせる場合には、王者をほぼ同量づつ配合するのか好
ましい。

また、本発明におけるカラーフィルター製造用の現像液
中におけるカプラーと現像主薬との配合重量比は、カラ
ー発色カプラーおよび現像主薬の種類および含有率など
を考慮して適宜に設定することかできるが、通常は、カ
プラーおよび現像主薬の配合重量比を、ｌ：９〜９：１
の範囲内にする。

なお、現像液は、保恒剤（例、亜硫酸ナトリウム、ジエ
チルヒドロキシルアミン）、促進剤（例、水酸化ナトリ
ウムなどのアルカリ剤）、制御剤（例、臭化カリウム、
ヨウ化カリウム）、助剤（例、ボワエチレングリコール
などの水質調整剤、シトラジン酸、イミタゾール誘導体
等の色調剤）などの、通常の外式現像液に含まれる添加
剤を含んでいても良い。

現像液は、上記の成分を水に溶解することにより調製す
ることがてきる。

なお、現像液は、通常の使用温度（例えば、１０〜４０
°Ｃ）のおけるｐＨ値か９．０〜１３．０の範囲内にな
るように水酸化ナトリウムなどを用いて、ｐＨ値を調整
してから使用される。

（Ｃ−２）パターン露光および現像感光剤層のパターン露光および露光部分の現像は次のよ
うにして行なわれる。

まず、前記感光剤層をパターン露光する（第一の露光）
。

パターン露光は１通常の方法により行なうことがてきる
。たとえば、光透過性基板の上に形成された感光剤層の
上にフォトマスクを配置し、フォトマスクの上方から光
を照射することにより、フォトマスクに設けられている
開口部に対応する感光剤層の予定露光部分を選択的に露
光する。

カラーフィルターにおける露光予定部分の大きさ、すな
わちフナｌ−マスクの開口部の大きさは、得られるカラ
ーフィルターの用途に合せて適宜に設定することができ
る。たたし、露光に用いる構成の波長よりも開口部の幅
が狭いと有効に露光を行なうことかできないので、開口
部の幅をこの波長よりも広くする。

ハロゲン化銀は、３４０〜４２０１−の範囲内の光に対
して有効な感光性を有しているので、開口部の幅は、３
４０　ｎｍ以上であり、さらに、カラーフィルターとし
ての用途を考慮すると、１ｇｍ以上にするのか好ましい
。また、液晶表示装置に適用するカラーフィルターの場
合には、赤色、青色および緑色に現像された各有色部の
加色混合によって、有効に色再現を行なわせるためには
、開口部の幅はｔ、ｏｏｏ　ｇ　ｍ以下（特に５００ｐ
ｍ以下）であることが望ましい。

カラーフィルターの製造方法における露光時間および光
源等の他の条件については、通常の条件に従うことがで
きる。

第一のパターン露光を行なった後、前記現像液により露
光部分の第一の現像を行なう。

たとえば、カプラーとして、シアン発色カプラーとマゼ
ンタ発色カプラーとを含む現骨液（青色現像液）で現像
を行なうことにより、露光部分は、青色に発色する。ま
た、シアン発色カプラーとイエロー発色カプラーとを含
む現像液（緑色現像液）を用いることにより、露光部分
は緑色に現像される。さらに、マゼンタ発色カプラーと
イエロー発色カプラーとを含む現像液（赤色現像液）を
用いることにより、露光部分は赤色に現像される。

第一の露光部は、上記の青色現像液、緑色現像液および
赤色現像液のいずれの現像液を用いて現像してもよい。

現像条件としては、通常の写真技術における外式現像法
におけるのとほぼ同様であり、たとえば、現像温度は、
通常、ｌＯ〜４０’Ｃであり、現像時間は、通常、Ｏ，
Ｓ〜３０分間である。

第一の露光部分の現像を行なった後、水洗し、通常、光
透過性基板上の感光剤層を漂白液または黒白現像液に浸
漬して二回目以降の現像に伴なう第一現像部への色濁り
を防止し、次いで、水洗し、乾燥させる。

かくして、感光剤層における第一の露光部分か、現像液
に応した色を有する第一の有色部になる。

次いで、たとえば、前記第一の有色部に一定の間隙を有
して隣接する未露光部分を第一の露光と同様の方法によ
りパターン露光し、次いで、第一の工程で用いた以外の
現像液で現像する。さらに、所望により漂白液または黒
白現像液への浸漬、水洗及び乾燥などの工程を経ること
により、第二の有色部を形成する。

