JPH0192064A - 片面研磨装置 - Google Patents

片面研磨装置

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JPH0192064A
JPH0192064A JP62246065A JP24606587A JPH0192064A JP H0192064 A JPH0192064 A JP H0192064A JP 62246065 A JP62246065 A JP 62246065A JP 24606587 A JP24606587 A JP 24606587A JP H0192064 A JPH0192064 A JP H0192064A
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Japan
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holding plate
polishing
worked
plate
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JP62246065A
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Hideo Kawakami
川上　英雄
Shinichi Tazawa
田澤　進一
Osamu Yoneya
米屋　修
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Shibaura Machine Co Ltd
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Toshiba Machine Co Ltd
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はガラス基板やディスク等の研磨装置に係るもの
で、特に枚葉式の片面研磨装置に間する。
（従来の技術） 大口径のガラス基板やディスク等を研磨する装置として
は片面を保持プレートで保持し、他面を研磨する枚葉式
の研磨装置がある。
ところで、この枚葉式の研磨装置においては、研磨定盤
の内外周の周速差、すなわち、研磨速度の差が大きいた
め、被加工物を均一に研磨することができない。
そこで、従来においては、第３図に示すように、定盤ａ
上で被加工物すを支点Ｃを中心としてθの範囲で揺動さ
せることにより加工速度差を小さくして研磨するように
している。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来においては、被加工物すを揺動させ
ていたため、被加工物すの大きさに対し定盤ａのサイズ
が大きくなり装置が大形化するという問題があった。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するため、被加工物の一面側
を保持し回転する保持手段とこの保持手段に保持された
被加工物の他面側に対向接触し回転することにより研磨
する複数個の定盤とからなることを特徴とするものであ
る。
（作　用） 被加工物に複数個の定盤を対向接触させて回転すること
により、定盤面内での加工速度差を小さくできるように
した。
（実施例） 以下、本発明を第１図および第２図に示す一実施例を参
照して説明する。
第１図は研磨装置を示す概略的構成図である。
図中１はガラス基板等の被加工物で、この被加工物１は
上面側が保持手段としての保持プレート２により保持さ
れ、下面側が２個の定盤３．４に押し付けられている。
前記保持プレート２は軸５の下端部に固着され、前記軸
５はプーリ６の内部に昇降自在に挿入されている。上記
プーリ６はフレーム９に回転自在に支持されている。ま
た、上記軸５の上端部はジヨイント７を介してシリンダ
８に回転自在に連結されている。上記シリンダ８は電磁
弁１８を介して図示しない圧力源、例えばエア源に接続
されている。
また、上記定盤３，４はその定盤中心が常に被加工物１
の面内にあって被加工物１に研磨されない部分が残らな
いようにするために大きさを変えである。なお、上記被
加工物１の中心は保持プレート２の中心に一致させであ
るとともに定盤３゜４の加工面３ｂ、４ｂは同一平面と
なっている。
しかして、被加工物１を研磨する場合には、まず、被加
工物１を保持プレート２に取付はセットする。この被加
工物１の取付方法としては真空吸着、水張りバット等に
よるワックスレス方法、接着剤（ワックス）による方法
など種々の方法がある。
このように、被加工物１をセットしたのちは、電磁弁１
８を動作させてシリンダ８のヘッド側接続口８ａを図示
しないエア源に連通させる。これにより、シリンダ８の
ロッド８Ｃが下降されてジヨイント７および軸５を介し
て保持プレート２が下降され、被加工物１の加工面が下
定盤３，４の上面３ａ、４ａに接すると停止する。しか
るのち、図示しない供給装置により研磨剤を供給しなが
ら図示しない駆動源によりプーリー６およびプーリー１
７を回転させる。
上記プーリー６の回転により軸５を介して保持プレート
２が回転され、また、上記プーリー１７の回転により軸
１６、歯車１５，１３．１４、軸１１．１２を介して定
盤３．４が回転される。この保持プレート２および下定
盤３．４の回転速度は適切な値に設定され、また研磨荷
重はシリンダ８のボート８ａ、３ｂに導入されるエア圧
力の調整により設定され、所定時間研磨する。
このようにして、所定時間の研磨加工を終了すると、保
持プレート２、下定盤３．４の回転を停止し、研磨剤の
供給を、止める。また、シリンダ８のボート８ｂに操作
圧力を導入し、保持プレート２を上昇させて研磨工程を
終了する。
上述したように、２個の定盤３，４により被加工物１を
研磨するため、被加工物面内の加工速度差が小さくなる
。したがって、被加工物を揺動させる必要がなく、機械
の小形化ができ、省スペースに貢献できる。
なお、上記一実施例においては定盤を２個用いたが、３
ａ１以上用いるようにしてもよい。
また、定盤の回転速度比、回転方向については歯車列の
構成により変化をもたせることができる。
さらに、保持プレート２と定盤３．４の位置を逆の関係
にしてもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、被加工物面内の
加工速度差が小さくでき、従来のように被加工物を揺動
させる必要がない。したがって、定盤を大形化する必要
がなく、コンパクトな装置を提供することができるとい
う効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例である研磨装置を示す概略的
縦断面図、第２図は第１因中Ａ−Ａ線に沿って示す平面
図、第３図は従来例を示す平面図である。 １・・・被加工物、２・・・保持プレート（保持手段）
、３．４・・・定盤。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　被加工物の一面側を保持し回転する保持手段とこの保
    持手段に保持された被加工物の他面側に対向接触し回転
    することにより研磨する複数個の定盤とからなることを
    特徴とする片面研磨装置。
JP62246065A 1987-09-30 1987-09-30 片面研磨装置 Expired - Fee Related JP2552306B2 (ja)

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