JPH0212150A - 像の投影用のフォトマスクを形成するための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は概略的に像を投影する際に有用なフォトマスク
に関する。より詳細には本発明は液晶材料を含む感光性
の材料で形成された消去可能で再ｆ史用可能なフォトマ
スクとこのようなフォトマスクを形成するための方法及
び装置に関する。

（ａを丁投影する際（、こ〕オドマスクを用いることは
知られている７このようなフォトマスクは写真スライド
のような写真的にプリントされたマスクやオーバへ・・
ｌド投影機の透明画のような静電写真的にプリントされ
たマスクを含む多数の形態をとることかできる。池の公
知のフォトマスクに液晶材料を用いるものがある。液晶
材料は周囲動作温度で通常透明である。液晶の小さい領
域を選択的に加熱すると加熱された領域に光が散乱する
領域が生じ、それによって加熱されずに光が散乱しない
ハ・ツクグラウンドに吋して散乱性の領域のパターンか
生ずる。液晶が完全に書込まれた後に光が液晶セルを通
して投射され、あるいは液晶セルから反射されて液晶に
形成された像を投影する。

液晶フォトマスク形成装置の一例が米国特許第４０６４
８５３号に見られる。レーザ・グイオートが液晶セルに
書込みの熱を与えるなめに用いられてフォトマスクを形
成し、その後にこれを通して感光材料上に像をプリント
するなめ可視光が投射される。ダイオードから発せちれ
るレーザビームはＸ−Ｙ走査ガルバノメータの制御を受
けるＸＹ走査反射鏡上に向けられる。ガルバノメータの
適切な制御によりビームが液晶セルの全領域にわたって
走査される。レーザビームを適切なタイミングでオン・
オフ切換えを行うことにより、液晶フォトマスクに像を
形成するテークが書込まれる。

レーザビームの他のスキャナーも知られている。

例えはガルバノメータ・スキャナー以外に回転ドラム・
スキャナーや音響光学スキャナーも用いられよう。さら
に像を形成するためにレーザビームによって書込まれる
液晶以外の感光性媒体が知られている。

これらの書込み装置のいずれにもいくつかの難点かある
。レーザビームは液晶面上に結像する。

しかしなからレーザの結像面は平坦ではなく、書込み而
に焦点を保持するなめになんらかの形の結像而修正が必
要となる。その結果非常に高い解像度を得ることが一般
的に困難である。レーザ光源から液晶までのビームの光
路長はビームが書込み面全体にわたって走査されるよう
にするために比較的長くなければならないので解像度は
さらに低下する。結局従来の装置は一般的に１個だけの
レーザ・ダイオードを有するレーザ書込みヘッドで用い
るのに適切であるにすぎない。従ってこのような装置の
書込みの速度は一般的に低速である。

それゆえ必要なのは前述のような従来の装置の欠点を克
服する感光面上へのレーザによる書込みのための装置で
ある。特にこのような装置は結像面の修正のための複雑
な手段を必要とせずに比較的単純な構造とすべきである
。書込まれた像における非常に高い解像度が可能となる
であろう、書込み速度を増大させるためにこの装置はさ
らに複数のレーザ・ダイオードで使用可能とすべきであ
る。

それゆえ本発明の一面によれば本発明は感光材料によっ
て形成される円板の表面領域の少なくとも一部分を有す
る平坦な円板を含むフォトマスクを形成するための装置
ご提ｆ共するものである、円板を装着し回転させるため
の手段が設けられる。

レーザ・ビーム光源は円板に対して間隔をおいて支持さ
れている。光源からのレーザビームを円板上に結像させ
るとともにレーザ光源装着手段を円板に対して半径方向
に移動させるための手段が設けられる。その結果レーザ
ビームは円板の表面領域を走査することになる。変調手
段により像に対応する情報に従ってレーザビームが変調
されてレーザビームにより感光材料上に像が書込まれる
。

平坦な円板は感光材料によって形成される複数の離散的
な領域を含むようにしてもよい。この離散的な領域は実
質的に矩形であるのが好ましく、３つの離散的な領域を
円板上に設けてもよい。離散的な領域は正方形であって
３つの領域が円板上に対称的に配置されるのがより好ま
しい。