同様に、第二の有色部に一定の間隙を有１ノて隣接する
未露光部分をパターン露光し、上記第一および第二の工
程で用いた以外の現像液で現像を行なうことにより第三
の有色部を形成する。

こうして第一乃至第三の有色部を形成した後、通常は、
感光剤層中の銀成分を除去する工程（漂白工程）とハロ
ゲン化銀を除去する工程とに付し、第一〜第三の有色部
を定着させる。

このようにして、光透過性支持体上に赤色（Ｒ）、青色
（Ｂ）及び緑色（Ｇ）の光透過性の有色部か形成される
。

さらに、光透過性支持体の上に赤色（Ｒ）、青色（１１
）および緑色（Ｇ）の光透過性の有色部の間隙をパター
ン露光し、シアン発色カプラー、マゼンタ発色カプラー
およびイエロー発色カプラーを含む現像液で現像を行な
うことにより、赤色部（Ｒ）青色部（Ｂ）および緑色部
（Ｇ）それぞれの間隙にブラックマトリクスを形成する
。

以上のようにして、第１図に示すように、光透過性基板
ｌの表面に、ブラックマトリクス２と有色の画素３とを
有するカラーフィルター層４か形成される。

なお、以上に詳述した現像法は外式現像法によるもので
あるが、本発明においては、外式現像法と銀塩色素漂白
法との組み合わせにより現像を行なっても良いことは、
前述のとおりである。

また、銀塩色素漂白法を組み合わせてカラーフィルター
層を形成する場合、特公昭４９−３７，８５３号、同：
１７−１６，８０７号等に示す銀塩色素漂白法に基づく
色素を、あらかじめ感光剤層中に入れておくのが良い。

前記ブラックマトリクスは青色、緑色および赤色の加色
混合により黒色に形成されていたか、シアン、マゼンタ
およびイエローの減色混合により形成された黒色てあっ
ても良く、また、白黒現像液により形成された黒化銀に
よる黒色てあっても良い。この白黒現像液として、前記
カラーフィルターの製造に関して説明した現像液を使用
することができる。

（Ｄ）透明導′ｒｒＬ膜の形成本発明においては、第１図に示すように、前記フィルタ
ー層（カラーフィルター層あるいは白黒フィルター層）
４の表面に、たとえば反応性蒸着法等により、透明導電
膜５か形成される。

なお１反応性蒸着法は、イオン化もしくは活性化された
反応用ガスの存在下で蒸着を行なう手法てあり、それ自
体公知の方法である。

前記透明導電膜の形成に使用することができる物質とし
ては、たとえばＩＴＯ（Ｉｎ２０：＋　−３ｎＯ□）お
よび錫酸化物（Ｓｎ　Ｏ，）等を挙げることができる、
これらのうち、好ましいのはＩＴＯてあり、インジウム
に対する錫の含有率か４重量％以下であるＩＴＯは特に
好ましい。

前記透明導電膜の透明度は１通常、光透過率か７０％以
上、好ましくは８０％以」−であれば良い。

また、透明導電膜の導電性の程度は、抵抗値が１００Ω
／口以下であり、好ましくは５０Ω／口であり、特に好
ましくは２０Ω／口以下である。

透明導電膜の液晶物質側（前記光透過性基板とは反対側
）の表面の精度は１通常、±０．１４ｍであり、好まし
くは士９．０３ｇｍであり、特に好ましくは±０．０１
川ｍであ用。

透明導電膜の厚みは、通常、０．０５〜ｌルｍであり、
好ましくは０．１〜０．３４ｍである。透明導電膜の厚
みがＩｇｍよりも大きくなると、表面精度を前記範囲に
維持することができなくなることがある。また、厚みか
０．０５μｍよりも小さいと、透明導電膜の導電不良を
生じることがある。

（Ｅ）感光性樹脂層の形成本発明のフィルターを製造するには、第１図に示すよう
に、前記透明導電膜５の表面に感光性樹脂層６を形成す
る。

感光性樹脂としては、たとえば、感光基を有する高分子
および光反応性化合物を含有する高分子等を挙げること
かてきる。

感光基としては、たとえば、ケイ皮酸残基、カルコン残
基、アクリル酸残基、ジアゾニウム塩残基、フェニルア
ジド残基、０−キノナジド残基、クマリン残基、２，５
−ジメトキシスチルベン残基、スチリルピリジン残基、
α−フェニルマレイミド残基１アントラセン残基、ピロ
ン残基を挙げることができる。

