JPH02125150A - 直線案内された機械部分の駆動装置 - Google Patents

直線案内された機械部分の駆動装置

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JPH02125150A
JPH02125150A JP25249389A JP25249389A JPH02125150A JP H02125150 A JPH02125150 A JP H02125150A JP 25249389 A JP25249389 A JP 25249389A JP 25249389 A JP25249389 A JP 25249389A JP H02125150 A JPH02125150 A JP H02125150A
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JP
Japan
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spindle
machine part
drive
spindle nut
shaft
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JP25249389A
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Werner Leitenberger
ヴエルナー・ライテンバーガー
Berthold Matzkovits
ベルトホルト・マツコヴイツ
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H25/22Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
    • F16H25/2285Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with rings engaging the screw shaft with the inner perimeter, e.g. using inner rings of a ball bearing
    • F16H25/2295Rings which are inclined or can pivot around an axis perpendicular to the screw shaft axis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/38Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
    • B23Q5/40Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
    • B23Q5/408Nut bearings therefor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H25/24Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H25/24Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
    • F16H2025/2445Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Shafts, Cranks, Connecting Bars, And Related Bearings (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は直線案内された機械部分のための駆動装置に関
する。
〔従来の技術〕
座標測定装置の可動の測定スライダの駆動のために今日
でに主としてベルト駆動装置が使用される。ベルト駆動
装置は駆動力をほとんど横方向力なしで伝達することが
できるが、駆動力の強さ及び伝達される駆動力ひいては
作業速度に関して種々の欠点金回している。
そnゆえ、スピンドル駆動装置を座標測定装置に使用す
ることがすでに提案されている。
座標測定装置にスピンドル耶動装置を使用する場合、駆
動ユニットの不規則な回転若しくは振動に基づく横方向
力が、案内される機械部分へ伝達されないように適当手
段を講じなければならない。このことのために一般には
弾性的な又は横方向に運動自在に支承された結合部材が
駆動スピンドルと、案内される機械部分との間に挿入さ
fる。こ扛についての解決手段は例えばas−ps43
72222、US−PS4483209、US−PS4
597303、US−P84191059及びUEI−
PS4372223に記載されている、 例えばUS−PS4372222に記載さtた結合部材
は2つの棒から成や、両棒は駆動スピンドルの両側に位
置してスピンドルナラトラ、案内される機械部分に結合
せしめている。この結合部材はその他の前記文献に開示
された穐々の結合部材と同様に光分なねじり強度金回し
ていないため、一般には付加的に半径方向で駆動装置か
ら離反して突出したレバーが設けられ、このレバーによ
ってスピンドルナツトが案内方向に対して平行に延びる
補助案内内で支持さ几るようになっている。
上述の解決手段は常に複数の構成部材が互いに規定さn
なければならないため複雑かつ高価である。その上、駆
動ナツトと、案内される機械部分との間の遊びのない結
合は公知手段では困難である。
〔本発明の課題〕
本発明の課題は冒頭に述べた形式の駆動装置において、
スピンドルナツトと、案内される機械部分との間の結合
を可能な限υ簡単な手段で軸方向で強くすると共にねじ
n強くすることにある。その場合、結合させる部材はね
じυトルクの他に付加的な横力を、駆動装置から、案内
