JPH01502279A - 加熱状態にあるクラスター用のキャリアガス供給源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 加熱状態にあるクラスター用のキャリアガス供給源発明の背景 本発明は薄型フィルムの付着、特にクラスタービーム用の供給源に関する。

基体への薄型フィルムの付着は重要な工程であり、また種々の分野においてその 手段が探求されている。例えばマイクロ電子装置は、構造の特殊な電子特性を獲 得するために連続するフィルム層を基体上に付着させることによって生成される 。ビジコンおよび太陽電池等の光感応性装置は光感応性材料のフィルムを基体上 に設けることによって生成される。レンズの光学特性は、フィルムをそれらの基 体上に付着させることによって改善される。もちろんこれらの例示は、何千もの 薄型フィルム付着技術の適用の僅かなものである。

高品質フィルムが必要な用途の特性である薄型フィルムの付着のための高度に制 御された方法において、フィルムは単一層のフィルムを順次付着させることによ って形成され、各層は１個の原子の厚さである。原子論の関係において、付着処 理技術が最もよく考えられることができる。一般にこのような処理において、僅 かな汚染物質群または汚染原子が必要とされる高品質フィルムの付着を著しく妨 げることさえあるため、基体表面は注意して清浄にしなければならない。それか らフィルムの材料が蒸気付着、電子ビーム蒸着、スパッタリング、または化学蒸 気付着等の多様な適用に対して開発された多数の技術の１つによって付着される 。

薄型フィルムを付着させるその他の技術において、原子のイオンクラスターがク ラスター付着装置の中に形成される。

これらのクラスターは、それぞれ通常約１０００〜２０００個の原子を有する。

クラスターはイオン化され、それから加速電圧とクラスターのイオン化レベルの 積に等しいエネルギをクラスターに与える電位によって基体ターゲットに向かっ て加速される。基体の表面に達すると、クラスター、は衝撃で分解して原子にな り、表面上を自由に移動する。分解の後に残った各原子片は、クラスター中の原 子数で割ったクラスターの合計エネルギに等しいエネルギを有する。したがって 分解する前のクラスターは比較的高い質量とエネルギを有し、一方分解した後に 残った各原子はそれぞれ比較的低い質量とエネルギを有する。表面に付着された 原子のエネルギにより原子は表面上で移動できるため、表面にある歪みまたはホ ールに移動することがで、きる。付着した原子が不完全部分に入って来るため、 不完全部分が除去され、フィルムの完全性および密度を高める。クラスターを使 用した他の方法が開発されており、クラスタービームを使用した薄型フィルム付 着は有望な実用的フィルム製造技術である。

クラスターを生成するクラスター供給源は、クラスタービーム付着装置の重要な 素子である。クラスター供給源は、選択された寸法範囲で大量のクラスター流を 生成し、高いクラスター形成効率を有すべきである。すなわちクラスタービ一部 分を有するべきである。そうでない場合にはクラスターを使用する有効性が損わ れるかもしれない。クラスター源は、クラスタービームに適切なエネルギ状態の クラスターを供給するべきである。

ある型のクラスター供給源はキャリアガスクラスター供給源であり、クラスター に濃縮される原子流がるつぼからガス混合室へ放出される。ガス混合室において キャリアガスは原子流と混合され、過飽和に達するまで原子の動作を抑制してク ラスターを形成する。供給源から出てくるクラスターは真空室中に入り、イオン 化されてターゲットに向けて加速される。

キャリアガスクラスター供給源は、表面成長クラスター供給源に対して２つの重 要な利点を有し、別の最も重要な型の供給源である。キャリアガスクラスター供 給源は非常に高いクラスター形成効率を有し、結果的に原子よりもクラスターで あるクラスタービームの質量の比率が高くなる。次にキャリアガスクラスター供 給源は、耐熱金属等の非常に高い融解点を有する材料のクラスタービームを形成 するために使用されることができるが、表面成長クラスター供給源では不可能で ある。