このような感光基を有する高分子からなる感光性樹脂と
して、たとえば、光二量化型感光性樹脂、光重合型感光
性樹脂、光分解型感光性樹脂等を挙げることかてきる。

光反応性化合物を混合した高分子からなる感光性樹脂と
しては、共存させた光反応性化合物の光反応によって、
高分子を不溶化させる形式の組成物を挙げることがてき
、代表的には、２．６−ジ（４′−アシドベンザル）シ
クロヘキサノンと水酸基、カルボキシル基、イミノ基あ
るいは不飽和基等を有する高分子とからなる混合物か挙
げられる。

いずれの感光性樹脂においても適宜に選択して使用する
ことかできる。

感光性樹脂層の形成に当たり、感光性樹脂とともに、光
増感剤、光重合開始剤、有機溶媒等を併用することもて
きる。

前記透明導電膜の上に感光性樹脂層を形成するには、た
とえば、前記感光性樹脂を含有する組成物を適宜の方法
たとえば、スピンナー塗布法、スプレィ塗布法、オフセ
ット印刷法、スクリーン印刷法などの機械的塗布法を適
宜に採用する。

感光性樹脂層の厚みは、通常、１０ＡＬｍ以下であり、
好ましくは３ｇｍ以下である。

（Ｆ）パターン化この発明ににおいては、たとえば、第１図に示すように
、画素同士の境界に設けられるとともに黒化銀を含有す
るブラックマトリクスと画素とを銀塩写真法により形成
してなるフィルター層４、透明導電膜５および感光性樹
脂層６を、この順に端層した光透過性基板ｌの、フィル
ター層４とは反対側の面から（第１図中の矢印の方向か
ら）前記感光樹脂層６を露光し、感光した感光樹脂層６
を現像することにより前記感光性樹脂層６をパターン化
し、この場合にはネガレジスト層に形成する。なお、感
光性樹脂を選択することにより、ポジ型レジスト層を形
成しても良い。

この場合、露光は波長３５０〜５５０ｎｍの光により行
なうことができる。

露光光量および露光時間等の露光条件については、感光
性樹脂の種類、感光性樹脂層の厚み、光透過性基板の種
類とその厚み、フィルター層を構成する物質の種類とフ
ィルター層の厚み等により相違するから一概に決定する
ことかできないのであるが、−殻内に述べると、露光光
量は、ｌＯ〜５００ｍＪである。

フィルター層とは反対側の面から感光性樹脂層を露光す
ると、ブラックマトリクスには光か透過１ノないので、
フィルター層における画素部分を透過した光により感光
性樹脂層が感光し、画素部分に対応する感光性樹脂層が
光硬化する。

露光後に、前記感光性樹脂層を現像することにより、感
光性樹脂層における光来硬化部分を除去することにより
、第２図に示すように、パターン化されたたとえばネガ
レジスト７を形成する。

感光性樹脂における光来硬化部分は、適宜の溶媒で溶解
することにより除去することかできる。

かかる溶媒としては、未露光の感光性樹脂を溶解するこ
とがてきるが光硬化した感光性樹脂部分を溶解すること
ができない溶媒であれば特に制限かなく、例えば２ベン
ゼン、トルエン、キシレン等の無極性溶媒、アセトン、
メチルエチルケトン、メタノール、エタノール、プロパ
ツール、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン等
の極性溶媒等を適宜に選択して使用することかできる。

感光性樹脂の未露光部分を前記溶媒て溶解除去する条件
としては、室温て部分である。

感光性樹脂における未露光部分を除去すると、第２図に
示すように、透明導電膜５か露出する。

（Ｇ）エツチング透明導電膜を露出し、画素部分には光硬化した感光性樹
脂を被覆した状態で、次に、露出した透明導電膜を溶解
除去することにより、第３図に示すように、ブラックマ
トリクス層２を露出させる。

この溶解除去には、溶媒を使用するのであるか、かかる
溶媒としては、前記光硬化部分を溶解しないが透明導電
膜を溶解することかできるのであれば特に制限かなくか
、より好ましい溶媒は、前記光硬化部分を溶解しないか
透明導電膜を溶解することかでき、しかもフィルター層
を溶解しない溶媒であり、たとえば、塩酸と硝酸との混
合液、塩酸と硝酸と三塩化鉄との混合液、臭化水素液等
を挙げることかできる。

