JPH01114820A - 液晶カラー表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は液晶カラー表示装置に関し、さらに詳しくは
、高い品質で画像を表示することのできる液晶カラー表
示装置に関する。

［従来の技術およびその問題点］ 一般に、液晶カラー表示装置は、ガラス基板の表面に設
けたカラーフィルター層の表面に透明電極を設けてなる
電極付きカラーフィルター基板（以下、フェースプレー
トと言うことがある。）と、表面に透明電極を設けた電
極基板（以下、バックプレートと言うことがある。）と
を、透明電極が相対向するように配置し、その中間部に
液晶物質を充填してなる構造を有し、さらに、液晶物質
の配向性の向上を図るために、前記透明電極の表面に配
向膜を形成することもある。

上記構造の液晶カラー表示装置においては、相対向する
透明電極間の液晶に均一な電界を印加することにより、
液晶を一定の配向状態にし、液晶層に透明部分および不
透明部分を現出させ、これにより画像を表示していた。

しかしながら、従来の液晶カラー表示装置においては、
画像品質が必ずしも満足す可きものてはなかった。

この画像品質についてこの発明者らが鋭意検討したとこ
ろ、以下のような知見を得た。

従来の液晶カラー表示装置におけるカラーフィルターは
、たとえば赤、緑、青などのカラーフィルターの各色毎
に、フォトレジストの塗布、フォトマスクの精密な配置
を伴って、ストライプあるいはモザイク状の像露光、現
像、着色または脱色、レジストの除去などのパターンを
繰り返すことにより多色カラーフィルターを形成してい
た。

ところか、前記のようにして形成されたカラーフィルタ
ーにおいては、各カラー毎にカラーフィルター層の厚み
が相違することになり、その差はｌルｍにも達していた
。

ガラス基板の上に形成されたカラーフィルター層に各カ
ラー毎に凹凸を生じていると、このカラーフィルター層
上に透明電極を形成したときに、透明電極自体の厚みに
もバラ付きを生じる。

通常、液晶カラー表示装置において、相対向する透明電
極間の距離は、１０μｍのオーダーである。このような
寸法オーダーの下で、カラーフィルター層の凹凸がｌＪ
Ｌｍにも達すると、相対向する透明電極の間隔が一定と
ならなくなる。

カラーフィルター層の凹凸は、透明電極自体の厚みのバ
ラ付きの原因ともなり、その結果、透明電極自体の抵抗
値のバラ付きあるいはカラーフィルター層の凹凸により
生じた段差面に形成された透明電極層による高抵抗化を
生じ、前述のように相対向する透明電極間の距離が一定
てなくなったこととも相俟って、液晶物質に印加される
電界か不均一となり、高品質の画像を表示することかで
きなくなる。

カラーフィルター層の凹凸を解消するために透明電極の
厚みを大きくすることか考えられるか、透明電極の厚み
を大きくすると、透明電極自体の抵抗ｆ４か大きくなっ
て、所定の電界を印加できなくなると共に、透明電極か
不透明になって画像表示が困難になるという新たな問題
点を生じる。

また、カラーフィルター層の凹凸を解消するために、こ
のカラーフィルター層の上にたとえばアクリル系樹脂を
用いて保護層を形成することも試みられているが、カラ
ーフィルター層の凹凸を解消するためには保護層の厚み
を、通常、２ＪＬｍ以上としなければならない。ここで
、保護層の厚みを２ｇｍ以上とした場合には、保護層中
の残存溶媒量か増加するので、この保護層の上に形成す
る透明電極の製造条件を好適な範囲に設定することかで
きなくなったり、保護層自体の抵抗値が増大して液晶表
示装置の駆動に要する電圧の増大を招くという問題が生
じる。

この発明は前記事情に基づいて成されたものである。

すなわち、この発明の目的は、高品質の画像を表示する
ことができるとともに低電圧で駆動することのできる液
晶カラー表示装置を提供することである。

［前記問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解消するためにこの発明者が鋭意検討した
結果、たとえ、ガラス基板上に形成されるカラーフィル
ター層において各カラー毎に厚みの相違か生じていたと
しても、その厚みの差が所定の値以下であると、高品質
の画像を表示することができるとともに低電圧で駆動す
ることのできる液晶カラー表示装置を実現することがで
きることを見出してこの発明に到達した。

すなわち、前記目的を達成するためのこの発明の構成は
、透明電極とカラーフィルター層とを設けた基板を備え
た液晶カラー表示装置において、前記カラーフィルター
層の表面精度を±０．１　ルｍとすると共に、前記カラ
ーフィルター層上に保護層を形成してなることを特徴と
する液晶カラー表示装置である。

この発明において特筆す可きことは、液晶カラー表示装
置におけるカラフィルタ−層の表面にたとえ凹凸があっ
ても、カラーフィルター層の表面精度か一定の値以下で
あると、表示画面の色相、明るさ、コントラスト等の画
像品質の低下がなく、高品質の画像表示を実現すること
がてきることである。

この発明の液晶カラー表示装置は、第１図に示すように
、表面に透明電極を有するカラーフィルター層を設けた
基板を備える限り特に制限がなく、種々の形式の表示装
置が挙げられる。

この発明を適用することができる液晶カラー表示装置の
一例として、ＴＮタイプと称されるところの、一対の基
板を対向させ、一方の基板の他方の基板に向かう表面に
カラーフィルター層を設け、さらにそのカラーフィルタ
ー層の表面に透明電極を形成してなる電極付きカラーフ
ィルター基板と、前記電極付きカラーフィルター基板に
面する表面に透明電極を形成してなる電極基板とを相対
向して配置し、前記電極付きカラーフィルター基板と電
極基板との間に、たとえば誘電異方性を有するネマチッ
ク液晶を対人してなる構造を有する表示装置を挙げるこ
とができる。

この発明の液晶カラー表示装置においては、フェースプ
レートを、ｔＪ４２図に示すように、基板ｌ−カラーフ
ィルター層２−保ＸＩ！３−透明電極４の順に積層して
形成しても良いし、第３図に示すように、基板ｌ−透明
電極４−カラーフィルター層２−保護層３の順に積層し
て形成しても良く、このような構成のフェースプレート
とたとえば従来と同様の構成のバックプレートとの間に
、第１図に示したように液晶物質５を封入する。

−基板− 前記基板は、光透過性を有している。さらに。

蒸看工程などカラーフィルターが高温にさらされること
があるので、基板の素材としては、良好な耐熱性を有す
るものが好ましい。

このような基板を構成する素材の例としては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポ
リスチレン、ポリカーボネート。

ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコールおよび酢
酸セルロースなどの高分子化合物、ソーダガラス、ホウ
ケイ酸ガラスなどのガラス、石英およびサファイアなど
の無機物質などを挙げることかできる。

前記基板は、上記の素材を用いて、板状、シート状ある
いはフィルム状などの形態て使用することができる。

前記基板は、光透過性であれば良く、したがって、この
発明においては、透明基板は勿論、半透明基板をも用い
ることができ・る。

前記基板の厚みは、用途および材質に合せて適宜に設定
することができるが、通常は、０．５ルｒｎ−１０ｍｍ
の範囲内にある。特に、液晶カラー表示装置用の基板と
してたとえばガラスを用いる場合には、０．３〜２ｍｍ
の範囲内の厚さの光透過性基板を用いるのがよい。