しかしながら、通常のキャリアガスクラスター供給源を使用して付着されたフィ ルムはきめが粗くて表面がざらざらする傾向があることが実験的に観察されてき ている。結果として、フィルムはマイクロ電子装置等の多数の型の必要な適用に 対して使用することができない。キャリアガスクラスター供給源によって現在行 われている効率および適用の多様性における有効性を保持しながら、このような 装置から得られる付着フィルムの品質を改善することが望ましい。本発明はこの 必要性を十分溝たし、さらに関連される効果をもたらすも本発明は、高品質のフ ィルムを基体上に付着させるために調整されたクラスターを生成する修正された キャリアガスクラスター供給源を提供する。形成プロセスは実質的に変化しない ため、供給源はクラスター形成の高い実効性を保持する。

供給源はまた高温材料のクラスターを生成することができる。

修正された構造は既存のクラスター付着システムに十分適合し、経済的に構成さ れることができる。

本発明によると、クラスターをターゲットに供給するためのキャリアガスクラス ター供給源はクラスタービームを発生するビーム源手段を含み、ビーム源手段は 原子ビームとガス混合物を放出−する気化供給源を含み、キャリアガスは原子ビ ームと混合してキャリアガス流と混合された原子のクラスターを有するクラスタ ービームを形成する。調整手段は実質的にクラスターの全てが液体状態になるよ うにクラスタービームを調整する。また伝達手段は実質的にターゲットに衝突す る前のクラスターは全て液体状態であるように、調整されたクラスタービームの クラスターをターゲットに伝達する。

好ましい実施例において、キャリアガスクラスター供給源はガス混合室とクラス ター材料の原子流を混合室に放出するるつぼとを有するビーム源を含み、原子流 とキャリアガスが混合されるため、キャリアガスと混合されるクラスター材料の クラスタービームが形成される。ビーム供給源を出た後、クラスタービームおよ びキャリアガスはドリフトチューブを通過する。ドリフトチューブはヒータで加 熱される。ドリフトチューブを出た後、クラスタービームおよびキャリアガスは ノズルを通過する。

従来のキャリアガスクラスター供給源によって生成されるクラスタービーム、お よびこのようなりラスタービームがターゲットに衝突したときに生成されるフィ ルムの研究は、少なくともビーム中のクラスターの一部分が固体状態であること を示す。ここで使用される用語では固体状態においてとは、物質が濃縮されてク ラスターになり、ざらにバルクの固体材料の結晶特性を示すことを言う。明かに このような固体クラスターがターゲットに衝突したときに、クラスターは分解し て所望の方法で表面に原子を分散することはない。その結果、固体クラスターは フィルムに対して粒子の粗い表面構造を残す。さらにクラスター付着が続けられ ても、粒子の粗さが残りフィルムの品質が低下する。

キャリアガスクラスター供給源におけるクラスターの形成は、流動ガスの流れが 蒸気供給源から放射された蒸気を急冷するときに発生するため、蒸気がガス流に おいて過飽和状態になりクラスターを形成する。冷却は、低いガス温度で急速に 発生しなくてはならない。そうしないとクラスターは望ましくない小さい大きさ にしか成長しない。比較的低い温度でのガス冷却によるもう１つの結果は、クラ スターが固体の結晶特性を示すことである。

本発明において、クラスターはその形成の後、液体状態に調整される。ここで使 用されるような“液体状態”とは、バルクの液体について類推できるように実質 的に結晶構造が存在しない物質の濃縮された状態を示す技術用語である。

クラスター調整に対する１つの方法はそれらの温度を上昇することであり、この 場合温度はクラスターにおける原子の不規則な運動エネルギを生じ、クラスター がターゲットに移動するときの方向運動エネルギではない。この増加されたエネ ルギはクラスターが低温で結晶になる傾向を克服する。好ましい実施例において １．クラスターは、結晶が消滅してクラスターが液体状態になる温度までクラス ターを加熱するのに十分高い温度に維持されている拡散チューブを通過される。

加熱は、拡散チューブ内のクラスターと混゛合されたキャリアガスの存在によっ て促進される効果的な熱伝導人プロセスによって達成される。

実質的にクラスターの全てがこの液体状態に調整される゛が、いくつかの非常に 大きいクラスターは結晶体を除去するほど十分には加熱されない。このような大 きいクラスターは、それらがターゲットに達したならば、望ましくないきめの粗 さを引き起こす。しかしながら実際には非常に大きいクラスターは質量分離器に よってクラスタービームから除去され、フィルムの品質には問題がない。

