JPH0147051B2 - - Google Patents

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JPH0147051B2
JPH0147051B2 JP55125225A JP12522580A JPH0147051B2 JP H0147051 B2 JPH0147051 B2 JP H0147051B2 JP 55125225 A JP55125225 A JP 55125225A JP 12522580 A JP12522580 A JP 12522580A JP H0147051 B2 JPH0147051 B2 JP H0147051B2
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transistor
analog
voltage
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sensor element
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JP55125225A
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Herupusuto Hainaa
Pufuraideraa Hansuieruku
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Publication of JPH0147051B2 publication Critical patent/JPH0147051B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/02Details
    • G01C3/06Use of electric means to obtain final indication
    • G01C3/08Use of electric radiation detectors
    • G01C3/085Use of electric radiation detectors with electronic parallax measurement

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスイツチングトランジスタおよびこの
スイツチングトランジスタに直列に接続された負
荷要素から成るインバータと、光電センサ素子を
インバータ入力端と接続するトランジスタとを含
んでおり、光電センサ素子のアナログ信号を評価
するためのアナログ―デイジタル変換器に関す
る。
この種のアナログ―デイジタル変換器はドイツ
連邦共和国特許出願公開第2838647号明細書に記
載されている。この変換器は、入力端が一方では
2つのスイツチングトランジスタの直列回路を介
して供給電圧源と接続され他方では第3のスイツ
チングトランジスタを介して光電センサ素子の出
力端と接続されているインバータを含んでいる。
センサ素子内に光により生じた電荷が、第3のス
イツチングトランジスタにより定められる積分時
間の間に所定の基準値に到達すると、インバータ
はその出力端に論理的信号“1”を生ずるような
回路状態をとる。他方、基準値に到達しなかつた
場合には、インバータはその出力端に論理的信号
“0”が現われている回路状態にとどまる。イン
バータと、2つの直列に接続されているスイツチ
ングトランジスタの一方とは、センサ素子に個別
に対応づけられているシフトレジスタ段の回路部
分を成している。直線像センサのアナログ出力信
号を評価するためのアナログ―デイジタル変換器
はレクテイコン社(カリフオルニア州、サニベー
ル所在)の印刷物77144にも示されており、それ
には“モデルLC600デイジタル―ライン・スキヤ
ン・カメラ”が記載されている。この場合、相次
いで走査されるセンサ素子の出力信号の1つが所
定のしきい値を超過すると、変換器を介して論理
的“1”が発せられる。次回のセンサ素子出力信
号が限界値を超過しない場合には、変換器は論理
的“0”に相当する出力信号を生ずるように切換
わる。
本発明の目的は、冒頭に記載した種類のアナロ
グ―デイジタル変換器として、製造上避けがたい
インバータ特性値の偏差にほぼ無関係にアナロ
グ・センサ信号の非常に正確なデイジタル化を可
能にするものを提供することにある。
この目的は本発明によれば、スイツチングトラ
ンジスタおよびこのスイツチングトランジスタに
直列に接続された負荷要素から成るインバータ
と、光電センサ素子をインバータ入力端と接続す
るトランジスタとを含んでおり、光電センサ素子
のアナログ信号を評価するためのアナログ―デイ
ジタル変換器において、ドレイン端子に定電圧を