なお、基板のカラーフィルター層とは反対側の表面には
、アンチハレーション用の光透過性のバッキング層を設
けていてもよい、さらに、カラーフィルタ層の特性を損
なわない範囲内で前記基板を着色していてもよい。

この基板の、カラーフィルター層を形成する表面は、液
晶カラー表示装置に従来から使用されている基板と同じ
程度の表面精度を有していれば特に制限かないのである
が、より一層の高い画像品質を実現するためには、基板
の表面精度として±０、Ｉ　ＩＬｍ、好ましくは±０．
０５終ｍであるのが望ましい。

前記基板の表面にはカラーフィルター層が形成されるの
であるか、カラーフィルター層と基板との接着力を強化
すると共に基板の表面が粗面であればその粗面な平滑面
とするためにも下引層を設けるのが好ましい。

上記下引層な形成する素材としては、たとえば、ゼラチ
ン、アルブミン、カゼイン、セルロース誘導体、′Ｗ１
粉誘粉体導体ルギン酸ナトリウム、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルピロリドン。

ポリアクリル酸共重合体およびポリアクリルアミドを挙
げることができる。下引層の厚みは、カラーフィルター
の分光特性を考慮すると薄いことか好ましく、通常はｌ
Ｂｍ以下であり、好ましくは０．０５〜０．５体ｍの範
囲内である。

−カラーフィルター層− 前記基板の表面に形成される前記カラーフィルター層の
表面精度は、±０．１　ｐ、ｍ以下の範囲内。

好ましくは±０．０５μｍ以下である。

このカラーフィルター層の表面精度が±０．１ＪＬｍを
越えると、このカラーフィルター層の表面に形成する透
明電極の表面精度がたとえ±０．１４ｍ以下であっても
、透明電極自体に厚みの大小を生じ、これによって透明
電極の抵抗値にバラ付きを生じ、結果としてたとえばム
ラのある画像を生じてしまう。

前記カラーフィルター層は少なくとも二種の画素を有し
、天然色のカラー画像表示を目的とするのであれば、赤
、緑および青の組合せまたはシアン、マゼンタおよびイ
エローの組合せによる三種の画素とするのが良い、この
複数の画素の配列は規則的であれば良く、たとえばスト
ライプ状、モザイク状の画素配列にしても良い。

前記カラーフィルター層の厚みは、通常、０．１　ヘ１
０ｇｍであり、好ましくは０．５〜３μｍである。この
厚みが０．１４ｍ未満であると、色濃度が不充分になり
１分光特性および色再現性が充分でないことがある。一
方、ｌ０ＪＬＩＩＩよりも厚いと、各画素間の境界の尖
鋭性が劣り、色にごりが発生して良好な画像品質が実現
されないことがある。

前記表面精度を有するカラーフィルター層は、銀塩写真
法により、たとえば内式、外式現像法に従って形成する
ことができる。内式および外式現像法は表面精度良くカ
ラーフィルター層を形成することかできるからである。

内式現像法としては、たとえば、先ず、、Ｕ板の表面に
下引き層、赤感乳′剤層、第１中間層（拡散防止層）、
緑感乳剤層、第２中間層（拡散防止層）、青感乳剤層、
および保護層を形成し１次いで、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、
青（Ｂ）の色光の露光および現像処理を行ない、この現
像処理によって、赤感層にシアンのパターンを、緑感層
にはマゼンタのパターンを、青感層にはイエローのパタ
ーンを形成する方法が挙げられる。

前述のように内式現像法によっても、表面精度良くカラ
ーフィルター層を形成することができるのであるが、さ
らに分光特性の良好なカラーフィルター層を形成するた
めに、特開昭６２−１４８９５２号公報に記載されたよ
うに、基板の上に形成したハロゲン化銀乳剤層中に、ハ
ロゲン化銀酸化剤の酸化体とカップリング反応してイエ
ロー、マゼンタ、シアンの色素のいずれかを形成する少
なくとも３種のカプラーより、各感色性の異なる乳剤層
毎に異なる色素を形成する２種以上のカプラーな含有さ
せ、次いで、このようにカプラーを含有するハロゲン化
乳剤層を露光および現像処理する内式現像法を採用する
のが良い。

また、内式現像法は前記公報に記載されたような優れた
方法もあるのであるか、−船釣に、多層構成を有する内
式現像法は、製造プロセスが複雑である。

この点につき、内式現像法よりも外式現像法が推奨され
る。

外式現像法は、−船釣には、基板の上に形成したハロゲ
ン化銀感光剤層をパターン露光した後に、カプラーおよ
び現像主薬を含む現像剤に前記感光したハロゲン化銀感
光剤層を浸漬してカラーフィルター層を形成する手法で
ある。

ところで、カラーフィルター層は、前記のように分光特
性に優れていることの外に、再現された色と現実の色と
の差異が少なくなるような色再現性に優れていることも
ｆｆｉ要である。

そこで１分光特性および色再現性に優れたカラーフィル
ター層を形成するには、外式現像法の中でも特に工夫さ
れた特別の外式現像法を採用するのが良い。

この特別な外式現像法とは、基板の上に形成したハロゲ
ン化銀感光剤をパターン露光した後、異なる発色を示す
二種類以上のカラー発色カプラーおよび一種の現像主薬
を含有する現像液で前記パターン露光部分を現像する工
程を少なくとも一回有することを特長とする手法である
。

この特別な外式現像法について以下にさらに詳述する。

前記現像主薬としては、ｒ　Ｔｈｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ｏ
ｆ　Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　３ｒ
ｄ　Ｅｄｉｔａｉｏｎ、Ｃ，Ｅ、に、Ｍｅｅｓ　ａｎｄ
Ｊ、Ｔ、Ｊａｍｅｓ著、２９３〜２９８頁」に記載され
た化合物を挙げることができ、この具体的な例としては
、 （１）４−アミノ−３−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシ
エチル）アニリン硫酸塩、 （２）Ｎ−エチル−Ｎ−メトキシエチル−３−メチル−
ｐ−フェニレンジアミン／Ｐ−トルエンスルホン酸塩、 （３）４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２
−メチルスルホンアミドエチル）アニリン・硫酸塩・水
和物 （４）　　Ｎ、Ｎ−ジエチル−ｐ−フェニレンジアミン
硫酸塩、および、 （５）　　Ｎ、Ｎ−ジエチル−３−メチル−ｐ−フェニ
レンジアミン硫酸塩 を挙げることができる。

前記現像液においては、上記例示した現像主薬をはじめ
とする現像主薬の内から、一種類の現像主薬を選択して
使用する。現像主薬の選択は、通常、カラー発色カプラ
ーの種類および組み合わせ等を考慮して行なう。

前記現像液中における現像主薬は１通常は、現像液１！
Ｌ中に０．１〜１０ｇの範囲内の含有量で含まれるよう
に使用する。現像主薬の含有量が０．１　ｇより少ない
と、有効に現像を行なえないことがある。一方、１０ｇ
より多く用いても、現像性の著しい向上は見られないば
かりでなく、現像主薬の種類によっては、充分に溶解し
ないことがある。