クラスターが適切な非結晶状態に調整された後、それらはターゲットに衝突する までこの状態で保存されていなくてはならない。こような保存を達成する伝達手 段は、大部分のキャリアガスをビームから分離して除去する。キャリアガスが除 去されることにより、クラスターが隣接する真空中を進む。

このような真空において、クラスターからの伝導および対流による熱損失がほと んど回避される。真空中の小さいクラスターからの放射熱損失もまた小さい。調 整手段で得られたクラスターの温度状態は、クラスターが真空で、もし設けられ ているならば連続的なイオン化、質量分離器、加速器および集束部品を通過する ときに保持される。ターゲットに達したクラスターは、温度と非結晶、すなわち 調整手段で設定されたゆるい束縛状態を維持する。

換言すると、本発明はターゲットに衝突する高品質のクラスタービームを提供す る処理において具体化されたものであり、キャリアガスを原子流と混合すること によってクラスタービームを形成するステップと：実質的にクラスターの全てが 液体状態であるようにクラスタービーム中のクラスターを調整するステップと； 調整されたクラスタービームをターゲットに伝送し、クラスターの実質上全てが ターゲットに衝突する前は実質的に液体状態であるようにするステップとを含む 。

本発明のクラスター供給源は、キャリアガスクラス、ター供給源の技術において 重要な進展をもたらすことが理解されるであろう。クラスター形成の高い効率性 および従来のキャリアガスクラスター供給源の多様性は保持されるが、さらにク ラスターは非結晶の、液体状態に調整されるため、付着されたフィルムは滑らか であり、結晶クラスターの付着のようなきめの粗さおよびその他特有の欠点を持 たない。したがって本発明において、キャリアガスクラスター供給源は他のクラ スター供給源に置換して使用されることができる。本発明のその他の特徴および 利点は、以下のさらに詳細な説明および例示によって本発明の原理を示す添付図 面から明かになるで第１図はキャリアガスクラスタービーム付着装置の概略図で あり、 第２図は本発明によるキャリアガスクラスター供給源の側面の断面図である。

好ましい実施例の説明 本発明が適用されるシステムのタイプを説明するために、典型的なりラスタービ ーム付着装置ｌＯが第１図に示されている。付着装置ｌＯはクラスタービーム１ ４を生成するクラスター供給源１２を含む。クラスタービーム１４は、種々の大 きさのクラスターおよび若干のクラスターにならない原子から構成されている。

ビーム１４のクラスターおよび原子は、通常各クラスターおよび原子に単一電荷 を与えるように調節されるイオン化装置１Ｂにおいてイオン化される。すなわち ２０００個の原子を有するクラスターは、単一原子と同じように単一の電荷だけ を有する。

狭い寸法範囲内のクラスターだけがターゲット１８に到達することが望ましい。

したがってビーム１４は、選択された寸法よりも著しく大きいまたは小さいクラ スターを分離し、はぼ所望の寸法のクラスターだけをターゲット１８に到達させ る質量分離器２０を通過する。最終的にクラスタービーム１４は加速電極２１に よって付勢され、その後レンズおよび偏向プレート２２により集束されて偏向さ れるため、クラスターのパターンをターゲット１８の表面上に描くこともできる 。付着装置全体は、ターゲットおよびクラスタービームを真空状態に維持する真 空室２４中に配置されている。

本発明はクラスター供給源として具体化され、改善されたクラスター供給源３０ は第２図に示されている。クラスター供給源３０はクラスターとしてターゲット １８に伝送される供給材料３４を位置させるるつぼ３２を含む。この供給材料は 金属でも非金属でもよい。るつぼ３２および供給材料３４はいずれかの適切な手 段によって加熱され、ここではその手段がるつぼ３２の周囲の抵抗巻線３６とし て示されている。供給材料３４の蒸気を外に出す孔３８を除いて、るつぼ３２は 密封された容器である。

るつぼ３２はその温度を維持し、供給源３０の他の部分の加熱を防ぐために熱遮 蔽体４０によって包囲されている。

るつぼ３２から気化された材料の蒸気は孔３８、熱遮蔽体４０の開口４２を通過 し、その壁がほぼ周辺温度に維持されているガス混合室４４中に至る。キャリア ガスの流れはガス入口４６からガス混合室４４中に別に導入される。気化された 蒸気はるつぼ３２からの気化によって決定された温度である。キャリアガス温度 は気化された蒸気の温度よりもかなり低く＜、典型的には周辺温度であるため、 蒸気とキャリアガスがガス混合室４４において混合して比較的小さい容積のクラ スターの形成を促進する場合に、蒸気原子は急速に冷却して飽和状態に至る。