加えられているリセツトトランジスタのソース端
子とインバータ入力端が接続され、光電センサ素
子をインバータ入力端と接続するトランジスタが
バリアトランジスタとして構成され、このトラン
ジスタのゲートには該トランジスタを飽和状態と
する第1の電圧と続いて第1の電圧より小さく且
つ電位バリアを生ずる第2の電圧が与えられるよ
うになつており、光電センサ素子のキヤパシタン
スがインバータの入力キヤパシタンスより大きく
選定され、インバータの出力の所定時間内におけ
る切換の有無を検出してデイジタル出力とするよ
うになつていることによつて達成される。
本発明により得られる利点は、インバータの特
性値が変換器によりアナログ・センサ信号のデイ
ジタル化の精度に影響しないことである。これ
は、センサ素子のキヤパシタンスがインバータの
入力キヤパシタンスに比較して大きく選定されて
いるため、表面電位の変化が大きく、インバータ
の製造条件に基づく誤差があつてもインバータを
構成するスイツチングトランジスタのカツトオフ
電圧が確実に得られるためである。また別の利点
は、光電素子をインバータ入力端と接続するトラ
ンジスタ、すなわちバリアトランジスタのカツト
オフ電圧の誤差も補償されることである。この補
償はバリアトランジスタがセンサ素子のリセツト
のためにもアナログ・センサ信号のデイジタル的
評価のためにも用いられることによつて行われ
る。
特許請求の範囲第2項ないし第6項には本発明
の好ましい実施態様が、また第7項には本発明の
好ましい応用例が示されている。
以下図面に示されている実施例により本発明を
一層詳細に説明する。
第1図には、入力端(回路点E)で光電センサ
素子SEの出力端に接続されているアナログ―デ
イジタル変換器の原理回路が示されている。入力
端Eに対して直列に電界効果トランジスタT1の
ソース―ドレイン間が位置し、それを介して入力
端Eがインバータの入力点E1と接続されてい
る。インバータはスイツチングトランジスタT2
と負荷要素Lとの直列回路を含んでいる。負荷要
素Lは第1図にはデプリーシヨン形の電界効果ト
ランジスタとして図示されており、そのゲートは
回路点1と接続されている。回路点1はアナログ
―デイジタル変換器の出力端Aに接続されてお
り、他方直列回路T2,Lの両端の回路点2およ
び3はそれぞれ定電圧UDDおよび回路の基準電位
たとえば接地電位に接続されている。回路点2と
E1との間に電界効果トランジスタT3のソース
―ドレイン間が位置している。これはリセツト用
のトランジスタであり、そのゲートには回路点E
1およびEを固定電位にリセツトする目的でクロ
ツクパルス電圧φ1が加えられる。電界効果トラ
ンジスタT1はバリアトランジスタであり、その
ゲートにはパルス電圧φ2が加えられている。
センサ素子SEはフオトダイオードFDから成
り、そのセンサ出力端Eに対して並列に存在する
キヤパシタンスは符号CSEを付されている。回路
点E1で測られたインバータT2,Lの入力キヤ
パシタンスは第1図に破線で記入され、符号CE1
を付されている。
第2図には変換器の構成例が示されており、フ
オトダイオードを含む第1図の回路部分が、第1
の伝導形の半導体チツプ4、たとえばp形にドー
プされたシリコン、の上に集積されている。フオ
トダイオードFDは、半導体チツプ4の境界面5
に設けられ第1の伝導形とは反対の第2の伝導形
にドープされた領域6から成つている。領域6に
隣接する半導体チツプ4の範囲は、たとえば
SiO2から成る薄い絶縁層8により境界面5から
隔離されたゲート7でおおわれている。ゲート7
は第2の伝導形のドレイン領域9と共に電界効果
トランジスタT1を形成する。領域9は同時にイ
ンバータT2,Lの入力点E1を形成し、さらに
リセツトトランジスタT3のソース領域をも形成
している。回路部分T2,LおよびT3は第1図
と同様に線図で示されている。インバータの入力
キヤパシタンスは第1図と同様にCE1で図示され
ている。
作動にあたつては、回路点E1およびEが先ず
高い正電位にリセツトされる。このリセツトは、
時点t1で開始しリセツトトランジスタT3およ
びトランジスタT1をそれぞれ導通状態に切換え
るクロツクパルスφ1およびパルスφ2(第3
図)によつて行なわれる。φ2の振幅はφ1の振
幅よりも小さいので、トランジスタT1は飽和範
囲に駆動され、UE1−UE>A〓2−UT−UEという関
係が成立する。ここでUE1およびUEはそれぞれ回
路点E1およびEに現われる電圧、A〓2はパルス
φ2の振幅、UTはトランジスタT1のカツトオ
フ電圧である。この場合、電圧UEはA〓2により定
まり、UE=A〓2−UTという関係が成立する。
リセツトの際に領域6、ゲート7および領域9
に加わる電圧UE、φ2およびUE1の影響のもと
に、第2図に矢印10の方向に記入されている表