される機械部分へ伝達してはならない。
〔課題全解決するための手段〕
上記課題を解決した本発明の構成は請求項に記載した通
りでちる。
請求項1の構成によnば、結合部材がスピンドルを取囲
む管から成り、この管が軸方向に離隔した少なくとも2
個所にスリットを備えている。
本発明によれば、スピンドル駆動装置、案内さ扛る機械
部分との間の軸方向で強くかつねじシ強い結合がただ1
つの構成部材によって実現される。この場合、案内され
る機械部分に案内方向に対して直角に作用する横方向力
は管に設けらnfcスリットによって排除される。この
スリットは駆動装置と案内される機械部分との相対運動
全弾性的に生ぜしめる程度に管の壁全2個所で弱化せし
める。
有利には管の両端にそnぞn2対のスリットが設けられ
、互いに向かい合って設けら扛た各1対のスリットの間
にはそnぞれ直径方向に対向して位置する2つの弾性変
形可能なウェブが残されておシ、1対のスリットの間の
両りエプが他の1対のスリットの間の両ウェブに対して
角90°異なる方向に向けられている。このようにして
形成された二重スリット対に勾って、管の4!121部
は縦軸線に関してあらゆる方向に傾斜することができる
。要するに、残されたウェブはいわば二重カルダン継手
を形成している。
スリット付きの管全複数の部分から構成し、この管全駆
動装置のスざンドルナットが取囲むように構成すること
もできる。これによシ、スピンドルナットはこれを、駆
動される機械部分に結合させる構成部材内に組込まnて
おり、この結果、駆動装置が著しくコンパクトに構成さ
れる。
この結合部材はあらゆる機穏のスピンドル駆動装置、例
えばねじスぎ/ドル、玉循環スピンドル等のために使用
可能である。さらにこの結合部材は、滑らかな軸とこの
軸上で走行するナツトとから成る転動リング伝動装置の
形態のいわゆる転動リング原理に基づくスピンドル駆動
装置にも適して・ハる。この種の駆動装置は例えばDB
−PS2709’006に開示されている。
軸力駆動さnずにスざンドルナットが駆動さn1転動リ
ング伝動装俊の軸が定置であるような、転動リング原理
に基づく駆動装置が使用さ詐る場合には付加的な問題が
生じる。一般にスピンドル若しくは軸は完全には直線状
でなく、スピンドルナツトの頌域内でもわずかなたわみ
を有する。スピンドル着しくは軸の回転時に、たわみの
方向はスピンドル支承部に関して1回転中に変化しない
。しかし軸が固定的に綿付けられて支承されていると、
たわみの方向はスピンドルナツトの回転運動に依存して
変化し、このため、軸上でのナツトの転動時にスピンド
ル駆動装置内に曲げ振動が誘発される。
Dx−os3700430によれば、スピンドルナラト
ラ著しく長大にしてスピンドル駆動装置内の振動を排除
することが公知である。しかしこnによればスピンドル
駆動装置の全長が著しく増大し、多くの使用目的に不向
である。
さらに、この手段は転動リング原理に基づくスピンドル
駆動装置のために不適当である。
そnゆえ、本発明の別の課題はスピンドル駆動装置内の
振動の発生を回避することにある。
なぜならば、この糧の振動は前述のような半径方向で弾
性的な結合部材全使用するにもかかわらず、固体を伝わ
る音響として、案内される機械部分へ伝達されるからで
ある。
この目的のために、本発明によればモータと軸との間の
不釣合を排除する手段若しくは軸の下方のたわみを排除
する手段が設けられてい石。
〔実施例〕
第1図に二重矢印Xで示した直線案内された機械部分が
符号3で示されている。この場合、この機械部分3は座
標測定装置の移動可能な門形コラムの足部であり、この
足部は測定テーブル1上で案内棒2によって案内さfて
1ハる。
案内棒2に対して平行に、定置の清ら力・な軸7が配置
されている。この軸Tは2つのブラケット4,5によっ
て保持されている。軸は両端でブラケットに緊定されて
いる口 滑らかな軸7に沿って、転動リング原理に基づいて作動
するスピンドルナツト10が摺動する。このスピンドル
ナツト10は第6図及び第4図にも示したように回転可
能にナツトケーシング9内に支承されておシ、ベルト伝
動装置8ヲ介して電動モータ6によって駆動される。電
動モータ6はホルダ29によってスピンドルナツト10
のケーシング9に取付けらnている。
案内される機械部分3は、定置の軸を取囲むスリット付
きの管17を介してスピンドルナツトのケーシング9に
結合さfている。このことのために、管17の前端はク
リップ28を磐して機械部分3にねじ固定さnてお9、
管117)後端は7ランジ22全備えており、このフラ
ンク22がスピンドルナット10のケーシング9にねじ
結合されている。
管17を拡大図示した第2図から判るように、管17の
両端のところに、2対の半径方向に延びるスリット(1
8a、18b;18c、181若しくa2Qa 、20
b、20c、20a)が設けらnておυ(スリット18
c 、20bはLtない)、各スリット対の互いに向か
い合って延びる両スリット間にはそnぞn薄いウェブが
残されている。第2図ではウェブ、19 a 、。
19c、19d;21as21b、21.cだけが見え
るが、管の直径方向でウェブ19a若しくはウェブ21
cに対向して位置するウェブは見えない。この見えない
ウェブを説明の都合上葭シに19b、21dとする。1
対のウェブ19aと19に+%19Cと19a、21a
と21b、21cと21aはいず乳も管17の直径方向
で対向して位置している。1対のウェブ19Qと19d
は1対のウェブ19aと19bに対して管の周方向に角
90°ずfて位置しておυ、同様に1対のウェブ21a
と21bは1対のウェブ21cと21dに対して管の周
方向で角90°ずれて位置している。これにより、管の
両内において、そ扛ぞn2対のウェブは距離りだけ離ル
たカルダン継手のように作用する。そ江ゆえ管端は弾性
的にたわみ可能なウェブ19a、19b、19c、19
a若しくは21a。