そうしないとクラスターの寸法は非常に小くなる。はとんどの場合、１つのクラ スターについて約２０００個の原子よりなるクラスターが好ましいため、これは 望ましい結果ではない。

クラスター形成のために急速に蒸気を冷却することが、クラスターを低温にする 。すなわちクラス久−がターゲット１８に衝突したときに、本発明を使用しなけ れば容易に分解しない結晶または一部結晶骨造を有する濃縮された集合体となっ ている。

混合室４４において種々の寸法のクラスターが気化された質量の一部から形成さ れ、一方気化したもののいくらかが非クラスター原子として残る。気化原子、ク ラスターおよびキャリアガスは、混合されてガス入口から流れ出て真空室２４の 真混合ビーム４８は、抵抗加熱器５２によって外側を加熱される中空の円筒チュ ーブであるドリフトチューブ５０に入る。混合ビーム４８がドリフトチューブ５ ０を通過するときに、クラスターは実質的にクラスターの全てが液体状態に変化 するように調整される。クラスターの加熱は、はとんどが混合キャリアガスの媒 体を通ってドリフトチューブ５０の加熱された壁からの伝導熱または対流によっ て行われる。

クラスターを液体または無秩序状態にするために必要な温度は、クラスターを構 成している材料の融解温度ではない。

それらの寸法は非常に小さいため、クラスターは典型的に融解温度よりもかなり 低い温度に加熱されるとすぐに液体になる。例えば約１０００個の原子の金属ク ラスターは融解温度の約２／３の温度で液体になることが予想され、１００個の 原子の金属クラスターは融解温度の約１７２の温度で液体になると考えられる。

したがってクラスターがドリフトチューブ５０を通過するときに得られなければ ならない必要温度はクラスターの材料およびターゲットに衝突するクラスターの 寸法によって決定される。ドリフトチューブ５０の最高温度は、はぼクラスター を液体化するために必要な温度に維持されることが好ましい。これはより高い温 度ではクラスターから原子が再び気化するためである。

特有の調整に必要なドリフトチューブ動作温度は１組の試験により決定されるこ とが最良であり、それにおいてクラスターの結晶は回折手段により飛翔中に測定 され、または動作温度が次第に上昇されるとき付着されたフィルムの品質を観察 することによって連続的に測定される。

ドリフトチューブ５０はクラスターを加熱するのに十分長くなければならないが 、クラスターがドリフトチューブの内壁に小滴を付着させるほど長くてはならな い。必要とされる最少の長さは、ドリフトチューブ５０の直径、クラスターの最 初の温度および必要な最終温度、クラスターの性質、り、ラスターの寸法、キャ リアガスの特性およびキャリアガスの流速に応じて定められる。２０００個の原 子の銀クラスターに対する近似的な計算は、最初に周辺温度でかつ最後に１０１ ００Ｏで、１０００ｍ／秒の流速を有するアルゴンガスにおいて行われた。

ドリフトチューブの壁に隣接するクラスターは約０．１ｃｕ＋内で壁の温度に達 し、クラスターの残りに対する熱の拡散はドリフトチューブの直径にほぼ等しい 距離を必要とする。したがって壁の平歯温度に達するために、チューブを通過す るクラスターに対するドリフトチューブ５０の最少の長さはドリフトチューブの 直径に等しいものと決定される。

チューブの最大の長さは、加熱された壁面のクラスター材料の小滴が濃縮される ことによって制限される。同様のシステムにおけるクラスター〇濃縮の観察に基 くと、この最大の長さはチューブの直径の約５倍と考えられる。

したがって最適な安定状態動作のためには、ドリフトチューブ５０の長さがドリ フトチューブの直径の約１乃至５倍であるべきであると考えられる。これらの設 計パラメータは、現在の好ましい方法および実施例を反映するものであり、臨界 的な制限とは考えられない。

