JPH0197814A - 光学式変位検出器 - Google Patents
光学式変位検出器Info
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- JPH0197814A JPH0197814A JP25519987A JP25519987A JPH0197814A JP H0197814 A JPH0197814 A JP H0197814A JP 25519987 A JP25519987 A JP 25519987A JP 25519987 A JP25519987 A JP 25519987A JP H0197814 A JPH0197814 A JP H0197814A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、光学式変位検出器に係り、特に、相対変位
する主目盛及び参照目盛の重なり合いの繰返しによって
生じる光の変化を受光素子によって電気信号に変換して
、該電気信号により前記相対変位量を検出するようにし
た光学式変位検出器の改良に関する。
する主目盛及び参照目盛の重なり合いの繰返しによって
生じる光の変化を受光素子によって電気信号に変換して
、該電気信号により前記相対変位量を検出するようにし
た光学式変位検出器の改良に関する。
従来、光学格子からなる主目盛及び参照目盛を、光透過
性材料からなる第1部材及び第2部材に形成し、これら
第1部材と第2部材が相対変位するとき、主目盛と参照
目盛を照明する発光素子からの照明光が反対間の受光素
子によって受光され、電気信号に変換されて、この電気
信号に基づいて第1部材と第2部材の相対変位量を検出
するようにした、いわゆる光学式エンコーダと称される
光学式変位検出器がある。 このような光学式変位検出器の例として、公知ではない
が、本出願人により提案された、第4図に示されるよう
な光学式変位検出器がある。 この光学式変位検出器は、一定ピッチの光学格子からな
る主目盛1が形成された第1部材2と、この第1部材2
に沿って相対変位可能に配置され、且つ、前記主目盛1
に対向して、光学格子からなる参照目盛3が形成された
第2部材4と、前記第1部材2を間にして、第2部材4
と反対側に配置された発光素子5を含む照明器6と、前
記第2部材4を間にして、第1部材2と反対側に配置さ
れた受光素子7を含む受光器8と、を備えて構成されて
いる。 前記照明器6は、前記発光素子5と、この発光素子5が
取付けられるリードフレーム9と、発光素子5を取付け
た状態のリードフレーム9をモールドした透明樹脂モー
ルド10と、この透明樹脂モールド10の、前記第1部
材2と反対側に形成された凹面反射鏡11とから構成さ
れている。 ここで、発光素子5は、リードフレーム9上において、
前記第1部材2と反対方向、即ち凹面反射!1111方
向゛に向けて取付けられ、凹面反射鏡11は、発光素子
7から放射状に射出される照明光を、前記第1部材2方
向に、平行光線として反射するようにされている。 又、前記受光器8は、前記受光素子7と、この受光素子
7を支持するリードフレーム12と、リードフレーム1
2に受光素子7が取付けられた状態でこれらをモールド
する透明樹脂モールド13と、から構成されている。 上記のような光学式変位検出器は、リードフレームを用
いる構造であるために、製造コストの低減を図ることが
できるという利点がある。
性材料からなる第1部材及び第2部材に形成し、これら
第1部材と第2部材が相対変位するとき、主目盛と参照
目盛を照明する発光素子からの照明光が反対間の受光素
子によって受光され、電気信号に変換されて、この電気
信号に基づいて第1部材と第2部材の相対変位量を検出
するようにした、いわゆる光学式エンコーダと称される
光学式変位検出器がある。 このような光学式変位検出器の例として、公知ではない
が、本出願人により提案された、第4図に示されるよう
な光学式変位検出器がある。 この光学式変位検出器は、一定ピッチの光学格子からな
る主目盛1が形成された第1部材2と、この第1部材2
に沿って相対変位可能に配置され、且つ、前記主目盛1
に対向して、光学格子からなる参照目盛3が形成された
第2部材4と、前記第1部材2を間にして、第2部材4
と反対側に配置された発光素子5を含む照明器6と、前
記第2部材4を間にして、第1部材2と反対側に配置さ
れた受光素子7を含む受光器8と、を備えて構成されて
いる。 前記照明器6は、前記発光素子5と、この発光素子5が
取付けられるリードフレーム9と、発光素子5を取付け