感光材料は液晶であるのが奸才しく、液晶は反射型でも
透過型でもよい。

レーザビームが一定の直線速度で円板の面を走査するよ
うに回転手段が円板を回転させるように１−るのか奸ヱ
しい。

レーザビーム光源は複数のレーザビームを発生させて各
々のビームか円板上に同時に結像するようにしてもよい
、それから変調手段により各々のビームか独立的に変調
されて各々のビームが像の１１々の部分子！−円円板に
書込むようにする。

このような場合にレーザビーム光源は複数のレーサ成出
タイオードを含むようにしてもよい。ビームを結像させ
るための手段は複数の光ファイバーを含み、各々のファ
イバーが１つのレーザ放出ダイオードからの１本のビー
ムを受ける。ファイバーはビームを円板上に結像させる
ためのアレイをなして配置されている。

不尭明の池の面によれば１本発明はまた感光材上゛斗に
よって形成される円板の面＠域の少なくとも一部を有す
る円板を回転するように装着することそ含Ｄ・フォトマ
スクの形成の方法を包含している。

円板は回転する。レーザビーム光源は円板に対して間隔
をおいて支持されている一部なくとも１本のレーザビー
ムが光源から円板上に結像する。円板を回転させるのと
同時に光源が円板に対して半径方向に移動１−でレーザ
ビームに円板の面領域を一１ｉＨさせる。レーザビーム
は走査の際に像に対応する情報に従って変調されてレー
ザビームにより感光材料尤に像か書込まれるようにする
。

不光明をより理解し易くするために、以下に添酊の図面
を参照して説明する。

第１）を参照すると、フォトマスクを形成するためにレ
ーザで感光面上に書込むための装置が示されている。以
下に詳細に説明するようにして感光材料か載置された円
板１０が含まれる。円板１０は光メモリー円板装置の場
合に従来用いられているような方法でターンテーブル１
２に取付けられている。ターンテーブル１２の方は円板
１０及び゛ターンチーフル１２を回転させるモータ１４
に取付けられている。ターンテブルの回転速度を制御し
感光面上に書込まれるデータとの同期をとるために用い
られる高解傾度光ばｌエンコーダ１６がモータ１４に連
結されている。

レーザ書込みへ・ソト１８は出方書込みビーム２ｏをｆ
ｆｉ　ｆしめるように装着されなレーザ・ダイオード。

コリメーション・レンズ、ビーム整形プリズム及び桔漂
レンズを含む、Ｓ込みへ・ソド１８はビーム２０か円板
′ｌＯの面上に結像するように円板１０の上方に支持さ
れている。書込みへ・ソドが円板１０に対して半径方向
に移動するように書込みへ・ソド１８にリニアモータ２
２か連結されている。レーザ書込みヘット１８の位置を
モニターするなめにモータ２２にリニアエンコーダ２４
が連結されている。

モータ１４及び２２とエンコーダ１６及び２４とは全て
害込み装置を制御するための適当なマイクロプロで・１
″ＦＴ２６に連結されている。さらにマイクロプロセ・
ソサ２６は適当なデータ源または蓄積手段２８、あるい
はその両方からのイメージデータを受取る。

このデータ源、蓄積手段はイメージデータを発生させる
原稿スキャナー、イメージデータを蓄積するメモリー手
段、イメージデータを受取る送信線、あるいはイメージ
データが得られる他の何らかの手段を含むようにしても
よい４ 円板″ＩＯの面は第２Ｃ！Ｕに示されている。円板本体
３０はアルミニウムまたは他の軽量な剛性の材料で形成
されるのが好酸しい。円板本体３０に感光材料で形成さ
れた３個のセル３２．３４及び３Ｇが装着される。好ま
しい実施例において、この感光材料はスメクチ・ツク液
晶材料であり、いかなる場合にも書込みへ・・Ｉドのレ
ーザ・ダイオードから放出されるビームによる書込みが
可能である。円板１０がターンテーブル１２上に載置さ
れ回転する際にレーザへ・ソトか回転する円板上にデー
タを書込むなめに用いられるようにしてもよい。へ・ソ
ドが円板に対して半径方向に移動することにより円板全
体が概略螺旋上のパターンで走査され、それによって３
個のセル３２．３４及び３６の各々に情報を書込む、あ
るいはレーザヘッドを一定の半径の保持してセル上の同
心状のトラックの書込みを行うようにしてもよい。ヘッ
ドが液晶セルの間のデッドスペースの上方にあるときに
へ・ソドが次のトラックに移るようにされよう。

