JPH0621861B2 - 光音響分光装置 - Google Patents
光音響分光装置Info
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- JPH0621861B2 JPH0621861B2 JP62243477A JP24347787A JPH0621861B2 JP H0621861 B2 JPH0621861 B2 JP H0621861B2 JP 62243477 A JP62243477 A JP 62243477A JP 24347787 A JP24347787 A JP 24347787A JP H0621861 B2 JPH0621861 B2 JP H0621861B2
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- photoacoustic
- laser
- output
- laser light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光音響分光装置に係り、特に、分光分析装置
の検出器などに好適な小型光音響分光装置に関する。
の検出器などに好適な小型光音響分光装置に関する。
従来の光音響分光装置の一例を第３図に示す。図におい
て、１０はＡｒレーザ等の光源、２０は試料源４０より
供給される試料を収納し光源１０からの光を受けるセ
ル、３０は試料から生じた光音響信号を検出する圧電素
子、５０は圧電素子３０からの光音響信号を光チヨツパ
９０からの参照信号により検出し増幅するロツクイン・
アンプ、６０は前記ロツクイン・アンプ５０からの光音
響信号と光パワーモニタ８０からの光出力モニタ信号と
に基づき光音響分光結果を演算する演算装置、７０はそ
の演算結果を記録する記録計である。
て、１０はＡｒレーザ等の光源、２０は試料源４０より
供給される試料を収納し光源１０からの光を受けるセ
ル、３０は試料から生じた光音響信号を検出する圧電素
子、５０は圧電素子３０からの光音響信号を光チヨツパ
９０からの参照信号により検出し増幅するロツクイン・
アンプ、６０は前記ロツクイン・アンプ５０からの光音
響信号と光パワーモニタ８０からの光出力モニタ信号と
に基づき光音響分光結果を演算する演算装置、７０はそ
の演算結果を記録する記録計である。
この種の従来技術を示す例としては、特願昭60−269269
号や特願昭61−186808号等がある。
号や特願昭61−186808号等がある。
上記従来技術は、主にＡｒレーザ等のガスレーザを光源
としており、分光分析の感度は著しく高いが、連続光を
発生する光源または繰り返しの非常に速いパルス光で実
質的に連続な光を発生する光源からの光を強度変調する
ために、音響光学素子や回転ブレード式の光チヨツパ９
０が必要であり、また、光源の出力をモニタするため
に、ビームスプリツタ１００や光学的機構の光パワーモ
ニタ８０が必要であつた。
としており、分光分析の感度は著しく高いが、連続光を
発生する光源または繰り返しの非常に速いパルス光で実
質的に連続な光を発生する光源からの光を強度変調する
ために、音響光学素子や回転ブレード式の光チヨツパ９
０が必要であり、また、光源の出力をモニタするため
に、ビームスプリツタ１００や光学的機構の光パワーモ
ニタ８０が必要であつた。
これらの光チヨツパや光パワーモニタ等は大型であり、
特に、ビームスプリツタから光パワーモニタに分岐レー
ザ光を導く部分は光学部品で構成されているので、セツ
テイングに注意を要し、運搬や操作が不便であつた。
特に、ビームスプリツタから光パワーモニタに分岐レー
ザ光を導く部分は光学部品で構成されているので、セツ
テイングに注意を要し、運搬や操作が不便であつた。
また、変調前の光強度の最大値と変調後の光強度の最大
値の比すなわち変調効率は、音響光学素子では低く、励
起光強度の低下に伴い、分光感度も低下する問題があつ
た。
値の比すなわち変調効率は、音響光学素子では低く、励
起光強度の低下に伴い、分光感度も低下する問題があつ
た。
さらに、光音響信号の処理系の電源と光源，光チヨツ
パ，光パワーモニタ等の電源とは完全に分かれており、
光音響分光装置の構成要素の整理・統合が十分でなく、
この意味でも装置が大型化し、消費電力が多くなる問題
があつた。
パ，光パワーモニタ等の電源とは完全に分かれており、
光音響分光装置の構成要素の整理・統合が十分でなく、
この意味でも装置が大型化し、消費電力が多くなる問題
があつた。