具体的にいずれの溶媒か適切かは、種々の要素を考慮し
て適宜に決定することかてきる。

透明導７１を膜を溶解する条件としては、特に制限かな
いか、温度を３０〜７０’Ｃに加温し、１０秒〜１０分
の時間をかけると、除去の効率を一層高めることかでき
る。

０１）パターンの除去次いで、パターン化されたたとえばネガレジスト層を溶
媒で除去することにより、第４図に示すように、透明導
電膜を透明導電層８として露出させる。

このときの溶媒は、光硬化した光硬化性樹脂部分を溶解
することができるか、ブラックマトリクスを溶解しない
溶媒であれば特に制限がなく１例えば、硝酸と過酸化水
素との２対ｌ混合液、力性ソーダの５％水溶液等を挙げ
ることかできる。

具体的にいずれの溶媒が適切かは、種々の要素を考慮し
て適宜に決定することかできる。

なお、溶媒を使用しなくても、酸素プラズマを使用する
ことも可鋤である。

（１）その他１１１１記のようにして製造されたカラーフィルター層
には、その表面にざらに配向層を設けるのか好ましい。

前記配向層は、従来から行なわれているように、前記透
明導電層上に、ＳｉＯ□、ＭｇＯ，ＭｇＦ２などを用い
た斜め蒸着法を行って形成しても良いし、あるいはイミ
ド系、アミド系、ポリビニルアルコール系、フェノキシ
系などの高分子物質、アルキルアンモニウムハライド、
カルボン酸クロム錯体、有機シラン化合物などの被膜の
表面を、綿布、ビニロン布等で擦するラビング法を行っ
て形成しても良い。

前記配向層の厚みは、通常、０．０１〜ｌルｍであり、
好ましくは０．０３〜０．２７ｚ＋ｎである。

以上のようにして、ブラックマトリクスの表面と画素の
表面とに殆ど段差かなく、したがって、ステップカバレ
ッジの殆どなしＸフイルターカく製造される。

一液晶表示装置− 第５図に本発明の一実施例である液晶表示装置を示す。

第５図に示すように、この液晶表示装置９においては、
前述のフィルター１０と透明支持板１１に透明電極層１
２を有する透明電極付基板１３とを、透明電極層同士か
対向するように配置されてなる。

透明電極付基板１３とフィルター１０との間の空間は、
シール部によってシールされ、液晶セルか構成されてい
る。液晶セルの内部には、複数のスペーサ１４かそれぞ
れ離間した状態で配置されるとともに、ネマチック液晶
１５がねじれ構造を形成して封入され、これにより液晶
層が形成されている。

透明電極付基板およびフィルターの外側の表面には、そ
れぞれ前方の偏光板（図示せず、）Ｓよび後方の偏光板
（図示ゼず、）設けられている。

なお、反射タイプの液晶表示装置であれば、後方の偏光
板の外側の表面に反射板を設けると良い。

また、透明電極付基板およびフィルターには、必要に応
じてさらに絶縁層、誘電体層、アルカリイオン移動防止
層、反射防止層等を設けても良いこの液晶表示装置についてさらに詳述する。

＜ａ＞透明電極付基板における基板、透明電極、および
配向層フィルターの製造において使用したのと同様の光透過性
基板、透明電極、および配向層を使用することができる
ので、その詳細な説明を省略する。なお、基板、透明電
極、および配向層は、フィルターの製造に使用したのと
同様の材質である必要はない。

（ｂ）液晶本発明の液晶表示装置に使用される液晶は、ねじれ構造
におけるねじれ角が１８０〜３１１０＠、好ましくは２
１０〜２９０　”であるネマチ・ンク液晶である。

このようなねじれ角を有するナマチック液晶は、本発明
のカラーフィルターと組合せることにより、ノーマリ−
ホワイトモートで液晶画面を駆動するときの、画素とブ
ラックマトリクスとのコントラストか２００倍にも達し
、きわめて鮮明な画像を実現することがてきる。すなわ
ち、ねじれ角かｔａｏ”に満たないときには、コントラ
スト不足になり、ねじれ角か：１６０’を越えるときに
は配向特性か不十分になる不都合がある。