面電位φSの電位値P6,P7およびP9がそれぞ
れ現われる。矢印10の上端位置は、端子11を
介して半導体チツプ4に基板電圧Uoを与えると
きの回路の基準電位Poを表わしている。
続いてA〓2がUEと基板電圧Uoとの間の値A1〓2
に下げられる。もしA1〓2が電圧UE+UTよりも
低ければ、トランジスタT1は阻止され、その際
に電極7の下側に電位バリアP71が生ずる。電
位P6およびP9はそれにより影響されず元の値
にとどまるので、表面電位φSの分布は、同じく第
2図に記入されているP6,P71およびP9の
ようになる。
さて、フオトダイオードFDが絞りの開口を通
じて光線L1を照射されると、電圧UE(第3図)
および電位P6(第2図)が低下する。φ2の立
ち下がり12により終了時点を定められる所定の
積分時間の間に、照射が十分に強い場合には、電
位P6が電位バリアP71に到達し得る(時点t
2)。第3図でこの時点は、電圧UEがしきい値UB
に到達する時点である。その後、フオトダイオー
ドFDの電荷の一部分が電位バリアP71を乗り
越えて領域9に流れ込み、その際に電圧UE1は第
3図に13で示されているように著しく低下す
る。それにより電圧UE1がスイツチングトランジ
スタT2のカツトオフ電圧を下回るので、スイツ
チングトランジスタT2は阻止され、出力端Aに
おける電圧UAはリセツト後の論理的信号“0”
(ほぼ基準電位に相当)から論理的信号“1”(ほ
ぼ電圧UDDに相当)へ切換えられる。それに対し
て、フオトダイオードFDの照射が弱いために所
定の積分時間の間に電位P6が電位バリアP71
に到達しない場合には、このインバータの切換は
行なわれない。こうして、積分時間の終了時(第
3図の12)の電圧UEに対応するアナログ・セ
ンサ信号の論理的評価が行なわれて、デイジタル
出力信号“1”または“0”が与えられる。
上記の作動の仕方は次のように変形することも
できる。パルスφ2が断たれず、すなわち第3図
に12で示されている立ち下がりが生ぜず、破線
14で示されているように持続する。そして時点
t1から、照射が弱い場合(第3図の破線の曲線
15)にも電圧UEがしきい値UBに、または電位
P6が電位バリアP71に到達する時点t3まで
の時間間隔が検出される。電圧UE1の低下(1
3′参照)および電圧UAの“0”から“1”への
切換(13a′参照)は時点t3で行なわれる。そ
れにより時点t1からt3までの時間間隔がフオ
トダイオードFDの照射の強さの尺度となる。電
圧UAの立ち上がり13a′は他の同様に構成され
たアナログ―デイジタル変換器においてクロツク
パルスφ2の断により積分時間の終了を指令し得
る。このように作動する変換器のフオトダイオー
ドFDは特に、他の変換器にそれぞれ対応づけら
れている複数個のセンサ素子と並んで位置し従つ
てこれらのすべてのセンサ素子の照射量の平均値
に対応する電荷が光により生ずるように、長く延
びた形態に構成されている。その場合、時点t1
からt3までの時間間隔は、他の変換器のうち強
く照射されるセンサ素子の後に接続されているも
のが出力信号“1”に切換えられ、それよりも弱
く照射されるセンサ素子に対応づけられているも
のは切換えられず引続き出力信号“0”を発して
いる積分時間に相当する。
インバータT2,Lの入力キヤパシタンスCE1
にくらべてセンサ素子SEのキヤパシタンスCSE
大きい(両者の比例えば5〜15)ことにより、電
位P9からP91への電位変化を比較的大きくす
ることができ、従つて入力端の電圧UE1は、トラ
ンジスタT2のカツトオフ電圧UTの製造上の偏
差が大きい場合にも、電圧低下13の間に確実に
カツトオフ電圧UTに到達し得る。
アナログ―デイジタル変換器の他の実施例で
は、センサ素子SEが第4図に示されているMIS
(金属―絶縁層―半導体)コンデンサKから成つ
ている。これは薄い絶縁層8により半導体チツプ
4の境界面5から隔離されたゲート電極16を有
する。ゲート電極は端子17に設けられており、
それに定電圧UKが加えられている。UKの影響の
もとにゲート電極16の下側に、符号17aを付
して示されている空間電荷層が形成される。第4
図はその他の回路部分は第2図の同一符号を付さ
れている回路部分と同一である。電圧UKは、ゲ
ート電極16の下側に電位値P6(第2図)に匹
敵し、またはそれを越える表面電位φSが生ずるよ
うに選定されなければならない。センサ素子とし
てMISコンデンサを用いることは、そのキヤパシ
タンスCSEが大きい点で有利である。
第5図に示されているアナログ―デイジタル変
換器の実施例では、第2図によるフオトダイオー
ドFDと第4図によるMISコンデンサKとが薄い
絶縁層8の上に並べて配置されており、共同して
センサ素子SEを形成している。既に第2図およ
び第4図により説明した回路部分は第5図で同一
の符号を付されている。第5図によればキヤパシ