た状態のリードフレーム9をモールドした透明樹脂モー
ルド10と、この透明樹脂モールド10の、前記第1部
材2と反対側に形成された凹面反射鏡11とから構成さ
れている。 ここで、発光素子5は、リードフレーム9上において、
前記第1部材2と反対方向、即ち凹面反射!1111方
向゛に向けて取付けられ、凹面反射鏡11は、発光素子
7から放射状に射出される照明光を、前記第1部材2方
向に、平行光線として反射するようにされている。 又、前記受光器8は、前記受光素子7と、この受光素子
7を支持するリードフレーム12と、リードフレーム1
2に受光素子7が取付けられた状態でこれらをモールド
する透明樹脂モールド13と、から構成されている。 上記のような光学式変位検出器は、リードフレームを用
いる構造であるために、製造コストの低減を図ることが
できるという利点がある。
しかしながら、上記のような提案は、発光素子からの照
明光が、主目盛及び参照目盛を透過する、いわゆる透過
型の光学式変位検出器にのみ適用され、主目盛の目盛面
で照明光が反射される、いわゆる反射型の光学式変位検
出器には適用できないという問題点があった。 一方、上記のような光学式変位検出器は、X−Yテーブ
ル等に組込まれることが多く、この場合、反射型の光学
式変位検出器としないと、設計や製造が困難となる場合
もあるという問題点がある。 即ち、発光素子及び受光素子を、測定用のスケール(第
1部材)やロータに対して一方の側にまとめて配置する
4とができる反射型の光学式変位検出器は、設計や製作
の自由度が大きいからである。
明光が、主目盛及び参照目盛を透過する、いわゆる透過
型の光学式変位検出器にのみ適用され、主目盛の目盛面
で照明光が反射される、いわゆる反射型の光学式変位検
出器には適用できないという問題点があった。 一方、上記のような光学式変位検出器は、X−Yテーブ
ル等に組込まれることが多く、この場合、反射型の光学
式変位検出器としないと、設計や製造が困難となる場合
もあるという問題点がある。 即ち、発光素子及び受光素子を、測定用のスケール(第
1部材)やロータに対して一方の側にまとめて配置する
4とができる反射型の光学式変位検出器は、設計や製作
の自由度が大きいからである。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであつそ
、リードフレームを用いて、製造コストを低下すること
ができるようにした反射型の光学式変位検出器を提供す
ることを目的とする。
、リードフレームを用いて、製造コストを低下すること
ができるようにした反射型の光学式変位検出器を提供す
ることを目的とする。
この発明は、一定ピッチの主目盛が形成された第1部材
と、前記主目盛に対応する参照目盛が形成され、前記第
1s材に対して相対移動可能に配置された光透過性材料
からなる第2部材と、前記主目盛を照明する発光素子と
、前記主目盛で反射され前記参照目盛を透過した前記発
光素子からの照明光を受光して、受光量に応じた電気信
号を出力する受光素子と、を有してなり、前記第1部材
と第2部材の相対変位による主目盛と参照目盛の重なり
合いの繰返しに基づく、受光素子の出力化□号の変化に
より、前記第1部材と第2部材の相対変位量を検出する
光学式変位検出器において、前記第2部材を間にして、
前記第1部材の反対側にリードフレームを配置すると共
に、このリードフレームの、前記第2部材と反対間の面
に前記発光素子を取付け、且つ、前記発光素子からの光
を前記主目盛方向に平行光線として反射する凹面鏡と、
この凹面鏡により反射形成された前記平行光線を前記主
目盛方向に通過することを許容すべく前記リードフレー
ムに形成された切欠きと、を設けると共に、前記リード
フレームの前記主目盛の間の面に、該主目盛で反射され
た前記平行光線を受光する位置に、前記受光素子を配置
することにより上記目的を達成するものである。 又、この発明の実施態様は、前記リードフレーム、前記
発光素子及び前記受光素子を、光透過性樹脂モールド内
に一体的にモールドし、且つ、前記凹面鏡は前記光透過
性樹脂モールドの一部に設けられた反射膜から構成する
ことにより上記目的を達成したものである。
と、前記主目盛に対応する参照目盛が形成され、前記第
1s材に対して相対移動可能に配置された光透過性材料
からなる第2部材と、前記主目盛を照明する発光素子と
、前記主目盛で反射され前記参照目盛を透過した前記発
光素子からの照明光を受光して、受光量に応じた電気信
号を出力する受光素子と、を有してなり、前記第1部材
