JPH02127027U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02127027U JPH02127027U JP3705589U JP3705589U JPH02127027U JP H02127027 U JPH02127027 U JP H02127027U JP 3705589 U JP3705589 U JP 3705589U JP 3705589 U JP3705589 U JP 3705589U JP H02127027 U JPH02127027 U JP H02127027U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- internal space
- chamber
- plasma cvd
- cvd apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Description
第1図は、本考案の実施例を説明する概略縦断
面図、第2図は、従来を説明する概略縦断面図で
ある。 尚、図中1はプラズマCVD装置、2はチヤン
バー、3は上部電極、4は下部電極、5は基板、
6は電極基部、7は電極板、8はガス導入部、9
は電極内空間、10は開口部、11はガス導管、
12は内部空間、13はガス導入孔、15はガス
分散板、16は貫通孔、17は排気口、18は排
気管、19は容量調整弁、30は高周波電源であ
る。
面図、第2図は、従来を説明する概略縦断面図で
ある。 尚、図中1はプラズマCVD装置、2はチヤン
バー、3は上部電極、4は下部電極、5は基板、
6は電極基部、7は電極板、8はガス導入部、9
は電極内空間、10は開口部、11はガス導管、
12は内部空間、13はガス導入孔、15はガス
分散板、16は貫通孔、17は排気口、18は排
気管、19は容量調整弁、30は高周波電源であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波二極放電型プラズマCVD装置にお
いて、 チヤンバー内部に基板を取付けた上部電極とガ
ス導入部を形成した下部電極とを設けるとともに
、前記チヤンバーに排気口を設けたことを特徴と
するプラズマCVD装置。 (2) 前記下部電極を電極基部とその上部に設け
た電極板とから形成するとともに、 前記電極基部と前記電極板とに囲まれた電極内
空間と、 該電極基部の下部中央に設けた開口部と、 前記開口部に接続されていて前記電極内空間に
通気させたガス導管と、 前記電極板に設けられていて、前記チヤンバー
の内部空間と前記電極内空間とを連通させた複数
個のガス導入孔と、 前記電極内空間内で且つ前記開口部上方に隙間
を介して設けられていて、複数個の貫通孔を形成
したガス分散板とから成るガス導入部を、 設けた請求項1記載のプラズマCVD装置。 (3) 前記排気口は、前記チヤンバーの底部で且
つ複数ケ所に設けるとともに、容量調整弁を設け
た排気管が取付けられた請求項1又は2記載のプ
ラズマCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3705589U JPH02127027U (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3705589U JPH02127027U (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02127027U true JPH02127027U (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=31543824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3705589U Pending JPH02127027U (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02127027U (ja) |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP3705589U patent/JPH02127027U/ja active Pending