結局、上記従来技術は、それ以前の分光分析装置に比べ
て、約３桁高感度であるが、大型レーザを使用するもの
で、用途が超微量分析等に限られていた。
て、約３桁高感度であるが、大型レーザを使用するもの
で、用途が超微量分析等に限られていた。
これに対して、医用自動分析装置や液体クロマトグラフ
の検出器等の利用分野では、それよりも１桁が２桁感度
が低くとも（それでもこれら医療等の利用分野での従来
装置より約１桁高感度になる。）、小型で軽量かつ操作
が容易な光音響分光装置が求められている。
の検出器等の利用分野では、それよりも１桁が２桁感度
が低くとも（それでもこれら医療等の利用分野での従来
装置より約１桁高感度になる。）、小型で軽量かつ操作
が容易な光音響分光装置が求められている。
そこで、本発明の目的は、内部構造が単純で、全体とし
て小型・軽量であり、しかも操作が容易な光音響分光装
置を提供することである。
て小型・軽量であり、しかも操作が容易な光音響分光装
置を提供することである。
本発明は、上記目的を達成するために、連続光または繰
り返し周波数が高い実質的連続光を発生するレーザ光源
と、レーザ光源から放射されるレーザ光を受け光音響信
号を生ずる試料を収納するセルと、セルに取り付けられ
試料から生じた光音響信号を検出する光音響信号検出素
子と、レーザ光源に変調信号と直流信号とを重畳させた
駆動信号を供給する電源回路とレーザ光源の出力に応じ
た帰還電流により駆動信号を制御するレーザ出力安定回
路とを含む電源と、電源からの変調信号を参照信号とし
て光音響信号を検波する回路と、帰還電流に基づきレー
ザ光出力を算出する光出力モニタと、検波された光音響
信号の強度を帰還電流に基づき算出されたレーザ光出力
により補正する回路と、算出されたレーザ光出力と補正
された光音響信号とにより光音響分光結果を演算する演
算回路とからなる光音響分光装置を提案するものであ
る。
り返し周波数が高い実質的連続光を発生するレーザ光源
と、レーザ光源から放射されるレーザ光を受け光音響信
号を生ずる試料を収納するセルと、セルに取り付けられ
試料から生じた光音響信号を検出する光音響信号検出素
子と、レーザ光源に変調信号と直流信号とを重畳させた
駆動信号を供給する電源回路とレーザ光源の出力に応じ
た帰還電流により駆動信号を制御するレーザ出力安定回
路とを含む電源と、電源からの変調信号を参照信号とし
て光音響信号を検波する回路と、帰還電流に基づきレー
ザ光出力を算出する光出力モニタと、検波された光音響
信号の強度を帰還電流に基づき算出されたレーザ光出力
により補正する回路と、算出されたレーザ光出力と補正
された光音響信号とにより光音響分光結果を演算する演
算回路とからなる光音響分光装置を提案するものであ
る。
一般に、光源の電気出力から光出力への返還効率が一定
であるため、光源から放射される光の出力は、光源に供
給される電気出力に比例する。したがつて、光源に供給
する電気出力を変調すると、光源から放射される光の強
度を変調できることになる。例えば、光源を半導体レー
ザ（レーザダイオード）とした場合、レーザダイオード
の出力は印加される順電流に比例するため、この電流を
正弦変調すれば、レーザダイオードからのレーザ光強度
も正弦変調される。このように、電気出力自体を変調す
る方法を、ここでは、「電源変調」と呼ぶことにする。
であるため、光源から放射される光の出力は、光源に供
給される電気出力に比例する。したがつて、光源に供給
する電気出力を変調すると、光源から放射される光の強
度を変調できることになる。例えば、光源を半導体レー
ザ（レーザダイオード）とした場合、レーザダイオード
の出力は印加される順電流に比例するため、この電流を
正弦変調すれば、レーザダイオードからのレーザ光強度
も正弦変調される。このように、電気出力自体を変調す
る方法を、ここでは、「電源変調」と呼ぶことにする。
電源変調により強度変調された光を光音響信号の励起光
とすれば、従来の光音響分光装置に使われていた光チヨ
ツパ等の光変調器は不要となる。また、光源にレーザダ
イオードを用い、信号処理装置に位相検波増幅回路，例
えば，ロツクイン・アンプを使用し、レーザダイオード
の駆動電流の一部を位相検波増幅回路の参照信号として
分岐すれば、光源の電源と信号処理装置の一部を共用で
きる。さらに、レーザダイオードの駆動回路には、レー
ザダイオードの出力を安定化するため、レーザダイオー
ド出力を検出し駆動電流に帰還する安定化回路を用いる
ことが一般的である。したがつて、この帰還電流をモニ