なお、本発明におけるネマチック液晶には、必要に応じ
てスメクチック液晶、コレステリック液晶等が適宜に配
合されていても良い。

また、ネマチック液晶に添加される旋光性物質として、
カイラルネマチック液晶、コレステリック液晶等を用い
ても良い。

次にこの発明のさらに具体的な実施例および比較例を示
してこの発明をさらに具体的に説明する。

（実施例１）（Ａ）　　カラーフィルター層の形成状のようにして、銀塩方式でかつ外式現像法によりカラ
ーフィルター層を形成した。

■発色現像液の調製以下に記載する青色発色現像液組成物を８００ｍ１の水
に溶解した後、さらに水を加えて全潰を１又にして、′
Ｒ色発色現像液を調製した。

現像主薬［４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（ヒドロキシエチル）アニリン硫酸塩シアン発色カプラー［Ｎ−（０−アセトアミドフェネチル）−１−ヒドロキシ−２−ナフトアミド］１．８１１ｇ０．８７ｇマゼンタ発色カプラー・・・・・・・・・・・・・・・
・１．０７ｇ［１−（２，４，５−トリクロロフェニル
）　−３−（ｐ−ニトロアニリノ）−２−とラブリン−
５−オン］ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・・・・３．００
ｍ　ｌ無水硫酸ナトリウム・・・・・　・　・・・　６
．６６ｇ０．１！ヨウ化カリウム水溶液・・・・・・・
・・・・１１．００ｍＭ無水臭化ナトリウム・・・・　
・　・・・・　０．８６ｇ６−ニトロペンツイミダゾー
ル・・・・・・・・・・０．０２ｇ亜硫酸ナトリウム・
・・・・・・・・・・・・・　２０．００ｇヘキシレン
グリコール・・・・・・・・・・・・・・・・５．００
ｍ　ｌポリエチレンクリコール・・・・・・・・・・・
・・・０．５０ｍ１ジエチルヒドロキシルアミン・・・
・・・・・・・０．２７ｍ　ｆＬハイドロキノンモノス
ルホン酸・・・・・・・・０．１０ｇターシャリ−ブチ
ルアミノボラン・・・・・・０．０７ｇチオシアン酸ナ
トリウム・・・・・・・・・・・・・・１．００ｇ無水
炭酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・１
６．６７ｇ無水炭酸水素ナトリウム・・・・・・・・・
・・・・・４．００ｇなお、上記の青色発色現像液に水
酸化ナトリウムを添加して、２７℃におけるｐＨ（＃か
１２．０になるように調整した。

次いで、以下に記載する緑色発色現像液組成物８００ｍ
　ｌの水に溶解した後、さらに水を加えて全量を１交に
して、緑色発色現像液を調製した。

ｈｈ　　　　Ｉ現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・２．０１ｇ［Ｎ−エチル−Ｎ−メトキシエチル −３−メチル−ｐ−フェニレンジアミン／Ｐ−トルエンスルホン酸１ｔ！］シアン発色カプラー・・・・・・・・・・・・・・・１
．９５ｇ［８−（０−アセトアミドフェネチル）−１−ヒドロキシ−２−ナンドアミド］イエロー発色カプラー・・・・・・・・・・・・・・・
・０．６：Ｉｇ［２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ビグアロイル−２゛、４°−ジクロロアセト
アニリド］ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・・・・３．００
ｍ　ｌ無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・
・・・・１０．０ＯＫ０．１１ヨウ化カリウム水溶液・
・・・・・・・・・・ｌＯ０口ＯｍＪ１無水臭化ナトリ
ウム・・・・・　・・・・・・０．９３ｇ６−二トロペ
ンツイミダゾール・・・・・・・・・・０．０７ｇ亜硫
酸ナトリウム・・・・　・・・・・・・・・・・２０９
口Ｏｇヘキシレングリコール・・・・・・・・・・・・
・・・・５．００ｍ　Ｊｌポリエチレングリコール・・
・・・・・・・・・・・・１．５０ｍ１ジエチルヒドロ
キシルアミン・・・・・・・・・・０．７３ｍ　ｌハイ
ドロキノンモノスルホン酸・・・・・・・・０．２０ｇ
なお、上記の緑色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加
して、２７℃におけるＰＨ値が１２．０になるように調
整した。

