KR900016970A - 포토마스크 창출 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 포토마스크를 창출하는 장치의 일반적인 개략도,
제2도는 포트마스크가 창출되어 있는 제1도의 장치에 사용된 디스크의 평면도.
Claims (21)
- 포토마스크를 창출하는 방법에 있어서, 감광성 재질로 한정된 디스크의 표면 영역중 적어도 한 부분(32, 34, 36)을 갖는 평면 디스크(10)을 회전용으로 설치하는 단계와, 상기 디스크(10)를 회전시키는 단계와, 상기 디스크(10)에 관해서 간격 된 관계로 레이저빔 소오스(18)를 지지하는 단계와, 상기 소오스(18)로부터 상기 디스크상에 적어도 한 레이저 빔(20)을 초점시키는 단계와, 상기 디스크를 회전시킴과 동시에, 상기 레이저 빔(20)으로 상기 디스크의 표면 영역을 주사하도록 한 상기 디스크에 관해서 방사적으로 상기 소오스를 이동시키는 단계와, 상기 영상을 상기 레이저 빔에 의해 상기 감광성 재질상에 기록되도록 한 영상에 대응하는 정보에 따라서 상기 주사하는 동안 상기 레이저빔을 변조시키는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 평번 디스크(10)는 상기 감광성 재질로 한정된 다수의 분리 영역(32, 34,36)을 구비하는 것으 특장으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 분리 영역 (32,34,36)은 거의 장방형이며, 상기 분리 영역의3개는 상기 디스크(10)상에 제공되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제1항,제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 감광성 재질은 액정 셀인 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출방법.
- 제4항에 있어서, 상기 액정 셀은 반사하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 액정 셀은 투과하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제1항, 제2항또는 제3항에 있어서, 상기 디스크(10)는 상기 레이저 빔(20)이 일정한 선형 속도로 상기 디스크의 표면에 주사하도록 회전되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 제1항, 제2항 또는 제3항 또는 제7항에 있어서, 다수의 레이저 빔은 상기 디스크(10)상에 동시에 초점되며, 상기 빔의 각각은 상기 디스크사에 상기 영상의 분리 부분으로 기록하도록 한 각각의 빔을 독립하여 변조되는것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 방법.
- 영상에 대응하는 포토마스크를 창출하는 장치에 있어서. 액정 재질로 한정된 디스크의 표면 영역중 분리부분(32,34,36)을 갖는 평면 디스크(10)와, 상기 디스크를 설치하고 회전시키는 수단(12. 14)과. 상기 영상을 상기 레이저 빔으로 상기 감광성 재질상에 기록되도록 한 회전동안 상기 디스크(10)의 표면 영역에 대해 적어도 한 레이저 빔(20)으로 주사하는 주사 수단(20)을 구비하는 것을 특징으로 하는 포트마스크 창출 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 주사 수단은, 레이저 빔 소오스(18)와, 상기 레이저 빔 소오스를 상기 디스크에 관해서 간격된 관계로 지지하는 수단(22)과, 상기 소오스로부터 레이거 빔을 상기 디스크상에 초점시키는 수단과, 상기 레이저 빔(20)이 상기 디스크(10)의 표면영역을 주사하도록 하기 위해, 상기 디스크에 관해서 방사적인 수단을 지지하는 상기 레이저 소오스를 이동시키는 수단(22,24)과, 상기 영상을 상기 레이저 빔(20)으로 상기 감광성 재질상에 기록되도록 한 상기 영상에 대응하는 정보에 따라서 상기 레이저 빔을 변조시키는 수단(26)을 구비하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 레이저 빔 소오스(18)는 다수의 레이저 빔을 발생하며, 상기 빔의 각각은 상기 디스크(10)상에 동시에 초점되는 것과, 상기 변조 수단(26)은 각각의 빔을 상기 디스크상에 상기 영상의 분리 부분으로 기록하도록 헌 상기 빔의 각각을 개별적으로 변조하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제11항에 있어서. 상기 레이저 빔 소오스(18)는 다수의 레이저 에미팅 다이오드를 구비하는 것을 특징으로하는 포토마스크 창출 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 빔을 초점시키는 상기 수단은 다수의 광섬유를 구비하며, 상기 광섬유외 각각은 상기 레이저 에미팅 다이오드의 하나로부터 상기 빔의 하나를 수신하며, 상기 광섬유는 상기 디스크상에 상기 빔을 초점시키는 배열로 배열되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제9항 또는 제10항에 있어서. 상기 평면 디스크는 상기 감광성 재질로 한정된 다수의 분리 영역(32,34,36)을 구비하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제14항에 있어서. 상기 분리 영역(32, 34, 36)은 거의 정방형인 것과, 상기 분리 영역의 3개는 상기 디스크(10)상에 제공되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제15항에 있어서. 상기 분리 영역(32,34.36)은 정방형이며, 상기 3개의 영역은 상기 디스크(10)상에 동시에 배열되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제9항 또는 10항에 있어서. 상기 감광성 재질은 액정 셀인 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 액정 셀은 반사하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제17항에 있어서. 상기 액정 셀은 투과하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 회전 수단(12, 14)는 상기 레이저 빔(20)이 일정한 선형 속도로 상기 디스크의 표면에 주사하기 위해 상기 디스크(10)를 회전시키는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.
- 제9항 또는 제10항에 있어서. 상기 주사 수단(22)은 상기 영상을 상기 디스크상에 기록하도록 상기 디스크에 대해 다수의 레이저 빔을 주사하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 창출 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
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