JPH02103425A - レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は同位体分離装置等に適用されるレーザ装置に係
り、特にレーザ光のモニタ部の構成を改良したレーザ装
置に関する。

（従来の技＃ｉ） 従来、原子炉用燃料等の濃縮工程にレーザ光を利用した
同位体分離装置が用いられている。この同位体弁＋ｉ装
置おいては、波長が自由に制御できる色素レーザ装置が
適用され、色素レーザ装置の励起光としては、発光効率
が高い銅蒸気レーザ光が多用される。

ところで、このようなレーザａｍではレーザ光を直列的
または直並列的に供給し、レーナ先の出力を増大させる
ようになっており、このレーザ光出力計測用にモニタ部
が備えられる。

第２図はレーザ装置のモニタ部の従来例を示している。

レーザ発振器１から発振されるレーザ光１０１の光軸上
に全反射ミラー２が設けられ、これにより反射するレー
ザ光１０１の光路上にビームスプリッタ３が設けられて
いる。また、ビームスプリッタ３によって分岐されるサ
ンプル光１０２の光路上゛にパワーメータ４が設けられ
ている。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来のレーザ装置では、レーザ光１０１の一部
、例えば４％程度がサンプル光とされ、パワーメータ４
で測定される。したがって、レーザ光１０１の出力はモ
ニタ部で低減され、それだけ発振効率が低下することに
なる。このような発振効率の低下は、比較的小出力のレ
ーザ装置や、高しきい値の色素レーザ装置を使用する場
合等に問題となる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、モニ
タ部において光出力の低減を大幅に抑制することができ
るレーザ装置を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、レーザ発振器から発振されるレーザ光のモニ
タ部を有するレーザ装置において、前記モニタ部は、レ
ーザ発振器からの発振レーザ光を反射させる反射ミラー
の裏面側に近接して設けられ、その反射ミラーを透過し
た微少量の透過レーザ光を検出する光検出器と、この光
検出器から出力される検出信号を増幅する増幅器と、こ
の増幅器に接続され、光出力を表示する表示器とを備え
てなることを特徴とする。

（作用） 一般に、反射ミラーの反射効率は高く、１００％近いも
のとされるが、発明者の検討によると微少めの透過光の
存在が認められる。

本発明はこのような反射ミラーでの透過光を検出し、こ
れを増幅して表示するもので、これによリレーザ光のモ
ニタが可能となるから、従来のビームスプリッタが省略
でき、それだけレーザ光の出力低減を抑１１１１シ得る
ようになる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

この実施例のレーザ装置では、レーザ光のモニタ部を、
レーザ発振器１１から発振された直後のレーザ光（主レ
ーザ光）２０１を反射する第１段の全反射ミラー１２の
裏面側に配置している。

なお、レーザ発振器１１は例えば銅蒸気レーザ発振器で
ある。

モニタ部は、全反射ミラー１２の裏面側に近接して設け
た光検出器１３と、この光検出器１３に接続した増幅器
１４および表示器１５と、これらに電流を供給する電源
装置１６とを備えている。

光検出器１３は例えばＰＩＮダイオード、バイプラナ光
電管等を用いて構成し、全反射ミラー１２の裏面に密着
して、または微小間隔をあけて固定しである。なお、全
反射ミラー１２の裏面は鏡面仕上げとしている。

しかして、レーザ発振器１１から発振された主レーザ光
２０１は全反射ミラー１２で殆ど反射し、その反射光２
０１は図示しない色素レーザ装置等に供給されるが、こ
の全反射ミラー１２ではその裏面側に微少量のレーザ光
が透過する。この透過レーザ光２０３が光検出器１３に
よって検出され、その検出信号が増幅器１４に入力され
て増幅される。増幅器１４で増幅された検出信号は表示
器１５に入力さ−れ、レーザ光の出力表示が行なわれる
とともに、図示しない演惇器に入力されて、予め求めら
れた主し−ナ光２０１と透過レーザ光２０３との関係値
に基づいて出力較正作用等が行なわれる。

このような実施例の構成によると、全反射ミラー１２で
の透過光検出によりレーザ光のモニタが可能となるから
、従来のビームスプリッタを用いた構成のものと異なり
、主レーザ光２０１の出力を低減することがない。した
がって、従来に比して光出力の低減を大幅に抑制でき、
発振効率の向上が図れ、特に比較的小出力のレーザ装置
や高しきい値の色素レーザ装置等に適用した場合に有効
なものとなる。

なお、前記実施例では主レーザ光２０１を反射させる第
１段の全反射ミラー１２の裏面側に配置するモニタ部に
ついて適用したが、本発明は、反射光２０２を反射させ
る第２段以降等の全反射ミラ一部位のモニタ部について
適用することも可能である。

（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、全反射ミラーでの透過
光を検出することによりレーザ光のモニタが可能となり
、レーザ光の出力低減を大幅に抑制し得るようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るレーザ装置の一実施例を示す構成
図、第２図は従来例を示す構成図である。 １１・・・レーザ発振器、１２・・・全反射ミラー１３
・・・光検出器、１４・・・増幅器、１５・・・表示器
、２０１・・・主レーザ光、２０３・・・透過レーザ光
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　レーザ発振器から発振されるレーザ光のモニタ部を有
   するレーザ装置において、前記モニタ部は、レーザ発振
   器からの発振レーザ光を反射させる反射ミラーの裏面側
   に近接して設けられ、その反射ミラーを透過した微少量
   の透過レーザ光を検出する光検出器と、この光検出器か
   ら出力される検出信号を増幅する増幅器と、この増幅器
   に接続され、光出力を表示する表示器とを備えてなるこ
   とを特徴とするレーザ装置。