と第2部材の相対変位による主目盛と参照目盛の重なり
合いの繰返しに基づく、受光素子の出力化□号の変化に
より、前記第1部材と第2部材の相対変位量を検出する
光学式変位検出器において、前記第2部材を間にして、
前記第1部材の反対側にリードフレームを配置すると共
に、このリードフレームの、前記第2部材と反対間の面
に前記発光素子を取付け、且つ、前記発光素子からの光
を前記主目盛方向に平行光線として反射する凹面鏡と、
この凹面鏡により反射形成された前記平行光線を前記主
目盛方向に通過することを許容すべく前記リードフレー
ムに形成された切欠きと、を設けると共に、前記リード
フレームの前記主目盛の間の面に、該主目盛で反射され
た前記平行光線を受光する位置に、前記受光素子を配置
することにより上記目的を達成するものである。 又、この発明の実施態様は、前記リードフレーム、前記
発光素子及び前記受光素子を、光透過性樹脂モールド内
に一体的にモールドし、且つ、前記凹面鏡は前記光透過
性樹脂モールドの一部に設けられた反射膜から構成する
ことにより上記目的を達成したものである。
この発明において、反射型の光学式変位検出器において
発光素子及び受光素子をリードフレームに取付けて配置
しているので、設計及び製造が容易となり、X−Yテー
ブル等に組込むことができ、又、!!!造コストの低減
を図ることができる。
発光素子及び受光素子をリードフレームに取付けて配置
しているので、設計及び製造が容易となり、X−Yテー
ブル等に組込むことができ、又、!!!造コストの低減
を図ることができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第1図及び第2図に示されるように、一
定ピッチの光学格子からなる主目盛16が形成された第
1部材18と、前記主目盛16に対応する光学格子から
なる参照目盛20が形成され、前記第1部材18に対し
て相対移動可能に配置された光透過性材料からなる第2
部材22と、前記主目盛16を照明する発光素子24と
、前記主目盛16で反射され前記参照目盛20を透過し
た前記発光素子24からの照明光を受光して、受光量に
応じた電気信号を出力する受光素子26と、を有してな
り、前記第1部材18と第2部材22の相対変位による
土日lAl6と参照目盛20の重なり合いの緑返しに基
づく、受光素子26の出力信号の変化により、前記第1
部材18と第2部材22の相対変位址を検出する光学式
変位検出器において、前記第2部材22を間にして、前
記第1部材18の反対側にリードフレーム30を配置す
ると共に、このリードフレーム30の、前記第2部材2
2と反対間の面に前記発光素子24を取付け、且つ、前
記発光素子24からの光を前記主目盛16方向に平行光
線として反射する凹面!a28と、この凹面!1a28
により反射形成された前記平行光線を前記主目盛16方
向に通過することを許容すべく前記リードフレーム30
に形成された切欠き31と、を設けると共に、前記リー
ドフレーム30の前記主目盛16の間の面に、該主目盛
16で反射された前記平行光線を受光する位置に、前記
受光素子26を配置したものである。 前記リードフレーム30、前記発光素子24及び前記受
光素子26は、光透過性樹脂モールド32内に一体的に
モールドされ、且つ、前記凹面鏡28は前記光透過性樹
脂モールド32の一部に設けられた反射膜から構成され
ている。 ここで、前記発光素子24及び受光素子26は、チップ
状の光電素子であって、リードフレーム30にグイボン
ディングされている。 前記参照目I!!120は、第2部材22の、前記光透
過性樹脂モールド32と反対間の面に形成されている。 又、前記主目盛16は、第1部材18における、第2部
材22と対向する面に形成されている。 更に、前記凹面!a28は、前記光透過性樹脂モールド
32の第2部材22と反対側に斜め上方に突出されたレ
ンズ部34の、リードフレーム30と反対間の凸球面に
、金属反射膜を蒸着する等の手段で形成されている。 前記発光素子24、凹面fi28、参照目盛20及び主
目盛16、受光素子26は、発光素子24から射出され
た照明光が、レンズ部34内を通り、凹面鏡28によっ
て反射され、再びレンズ部34を含む光透過性樹脂モー
ルド32、第2部材22及びこの第2部材22に形成さ
れた参照目盛20を透過して、主目盛16に至り、その
目盛面において反射され、再び参照目盛20、第2部材
22を通り、光透過性樹脂モールド32内の受光素子2
6に到達するように配置されている。従って、前記発光