好ましい液晶の感光材料に関してセルにイメージデータ
を書込む方法は周知である。最初に各々のでル３２．３
４及び３Ｇは非散乱性、あるいは書込まれていない状態
のスメクチ・ツク液晶を含んでいて周囲動作温度で全面
にわたって一様に透明または反射性である。液晶の小領
域をレーザダイオードのビームにより等友釣な状態にな
るまで選択的に加熱しこの領域をスメクチ・ツク状態に
急速に冷却することによって書込みがなされ、それによ
って局所的に加熱された領域に散乱中心が生ずる。書込
みの後に加熱されない非散乱性のバックグラウンドに対
してスボ・ソトのパターンが生ずる。セル３２．３４及
び３６は各セルの全領域上への光の投射によりフォトマ
スクとして用いられよう。このような光は非散乱性の領
域を透過するか、あるいはそｒＬによって散乱され、そ
れによって投影された像となる。

液晶材料を用いるのは再使用のために円板が消去される
という点で有利である。他の消去可能な感光材料でもこ
の利点が得られよう。しかしながら写真フィルムのよう
な消去可能でない感光材料は本発明では用いられない。

このような材料はフォトマスクを％　４１１限に保存し
ようとする用途では有利であろう。

好ましい実施例において、円ｔＩｉｉｏは３個のセル３
２、３４及び３Ｇを含むのでフルカラーの像に関する情
報が１枚の円板１０上に書込まれよう。このような場合
に各セルが像の３つの色成分、すなわちマゼンタ、シア
ン及びイエローの１つに対応する。

しかしなから円板１０は３個のセルに限定される必要は
ないこともわかるであろう。適切であれば単に円板の大
きさ及び所望のセルの大きさだけに制限される他の数の
セルを設けてもよい９セルに像を書込む際にモータ１４
が付勢されて円板１０を回転させ、回転速度か所定の値
にロックされるまで回転速度かエンコーダ１６によって
モニターされる。回転速度を調節するいかなる適切な手
段を用いてもよい。米国特許第４６０３４４２号にその
一例か示されている。それからレーザ書込みヘット１８
が適当なランプ波回路により制御されて従来のようにし
てセルに情報を書込む。セルかフルカラーの像の３つの
色成分を表示するときに円板の各々の回転毎に書込みへ
・ソドが像のマゼンタ、イエロー及びシアンの部分を表
わす各セルの情報トラ・ツクに書込みを行うであろう。

かくして書込みへ・・ｌド１８に供給されるビデオ信号
は各々の走査線毎にマゼンタ、イエロー及びシアンの信
号が含まれていなければならない。

従来の光デイスク駆動装置において、レーザ結偶しンス
及び書込みヘッドは典型的にはレーザビーム・スボ・ソ
トを円板のデータトラ・・ｌり上にロックし記録材料上
に適切な合焦の維持を行うサーボ機構を含む。その−例
が米国特許第４６０７１５７号に示されている。ここに
説明した本発明では典型的なトラックのピッチが約１２
ミクロンなのでトラッキング・サーボが必要でない。し
がしながらビデオ同期のなめに書込みへ・ソドの半径方
向の位置をトラ・ツクするためにリニア・エンコーダを
含むことが必要である。また合焦サーボも一般的に必要
でない。これは結像レンズのＦ値（焦点深度を決定する
）と円板及びこれに取付けられるセルの精度とによるで
あろう。

書込まれたセルをフォトマスクとして使用しようとする
場合、円板１０はターンテーブル１２に永久的に装着さ
れよう。このような場合レーザヘッド１８が書込みの後
に後退しターンテーブル１２がモータ１４によってステ
ヴプ移動して像を感光材料または表示スクリーン上に投
影するように各々のセル３２．３４及び３６を適切な位
置に配置する。セルを正確に配置して適切な位置合わせ
を行うために光軸エンコーダ１６が用いられる。