現像主薬は、現像液１文中に０．５〜７ｇの範囲内で用
いるのが好ましく、１〜５ｇの範囲内で用いるのが特に
好ましい、このような範囲内に現像主薬の配合量を設定
することにより、用いるカラー発色カプラーの種類に拘
わりなく、通常の温度での現像時間を適正な範囲内（例
えば１〜１０分の範囲内）にすることができ、非常に作
業性が良好になる。さらに、この範囲内にすることによ
り、発色性が特に良好になる傾向がある。

前記現像液中には異なる発色を示す二種類以上のカラー
発色カプラーが含まれている。

すなわち、カラー発色カプラーは１発色する波長の相違
により、マゼンタ発色カプラー、シアン発色カプラーお
よびイエロー発色カプラーに分類することができる。そ
して、この特別な外式現像法においては、このうちの二
種類もしくは二種類の異なる発色を示すカラー発色カプ
ラーを組み合わせて使用する。

これらカラー発色カプラーの組み合わせは、カラーフィ
ルタの有色部に現れる色が減色混合により発現する。す
なわち、マゼンタ発色カプラーとシアン発色カプラーと
を組み合わせることにより、青色発色現像液となり、イ
エロー発色カプラーとシアン発色カプラーとを組み合わ
せることにより緑色発色現像液となり、マゼンタ発色カ
プラーとイエロー発色カプラーとを組み合わせることに
より赤色発色現像液となる。さらに、マゼンタ発色カプ
ラー、シアン発色カプラーおよびイエロー発色カプラー
の三種類の異なる発色を示すカプラー発色剤を組み合わ
せることにより黒色発色現像液になる。

前記カラー発色カプラーは、通常のカラー写真法で使用
される内式カプラー（バラスト型カプラー）とは異なり
、現像液中に添加して、少なくとも一部が現像液中に溶
解した状態で使用される外式カプラーであり、公知の外
式カプラーを使用することができる。

前記カラー発色カプラーのうち、イエロー発色カプラー
の例としては、開環ケトメチレン化合物［例、２−（ｐ
−カルボキシフェノキシ）−２−ピグアロイル−２°、
４°−ジクロロアセトアニリドなどのアシルアセトアニ
リド］を挙げることができ、さらに１本発明においては
、米国特許３，５１０，３０６号、同：ｌ、［ｉ１９，
１８９号、特公昭４０−：１３７７５号および同４４−
３６６４号などの各公報に記載されたものを使用するこ
とができる。

また、マゼンタ発色カプラーの例としては、活性メチレ
ン化合物［例、１−（２，４，６−ドリクロロフエニル
）　−３−（ｐ−ニトロアニリノ）−２−ピラゾリノ−
５−オンなどのヒドラゾン類およびシアノアセトアニリ
ド類］を挙げることができ、さらに１本発明においては
、ドイツ特許公開（ＯＬＳ）第２，０１６゜５８７号、
米国特許第３，１５２，８９６号、同３，６１５，５０
２号および特公昭４４−１３３１１１号などの各公報に
記載されたものを使用することができる。

さらに、シアン発色カプラーの例としては、フェノール
化合物（例、２−アセトアミド−４，６−ジクロロ−５
−メチル−フェノール）あるいはナフトール化合物［例
、Ｎ−（０−アセトアミドフェノエチル）−２−ヒドロ
キシ−２−ナフトアミド］を挙げることができ、また、
本発明においては、米国特許節３，００２，８３６号、
同３，５４２，５５２号および英国特許第１，０６２，
１９０号等の各公報に記載されているものを使用するこ
とができる。

なお、この特別な外式現像法で使用することができるカ
ラー発色カプラーについては、上記のものの他、ｒ　Ｔ
ｈｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ
　Ｐｒｏｃｅｓｓ３ｒｄ　Ｅｄｉｔａｉｏｎ、Ｃａｐｔ
ｅｒ　１７　Ｃ，Ｅ、に、Ｍｅｅｓ　ａｎｄ　Ｊ−Ｔ。

Ｊａｍｅｓ著、３８２〜３９５頁」に記載されているも
のを使用することもできる。

前記現像液において、現像液ＩｆＬ中におけるカラー発
色カプラーの合計の含有量は、０．５〜２０ｇの範囲内
に設定するのが好ましい、　ｏ、ｓ　ｇより少ないと、
充分に発色しないことがあり、他方。

２０ｇより多く用いた場合には、所謂カブリが発生する
ことがある。特にこの特別な外式現像法においては、現
像液１１中のカラー発色カプラーの合計の含有量を１−
１０ｇの範囲内にすることにより１色濁りが少なく分光
特性の良好なカラーフィルタを製造することができる。

この現像液中における異なる発色を示すカラー発色カプ
ラーの配合比率は、用いるカラー発色カプラーの発色性
を考慮して適宜に設定することができる。たとえば、シ
アン発色カプラーとマゼンタ発色カプラーとを組み合わ
せる場合には、両者を重量比で、通常は１：９〜７：３
、好ましくは１：９〜４：６の範囲内にする。また、シ
アン発色カプラーとイエロー発色カプラーとを組み合わ
せる場合には、両者を重量比で、通常はｌ：９〜７：３
、好ましくはｌ：９〜４：６の範囲内にする。さらに、
マゼンタ発色カプラーとイエロー発色カプラーとを組み
合わせる場合には、両者をｆｆ１ｆｆｉ比で、通常は９
：ｌ〜８：２、好ましくは８：２〜６：４の範囲内にす
る。そして、発色カプラーとマゼンタ発色カプラーとイ
エロー発色カプラーとの王者を組み合わせる場合には、
王者をほぼ同量づつ配合するのが好ましい。

また、この発明のカラーフィルタ用現像液中におけるカ
ラー発色カプラーの合計量と現像主薬との配合重量比は
、カラー発色カプラーおよび現像生薬の種類および含有
率などを考慮して適宜に設定することができるが１通常
は、カラー発色カプラーおよび現像主薬の配合重量比を
、１：９〜９：１の範囲内にする。

さらに、この特別な外式現像法における現像液は、保恒
剤（例、亜硫酸ナトリウム、ジエチルヒドロキシルアミ
ン）、促進剤（例、水酸化ナトリウムなどのアルカリ剤
）、制御剤（例、臭化カリウム、ヨウ化カリウム）、助
剤（例、ポリエチレングリコールなどの水質調整剤、シ
トラジン酸、イミダゾール誘導体等の色調剤）など通常
の外式現像液に含まれる添加剤を含むものであってもよ
い。

この特別な外式現像法における現像液は、上記の成分を
水に溶解することにより調製することができる。

なお、この特別な外式現像法における現像液は１通常の
使用温度（例えば、１０〜４０°Ｃ）のおけるｐＨ値が
９．０〜１３．０の範囲内になるように水酸化ナトリウ
ムなどを用いて、ｐＨ値を調整した後に使用される。