同様にして、以下に記載する赤色発色現像液組成物８０
０＋ｎＪ１の水に溶解した後、さらに水を加えて全量を
１１に１ノて、赤色発色現像液を調製した。

−１ｈ現像主薬［４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２−メチルスルホンアミドエチル）−アニリン硫酸塩・氷相物］３．０７ｇマゼンタ発色カプラー・・・・・・・・・・・・・・・
・１．０７ｇ［１−（２，４，６−トリクロロフェニル
）　−３−（ｐ−ニトロアニリノ）−２−とラブリン−
５−オン］イエロー発色カプラー・・・・・・・・・・・・・・・
・０．８３ｇ［２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ピラアロイル−２′、４°−ジクロロアセト
アニリド］ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・・・・３．ＯＯ
ｍ　ｌ無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・
　・・６．６６ｇｏ。ｌｚヨウ化カリウム水溶液・・・
・・・・・・・・１２．３：ｆｍ文無水臭化ナトリウム
・・・・・・・・　・・　・０．７４ｇ６−ニドロペン
ツイミタゾール・・・・・・・・・・０．０２ｇシトラ
ジン酸・・　・・　・・・　・・・　−・・１．５０ｇ
ターシャリ−ブチルアミノボラン・・・・・・０．０７
ｇ亜Ｖｉ酸ナトリウム・・・　・・・・・・・・・・・
・・１３．３０ｇヘキシレングリコール・・・・・・・
・・・・・・・・・５．００ｍ　ｌポリエチレングリコ
ール・・・・・・・・・・・・・・０．８５ｍ　ｌジエ
チルヒドロキシルアミン・・・・・・・・・・０．１７
ｍ　ｌハイｌ〜ロキノンモノスルホン酸・・・・・・・
・０．１０ｇ無水炭酸ナトリウム・・・・・・・・・・
・・・・・・・１５．６７ｇ無水炭酸水素ナトリウム・
・・・・・・・・・・・・・４．００ｇなお、上記の赤
色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加して、２７℃に
おけるｐＨ値が１０．５になるように調整を行なワた。

■ハロゲン化銀感光材料の調製ゼラチンの１０重盪％水溶液に硝酸銀溶液と臭化カリウ
ムおよびヨウ化カリウムを含む溶液とを同時に加えるこ
とにより３モル％のヨウ化銀を含むヨウ臭化銀乳液（平
均粒子径：０．００５ｕＬｍ、ゼラチン濃度＝９重量％
）を調整した。この調整に際の沈澱条件を０．０５　ｇ
　ｍの平均粒子径を有するリッツマン乳剤か得られるよ
うに規制した。

得られたヨウ臭化銀乳液を、厚さ１．１　ｍｍの透明な
ホウケイガラス基板（３０ｃ■ｘ　：ｌＯｃｍ）上に、
乾燥厚さが３ｇｍになるように塗布してハロゲン化銀感
光材料を製造した。

■露光および現像このハロゲン化銀感光材料の上に、−辺か１５０ｇｍの
正方形の開口部を有するカラーフィルター用クロムマス
クを重ねて、タングステンランプを用いて第一回目の露
光を行なった。

この第一回目の露光か行なわれたハロゲン化銀感光材料
を、液温を２５°Ｃに調整した上記の青色発色現像液に
３分間浸漬した。

次いで、１文の中に２８％酢酸３２ｍ１と硫酸ナトリウ
ム４５ｇとを含む停止液に３０秒間浸漬してから５分間
水洗し、乾燥させることにより、基板上に青色部を形成
した。

次に、前記のようにして形成された」；足前色部のすぐ
隣りにブラックマトリクス用の間隔を介して別のカラー
フィルタ用クロムマスクを配置し、上記と同様の方法に
より第二回目の露光を行なった。

この第二回目の露光が行なわれたハロゲン化銀感光材料
を、液温な２５°Ｃに調整した上記の緑色発色現像液に
３分間浸漬し、さらに、停止液に３０秒間浸漬してから
５分間水洗し、乾燥させることにより、Ｍ板上に緑色部
を形成した。

次に、前記のようにして形成された緑色部の右隣り（す
なわち青色部の左隣り）にブラックマトリクス用の間隔
を介して三番目のカラーフィルター用クロムマスクを配
置し、上記と同様の方法により第三回目の露光を行なっ
た。

この第三回目の露光が行なわれたハロゲン化銀感光材料
を、液温を２５°Ｃに調整したＬ記の赤色発色現像液に
３分間浸漬し、さらに、上記の停止液に３０秒間浸漬し
てから５分間水洗し、乾燥させることにより、基板上に
赤色部を形成した。

前記のようにして形成された青色部、緑色部および赤色
部の各画素の間が露光するように、ブラックマトリクス
用クロムマスクを配置し、上記と同様の方法により第四
回目の露光を行なつた。

この第四回目の露光か行なわれたハロゲン化銀感光材料
を、液温を２５°Ｃに調整した一Ｆ記の黒色発色現像液
に３分間浸漬し、さらに、上記の停止液に３０秒間浸漬
してから５分間水洗し、乾燥させることにより、基板上
にブラックマトリクスを形成した。