タすれば、レーザダイオードの光出力をモニタできる。
光音響信号の信号強度は励起光の強度に比例するので、
信号強度を励起光強度で補正する必要がある。本発明の
ように、光強度モニタとしてレーザダイオード出力安定
化回路の帰還電流を用いれば、光学的手法による光強度
モニタをわざわざ設けなくとも、光音響信号強度の補正
が可能となる。
とすれば、従来の光音響分光装置に使われていた光チヨ
ツパ等の光変調器は不要となる。また、光源にレーザダ
イオードを用い、信号処理装置に位相検波増幅回路，例
えば，ロツクイン・アンプを使用し、レーザダイオード
の駆動電流の一部を位相検波増幅回路の参照信号として
分岐すれば、光源の電源と信号処理装置の一部を共用で
きる。さらに、レーザダイオードの駆動回路には、レー
ザダイオードの出力を安定化するため、レーザダイオー
ド出力を検出し駆動電流に帰還する安定化回路を用いる
ことが一般的である。したがつて、この帰還電流をモニ
タすれば、レーザダイオードの光出力をモニタできる。
光音響信号の信号強度は励起光の強度に比例するので、
信号強度を励起光強度で補正する必要がある。本発明の
ように、光強度モニタとしてレーザダイオード出力安定
化回路の帰還電流を用いれば、光学的手法による光強度
モニタをわざわざ設けなくとも、光音響信号強度の補正
が可能となる。
以上により、従来の光音響分光装置の構成要素から光チ
ヨツパのような光変調器と光学的手法による光強度モニ
タを省略し、また、光源の電源と信号処理装置の一部と
を共通化でき、さらに、レーザダイオード自体が小型で
あるから、光音響分光装置を小型化することが可能とな
る。
ヨツパのような光変調器と光学的手法による光強度モニ
タを省略し、また、光源の電源と信号処理装置の一部と
を共通化でき、さらに、レーザダイオード自体が小型で
あるから、光音響分光装置を小型化することが可能とな
る。
次に、第１図および第２図を参照して、本発明による光
音響分光装置の一実施例を説明する。
音響分光装置の一実施例を説明する。
第１図は、半導体レーザを光源とする一実施例の構成の
概略を示すブロツク図である。図において、１は光源と
なる半導体レーザ（レーザダイオード）、２は試料源４
より供給される試料を収納しレーザダイオード１からの
光を受けるセル、３は試料から生じた光音響信号を検出
する圧電素子、５は圧電素子３からの光音響信号を位相
検波し増幅するとともに半導体レーザ１に駆動電流を供
給する信号処理装置、６は信号処理装置５で検波増幅さ
れた光音響信号とレーザ出力に等価的なモニタ信号とに
より半導体レーザ１の光出力と光音響分光結果とを算出
する演算装置，７はその演算結果の記録計である。
概略を示すブロツク図である。図において、１は光源と
なる半導体レーザ（レーザダイオード）、２は試料源４
より供給される試料を収納しレーザダイオード１からの
光を受けるセル、３は試料から生じた光音響信号を検出
する圧電素子、５は圧電素子３からの光音響信号を位相
検波し増幅するとともに半導体レーザ１に駆動電流を供
給する信号処理装置、６は信号処理装置５で検波増幅さ
れた光音響信号とレーザ出力に等価的なモニタ信号とに
より半導体レーザ１の光出力と光音響分光結果とを算出
する演算装置，７はその演算結果の記録計である。
レーザダイオード１の駆動電流は、信号処理装置５から
供給され、電源変調により、光強度を６０〜１８０Ｈｚ
の矩形波または正弦波に変調できるようになつている。
強度変調した光は、励起光として、セル２に入射する。
試料を導入したセル２では、励起光の照射をうけて、光
音響信号が生じ、圧電素子３により電気信号に変換さ
れ、信号処理装置５に入力される。信号処理装置５で
は、光音響信号を位相検波し、雑音場から光音響信号の
みを回復して増幅する。一方、信号処理装置５に組み込
まれた出力自動制御回路の帰還電流をモニタし、レーザ
出力モニタ信号として演算装置６に出力する。信号処理
装置５で検波増幅された光音響信号は、レーザ出力モニ
タ信号を参照して規格化補正され、記録計７に記録され
る。
供給され、電源変調により、光強度を６０〜１８０Ｈｚ
の矩形波または正弦波に変調できるようになつている。
強度変調した光は、励起光として、セル２に入射する。
試料を導入したセル２では、励起光の照射をうけて、光
音響信号が生じ、圧電素子３により電気信号に変換さ
れ、信号処理装置５に入力される。信号処理装置５で
は、光音響信号を位相検波し、雑音場から光音響信号の
みを回復して増幅する。一方、信号処理装置５に組み込