セルが液晶材料で形成される場合にはターンテーブル１
２の高い熱的質量のなめにセルの温度を急速に変化させ
ることが困難となろう。かくして記録された像はセルが
書込み温度となるようにして投影されよう。このような
場合に円板１０の温度をスメクチ・ツクからネマチツク
への遷移点に近過ぎる温度に維持するのは好ましくない
であろう。このような温度で書込みの感度は増大するが
像のコントラストは低下するであろう。

液晶セル３２．３４及び３６が透過型であれば、投影光
を通過させるためのターンテーブル１２を通る開口を含
む必要がある。

円板１０はまたターンテーブル１２から取外し可能にす
ることができ、この場合には書込まれた円板は像の投影
のために同様なスピンドルに装着されよう。このような
手法は最初の円板が投影に用いられている際に第２の円
板が書込み装置に装着されて書込まれるようにできる点
でより高い利用性が得ちれるという特長を有する。この
ような作用を実現するために円板を自動的に取扱うため
の種々の装置が従来知られている。

この装置におけるレーザビームの走査運動は直線状であ
って角度運動でないので、装置の書込み速度を増大させ
るために多数のレーザダイオードを用いることが可能で
ある。多数ビームの書込みへ・・ノドに関して２つの可
能な形態が用いられる。

第１に別個にアドレスされる発光素子を有するレーザダ
イオード・アレイが用いられよう、書込みヘッドに用い
られるコリメーシジン・レンズ及び結ｆ象レンズは例え
ば８個のレーザ発光素子の小アレイに適合するだけの十
分平坦な視野を有している。かくして書込みヘッドにお
いて単一のレーザダイオードが簡単にアレイと交換され
る。

第２に可能なのは数個の個々のレーザダイオードの放出
光を統合するなめに光ファイバーを用いることである。

このときファイバーの端部は研磨され稠密なアレイを形
成するように組立てられる。

ファイバーの放出側端部の像を感光材料上に形成するな
めに縮小レンズが用いられる。３２個のレーザダイオー
ドを用いたこのようなアレイが［オプチカル・エンジニ
アリング」第２３巻第３号第２３０頁（１９８４年）の
Ａ、６、デューイの「レーザによるアドレスされる液晶
表示装置」に開示されている。

ここに説明したレーザ走査装置はＲ走査装置であり、走
査線は同心状の円弧となる。円板が一定の角速度で回転
すると、レーザヘッドが円板の中心に向かって移動する
に従って装置の走査速度が減小する。しかしながら一定
の直線速度の動作方式を用いることはビデオディスクの
技術において知られている０例えば米国特許第４６０３
４１２号を参照するこよい９かくしてここに説明したス
キャナーはトラ・・７りからトラ・ツクまで一定の走査
速度でｆ桑ｒｉｌ：できる。

多くのビデオ入力情報源はＸ−Ｙラスター・フォーマ・
・ノドの形である。かくしてここに説明した装置を用い
るためにＲフォーマ・ソトへの変換が必要となる。しか
しながらこのようなフォーマットの間でのデータの変換
のアルゴリズムは周知であり、それを実施するための手
段は当業者には明らかであろう。

また回転円板でＸ−Ｙ走査を用いることも可能である。

この場合レーザ書込みヘッドは回転円板上に直線状の走
査線を生せしめるため円板の回転と同期して書込みヘッ
ドを内方及び外方に移動させるように閉ループ型サーボ
装置によって制御可能である。しかしながらこのような
装置は一定の角速度または一定の直線速度で回転する円
板では走査速度がトラックからトラックへの方向だけで
なく個々のトラックに沿った方向にも変化するという点
で比較的複雑である。かくして歪みのない１象を生せし
めるために何らかの形の走査速度の補償がなされなけれ
ばならない。

この装置の実際的な例において、第２図に示されるよう
に配置された３個の液晶セルを取付けた円板上への書込
みのための書込みヘッドを与えるために比較的低価格の
５ｍＷのレーザダイオードが用いられている。このよう
な電力で８マイクロ秒のレーザパルスにより４４＃Ｃで
１５ミクロンのドツトが書込まれる。円板の面上に向け
られた８本のビームのアレイを形成するためにファイバ
ー光学系を用いて８本のこのようなレーザダイオードが
設けられる。