21b、21c、21dt”中心にたわみ可能であり、
その結果、両管端は半径方向に互いにずnることができ
る。しかし、他面においてこの管は軸方向運動及びねじ
り運動に対して強い。
二重カルダン継手状にスリットヲ備え同軸的に軸7の回
シに配置された管を備えたこの構成は複数の機能を統合
している。要するにこの構成は駆動力を伝達すると共に
回動阻止部材として役立ち、さらに案内さ几る機械部分
3を駆動装置の不、都合な横力に対して隔離する。
第1図の構成では軸7が定置でスピンドルナツト10が
回転するが、しかし、スピンドルナツトが定置で軸が回
転するスピンドル駆動装置にもこの結合部材が適するこ
とは明らかである。
第1図に示す定置のスピンドルを備えたスピンドル駆動
装置は特に著しく長い走行距離のために適している。他
面において、この形態の駆動装置では、スピンドルが転
動リング伝動装置である場合には、軸のたわみに基づき
スピンドルナツトの領域に転動リングによって振動が生
じる。このことが第6図に強調して示されている。スピ
ンドルナツトは一般に円筒形の支持体11を備え、この
支持体内に、ころがシ支承された4つの転動リング12
,13,15.16が組込まれている。転動リングの軸
線はスピンドルナツトの軸線に対して傾斜している。
転動リングに軸7に比して大きな直径を有して軸上で回
転する。内側の2つの転動リング12.13は外側の2
つの転動リング15゜16に対して逆方向に傾斜してお
υかつ片側から抑圧ねじ14によって軸7に当接してい
る。
この締付はスピンドルナツトの送りのために必要な、軸
7との摩擦係合を生ぜしめるために必要である。
この締付によって軸Tはスピンドルナツト10の領域で
たわむ(第6図にはこれが誇張して示されている)。ス
ピンドルナツト10が回転すると、それにつれてたわみ
方向も変化し、その結果、軸に振動が生じる。この摂動
は、案内される機械部分3へ伝達さnてその機能を損な
う。このような駆動装置が座標測定装置に使用さ八ると
、この振動は某円される機械部分の実際位置の決定時に
測定の不正確さt生じると共に、敏感な機械的な検出ヘ
ッド内のマールファンクションを誘発する。
このtiYjIJJk抑制するためにスピンドルナット
10の支持体11に付加的な質量体23がねじ固定され
ており、この質量体はその固定のために形成された長穴
24at介して半径方向に移動可能である。この付加的
な質量体は軸Tのたわみに起因する不釣合を動的に補償
する。これによシスピンドルナット10の静粛な回転が
得られ、振動が著しく抑制される。
本発明の別の実施例が第4図に示されている。
スピンドルナット100はその支持体111内に、刺め
の転動リング112,113,115゜11.6の他に
付加的な転動リング101,102を備えている。付加
的なこの転動リング101゜102は調整ねじ103.
104′を介して半径方向で軸1.07に当接させらn
る。その場合、この当接のための運動は内側の転動リン
グ113゜112の圧着力が作用する方向と同じ方向で
行なわれる。この付加的な転動リング101102によ
って軸107のたわみが補償さnlこれによシ軸107
の軸線がスピンドルナツト100の軸線と合致する。
スリット付きの管の形態の結合部材の第5図に示す実施
例は特に定置のスピンドルナツト及び回転するスピンド
ルを備えた駆動装置のために適していると共に著しくコ
ンパクトな構造に有している。
この場合、スリット付きの管は2つの半部217a、2
17bから成り、両半部はそルぞれスリット対218 
a = 218 b : 218 c 。
218diしくは220a、220b;220c 、2
20a (スリット218b、220bは見え表いが、
説明の都合上、仮りにこのように記す)を備えている。
これら両半部217a。
217bは着干大きな直径を有する中間片212によっ
て互いに結合されておシ、この中間片212は後方の半
部にかぶされている。前号の半部21γaには中間片2
12がフランジ211上でねじ固定されている。
前号の半部217aは、駆動すべき機械部分(図示せず
)に設けられたわん曲部材228にねじ固定されている
ねじスピンドル207によって駆動されるスピンドルナ
ツト210はスリット付きの管の内部に配置されている
。このスピンドルナット210はこれを収容した保持リ
ング209全介して後方の半部21γbの前端にねじ固
定されている。スぜ/ドルナラ)210著しくはその保
持リング209と管の中間片212との間隔は、スピン
ドルナツトが、スリット付きの管から隔離された運動を
スピンドル軸線に対して横方向に衝突せずに実施できる
ように選択されている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のスピンドル駆動装置の略示側面図、第
2図は第1図の結合部材の拡大図、第6図は転動リング
の原理に基づく本発明のスピンドルナツトの1実施例の
縦断面図、第4図は本発明のスピンドルナツトの別の実
施例の縦断面図、第5図は本発明のさらに別の実施例の
結合部材の部分縦断面図である。 1・・・測定テーブル、2・・・案内棒、3・・・機械
部分、4,5・・・ブラケット、6・・・電動モータ、
7・・・軸、8・・・ベルト伝動装置、9・・・ナツト
ケーシング、10・・・スピンドルナツト、11・・・
支持体、12.13・・・転動リング、14・・・押圧
ねし、15.16・・・転動リング、17・・・管、1
8a。 18b、(18c)、18d−スリット、19ae(1
9b)19c  、19 d−ウェブ、20 a 、(
20b ) −20c e 20 d−・・スリット、
 21  a  、  2 l  b 、  21  
c  、  (21d)−ウェブ、23・・・質量体、
24a・・・長穴、100・・・スピンドルナツト、1
01,102,112゜113.115.116・・・
転動リング。 Fig、3 日9.4 日9,5