まれた出力自動制御回路の帰還電流をモニタし、レーザ
出力モニタ信号として演算装置６に出力する。信号処理
装置５で検波増幅された光音響信号は、レーザ出力モニ
タ信号を参照して規格化補正され、記録計７に記録され
る。
第２図は、第１図実施例の構成を更に詳細に示すブロツ
ク図である。図において、１１および１２はレーザダイ
オード、２１および２２はセル、３１および３２は圧電
素子である。このように、２チヤンネル設けてあるの
は、一方を標準セルとし、他方の感度を比較したりする
ためである。第２図の信号処理装置５は、ここでは、位
相検波回路５１，５２、全体の電源回路５３、レーザダ
イオード１１，１２に駆動電流を供給する交流電源５４
および直流電源５４、これら電源からの電力によりレー
ザダイオード１１，１２を駆動するレーザダイオード駆
動回路５６，５７を含んでいる。演算装置６は、位相検
波された光音響信号を電源５４，５５の出力を参照信号
として解析し分光結果を求める演算回路６１、分光結果
を例えばＡ，Ｂ，Ａ−Ｂに分けて表示する分光結果表示
装置６２、前記レーザダイオード駆動回路５６，５７の
駆動電流に基づきレーザ光出力を求め表示するレーザ出
力モニタ６３，６４を含んでいる。
ク図である。図において、１１および１２はレーザダイ
オード、２１および２２はセル、３１および３２は圧電
素子である。このように、２チヤンネル設けてあるの
は、一方を標準セルとし、他方の感度を比較したりする
ためである。第２図の信号処理装置５は、ここでは、位
相検波回路５１，５２、全体の電源回路５３、レーザダ
イオード１１，１２に駆動電流を供給する交流電源５４
および直流電源５４、これら電源からの電力によりレー
ザダイオード１１，１２を駆動するレーザダイオード駆
動回路５６，５７を含んでいる。演算装置６は、位相検
波された光音響信号を電源５４，５５の出力を参照信号
として解析し分光結果を求める演算回路６１、分光結果
を例えばＡ，Ｂ，Ａ−Ｂに分けて表示する分光結果表示
装置６２、前記レーザダイオード駆動回路５６，５７の
駆動電流に基づきレーザ光出力を求め表示するレーザ出
力モニタ６３，６４を含んでいる。
直流電源５５は、レーザダイオード駆動回路５６，５７
と演算回路６１とに、安定した直流電力を供給する。交
流電源５４は、レーザダイオード出力の電源変調のため
に交流電力を供給し、また、位相検波回路５１，５２の
参照信号として交流電力を供給する。レーザダイオード
１１，１２では、まず、発振閾値電流を越し、しかも、
順電流値がレーザダイオード出力と直線関係になる範囲
内の値に直流分を設定し、次にその設定点を中心に交流
成分をレーザダイオードに印加して、レーザダイオード
出力を変調する。レーザダイオード出力の変調に当たつ
ては、レーザ光出力の最小値がちようどゼロとなるよう
に、交流振幅を決める。一方、位相検波回路５１，５２
では、それぞれ、圧電素子３１，３２からの光音響信号
を、交換電源５４からの交流信号を参照して、位相検波
し増幅する。レーザダイオード駆動回路５６，５７内の
帰還電流の一部は、レーザ出力モニタ６３，６４に供給
され、レーザ出力の表示に使われる。
と演算回路６１とに、安定した直流電力を供給する。交
流電源５４は、レーザダイオード出力の電源変調のため
に交流電力を供給し、また、位相検波回路５１，５２の
参照信号として交流電力を供給する。レーザダイオード
１１，１２では、まず、発振閾値電流を越し、しかも、
順電流値がレーザダイオード出力と直線関係になる範囲
内の値に直流分を設定し、次にその設定点を中心に交流
成分をレーザダイオードに印加して、レーザダイオード
出力を変調する。レーザダイオード出力の変調に当たつ
ては、レーザ光出力の最小値がちようどゼロとなるよう
に、交流振幅を決める。一方、位相検波回路５１，５２
では、それぞれ、圧電素子３１，３２からの光音響信号
を、交換電源５４からの交流信号を参照して、位相検波
し増幅する。レーザダイオード駆動回路５６，５７内の
帰還電流の一部は、レーザ出力モニタ６３，６４に供給
され、レーザ出力の表示に使われる。
本実施例では、第３図従来例の光学素子による光パワー
モニタとこのモニタにレーザ光を導入するためのビーム
スプリツタとを省略できる。また、光音響素子を用いた
光チヨツパや回転ブレード式光チヨツパを省略可能であ
る。更に、これらモニタやチヨツパのためにおのおの独
立した電源を設ける必要がなくなる。従来のＡｒレーザ
を光源とする装置は、約３m2の床面積を占めていたが、