素子24は前記凹面828に向けて図において斜め上向
きとされている。 ここで、前記リードフレーム32の切欠き31は、凹面
鏡28と参照目盛20との間で照明光が蹴られないよう
に形成されている。 又、前記凹面!a28の焦点距離は、発光素子24から
放射方向に射出された光線が、参照目盛20方向に、平
行光線として反射されるように選択されている。即ち、
凹面!a28の円弧部におけるる半径をRとした場合、
該凹面鏡28と前記発光素子24との距離がR/2とな
るようにされている。 前記第2部材22及びこれと一体の発光素子24及び受
光素子26、リードフレーム30及び光透過性樹脂モー
ルド32は、第2図に示されるように、円筒状の外筒4
0に固定されている。 前記発光素子24の入力端子及び受光素子26の出力端
子は、第1図に示されるように、測定回路42に接続さ
れている。この測定回路42は、受光素子26からの出
力信号を処理して、第1部材18と第2部材22の相対
移動距離を算出し、表示器44に出力して、測定値を表
示させるものである。 第1図の符号46はスピンドル48を介して前記第1部
材18に連結された測定子、50はスピンドル48を案
内するためのガイドをそれぞれ示ず、このガイド50は
、前記外筒40に固定保持されるものである。 次に、第3図を参照して、前記発光素子24及び受光索
子26を含む受発光組立体を製造する過程について説明
する。 まず、第3図(A)に示されるリードフレーム30の発
光素子搭載部30A及び受光素子搭載部30Cに、第3
図(B)に示されるように、銀ペースト35を塗布し、
ここに第3図(C)に示されるように発光素子24及び
受光素子26をダイボンディングする。ここで、前記リ
ードフレーム30の発光素子搭載部30Aは、第3図(
B)に示されるように、折曲げ線30Bにおいて発光素
子ボンディング面が斜め上向きとなるように予め折曲げ
られている0次に、グイボンディングされた発光素子2
4及び受光素子26を、リードフレーム30における対
応するインナリード部30Dにワイヤ33によりワイヤ
ボンディングする。ワイヤボンディング終了後は、前記
光透過性樹脂モールド32によって、第3図(D)に示
されるように樹脂モールドする。 次に、リードフレーム30のインナリード部30Dを光
透過性樹脂モールド32から突出した部分で切断し、端
子30Eを形成した後、光透過性樹脂モールド32に前
記第2部材22を接着して!Il!!造を終了する。 この実施例において、発光素子24から射出された照明
光は、レンズ部34内で、凹面a28により反射され、
平行光線となって、光透過性樹脂モールド32内で、リ
ードフレーム30の切欠き31を通り、更に第2部材2
2及び参照目盛20を通り、主1!!!t16に至る。 この主1W16の目盛面で反射された照明光は、再び参
照目盛20、第2部材22を経て光透過性樹脂モールド
32内に入り、ここで、リードフレーム30上の受光素
子26に到達することになる。 受光素子26に到達した照明光の元旦は、第1部材18
と第2部材22の相対変位量に応じて、主目盛16と参
照目盛20の垂なり合いの緑返しによって、増減を繰返
し、その回数に応じて受光素子26は電気信号を測定回
路42に出力し、測定回路42はこれをカウントして、
第1部材18と第2部材22の相対変位量として表示器
44に出力する。 なお、上記実施例において、前記リードフレーム30に
取付けられた発光素子24、受光素子26は、光透過性
樹脂モールド32によって一体的にモールドされ、且つ
この光透過性樹脂モールド33の一部に凹面!a28が
形成されているが、本考案はこれに限定されるものでな
く、光透過性樹脂モールド32を利用しない場合にも適
用され、従って、このような場合は、凹面!a28はリ
ードフレーム30から離間して配置されることになる。 又、凹面128は放物面鐘としてもよい。 更に、上記実施例は、主目盛16と参照目盛20の光学
格子のピッチが同一とされたものであるが、本発明は、
両者のピッチが異なるもの、例えば、主目盛16のピッ
チpに対して、参照目盛20のピッチが2pである、い
わゆるスリーダレイテイングシステムの場合等にも適用
されるものである。 更に又、上記実施例は2つの部材の直線的相対変位を検
出するエンコーダに関するものであるが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、回転角度を検出するロータリ
ーエンコーダにも適用されるものである。
定ピッチの光学格子からなる主目盛16が形成された第