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、直線案内された機械部分の駆動装置であつて、モー
    タ(6)、スピンドル伝動装置(7〜10)及び結合部
    材(17)を備えており、この結合部材(17)がスピ
    ンドル伝動装置の送り運動を横方向力なしに、直線案内
    された機械部分(3)へ伝達する形式のものにおいて、
    この結合部材が、スピンドルを取囲む管(17)から成
    り、この管(17)が、軸方向に離隔した少なくとも2
    個所にスリット(18a〜d;20a〜d)を備えてい
    ることを特徴とする直線案内された機械部分の駆動装置
    。 2、管の両方の個所にそれぞれ半径方向に互いに向かい
    合つて延びる2対のスリットが、各1対のスリットの間
    に弾性的に変形可能なウエブ(19a/b、21a/b
    )を残すように角90゜互いに異なる向きに設けられて
    いる請求項1記載の駆動装置。 3、スピンドル伝動装置のスピンドルナット(10)が
    駆動されており、軸(7)が定置であり、かつ、スピン
    ドルナットと軸との間の不釣合の排除のための手段(2
    3、24a)がスピンドルナットと軸との間に設けられ
    ている請求項2記載の駆動装置。 4、直線案内された機械部分の駆動装置であつて、モー
    タ、スピンドル伝動装置及び結合部材を備えており、こ
    の結合部材がスピンドル伝動装置の送り運動を横方向力
    なしに、直線案内された機械部分へ伝達し、スピンドル
    伝動装置のスピンドルナットがモータによつて駆動され
    ている形式のものにおいて、スピンドルナットが滑らか
    な定置の軸(107)上で回転する転動リング伝動装置
    (100)として形成されており、この転動リング伝動
    装置が、スピンドルナットの縦軸線に対して傾斜した複
    数の転動リング(112、113、115、116)を
    有しており、転動リング伝動装置(100)の両端部に
    は、半径方向で規定されて調整される付加的な押圧リン
    グ(101、102)が設けられていることを特徴とす
    る直線案内された機械部分の駆動装置。
JP25249389A 1988-10-03 1989-09-29 直線案内された機械部分の駆動装置 Pending JPH02125150A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3833577.8 1988-10-03
DE19883833577 DE3833577A1 (de) 1988-10-03 1988-10-03 Antrieb fuer linear gefuehrte maschinenteile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02125150A true JPH02125150A (ja) 1990-05-14

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ID=6364269

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25249389A Pending JPH02125150A (ja) 1988-10-03 1989-09-29 直線案内された機械部分の駆動装置

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0362627A3 (ja)
JP (1) JPH02125150A (ja)
DE (2) DE3833577A1 (ja)

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Publication number Publication date
EP0362627A3 (de) 1992-01-02
DE3833577A1 (de) 1990-04-05
EP0362627A2 (de) 1990-04-11
DE8915610U1 (de) 1991-01-24

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