上記のようにして調製した現像液を用いてカラーフィル
タ層を形成する際に使用するハロゲン化銀感光剤は次の
ようにして調製することができる。

上記特別な外式現像法で使用するハロゲン化銀感光剤は
、前記詳述の基板上に＊膜状に形成される。

ハロゲン化銀感光剤は、水溶性結合剤にハロゲン化銀を
分散してなる。ただし、この発明において、分光特性の
良好なカラーフィルタ層を得るためには、ハロゲン化銀
の平均粒子径の小さいものを用いることが望ましく、し
たがって、平均粒子径か０．１　ｐＬｍ以下の、所謂リ
ップマン乳剤を用いるのが好ましい。

上記ハロゲン化銀としては、通常のものを用いることが
できる。その例としては、塩化銀、ヨウ化銀、臭化銀、
塩ヨウ化銀、塩臭化銀およびヨウ臭化銀を挙げることが
できる。これ等は単独であるいは組み合わせて使用する
ことができ、特に臭化銀もしくはヨウ臭化銀を用いるの
が好ましい。

上記水溶性結合剤としては、通常のものを使用すること
ができる。この発明て用いることができる水溶性結合剤
の例としては、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、セル
ロース誘導体、澱粉誘導体、アルギン酸ナトリウム、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアク
リル酸共重合体およびポリアクリルアミドを挙げること
ができる。これらは、単独で使用しても良いし、二種以
上を組み合わせて使用しても良い。

これらの中でも、好ましいのはゼラチンである。

ハロゲン化銀感光剤は、上記のハロゲン化銀と水溶性結
合剤を、ｌ：６〜８：１の範囲内の重量比で含むもので
あることが望ましい。

なお、上記ハロゲン化銀感光剤は、外式現像法における
感光材料の感光剤層に通常に含まれている添加剤を含ん
でいてもよい。

上記ハロゲン化銀感光剤の薄膜の厚みは、通常、０．１
〜１０ＩＬｍの範囲内にする。ハロゲン化銀感光剤の薄
膜の厚みが０．ｉ　ｐ−ｍ未満であると、充分な発色性
が発現しないことがあり、また２１０Ｂｍより厚くする
と、光の透過性が低下してカラーフィルター層の明度が
不充分になることがある。特に、上記ハロゲン化銀感光
剤の薄膜の厚みを０．５〜３μｍの範囲内にすることに
より、得られるカラーフィルター層の分光特性が向上す
る傾向がある。

上記ハロゲン化銀感光剤の薄膜は、通常の塗布方法を採
用して前記基板の表面に形成することがてきる。

この発明におけるカラーフィルター層は、上記特別の外
式現像法により、上記ハロゲン化銀感光剤および前記現
像液を用いて形成することができる。

まず、上記ハロゲン化銀感光剤の穂膜を通常の方法によ
りパターン露光する（第一の露光）。

第一のパターン露光を行なった後、上記特別の外式現像
法におけるカラーフィルタ用現像液を用いて露光部分の
第一の現像を行なう、たとえば、カラー発色カプラーと
して、シアン発色カプラーとマゼンタ発色カプラーとを
含む現像液（青色現像液）を用いて現像を行なうことに
より、露光部分は、青色に現像される。また、シアン発
色カプラーとイエロー発色カプラーとを含む現像液（緑
色現像液）を用いることにより、露光部分は緑色に現像
される。さらに、マゼンタ発色カプラーとイエロー発色
カプラーとを含む現像液（赤色現像液）を用いることに
より、露光部分は赤色に現像される。

第一の露光部は、上記の青色現像液、緑色現像液および
赤色現像液のいずれの現像液を用いて現像してもよい。

こうして第一の露光部分の現像を行なった後、通常、ハ
ロゲン化銀感光材料を酢酸および硫酸ナトリウムなどを
含む停止液に浸漬して現像に伴なう反応を停止させ、次
いて、ハロゲン化銀感光材料を水洗し、乾燥させる。

次いで、フォトマスクを用いて前記第一の有色部に隣接
する未露光部分を第一の露光と同様の方法によりパター
ン露光し、次いで、第一の工程で用いた以外の現像液の
内の一種を用いて現像する。さらに、所望により停止液
への浸漬、水洗及び感光などの工程を経ることにより、
第二の有色部を形成することができる。

同様にして、第二の有色部に隣接する未露光部分をパタ
ーン露光し、上記第一および第二の工程で用いた以外の
現像液を用いて現像を行なうことにより第三の有色部を
形成することができる。

こうして第一乃至第三の有色部を形成した後、通常は、
感光剤層中のＳ成分を除去する工程（漂白工程）で、有
色部を定着させる。

このようにして基板上に赤色（Ｒ）、青色ＣＢ）及び緑
色（Ｇ）の光透過性の有色部からなるカラーフィルター
層を製造することができる。

なお、この発明においては、基板上に間隙を設けて赤色
（Ｒ）、青色（Ｂ）および緑色（Ｇ）の光透過性の有色
部を形成した後、この間隙をパターン露光した後、シア
ン発色カプラー、マゼンタ発色カプラーおよびイエロー
発色カプラーを含む現像液で現像することにより、有色
部の赤色部（Ｒ）、青色部（Ｂ）および緑色部（Ｇ）の
間隙に光非透過性区画部（ブラックストライプ）を形成
することもできる。

さらに、この発明においては、カラーフィルター層の周
縁部を、たとえば次亜塩素酸ナトリウム溶液を用いたエ
ツチングにより除去するのも良い、カラーフィルター層
の周縁部を除去して、前記基板を露出させ、この基板の
露出面にスペーサーを設置すれば、フェースプレートに
形成した透明電極とバックプレートに形成した透明電極
との間の距離を、カラーフィルター層の厚みの影響を受
けることなく保つことができるからである。

この発明においては１以上に詳述したカラーフィルター
層の表面に、透明保護膜が設けられる。

一保護暦一 前記保護層は、前記カラーフィルター層を覆って、液晶
カラー表示装置を製造するプロセスにおいて、洗浄用純
水、有機溶剤等の薬液および液晶混合物から、さらには
プロセス中の装置との接触による破損から前記カラーフ
ィルター層を保護するものである。

前記保護層は、光透過性を有するものであり、少くとも
前記カラーフィルター層の全表面を覆いさえすれば、前
記透明基板の表面の一部が露出する状態に形成しても良
い、また、この保護層に感光性を付与してパターンニン
グを行なうのも良い。

重犯保護層の厚みは、通常、２ＩＬｍ以下、好ましくは
１ｇｍ以下である。この厚みが２ｕＬｍを超えると、前
記透明電極の上に前記保護層を形成する場合には、電気
抵抗の増大を招き、その結果、この発明の液晶カラー表
示装置の駆動電圧が増大したり、高速応答性が低下した
りすることがある。また、前記保護層上に前記透明電極
を形成する場合には、保護層中の残存溶剤量が増加して
、後述する透明電極の形成時に、真空度、基板温度等の
条件を好適な範囲に設定することができなくなることも
ある。