本実施例は、約０．０７m2で済み、約１／４３に減少し
た。したがつて、医用自動分析装置に検出部として組み
込むことが可能となつた。
モニタとこのモニタにレーザ光を導入するためのビーム
スプリツタとを省略できる。また、光音響素子を用いた
光チヨツパや回転ブレード式光チヨツパを省略可能であ
る。更に、これらモニタやチヨツパのためにおのおの独
立した電源を設ける必要がなくなる。従来のＡｒレーザ
を光源とする装置は、約３m2の床面積を占めていたが、
本実施例は、約０．０７m2で済み、約１／４３に減少し
た。したがつて、医用自動分析装置に検出部として組み
込むことが可能となつた。
本実施例のレーザダイオードの最大出力は３０ｍｗで、
発振波長は７８０ｎｍである。本装置で、粒径０．８μ
ｍのポリスチレン懸濁試料を定量分析した結果、検量線
の傾きすなわち感度は０．５μＶ／ｐｐｂとなつた。雑
音レベルは０．２５μＶであり、検出限界は、Ｓ／Ｎ＝
２で０．１ｐｐｂであつた。この結果は、Ａｒレーザを
光源とする従来の光音響分光装置よりは感度，検出限界
ともに、約２桁低いものの、濁度計に比較すれば、約１
〜２桁高感度である。したがつて、本装置を医用自動分
析装置の検出部として、従来の濁度計の代わりに組み込
むと、分析精度，検出限界ともに約１〜２桁向上する。
発振波長は７８０ｎｍである。本装置で、粒径０．８μ
ｍのポリスチレン懸濁試料を定量分析した結果、検量線
の傾きすなわち感度は０．５μＶ／ｐｐｂとなつた。雑
音レベルは０．２５μＶであり、検出限界は、Ｓ／Ｎ＝
２で０．１ｐｐｂであつた。この結果は、Ａｒレーザを
光源とする従来の光音響分光装置よりは感度，検出限界
ともに、約２桁低いものの、濁度計に比較すれば、約１
〜２桁高感度である。したがつて、本装置を医用自動分
析装置の検出部として、従来の濁度計の代わりに組み込
むと、分析精度，検出限界ともに約１〜２桁向上する。
なお、ここでは、光源が半導体レーザである場合を例に
説明したが、もう少し高出力で高感度な装置を必要とす
るときは、半導体レーザで励起したＹＡＧレーザを用い
ることもできる。その場合も、従来のＡｒレーザ等に比
べて、小型・軽量で操作が容易であるという特徴は変わ
らない。
説明したが、もう少し高出力で高感度な装置を必要とす
るときは、半導体レーザで励起したＹＡＧレーザを用い
ることもできる。その場合も、従来のＡｒレーザ等に比
べて、小型・軽量で操作が容易であるという特徴は変わ
らない。
本発明によれば、以下の効果が得られる。
１．光音響素子を用いた光チヨツパや回転ブレード式の
光チヨツパと光学素子による光パワーモニタとこのモニ
タにレーザ光を導入するためのビームスプリツタとを省
略でき、また、光源の駆動電源と信号処理装置の参照信
号源とを一部共用できるため、光音響分光装置を小型・
軽量化することが可能である。
光チヨツパと光学素子による光パワーモニタとこのモニ
タにレーザ光を導入するためのビームスプリツタとを省
略でき、また、光源の駆動電源と信号処理装置の参照信
号源とを一部共用できるため、光音響分光装置を小型・
軽量化することが可能である。
２．このように小型・軽量化した光音響分光装置を医用
自動分析装置の検出部として組み込めば、同分析装置の
感度が約１〜２桁向上する。
自動分析装置の検出部として組み込めば、同分析装置の
感度が約１〜２桁向上する。
３．光源からの光を電源変調により強度変調するので、
強度変調関数（強度変調のパターン）を任意に設定し、
しかも変調前の光強度の最大値と変調後の光強度の最大
値の比すなわち変調効率を１００％に維持でき、音響光
学変調器を用いる従来の一方式に比較して変調効率が約
１桁上がる。したがつて、光変調による励起光強度の低
下に伴う感度の劣化がなくなる。
強度変調関数（強度変調のパターン）を任意に設定し、
しかも変調前の光強度の最大値と変調後の光強度の最大
値の比すなわち変調効率を１００％に維持でき、音響光
学変調器を用いる従来の一方式に比較して変調効率が約
１桁上がる。したがつて、光変調による励起光強度の低
下に伴う感度の劣化がなくなる。
４．光音響分光装置の構成が合理化・単純化され、コス
トの低減につながる。
トの低減につながる。
第１図は本発明による光音響分光装置の一実施例の概略
構成を示すブロツク図、第２図は第１図実施例のより詳
細な構成を示すブロツク図、第３図は従来の光音響分光
装置の一例の構成を示すブロツク図である。 １，１１，１２……半導体レーザ（レーザダイオー
ド）、２，２１，２２……セル、３，３１，３２……圧