クラスターがドリフトチューブ５０を通過して適切な温度に調整された後、それ らは真空室２４のポンプ能力が過剰負荷されないように、またキャリアガスがで きるだけ多くクラスタービーム１４から分離され除去されて真空室の真空に導入 されなくてはならない。クラスターガスはドリフトチューブ５０において調整さ れたクラスターの実質的な冷却を防ぐために分離されなくてはならない。キャリ アガスの存在は加熱されたドリフトチューブにおいて伝導および対流によりクラ スターへの熱伝達を促進するから、もし存在するならばそれらが同じメカニズム によってクラスター源３０からターゲット１８に移動する間にクラスターからの 熱の除去を促進する。キャリアガスがクラスタービーム１４から除去されること により、熱伝導および対流によるクラスターからの熱損失は実質的に避けられる 。小さいクラスターからの放射による熱損失が小さいため、クラスターの全熱損 失はそれらがターゲットに進行するあいだ無視することができる。

キャリアガスは、ドリフトチューブ５０の下流に位置されるノズル５４を通るク ラスタービームを拡大することによってクラスタービームから分離されて除去さ れる。拡大する際に、重いクラスターの軌道は著しく変化されないので、クラス ターは不変のままである。反対にキャリアガスの軽い原子または分子の軌道は、 速やかな拡大により急速に外側に屈折される。予め均一に混合されたクラスター およびキャリアガスは、それによって分布の中心に主としてクラスターを有する 放射状の分布になる。

変化されたビーム分布により、キャリアガスの原子または分子は複数の技術のい ずれによってもビームから除去されることができる。好ましい方法は、ビームす なわちギヤリアガスの半径方向外側部分を屈折するスキマー５６を設けて、屈折 されたキャリアガスをポンプポート５８に向けることである。

スキマー５８の方法はクラスターからキャリアガス全てを除去するとは考えられ ないが、クラスターからの連続的な熱損失を許容可能な低レベルまで減少するた めに十分大量のキャリアガスを除去することにおいて有効である。

クラスター供給源３０から放出されるクラスタービーム１４は、上記に示された 方法で付着装置の残りの部分を通って処理される。クラスターの液体状態は変化 しないか、もしくはイオナイザ１６、量子分離器２０、加速装置２１または偏向 板２２の機能を妨げることはない。

クラスター供給源３０の動作において、キャリアガスの流速は高いクラスター形 成効率を維持するために動作パラメータとして制御されなくてはならないため、 るつぼ３２からかなりの量の気化された材料がクラスターとして伝送される。ド リフトチューブ５０からの熱は上流（マスと反対側）のガス混合室４４の方向に 拡散する傾向がある。この熱拡散は気化原子とキャリアガスとの混合温度を上昇 させ、クラスター形成の効率を減少させる。他方キャリアガスの質量流動により 熱が下流方向に伝送される。したがってガス流の速度を動作する最少の安定状態 は、上流および下流の熱拡散率を等しくすることによって大体計算することがで きる。前述の動作パラメータのために必要なガスの流速は、システムの能力の範 囲内である約１４０　ｃｍ／秒であると推測される。キャリアガス流がもっと低 速度である場合にはガス混合室４４の方向の上流方向に実質的な熱流動があると 予想され、これは混合温度を上昇しクラスター形成効率を減少することによって 安定状態動作を損う。

上流の熱流動の問題は、クラスター供給源をパルス的に動作させることによって 軽減または回避されることができる。

混合室４４とドリフトチューブ５０との間に位置された冷却チューブ６０のよう な任意の冷却手段で上流への熱流動を遮断することにより、低いキャリアガス流 動速度で継続的に供給源を動作することができる。冷却チューブ６０は熱を取り 除くことによりドリフトチューブ５０と逆の方法で動作し、そうでなければ上流 の混合室４４へ拡散する熱をガス流から冷却された壁に伝える。

特定の例示において、銀をるつぼ３２の中に位置して気化された原子の流れを放 出するために約１５００°Ｋまでるつぼ３２を加熱することにより、約４０オン グストロームの直径の銀クラスターが生成される。周辺温度のアルゴンガスは、 約０６５トルの圧力で約１５０ｃｍ　／秒の流速で導入され、混合室４４におい て銀蒸気と混合された。ドリフトチューブは０．８ｃｏ＋の直径と２ｃｒｎの長 さを有し、約８３０°Ｋ（融点の２／３）で維持された。供給源３０を離れるク ラスターは完全に液体であると考えられる。