この透明保護層の形成材料としては、光透過性を有する
とともに導電性に優れた樹脂を好適に用いることができ
る。具体的には、メタクリル酸メチルエステル、メタク
リル酸エチルエステル、メタクリル酸ｎ−プロピルエス
テル、メタクリル酸イソプロピルエステル、メタクリル
酸ブチルエステル、ポリアクリル酸エステル、ポリアク
リル酸メチルエステル、ポリアクリル酸エチルエステル
、ポリアクリル酸ブチルエステル等のアクリル系樹脂：
超高密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、中、低密
度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエ
チレン、アイソタクチックポリプロピレン、シンジオタ
クチックポリプロピレン、アタクチックポリプロピレン
等のポリプロピレン、ポリブテン、４−メチルペンテン
−１樹脂等のポリオレフィン樹脂；ポリスチレン、ＡＢ
Ｓ樹脂、ＳＡＮ樹脂、ＡＣＳ樹脂等のポリスチレン系樹
脂；エチレンプロピレン共重合体、エチレン酢酸ビニル
共重合体、エチレン塩化ビニル共重合体、プロピレン塩
化ビニル共重合体等のオレフィンとの共重合体：酢酸ビ
ニル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマー
ル、ポリビニルアセトアセタール、ポリビニルブチラー
ル等の酢酸ビニル系樹脂；塩化ビニル樹脂、塩化ビニル
酢酸ビニル共重合樹脂、塩化ビニル塩化ビニリデン共重
合樹脂、塩化ビニルアクリル酸エステル、塩化ビニルメ
タクリル酸共重合樹脂、塩化ビニルアクリロニトリル共
重合体、エチレン塩化ビニル共重合体、プロピレン塩化
ビニル共重合体等の塩化ビニル系樹脂：塩化ビニリデン
樹脂；たとえば、ビスフェノールＡとホスゲンとから得
られるポリカーボネート、ビスフェノールＡとジフェニ
ルカーボネートとから得られるポリカーボネート等のポ
リカーボネート：ポリエチレンテレフタレート、ポリプ
ロピレンテレフタレート等の熱可塑性ポリエステル樹脂
；ポリスルフォン：ポリアミド系樹脂：ポリイミド、ポ
リアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエステルイ
ミド等のポリイミド系樹脂などが挙げられる。

これらの中でも、好ましいのは次式： Ｉ Ｉ −−ｔＣＨ２−Ｃ−汁下 Ｃ−０−Ｒ＊ 璽 （ただし、式中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示し
　Ｒ２はメチル基、エチル基、プロピルで表わされ、重
合度５０〜５０００のアクリル系樹脂。

次式： ％式％ （たたし１式中、　ｎ　：　ｍｘｌ［ｌ：　Ｏ〜７　＜
　３　）で表わされ、重合度１００〜５０００のポリビ
ニルアルコール。

（木瓜、以下余白） 次式： ％式％ （ただし、式中、Ｒは飽和炭素鎖または芳香環を示す、
） で表わされ１重合度１００〜５０００のポリアミド、次
式： （ただし、式中、Ａｒは などの芳香環または複素環を示し、Ｒはアルキル骨格ま
たは芳香環を示す、） で表わされるポリイミド、 （来貢、以下余白、） 次式： で表わされ、重合度２０〜５０００、好ましくは５０〜
１０００のポリイミド、 で表わされ、重合度２０〜５ｏｏｏ、好ましくは５０〜
ｌロロ０のポリイミドが好ましい。

この発明においては、フェースプレートの構成をたとえ
ば第３図に示すようにした場合に、前記保護層に配向層
の機能を持たせることもできる。

その場合には、上記各種の形成材料のうち、アクリル系
樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニ
ルアルコールなどを使用し、たとえば従来より用いられ
ているラビング法により表面処理を行なって、保護層の
表面に一定方向の溝を形成すればよい。

前記保護層は、たとえば前記カラーフィルター層が硬膜
化した後にスピンナー塗布法、スプレィ塗布法、スクリ
ーン印刷法などの機械的塗布法を行うことにより、前記
カラーフィルター層の表面精度を損なうことなく形成す
ることができる。

−透明電極層 透明電極は、フェースプレートおよびバックプレートの
両方に形成される。

前記透明電極は、その性質上透明であれば良いのである
が、その透明度としては、その透過率が７０％以上、好
ましくは８０％以上であれば良い。

また、前記透明電極層は、その性質上導電性を有してい
ることを要し、導電性の程度として、抵抗値が１００Ω
／口以下であり、好ましくは５０Ω／口であり、特に好
ましくは２０Ω／口以下であるのが望ましい。

上記性質を備えた透明電極の材質としては、Ｉ　Ｔｏ　
（Ｉｎ、０３−Ｓｎ　Ｏ＊　）および錫酸化物（Ｓｎ　
Ｏ，）を挙げることができ、好ましいのはＩＴＯである
。

前記透明電極の液晶物質側（基板とは反対側）の表面の
精度は、±０．１４ｍであり、好ましくは±０．０：ｌ
Ｂｍであり、特に好ましくは±０．０１４　ｍである。

このように厳密な表面精度を有する透明電極は、フェー
スプレートおよびバックプレートの両方に設けるのが好
ましい。

透明電極の表面精度が前記±０．１ルｍよりも悪くなる
と、たとえカラーフィルター層の表面精度が±０．１７
ｚｍの範囲内の高精度であっても、フェースプレートの
透明電極とバックプレートの透明電極との平行間隔を厳
密に維持することかできず、画像品質の低下を招くこと
がある。

る。

前記透明電極の厚みは、通常、　Ｏ，ＯＳ〜１１Ｌｍで
あり、特に０．１〜０−３　ｇｍであるのが好ましい。

前記透明電極の厚みがｌＩＬｍよりも大きくなると、表
面精度を前記範囲に維持することができなくなることが
ある。また、厚みが０．５　）ｈｍよりも小さいと、透
明電極の導電不良を生じることかある。

このような透明電極は、スパッタリング法、真空蒸着法
、イオンブレーティング法などの物理蒸着技術により形
成することができる。

前記透明電極を形成するためのスパッタリング法は、基
本的には、アルゴンガスなどの不活性ガスを減圧条件下
にグロー放電させ、正に帯電した不活性ガスイオンでタ
ーゲツト材をボンバードしてガス化し、それをカラーフ
ィルター層表面あるいは基板表面に接触させることによ
り、前記ターゲツト材を膜上に析出させて、透明電極を
形成する手法である。

前記スパッタリング法としては、通常のスパッタリング
法、反応性スパッタリング法、ＲＦスパッタリング法、
反応性ＲＦスパツタリング法。

高速スパッタリング法などを採用することができる。

いずれのスパッタリング法によるも、減圧条件としては
１通常、　Ｉｎ−２〜１０−’Ｔｏｒｒ　、好ましくは
１Ｏ−３ＴＯ「「台である。減圧の程度が１０−”Ｔ　
ｏｒｒを越えると形成される透明電極の表面精度が低下
することがあり、１０−’Ｔ　ｏｒｒ未満であると透明
電極の膜形成速度が遅くなって生産性が低下することが
ある。

不活性ガスイオンの生成には直流高電界をかけたグロー
放電による所謂直流法によっても良く、また直流の代り
に高周波電源を使用するＲＦスパッタリング法によって
も良い、いずれにしても、投入電力としては通常１００
〜２００Ｗ、好ましくは１４０〜１６０　Ｗである。投
入電力が１００　Ｗよりも小さいと、透明電極の膜形成
速度が遅くなって生産性が低下することがあり、２００
Ｗを越えると透明電極の表面が荒れて表面精度を所望の
値にすることができないことがある。