円板の大きさは液晶セルの大きさによるものであり、液
晶セルの大きさの方は走査繰出たりの画素の数と個々の
画素の間隔とによるものである。

例えばドツトが１２７ミクロン（ｏ、ｏｏｏｓインチ）
の間隔で書込まれる場合、３０００ｘ　３０００の画素
アレイを有する像は３．８ｃｍ　ｘ３．８ｃｍ　　（１
，５インチ×１．５インチ）のセルを必要とし、８００
０ｘ　８０００の画素を有する像は１０ｃｍｘ　１０ｃ
ｍ　（４インチ×４インチ）のでルを必要とする。前者
の場合に必要となる円板の大きさは直径約１２．５ｃｍ
（Ｓインチ）であり、後者の場合には直径約３０ｃｍ　
（１２インチ）である。

毎秒１００万画素の書込み速度では円板の回転速度は以
下のようになると考えられる。すなわちＮがセル毎の走
査縁当たりの画素数であれば、レーザヘッドはビーム毎
に１回転当たり３ＸＮの画素を書込むことができる。ス
キャナーが一定の画素書込み時間で動作する場合に円板
は一定の直線速度で回転するであろう、かくして最も内
側のトラックが最も大きい回転速度で書込まれる。最も
内側のトラックにおいて液晶セル間にギャップがないと
して８本ビームのアレイの場合の円板の最大の回転速度
は次の表に示されるものである。

画　／　査線 の最　　　　　ｒｍ このような速度は典型的には１１０００ｒｐ以下の回転
速度を有する市販の比較的低価格の光学的蓄積ディスク
装置と両立し得るものである。さらに、３０００ｘ　３
０００画素〜８０００ｘ　８０００画素の間の解像度は
全頁の情報を投影する光学装置に関して従来の範囲内に
ある。

レーザヘッドが円板の外側のトラックを書込むように移
動するに従って円板の回転速度は低下しなければならな
い。さらに書込みヘッドが円板のより外側のトラックま
で移動するに従って液晶間で円板に沿って生ずるギャッ
プが次第に大きくなる。（第２図を参照してトラック３
８をトラック４０と比較されたい。）それゆえ円板のト
ラックの書込みに必要となる時間が増大する。３個の液
晶セルを含む典型的な円板に関してレーザヘッドの平均
的な浪費時間は約４０％である。これらの評価を用いて
、８本のレーザビーム・アレイを用いた、偶の解像度の
関数としての円板全体の書込み速度を次の表に示す。

の　　　　　　　　　全　　の　　゛　み３０００ｘ　
３０００　　　　０．７５４０００　Ｘ　４０００　　
　　５．３３ＧＯＯＯＸ　００００　　　　３．００８
０００　Ｘ　８０００　　　　５　、、’＞３