したがって本発明の改善されたクラスター供給源は、キャリアがスフラスター供 給源を使用し、クラスターが液体であり実質的に結晶構造を持たない温度にクラ スターを調整することによって形成されるフィルムの品質を改善する。クラスタ ー供給源は高いクラスター形成効率および従来のクラスター供給源の多様性を保 持し、一方フィルムの品質を著しく改善する。

本発明の特有の実施例が説明のために詳細に記載されているが、本発明はその技 術的範囲から逸脱することなく多様に修正されてもよい。したがって本発明は、 添付された請求の範囲によってのみ制限されるものである。

国際調査報告 ｍ−１＾−内−”’　ＰＣＴ／υＳ　８８１００１１８国際調査報告 ＵＳ　８８００１１８

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. （１）キャリアガスがキャリアガス流と混合された原子のクラスターを有するク ラスタービームを形成するために原子のビームと混合されて原子とガスの混合物 のビームを放出する気化供給源を含むクラスタービームを発生するためのビーム 源手段と、 実質的にクラスターの全てが液体状態であるようにクラスタービームを調整する 調整手段と、 実質的にクラスターの全てがターゲットに衝突する前は液体状態であるように、 調整されたクラスタービームのクラスターをターゲットに伝送する伝送手段とを 具備しているクラスターをターゲットに供給するキャリアガスクラスター供給源 。
2. （２）前記調整手段は、クラスターの温度を調節する手段を含む請求項１記載の クラスター供給源。
3. （３）前記調整手段は、クラスタービームが通過するドリフトチューブである請 求項１記載のクラスター供給源。
4. （４）前記調整手段は、前記ドリフトチューブ用のヒーターを含む請求項３記載 のクラスター供給源。
5. （５）前記気化供給源は、ヒーターを具備し原子のビームを放出するための孔を 有するるつぼである請求項１記載のクラスター供給源。
6. （６）前記伝送手段は、クラスタービームからキャリアガスの少なくとも一部分 を除去する手段を含む請求項１記載のクラスター供給源。
7. （７）前記伝送手段は拡大ノズルを含む請求項１記載のクラスター供給源。
8. （８）前記伝送手段は、クラスタービームからキャリアガスの一部分を除去する スキマーを含む請求項１記載のクラスター供給源。
9. （９）ガス混合室、およびクラスター材料の原子流を前記混合室の中に放出する るつぼを含み、キャリアガスと混合されたクラスター材料のクラスタービームが 形成されるように原子流とキャリアガスとを混合するビーム源と、前記ビーム源 を離れた後でクラスタービームおよびキャリアガスが通過するドリフトチューブ と、前記ドリフトチューブを加熱するヒーターと、前記ドリフトチューブを出た 後、クラスタービームおよびキャリアガスが通過するノズルとを具備しているキ ャリアガスクラスター供給源。
10. （１０）前記ドリフトチューブの長さは、前記ドリフトチューブの直径の約１乃 至５倍である請求項９記載のクラスター供給源。
11. （１１）前記ドリフトチューブに入る前にクラスタービームおよびキャリアガス が通過する冷却チューブを具備し、この冷却チューブは前記ドリフトチューブと 前記ビーム源との間に位置している請求項９記載のクラスター供給源。
12. （１２）キャリアガスを原子流と混合することによってクラスタービームを形成 し、 実質的にクラスターの全てが液体状態であるようにクラスタービーム中のクラス ターを調整し、 実質的にクラスターの全てがターゲットに衝突する前に液体状態であるように、 調整されたクラスタービームをターゲットに伝送するステップを含むことを特徴 とするターゲットに衝突させる高品質のクラスタービームの処理方法。
13. （１３）キャリアガスは不活性ガスである請求項１２記載の処理方法。
14. （１４）前記調整ステップは、クラスターが濃縮状態であるが結晶構造を持たな い温度までクラスターを加熱することによって達成される請求項１２記載の処理 方法。
15. （１５）前記クラスター調整ステップは、クラスターを加熱するためにドリフト チューブを通すステップを含む請求項１２記載の処理方法。
16. （１６）前記伝送ステップは、クラスターからキャリアガスの少なくとも一部分 を分離して除去するステップを含む請求項１２記載の処理方法。