ターゲツト材は、透明電極の材質に応じて決定すること
ができる。透明電極がＩＴＯであるならば、ターゲツト
材はインジウム−錫とす可きであり、透明電極をネサガ
ラスのような錫酸化物とするのであれば、ターゲツト材
は錫である。

ターゲツト材が金属の場合は、アルゴンガスのような不
活性ガス中に酸素を共存させることを要する。

不活性ガス中の酸素ガスの共存割合としては、通常、流
量比で１０％〜５０％、好ましくは２０％〜４０％であ
る。

酸素ガスの共存量が前記値よりも少ないと、透明電極の
透明性が不良となることがあり、また、前記値よりも大
きいと導電性が不良となることがある。

ターゲツト材をスパッタして成膜させる基板あるいはカ
ラーフィルター層は、通常、２０〜３５０℃、好ましく
は１００〜２５０°Ｃに加熱させる。

加熱温度が３５０℃よりも高いと、カラーフィルター層
が劣化することがある。

カラーフィルター層の表面に上記金属酸化物を成膜する
場合、カラーフィルター層は一般に熱に弱いものである
から、できるだけ加熱しないが好ましい、したがって、
そのようなときには、温度を上昇させずに高速で成膜す
ることができる高速スパッタリング法を採用するのが良
い。

この高速スパッタリング法は、電場と磁場とを直交させ
ておくことにより、磁界の影響によりターゲット表面上
で電子にドリフト運動を起こさせて、電子が被蒸着面に
流入するのを防止するものである。

一方、真空蒸着法としては、通常の蒸着法、反応性蒸着
法、電界蒸着法、反応性電界蒸着法、ガス散乱蒸着法お
よびイオンビーム蒸着法を採用することができる。

いずれの真空蒸着法によるも、酸素含有雰囲気中で透明
電極形成に必要な金属成分を加熱蒸発させ、気相中で金
属成分と酸素とを反応させて、カラーフィルター層上に
透明電極層を形成するものである。

イオンブレーティング法は、真空蒸着法と同様な方法で
蒸発した金属原子成分をプラズマ中でイオン化してカラ
ーフィルター層上または基板上に析出させる手法である
。

イオンブレーティング法として、マトククス（ＭａＬＬ
ｏｘ）法、反応性イオンブレーティング法、反応性ＨＣ
Ｄ法、ＡＲＥ法、高周波イオンブレーティング法、クラ
スタイオンブレーティング法、アーク放電型イオンブレ
ーティング法などを採用することができる。

このイオンブレーティング法によると、真空蒸着法に比
べて、カラーフィルター層または基板に、付着強度が大
きく、かつより均一な厚みの透明電極を形成することが
できる。　　　　　′前述のようにこの発明における透
明電極を形成するのに各種の手法があるか、好ましいの
はスパッタリング法である。

スパッタリング法により透明電極を形成すると、緻密で
、表面の平滑性に優れ、下地との付着力が大きいと言う
利点があるからである。

−その他− この発明においては、前述のように前記保護層に配向層
の機能を併せ持たせることもできるが。

前記保護層に配向層の機能を併せ持たせることなく、前
記保護層と別体に配向層を設けてもよい。

上記配向層は、従来から行なわれているように、たとえ
ばフェースプレートにおいては、前記カラーフィルター
層上に、ＳｉＯｘ、ＭｇＯ％ＭｇＦ、などを用いた斜め
蒸着法を行って形成しても良いし、あるいはイミド系、
アミド系、ポリビニルアルコール系、フェノキシ系など
の高分子物質、アルキルアンモニウムハライド、カルボ
ン酸クロム錯体、有機シラン化合物などの被膜の表面を
、綿布、ビニロン布等で擦するラビング法を行って形成
しても良い、また、前記カラーフィルター層を備えない
バックプレートにおいては、前記基板上に上記フェース
プレートにおけるのと同様にして配向層を形成すれば良
い。

上記配向層の厚みは０．０１〜ｌ　ＩＬｍ、好ましくは
０．０３〜０．２　ｐ−ｍである。

この発明におけるバックプレートはスイッチング素子を
有していても良い、スイッチング素子は３端子型の薄膜
トランジスタ（アモルファスシリコン、ポリシリコン）
または２端子型のダイオード（アモルファスシリコン）
、バリスタ、ＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ
−Ｍｅｔａｌ）を用いることができる。

この発明において使用することのできる液晶物質に７い
ては特に制限はなく、たとえばネマティック液晶、カイ
ラルネマティック液晶、コレステリック液晶、スメクテ
イック液晶、カイラルスメクティック液晶等のいずれを
も用いることができる。また、これらの液晶物質を組合
わせて用いることもできる。

表示モードについても特に制限はなく、たとえばツイス
トネマティック（ＴＮ）型モート、ゲスト・ホスト（Ｇ
Ｈ）型モード、電圧制御複屈折（ＥＣＢ）型モート、コ
レステリック−ネマティック型相転移モード、動的散乱
（ＤＳ）型モードなどのいずれのモードも用いることが
できる。

この発明の液晶カラー表示装置は、たとえば数字表示、
文字表示、アナログ表示、グラフィック表示、テレビ表
示などの種々、の用途に用いることかでき、特にテレビ
表示に好適に用いることができる。

［実施例］ 次に、この発明の実施例を示し、この発明についてさら
に具体的に説明する。

（実施例１） 一フェースプレートの調製− 厚み１．１ｎｆｍのホウケイ酸ガラス基板（１００１０
０ｍｍＸ１００上に下記のカラーフィルター層、保護層
、透明電極および配向層を、この順に形成して、この発
明の液晶カラー表示装置におけるフェースプレートを調
製した。

■カラーフ　ルター　の 上記基板上に、下記に記載したように銀塩写真法による
外式現像法を行なって、厚み２．０μｍ。

表１面精度±０．０２ｐ　ｍのカラーフィルター層を形
成した。

すなわち、ゼラチン９重量％とヨウ臭化銀４．５重量％
とからなるヨウ臭化銀乳剤（ヨウ化銀含有率３モル％）
を上記基板上に乾燥厚が２．ＯＩＬｍになるように塗布
してハロゲン化銀感光材料を調製した。

次いで、このハロゲン化銀感光材料の上に、−辺が１５
０１Ｌｍの正方形の開口部を有するカラーフィルター用
クロムマスクを重ね、タングステンランプを用いて第一
回目の露光を行った。

この第一回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温な２５℃に調整した青色発色現像液に３分間浸漬し
た。