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるフォトマスクを形成するための装
置の全体的な概略図である。 第２図はフォトマスクが形成される第１図の装置に用い
られる円板の平面図である。 （外４名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、感光材料によって形成される平坦な円板（１０）の
   表面領域の少なくとも一部（３２、３４、３６）を有す
   る上記円板を回転させるように装着させることと、上記
   円板（１０）を回転させることと、 上記円板（１０）に対して間隔をおいてレーザビーム光
   源（１８）を支持することと、 上記光源（１８）から上記円板上に少なくとも１本のレ
   ーザビーム（２０）を結像させることと、上記円板を回
   転させるのと同時に上記光源を上記円板に対して半径方
   向に移動させて上記レーザビーム（２０）に上記円板の
   表面領域を走査させることと、 上記走査の際に上記レーザビームを像に対応する情報に
   従って変調して該像が上記レーザビームにより上記感光
   材料上に書込まれるようにすることと、 の各ステップからなることを特徴とするフォトマスクを
   形成するための方法。 ２、上記平坦な円板（１０）が上記感光材料によって形
   成される複数の離散的な領域（３２、３４、３６）を含
   むようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に
   記載の方法。 ３、上記離散的な領域（３２、３４、３６）がほぼ矩形
   であり、上記円板（１０）上に３つの上記離散的な領域
   が設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第２
   項に記載の方法 ４、上記感光材料か液晶セルであることを特徴とする特
   許請求の範囲第１、２または３項に記載の方法。 ５、上記液晶セルが反射型であることを特徴とする特許
   請求の範囲第４項に記載の方法。 ６、上記液晶セルが透過型であることを特徴とする特許
   請求の範囲第４項に記載の方法。 ７、上記レーザビーム（２０）が一定の直線速度で上記
   円板（１０）の面を走査するように上記円板（１０）が
   回転するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １、２または３項に記載の方法。 ８、上記円板（１０）上に複数のレーザビームが同時に
   結像し、該ビームの各々が独立的に変調されて各々のビ
   ームが上記円板上に上記像の個々の部分を書込むように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１、２、３また
   は７項に記載の方法。 ９、感光材料によつて形成された表面領域の離散的な部
   分（３２、３４、３６）を有する平坦な円板（１０）と
   、該円板を装着し回転させるための手段（１２、１４）
   と、 回転の際に上記円板（１０）の表面領域上に少なくとも
   １本のレーザビーム（２０）を走査して該レーザビーム
   により上記感光材料上に像が書込まれるようにするため
   の走査手段（２２）と、 からなることを特徴とする像に対応するフォトマスクを
   形成するための装置。 １０、レーザビーム光源（１８）と、 該レーザビーム光源を上記円板に対して間隔をおいて支
   持するための手段（２２）と、 上記光源からのレーザビームを上記円板上に結像させる
   ための手段と、 上記レーザ光源支持手段を上記円板に対して半径方向に
   移動させそれによって上記レーザビーム（２０）が上記
   円板（１０）の表面領域を走査するようにするための手
   段（２２、２４）と、 上記像に対応する情報に従って上記レーザビームを変調
   して上記レーザビーム（２０）により上記像が上記感光
   材料上に書込まれるようにするための手段（２６）と、 を含むことを特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の
   装置。 １１、上記レーザビーム光源（１８）が複数のレーザビ
   ームを発生させ、該ビームの各々が上記円板（１０）に
   同時に結像し、上記変調手段（２６）が上記ビームの各
   々を独立的に変調して各々のビームが上記円板上に上記
   像の個々の部分を書込むようにしたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１０項に記載の装置。 １２、上記レーザビーム光源（１８）が複数のレーザ放
   出ダイオードを含むことを特徴とする特許請求の範囲第
   １１項に記載の装置。 １３、上記ビームを結像させるための手段が複数の光フ
   ァイバーを含み、該光ファイバーの各々が上記レーザ放
   出ダイオードの内の１個からの上記ビームの内の１本を
   受け、上記ファイバーが上記ビームを上記円板上に結像
   させるためのアレイをなして配置されていることを特徴
   とする特許請求の範囲第１２項に記載の装置。 １４、上記平坦な円板が上記感光材料によって形成され
   る複数の離散的な領域（３２、３４、３６）を含むよう
   に特許請求の範囲第９または１０項に記載の装置。 １５、上記離散的な領域（３２、３４、３６）がほぼ矩
   形であり、上記円板（１０）上に３つの上記離散的な領
   域が設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １４項に記載の装置。 １６、上記離散的な領域（３２、３４、３６）が正方形
   であり、３つの上記離散的な領域が上記円板（１０）上
   に対称的に配置されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１５項に記載の装置。 １７、上記感光材料が液晶セルであることを特徴とする
   特許請求の範囲第９または１０項に記載の装置。 １８、上記液晶セルが反射型であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１７項に記載の装置。 １９、上記液晶セルが透過型であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１７項に記載の装置。 ２０、上記レーザビーム（２０）が一定の直線速度で上
   記円板の面を走査するようにして上記回転手段（１２、
   １４）が上記円板（１０）を回転させるようにしたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１７項に記載の装置。 ２１、上記走査手段（２２）が上記円板上に複数のレー
   ザビームを走査して上記円板上に上記像を書込むように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第９または１０項
   に記載の装置。