1部材18と、前記主目盛16に対応する光学格子から
なる参照目盛20が形成され、前記第1部材18に対し
て相対移動可能に配置された光透過性材料からなる第2
部材22と、前記主目盛16を照明する発光素子24と
、前記主目盛16で反射され前記参照目盛20を透過し
た前記発光素子24からの照明光を受光して、受光量に
応じた電気信号を出力する受光素子26と、を有してな
り、前記第1部材18と第2部材22の相対変位による
土日lAl6と参照目盛20の重なり合いの緑返しに基
づく、受光素子26の出力信号の変化により、前記第1
部材18と第2部材22の相対変位址を検出する光学式
変位検出器において、前記第2部材22を間にして、前
記第1部材18の反対側にリードフレーム30を配置す
ると共に、このリードフレーム30の、前記第2部材2
2と反対間の面に前記発光素子24を取付け、且つ、前
記発光素子24からの光を前記主目盛16方向に平行光
線として反射する凹面!a28と、この凹面!1a28
により反射形成された前記平行光線を前記主目盛16方
向に通過することを許容すべく前記リードフレーム30
に形成された切欠き31と、を設けると共に、前記リー
ドフレーム30の前記主目盛16の間の面に、該主目盛
16で反射された前記平行光線を受光する位置に、前記
受光素子26を配置したものである。 前記リードフレーム30、前記発光素子24及び前記受
光素子26は、光透過性樹脂モールド32内に一体的に
モールドされ、且つ、前記凹面鏡28は前記光透過性樹
脂モールド32の一部に設けられた反射膜から構成され
ている。 ここで、前記発光素子24及び受光素子26は、チップ
状の光電素子であって、リードフレーム30にグイボン
ディングされている。 前記参照目I!!120は、第2部材22の、前記光透
過性樹脂モールド32と反対間の面に形成されている。 又、前記主目盛16は、第1部材18における、第2部
材22と対向する面に形成されている。 更に、前記凹面!a28は、前記光透過性樹脂モールド
32の第2部材22と反対側に斜め上方に突出されたレ
ンズ部34の、リードフレーム30と反対間の凸球面に
、金属反射膜を蒸着する等の手段で形成されている。 前記発光素子24、凹面fi28、参照目盛20及び主
目盛16、受光素子26は、発光素子24から射出され
た照明光が、レンズ部34内を通り、凹面鏡28によっ
て反射され、再びレンズ部34を含む光透過性樹脂モー
ルド32、第2部材22及びこの第2部材22に形成さ
れた参照目盛20を透過して、主目盛16に至り、その
目盛面において反射され、再び参照目盛20、第2部材
22を通り、光透過性樹脂モールド32内の受光素子2
6に到達するように配置されている。従って、前記発光
素子24は前記凹面828に向けて図において斜め上向
きとされている。 ここで、前記リードフレーム32の切欠き31は、凹面
鏡28と参照目盛20との間で照明光が蹴られないよう
に形成されている。 又、前記凹面!a28の焦点距離は、発光素子24から
放射方向に射出された光線が、参照目盛20方向に、平
行光線として反射されるように選択されている。即ち、
凹面!a28の円弧部におけるる半径をRとした場合、
該凹面鏡28と前記発光素子24との距離がR/2とな
るようにされている。 前記第2部材22及びこれと一体の発光素子24及び受
光素子26、リードフレーム30及び光透過性樹脂モー
ルド32は、第2図に示されるように、円筒状の外筒4
0に固定されている。 前記発光素子24の入力端子及び受光素子26の出力端
子は、第1図に示されるように、測定回路42に接続さ
れている。この測定回路42は、受光素子26からの出
力信号を処理して、第1部材18と第2部材22の相対
移動距離を算出し、表示器44に出力して、測定値を表
示させるものである。 第1図の符号46はスピンドル48を介して前記第1部
材18に連結された測定子、50はスピンドル48を案
内するためのガイドをそれぞれ示ず、このガイド50は
、前記外筒40に固定保持されるものである。 次に、第3図を参照して、前記発光素子24及び受光索
子26を含む受発光組立体を製造する過程について説明
する。 まず、第3図(A)に示されるリードフレーム30の発
光素子搭載部30A及び受光素子搭載部30Cに、第3
図(B)に示されるように、銀ペースト35を塗布し、
ここに第3図(C)に示されるように発光素子24及び
受光素子26をダイボンディングする。ここで、前記リ
ードフレーム30の発光素子搭載部30Aは、第3図(
B)に示されるように、折曲げ線30Bにおいて発光素
