JPH0184053U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0184053U JPH0184053U JP1987179150U JP17915087U JPH0184053U JP H0184053 U JPH0184053 U JP H0184053U JP 1987179150 U JP1987179150 U JP 1987179150U JP 17915087 U JP17915087 U JP 17915087U JP H0184053 U JPH0184053 U JP H0184053U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen concentration
- view
- green sheet
- concentration detecting
- flat part
- Prior art date
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- Granted
Links
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- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案の酸素濃度検出素子の第１実施
例の平面図、第２図は第１図の素子の酸化物半導
体及びＰｔ電極を形成したセラミツクスグリーン
シート面を示す平面図、第３図は第１図の素子の
Ｐｔヒータを形成したセラミツクスグリーンシー
ト面を示す平面図、第４図は第１図の素子の正面
図、第５図は第１図の素子の右側面図、第６図は
本考案の素子の第２実施例の正面図、第７図は本
考案の素子の第３実施例の正面図、第８図は第７
図の素子の右側面図、第９図は従来の酸素濃度検
出素子の一例のセラミツクスグリーンシートをセ
ラミツクス製支持体へ被覆する工程を示す斜視図
、第１０図は第９図の素子のヒータ及びリード線
を形成したセラミツクスグリーンシートの平面図
、第１１図は第９図の素子の酸化物半導体及びリ
ード線を形成したセラミツクスグリーンシートの
平面図である。 図中、１……酸素濃度検出素子、２……セラミ
ツクス製支持体、３，１２……窓、４，５，１８
……セラミツクスグリーンシート、６……リード
線保護用シート、７，１７……ヒータ、８……ヒ
ータ部、９，１５……酸化物半導体、１０……感
応部、１１，１９，２０……リード線、１３……
円柱状支持体、１４……平面部、１６……電極、
２１……保護層、２２……傾斜部。
例の平面図、第２図は第１図の素子の酸化物半導
体及びＰｔ電極を形成したセラミツクスグリーン
シート面を示す平面図、第３図は第１図の素子の
Ｐｔヒータを形成したセラミツクスグリーンシー
ト面を示す平面図、第４図は第１図の素子の正面
図、第５図は第１図の素子の右側面図、第６図は
本考案の素子の第２実施例の正面図、第７図は本
考案の素子の第３実施例の正面図、第８図は第７
図の素子の右側面図、第９図は従来の酸素濃度検
出素子の一例のセラミツクスグリーンシートをセ
ラミツクス製支持体へ被覆する工程を示す斜視図
、第１０図は第９図の素子のヒータ及びリード線
を形成したセラミツクスグリーンシートの平面図
、第１１図は第９図の素子の酸化物半導体及びリ
ード線を形成したセラミツクスグリーンシートの
平面図である。 図中、１……酸素濃度検出素子、２……セラミ
ツクス製支持体、３，１２……窓、４，５，１８
……セラミツクスグリーンシート、６……リード
線保護用シート、７，１７……ヒータ、８……ヒ
ータ部、９，１５……酸化物半導体、１０……感
応部、１１，１９，２０……リード線、１３……
円柱状支持体、１４……平面部、１６……電極、
２１……保護層、２２……傾斜部。
Claims (1)
- セラミツクス製円柱状支持体に円柱軸方向に平
面部を設け、該平面部上に酸素濃度検出部、電極
及びヒータを形成したセラミツクスグリーンシー
トを積層したことを特徴とする抵抗検出型酸素濃
度検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17915087U JPH0522859Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17915087U JPH0522859Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184053U true JPH0184053U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0522859Y2 JPH0522859Y2 (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=31470730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17915087U Expired - Lifetime JPH0522859Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0522859Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017159144A1 (ja) * | 2016-03-16 | 2018-03-22 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP17915087U patent/JPH0522859Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017159144A1 (ja) * | 2016-03-16 | 2018-03-22 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0522859Y2 (ja) | 1993-06-11 |