このようにしては、ホウケイガラス基板全体に、モザイ
ク状に配とされた一辺カ月５０ｇｍの正方形の青色部、
緑色部、および赤色部、ならびに各有色部の間隙に形成
された黒色のブラックマトリクスを有するカラーフィル
ター層を得た。

なお、このカラーフィルター層においては、青色部、緑
色部および赤色部に色の濁りは見られず、さらに、この
青色部、緑色部および赤色部を透過した単一光源からの
透過光の強度には殆ど差か見られなかった。

また、このカラーフィルター層の表面精度を表面荒さ計
（タリステップ社製）にて測定したところ、±０．１　
井ｍてあった。

（Ｂ）透明電極層の形成りＣマグネトロンスッパタリング装δ（８田製作所製）
により、以下の操作条件にて、前記カラーフィルター層
の表面全体に亙って、透明電極層を形成した。

操作条件ターゲット　ＩＴＯ基板温度　　＋８０°Ｃ真空度　　　６　ｘ　１０−’ＴｏｒｒＡｒ流量　　７
０　ｇｃｃｍ電力　　　　３００　ＶｘＯ，６Ａ製膜時間　　４０分膜厚　　　　２，０００人（０，２μｍ＞形成した透明
電極層につき前記表面荒さ計にてその表面精度を測定し
たところ、表面精度は±０．１　ルｍであった。

この透明電極層を四探法にてその抵抗値を測定したとこ
ろ、その抵抗値は２００７口であった。

この透明電極層を分光光度計（日立Ｕ　−３４００）に
゛（可視領域（４００〜７００　ｎｍ）その透過率を測
定したところ、その透過率は８５％であった。

（Ｃ）感光性樹脂層の形成、露光、未露光部の除去、エ
ツチングおよび露光部の除去前記カラーフィルター層の−Ｌに、ネガ型感光性樹脂［
商品名ｒｏＩｉＲ−８３，；東京応化■製］からなる塗
布液を滴下し、スピンコーターを用いて３０００ｒｐ履
／３０ｓｅｃ　’で塗布することにより膜厚０．５５μ
ｍのネガ型感光性樹脂層を得た。

次いで、カラーフィルター層とは反対側の面から１．ｏ
ｏｍＪの光を照射して、前記ネガ型感光性樹脂層を露光
した。このネガ型感光性樹脂層において、ブラックマト
リクスに対応する部位は感光せず、画素部分に対応する
部位は感光して硬化した。

そして、現像液［商品名ｒｏ）４Ｒ現像液ハ東京応化■
製］を用いて温度２２°Ｃの条件下に６０秒間、撹拌し
ながら現像を行ない、ネガ型感光性樹脂層における未露
光部分を除去した。

その後、Ｎ２ブローで乾燥を行い、パターン化した。

次いで、４７％臭化水素水に５０℃にて９０秒間浸漬し
た後に、水洗浄および乾燥することにより、露出してい
る透明導電膜をエツチングし、ブラックマトリクスを露
出せしめた。

さらに、ＯＭＲ用剥離剥離液２０．東京応化（株）製］
を１００°Ｃにて１０分間浸漬した後に、水洗浄および
乾燥を行なうことにより、感光性アクリル樹脂層におけ
る硬化部分を除去することによって画素の表面に透明電
極層を有し、各画素間にブラックマトリクスを有するカ
ラーフィルターを得た。

（Ｄ）　酪狗」ト久肢戚上記（Ｃ）で得られた透明電極層上にポリイミド［商品
名ｒサンエバー２５０　、　、　日産化学工業■製］を
用いてスクリーン印刷を行ない、温度１７０°Ｃの条件
下に６０分間焼成して膜厚１０ｇｍのポリイミド膜を得
た。

次いで、レーヨンスェードを用いてラビング処理を行っ
て配向層とした。

得られた配向層の表面精度は±０．０５ｇｍであった。

（Ｅ）゛　　　　−の・厚み１．１ｍｍのホウケイ酸ガラス基板（１００ｍｍｘ
１０１）ｍｍ）上に前記カラーフィルターの製造におけ
るのと同様の透明電極層を形成し、次いで、前記カラー
フィルターの製造におけるのと同様の配向層を形成して
、この発明の液晶カラー表示装置における透明電極層付
基板（バックプレート）を調製した。