子ボンディング面が斜め上向きとなるように予め折曲げ
られている0次に、グイボンディングされた発光素子2
4及び受光素子26を、リードフレーム30における対
応するインナリード部30Dにワイヤ33によりワイヤ
ボンディングする。ワイヤボンディング終了後は、前記
光透過性樹脂モールド32によって、第3図(D)に示
されるように樹脂モールドする。 次に、リードフレーム30のインナリード部30Dを光
透過性樹脂モールド32から突出した部分で切断し、端
子30Eを形成した後、光透過性樹脂モールド32に前
記第2部材22を接着して!Il!!造を終了する。 この実施例において、発光素子24から射出された照明
光は、レンズ部34内で、凹面a28により反射され、
平行光線となって、光透過性樹脂モールド32内で、リ
ードフレーム30の切欠き31を通り、更に第2部材2
2及び参照目盛20を通り、主1!!!t16に至る。 この主1W16の目盛面で反射された照明光は、再び参
照目盛20、第2部材22を経て光透過性樹脂モールド
32内に入り、ここで、リードフレーム30上の受光素
子26に到達することになる。 受光素子26に到達した照明光の元旦は、第1部材18
と第2部材22の相対変位量に応じて、主目盛16と参
照目盛20の垂なり合いの緑返しによって、増減を繰返
し、その回数に応じて受光素子26は電気信号を測定回
路42に出力し、測定回路42はこれをカウントして、
第1部材18と第2部材22の相対変位量として表示器
44に出力する。 なお、上記実施例において、前記リードフレーム30に
取付けられた発光素子24、受光素子26は、光透過性
樹脂モールド32によって一体的にモールドされ、且つ
この光透過性樹脂モールド33の一部に凹面!a28が
形成されているが、本考案はこれに限定されるものでな
く、光透過性樹脂モールド32を利用しない場合にも適
用され、従って、このような場合は、凹面!a28はリ
ードフレーム30から離間して配置されることになる。 又、凹面128は放物面鐘としてもよい。 更に、上記実施例は、主目盛16と参照目盛20の光学
格子のピッチが同一とされたものであるが、本発明は、
両者のピッチが異なるもの、例えば、主目盛16のピッ
チpに対して、参照目盛20のピッチが2pである、い
わゆるスリーダレイテイングシステムの場合等にも適用
されるものである。 更に又、上記実施例は2つの部材の直線的相対変位を検
出するエンコーダに関するものであるが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、回転角度を検出するロータリ
ーエンコーダにも適用されるものである。
本発明は、上記のように構成したので、反射型の光学式
変位検出器においても、発光素子及び受光素子をリード
フレームに取付けて構成することができ、従って、製造
コストの低減、設計、製造の自由度の増大を図ることが
できるという優れた効果を有する。
変位検出器においても、発光素子及び受光素子をリード
フレームに取付けて構成することができ、従って、製造
コストの低減、設計、製造の自由度の増大を図ることが
できるという優れた効果を有する。
第1図は本発明に係る光学式変位検出器の実施例を示す
一部ブロック図を含む斜視図、第2図は第1図の■−■
線に沿う拡大断面図、第5図(A)、(C)、<D)は
同実施例における発光素子及び受光素子組立体の製造過
程を示す平面図、第3図(B)、(E)は同断面図、第
4図は本出願人による先行出願における光学式変位検出
器の実施例を示す断面図である。 16.17・・・主目盛、 18・・・第1部材、 20・・・参照目盛、2
2・・・第2部材、 24・・・発光素子、26
・・・受光素子、 28・・・凹面鏡、30・・
・リードフレーム、 31・・・切欠き、 32・・・光透過性樹脂モールド。
一部ブロック図を含む斜視図、第2図は第1図の■−■
線に沿う拡大断面図、第5図(A)、(C)、<D)は
同実施例における発光素子及び受光素子組立体の製造過
程を示す平面図、第3図(B)、(E)は同断面図、第
4図は本出願人による先行出願における光学式変位検出
器の実施例を示す断面図である。 16.17・・・主目盛、 18・・・第1部材、 20・・・参照目盛、2
2・・・第2部材、 24・・・発光素子、26
・・・受光素子、 28・・・凹面鏡、30・・
・リードフレーム、 31・・・切欠き、 32・・・光透過性樹脂モールド。
Claims (2)
- (1)一定ピッチの主目盛が形成された第1部材と、前