青色発色現像液は以下に記載する組成物を８００ｍ１の
水に溶解した後、さらに水を加えて全量を１皇とした。

現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・１．８６ｇ［
４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２−ヒド
ロキシエチル）アニリン硫酸塩］シアン発色カプラー・
・・・・・・・・・０．８６ｇ［Ｎ−（ｏ−アセトアミ
ドフェネチル）−１−ヒドロキシ−２−ナフトアミド］ マゼンタ発色カプラー・・・・・・・・・１．０７ｇ［
１−（２，４，６−トリクロロフェニル）−３−（ｐ−
ニトロアニリノ）−２−ピラゾリン−５−オン］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・３．００ｍ　ｌ
無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・６．６６ｇ０
．１％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１１．００　ｍｌ
無水臭化ナトリウム・・・・・・・・・・０．８６ｇ６
−二トロペンツイミダゾール・・・・・０．０２ｇ亜硫
酸ナトリウム・・・・・・・・・・２０．００　ｇヘキ
シレングリコール・・・・・・・・５．００ｍ皇ポリエ
チレングリコール・・・・・・・０．６０ｍ　ｌジエチ
ルヒドロキシルアミン・・・・・０．２７ｍ　ｎハイド
ロキノンモノスルホン酸・・・・・０．１０ｇターシャ
リ−ブチルアミノボラン・・・・０．０７ｇチオシアン
酸ナトリウム・・・・・・・・１．００ｇ無水炭酸ナト
リウム・・・・・・・・・　１６．６７ｇ無水炭酸水素
ナトリウム・・・・・・・・４．００ｇなお、上記の青
色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加して、２７℃に
おけるＰＨ値が１２．０になるように調整した。

次いで、２８％酢酸３２ｍ　ｌと硫酸ナトリウム４５ｇ
とを含む停止液１ｕ中に、上記ハロゲン化銀感光材料を
塗布した基板を３０秒間浸漬してから５分間水洗し、乾
燥させることにより、基板上に青色部を形成した。

次に、上記青色部のすぐ隣に別のカラーフィルター用ク
ロムマスクを配置し、上記と同様の方法により第二回目
の露光を行った。

この第二回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温な２５℃に調整した緑色発色現像液に３分間浸漬し
、さらに、停止液に３０秒間浸漬してから５分間水洗し
、乾燥させることにより、基板上に緑色部を形成した。

緑色発色現像液は以下に記載する組成物を８００ｍ１の
水に溶解した後、さらに水を加えて全量を１文とした。

現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・２．０３ｇ［
Ｎ−エチル−Ｎ−メトキシエチル−３−メチル−ｐ−フ
ェニレンジアミン／ｐ−トルエンスルホン酸塩］ シアン発色カプラー・・・・・・・・・・１．９５ｇ［
Ｎ−（ｏ−アセトアミドフェネチル）−１−ヒドロキシ
−２−ナフトアミド］ イエロー発色カプラー・・・・・・・・・０．６３ｇ［
２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ピヴアロイル
−２’、４”−ジクロロアセトアニリド］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・３．００ｍ　ｆ
Ｌ無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・１０．００　
ｇｏ、１％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１０００口ｍ
ｊＬ無水臭化ナトリウム・・・・・・・・・・０．９３
ｇ６−ニトロペンツイミダゾール・・・・・０．０７ｇ
亜硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・　２０．００ｇ
ヘキシレングリコール・・・・・・・・５．００ｍ　ｌ
ポリエチレングリコール・・・・・・・１．５０ｍ　ｌ
ジエチルヒドロキシルアミン・・・・・０．７３ｍ　ｌ
ハイドロキノンモノスルホン酸・・・・・０．２０ｇな
お、上記の緑色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加し
て、２７℃におけるｐＨ値が１２．０になるように調整
した。

次に、上記緑色部の右隣り（すなわち青色部の左隣り）
に３番目のカラーフィルター用クロムマスクを配置し、
上記と同様の方法により第三回目の露光を行った。

この第三回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温な２５℃にｌ１ｆｉ！ｔ、た緑色発色現像液に３分
間浸漬し、さらに、停止液に３０秒間浸漬してから５分
間水洗し、乾燥させることにより、２＆板上に赤色部を
形成した。

赤色発色現像液は以下に記載する組成物を８００ｍ１の
水に溶解した後、さらに水を加えて全量をｉ！Ｌとした
。

現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・３．０７ｇ［
４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２−メタ
ンスルホンアミドエチル）−アニリン硫酸塩水和物、サ
スキュサルファイドバイトライト］ マゼンタ発色カプラー◆・・・・働・・・１．０７ｇ［
１−（２′、４．６−ドリクロロフエニル）−３−（ｐ
−ニトロアニリノ）−２−ピラゾリン−５−オン］ イエロー発色カプラー・・・・・・・・・０．８３ｇ［
２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ビヴアロイル
−２”、４”−ジクロロアセトアニリド］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・３．００ｍ　ｌ
無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・６．６６ｇ０
．１％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１２．３３ｍ１無
水臭化ナトリウム・・・・・・・・・・０．７４ｇ６−
ニトロペンツイミダゾール・・・・・０．０２ｇシトラ
ジン酸・・・・・・・・・・・・・１．５０ｇターシャ
リ−ブチルアミノボラン・・・・０．０７ｇ亜硫酸ナト
リウム・・・・・・・・・・　１３．：１０ｇヘキシレ
ングリコール・・・・・・φ・５．ＯＯｍ　！；Ｌポリ
エチレングリコール・・・・・・・０．８５ｍＪｌジエ
チルヒドロキシルアミン・・・・・０．１７ｍ　ｌハイ
ドロキノンモノスルホン酸・・・・・０．１０ｇ無水炭
酸ナトリウム・・・・・・・・・１６．６７　ｇ無水炭
酸水素ナトリウム・・・・・・・・４．００ｇなお、上
記の赤色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加して、２
７℃におけるｐＨ値が１０．５になるように調整した。

このようにして得られたカラーフィルターは、−辺が１
５０μｍの正方形の青色部、緑色部および赤色部が上記
ホウケイ酸ガラス基板全体に均一に形成されており、青
色部、緑色部および赤色部に色の濁りは見られなかった
。

また、この青色部、緑色部および赤色部を透過した単一
光源からの透過光の強度には殆ど差が見られなかった。

■え直里皮１羞 上記■で形成したカラーフィルター層が硬化した後、こ
のカラーフィルター層の上に、感光性アクリル樹脂［商
品名ｒＪＩｇＧ−２５，、日本合成ゴム■製］からなる
塗布液を滴下し、スピンコーターを用いて３０００ｒμ
ｍ／３０ｓｅｃで塗布することにより膜厚０．６５ｇｍ
の感光性アクリル樹脂層を得た。

次いで、得られた感光性アクリル樹脂層の周縁部を幅１
０ｍｍにわたって除去するために、バターンニングな行
なった。

すなわち、温度８０℃の条件下に１０分間、予備焼成し
た後、マスクを用いて１００ｍＪの露光を行い、次いで
、現像主薬［商品名ｒｃｏ−ｓｚｏハコニカ■製］を用
いて温度２２°Ｃの条件下に６０秒間の現像を行ワてか
ら洗浄液［商品名ｒ（：Ｒ−６２０ハコニカ■製］を用
いて温度２２℃の条件下に６０秒間、Ｊ！！拌しながら
洗浄を行ない、感光性アクリル樹脂層の周縁部を輻ＩＱ
ｍｍにわたって除去した。