（Ｆ）　１ｆＬｌｉカラー・六オ　の前記カラーフィルターと前記バックプレートとを、それ
ぞれの透明電極がｌｏｏｍの距離を隔てて対向するよう
に配置し、且つ両プレートの周縁部間にグラスファイバ
ー製スペーサー［日本電気硝子■製、商品名ｒＰＦ−７
０ＳＪ　］をシール材［三井東圧化学■製、商品名’Ｘ
Ｎ−５Ａ−ＣＪＩを用いて設置した後、両プレート間に
ネマチック液晶［メルクジャパン■製、商品名Ｚ　Ｌ　
Ｉ　−２２９３、ねじれ角２７０゜］を封入することに
より、この発明の液晶カラー表示装置を製造した。

この液晶カラー表示装置について、１／１００のデユー
ティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコント
ラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、表面全体
にわたりｚｏｏ　：　ｉと均一であり、また表示ムラも
なかった。

（実施例２）前記実施例１で使用したのと同様のカラーフィルターを
使用し、前記実施例１で使用したネマチック液晶の代わ
りにねじれ角を２３０°にした他は、前記実施例１と同
様にして液晶表示装置を製造した。

この液晶カラー表示装置について、１／２００のデユー
ティ−比て時分割駆動方式により作動させてそのコント
ラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、表面全体
にわたり１００　：　ｌと均一であり、また表示ムラも
なかった。

（比較例１）前記実施例１におけるカラーフィルター層の形成におい
て、外式現像法に代えて染色法により赤（Ｒ）、緑（Ｇ
）、青ＣＢ）のモザイクカラーフィルター層（Ｎ厚１７
ｚｍ、表面精度±０．７ｐｍ）を形成したほかは前記実
施例１と同様にして液晶カラー表示装置を得た。

この液晶カラー表示装置について、１／２００のデユー
ティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコント
ラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、２００　
：　１から１０：ｌと不均一であり、また表示ムラか見
られた。

［発明の効果］この発明によると２（＋）　　画素表面とブラックマトリクスの表面とに殆
ど段差がなく、画素の上に形成した透明電極層における
ステ・ンプカハッレジのない、しかも表面精度の高いフ
ィルター層を有するフィルターを提供することかでき、（２）　　前記フィルターを使用すると共にねしれ角か
１８０〜３６０°の液晶を使用することにより、コント
ラストか２００倍にも達する極めて高コントラストの表
示画像を形成することのできる、大容量の液晶表示装置
を提供することかでき、（３）　　また、本発明の方法
によると、前記フィルターを簡単に効率良く製造するこ
とかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図それぞれはこの発明のカラーフィルター
を製造する工程説明図、第５図は本発明の腋晶表示装こ
の一例を示す断面図である。・・・基板、２・・・ブラックマトリクス４・・画素、
４・・・カラーフィルター層、５・透明導電膜、６・・
・感光性樹脂層。第５図手続補正書平成元年１０月２６日・１１件の表示昭和６３年特許願第２８２２０９号発明の名称フィルター、そのフィルターを使用した液晶表示装器およびそのフィルターの製造方法補正をする者事件との関係

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光透過性基板上に、画素と画素同士の境界に設け
られたブラックマトリクスとを銀塩写真法により形成し
てなるフィルター層、透明導電膜および感光性樹脂層を
、この順に積層し、前記光透過性基板側から露光し、現
像することにより前記感光性樹脂層をパターン化し、次
いで、露出する透明導電膜をエッチングすることにより
ブラックマトリクスを露出させた後に、前記感光性樹脂
層を除去することにより、光透過性基板上に、その表面
に透明電極層を備えた画素と画素同士の境界に設けられ
たブラックマトリクスとを有することを特徴とするフィ
ルター。
（２）前記フィルターが白黒フィルターである前記請求
項１に記載のフィルター。
（３）前記フィルターがカラーフィルターである前記請
求項１に記載のフィルター。
（４）請求項１〜３のいずれかに記載のフィルターと光
透過性基板上に透明電極層を有する透明電極付基板とを
、透明電極層同士が対向するように配置し、前記フィル
ターと透明電極付基板との間に、ねじれ構造におけるね
じれ角が１８０〜３６０°であるネマチック液晶を封じ
てなることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに
記載のフィルターを使用した液晶表示装置。
（５）光透過性基板上に、画素と画素同士の境界に設け
られたブラックマトリクスとを銀塩写真法により形成し
てなるフィルター層、透明導電膜および感光性樹脂層を
、この順に積層し、前記光透過性基板側から露光し、現
像することにより前記感光性樹脂層をパターン化し、次
いで、露出する透明導電膜をエッチングすることにより
ブラックマトリクスを露出させた後に、前記感光性樹脂
層を除去することを特徴とする請求項１〜３のいずれか
に記載のフィルターの製造方法。