電素子、４……試料源、５……信号処理装置、５１，５
２……位相検波回路、５３……電源回路、５４……交流
電源、５５……直流電源、５６，５７……レーザダイオ
ード駆動回路、６……演算装置、６……演算回路、６２
……分光結果表示装置、６３，６４……レーザ出力モニ
タ、７……記録計。
構成を示すブロツク図、第２図は第１図実施例のより詳
細な構成を示すブロツク図、第３図は従来の光音響分光
装置の一例の構成を示すブロツク図である。 １，１１，１２……半導体レーザ（レーザダイオー
ド）、２，２１，２２……セル、３，３１，３２……圧
電素子、４……試料源、５……信号処理装置、５１，５
２……位相検波回路、５３……電源回路、５４……交流
電源、５５……直流電源、５６，５７……レーザダイオ
ード駆動回路、６……演算装置、６……演算回路、６２
……分光結果表示装置、６３，６４……レーザ出力モニ
タ、７……記録計。
Claims (1)
- 【請求項１】連続光または繰り返し周波数が高い実質的
連続光を発生するレーザ光源と、 前記レーザ光源から放射されるレーザ光を受け光音響信
号を生ずる試料を収納するセルと、 前記セルに取り付けられ試料から生じた光音響信号を検
出する光音響信号検出素子と、 前記レーザ光源に変調信号と直流信号とを重畳させた駆
動信号を供給する電源回路と前記レーザ光源の出力に応
じた帰還電流により前記駆動信号を制御するレーザ出力
安定回路とを含む電源と、 前記電源からの前記変調信号を参照信号として前記光音
響信号を検波する回路と、 前記帰還電流に基づきレーザ光出力を算出する光出力モ
ニタと、 検波された前記光音響信号の強度を前記帰還電流に基づ
き算出された前記レーザ光出力により補正する回路と、 算出された前記レーザ光出力と補正された前記光音響信
号とにより光音響分光結果を演算する演算回路と からなる光音響分光装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62243477A JPH0621861B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 光音響分光装置 |
| DE19883832906 DE3832906A1 (de) | 1987-09-28 | 1988-09-28 | Photoakustisches spektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62243477A JPH0621861B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 光音響分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6484133A JPS6484133A (en) | 1989-03-29 |
| JPH0621861B2 true JPH0621861B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=17104470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62243477A Expired - Lifetime JPH0621861B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 光音響分光装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621861B2 (ja) |
| DE (1) | DE3832906A1 (ja) |
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1988
- 1988-09-28 DE DE19883832906 patent/DE3832906A1/de active Granted
Also Published As
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|---|---|
| DE3832906C2 (ja) | 1991-04-25 |
| JPS6484133A (en) | 1989-03-29 |
| DE3832906A1 (de) | 1989-04-13 |
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