その後、Ｎ２ブローで乾燥を行い、温度１５０°Ｃの条
件下に６０分間焼成して厚み０．６４ｍの保護層を得た
。

得られた保護層の表面精度は±０．２終ｍであった。

次いで、上記■で得られたカラーフィルター層の周縁部
を幅１０ｍ　ｍにわたつて除去するために、次亜塩素酸
ナトリウム５％水溶液を用いて温度２５°Ｃの条件下に
９０秒間、攪拌しながらエツチングを行った後、純水中
で純水の純度がＩＯＭΩになるまで水洗し、さらにスピ
ンドライヤーを用いて風乾することにより、上記■で得
られたカラーフィルター層の周縁部を輻１０ｍ　ｍにわ
たって除去した。

■Ｌ且里崖匝１減 ＤＣマグネトロンスパッタリング装置（徳山製作所製）
により、以下の操作条件下にて、上記■て形成した保護
層上に厚み０．２４ｍのＩＴＯ膜を形成した。

操作条件 ターゲット　　ＩＴＯ 基板温度　　　１８０°Ｃ 真空度　　　　６　Ｘ　１０−’ｔｏｒｒＡ　「流量　
　　　　　７０　ｓｃｃ謹電力　　　　　：１００　Ｖ
ｘＯ，６Ａ製膜時間　　　４０分 ■【区立辺１羞 上記■で得られた透明電極上にポリイミド［商品名ｒサ
ンエバー２５０４　、日産化学工業■製］を用いてスク
リーン印刷を行ない、温度１７０℃の条件下に６０分間
焼成して膜厚１０４ｍのポリイミド膜を得た。

次いで、レーヨンスェードを用いてラビング処理を行つ
て配向層とした。

得られた配向層の表面精度は±０．０５１Ｌｍであワた
。

一バックプレートの調製− 厚み１．１ｍｍのホウケイ酸ガラス基板（１００ｍｍＸ
ＩＱＯｍｍ）上に前記フェースプレートの調製■におけ
るのと同様の透明電極を形成し、次いで、前記フェース
プレートの調製■におけるのと同様の配向層を形成して
、この発明の液晶カラー表示装置におけるバックプレー
トを調製した。

一液晶カラー表示？ｔＨの組立− 上記フェースプレートの調製で得られたフェースプレー
トと上記バックプレートの調製で得られたバックプレー
トとを、それでれの透明電極が１０４ｍの距離を隔てて
対向するように配置し、且つ両プレートの周縁部間にグ
ラスファイバー製スペーサー［日本電気硝子■製、商品
名’ＰＦ−７０Ｓ」］をシール材［三井東圧化学■製、
商品名ｒＸＮ−５Ａ−ＣＪＩを用いて設置した後、両プ
レート間にネマチック液晶［メルク■製、商品名’ＺＬ
−２７２１１Ｊ　］を封入して、この発明の液晶カラー
表示装置とした。

この液晶カラー表示装置について、ｌ　／　１００のデ
ユーティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコ
ントラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、表面
全体にわたり（３０±１）：１と均一であり、また表示
ムラもなかった。

（実施例２） 前記実施例１において、基板−カラーフィルター層−保
護層一透明電極一配向層の順に積層したのに代えて、基
板−透明電極−カラーフィルター層−保護層の順に積層
したほかは前記実施例１と同様にして実施した。

この液晶カラー表示装置について、　　ｌ／１００のデ
ユーティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコ
ントラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、表面
全体にわたり（コ０±１）＋１と均一であり、また表示
ムラもなかった。

（比較例１） 前記実施例１におけるカラーフィルター層の形成におい
て、外式現像法に代えて染色法により赤″（Ｒ）、緑（
Ｇ）、青（Ｂ）のモザイクカラーフィルター層（層厚１
ｇｍ、表面精度±０．５μｍ）を形成したほかは前記実
施例１と同様にして液晶カラー表示装置を得た。

この液晶カラー表示装置について、　　ｌ／１００のデ
ユーティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコ
ントラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、（３
０±Ｉｓ）　：　１と不均一であり、また表示ムラが見
られた。

（比較例２） 前記比較例１において、保護層の厚みを０．６４ｍから
１．５４ｍに代えることにより保護層の表面精度を±０
．５μｍから±０．１ＪＬｍに向上させたほかは前記比
較例１と同様にして液晶カラー表示装置を得た。

この液晶カラー表示装置を作動させたところ、駆動電圧
の閾値が、前記実施例１に比較して約２倍［±４Ｖ　（
６０Ｈｚ）　］となり安定した表示が得られず、実用上
、ＩＣＷＩＡ動ができなかった。

（比較例３） 前記実施例１において保護層を形成しなかったほかは前
記実施例１と同様にして液晶カラー表示装置を得た。

この比較例においては、配向膜の形成時に溶剤の影響に
よる画素間の色にじみが発生し、この液晶カラー表示装
置を作動させたところ、色純度の悪い、劣悪な表示品質
の画像しか表示できなかった。

（比較例４）］ 前記実施例１においてカラーフィルター層の表面精度を
±０．１　ｕＬｍから±０．８　ｇｍに代えるとともに
、カラーフィルター層の厚みを２．０μｍから１５４ｍ
に代えたほかは前記実施例１と同様にして液晶カラー表
示装置を得た。

この液晶カラー表示装置を作動させたところ。

表示のできない画素があり、劣悪な表示品質の画像しか
表示できなかった。

（比較例５） 前記実施例１においてカラーフィルター層の表面精度を
±０．１　ｇｍから±ｏ、ａＪＬｍに代えるとともに、
カラーフィルター層の厚みを２．０μｍから０．０５４
　ｍに代えたほかは前記実施例１と同様にして液晶カラ
ー表示装置を得た。

この液晶カラー表示装置を作動させたところ、表示ので
きない画素があり、劣悪な表示品質の画像しか表示でき
なかった。

［発明の効果コ この発明によると、 （＋）　　カラーフィルター層の表面精度が高いので、
一対の基板にそれぞれ形成した透明電極の間隔が一定と
なるとともに、透明電極自体の厚みを均一にすることが
でき。

（２）　　その結果、相対向する一対の透明電極間の距
離を一定に保つことができるので、液晶に均一の電界を
印加することができ、 （３）シかも、保護層の厚みを低減することができるの
で、電気抵抗の増加を招くことがなく、したがって、駆
動電圧の増加もなく、 （３）　　高品質の画像を表示することができる、等の
種々の利点を有する工業的に有用な液晶カラー表示装置
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の液晶カラー表示装置の一例を示す説
明図であり、第２図はこの発明の液晶カラー表示装置に
おけるカラーフィルター層を形成してなる電極付き基板
の一例を示す説明図であり、第３図は同じく他の一例を
示す説明図である。 ■・・・基板、２・・・カラーフィルター層。 ３・・・保護層、４・・・透明電極、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明電極とカラーフィルター層とを設けた基板を
   備えた液晶カラー表示装置において、前記カラーフィル
   ター層の表面精度を±０．１μｍとすると共に、前記カ
   ラーフィルター層上に保護層を形成してなることを特徴
   とする液晶カラー表示装置。
2. （２）前記カラーフィルター層は外式現像法により形成
   されてなる前記特許請求の範囲第１項に記載の液晶カラ
   ー表示装置。