記主目盛に対応する参照目盛が形成され、前記第1部材
に対して相対移動可能に配置された光透過性材料からな
る第2部材と、前記主目盛を照明する発光素子と、前記
主目盛で反射され前記参照目盛を透過した前記発光索子
からの照明光を受光して、受光量に応じた電気信号を出
力する受光素子と、を有してなり、前記第1部材と第2
部材の相対変位による主目盛と参照目盛の重なり合いの
繰返しに基づく、受光素子の出力信号の変化により、前
記第1部材と第2部材の相対変位量を検出する光学式変
位検出器において、前記第2部材を間にして、前記第1
部材の反対側にリードフレームを配置すると共に、この
リードフレームの、前記第2部材と反対側の面に前記発
光素子を取付け、且つ、前記発光索子からの光を前記主
目盛方向に平行光線として反射する凹面鏡と、この凹面
鏡により反射形成された前記平行光線を前記主目盛方向
に通過することを許容すべく前記リードフレームに形成
された切欠きと、を設けると共に、前記リードフレーム
の前記主目盛の間の面に、該主目盛で反射された前記平
行光線を受光する位置に、前記受光素子を配置してなる
光学式変位検出器。 - (2)前記リードフレーム、前記発光素子及び前記受光
素子は、光透過性樹脂モールド内に一体的にモールドさ
れ、且つ、前記凹面鏡は前記光透過性樹脂モールドの一
部に設けられた反射膜から構成された特許請求の範囲第
1項記載の光学式変位検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25519987A JPH0197814A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 光学式変位検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25519987A JPH0197814A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 光学式変位検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0197814A true JPH0197814A (ja) | 1989-04-17 |
Family
ID=17275403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25519987A Pending JPH0197814A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 光学式変位検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0197814A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536314U (ja) * | 1990-12-25 | 1993-05-18 | 株式会社ミツトヨ | 光学式測定装置 |
US9669475B2 (en) | 2012-11-21 | 2017-06-06 | Dcseng Co., Ltd. | Chamfering machine for providing optimal operation condition during operation of cutting surface of circular material and surface cutting method |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP25519987A patent/JPH0197814A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536314U (ja) * | 1990-12-25 | 1993-05-18 | 株式会社ミツトヨ | 光学式測定装置 |
US9669475B2 (en) | 2012-11-21 | 2017-06-06 | Dcseng Co., Ltd. | Chamfering machine for providing optimal operation condition during operation of cutting surface of circular material and surface cutting method |
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