タンスCSEを第4図の場合よりもさらに大きくす
ることができる。
負荷要素Lはデプリーシヨン形電界効果トラン
ジスタから成つていてもよい。その場合、そのゲ
ートは第1図と異なり、回路点2と接続されてい
る。さらに、負荷要素Lを形成する電界効果トラ
ンジスタのゲートは、その形式と無関係に、固定
電位またはクロツクパルス電圧が加えられる端子
と接続されていてよい。
本発明によるアナログ―デイジタル変換器の回
路が、少なくとも部分的に、ドープされた半導体
チツプ上にモノリシツクに集積されていることは
特に有利である。nチヤンネルMOS技術による
回路構成では、基板電圧Uoに対する電位および
電圧は正の極性を有する。pチヤンネルMOS技
術ではこれらの電圧および電位は負の極性を有
し、この場合、ドープされる半導体領域の伝導形
もそれぞれ反対におきかえらている。
第6図には本発明によるアナログ―デイジタル
変換器の有利な応用例が示されている。変換器そ
のものは符号Wを付されている部分であり、セン
サ素子SE11、たとえばフオトダイオードの出
力端Eの後に接続されている。変換器の出力端A
は、クロツクパルス電圧φ3をゲートに加えられ
るトランスフアトランジスタT4を介して、シフ
トレジスタ20の第1段21の入力端と接続され
ている。同様にセンサ素子SE12…SE1nおよ
びSE21…SE2nは同様の変換器およびトラン
スフアトランジスタを介してシフトレジスタ20
の段22…2nおよびシフトレジスタ30の段3
1…3nと接続されている。たとえば2相に構成
されたダイナミツクシフトレジスタ20および3
0のクロツク入力端には、図面を簡単にするため
単線で示されている導線40を経て、2つのクロ
ツクパルス電圧φ20,φ21を加えられる。シ
フトレジスタ30のクロツク入力端に対して直列
にゲート回路41が接続されており、その第2の
出力端42は導線43を経てカウンタ60と接続
されている。段2nおよび3nの出力端20aお
よび30aは一方では導線20bおよび30bを
経て段21または31の入力端と接続されてお
り、他方では2つの入力信号の一致または不一致
を検出するための回路50の入力端51および5
2と接続されている。この回路50が排他的オア
ゲートから成ることは目的にかなつている。回路
50の出力端はカウンタ54と接続されている。
このカウンタの出力端はメモリ54aを介してデ
イジタル比較回路55の第1の入力端と接続され
ており、その第2の入力端にはメモリ56の出力
端が接続されている。メモリ54aの出力端とメ
モリ56の入力端とは、比較回路55の出力によ
り駆動される電子スイツチ57を介して互いに接
続されている。同じく比較回路55の出力により
導線58を介して駆動される電子スイツチ61を
介して、カウンタ60の出力端がメモリ62と接
続されている。メモリ62の出力端63は後で説
明する装置64と接続されている。回路部分50
ないし57および60ないし63は相関検定回路
70を成している。
第1の直線像センサS1を構成するセンサ素子
SE11…SE1nと第2の直線像センサS2を構
成するセンサ素子SE21…SE2nとに、距離を
測定すべき対象物の互いに分割された像を結ぶ光
線L1またはL2が絞りの開口を通つて入射す
る。像センサS1およびS2の平面上で対象物の
分割像は、その互いに対応するラインがS1およ
びS2により検出されるように分割されている。
対象物の所定の距離たとえば“無限遠”に対して
は、S1およびS2がセンサ・ラインの全長にわ
たり同一の明るさの分布を有するので、センサ素
子の配列の順序で順次読出す際に出力端Aから取
出されるデイジタル化センサ信号S1n…S11
およびS2n…S21は最大相関を有する信号列
となる。対象物の距離が変化すると、S1および
S2により検出されるライン断片が相対的にずれ
る。それにより上記の信号列の間に相関は小さく
なる。順次読出されるデイジタル化信号列S1n
…S11をS2n…S21との間に逐次相対的な
ずれを生じさせれば、再び最大相関を生ずるずれ
の大きさを知ることができる。このずれの大きさ
が対象物の実際の距離の尺度となる。
センサ信号S1n…S11およびS2n…S2
1を順次読書すためのシフトレジスタ20および
30が用いられ、そのなかでセンサ信号はそれぞ
れクロツクパルス電圧φ20,φ21の作用により循環
する。第1図の読書しサイクルでφ20がn回与え
られると、信号は一巡するので、このサイクルの
開始時に出力端20aから取出される信号S1n
がその終了時に再び20aから取出されるように
なる。同様に、出力端30aからは第1回の読出
しサイクルの開始時および終了時に信号S2が取
出される。この第1回読出しサイクルの後にゲー
ト回路41がクロツクパルス電圧φ20,φ21の1回
分の時間中阻止されるので、シフトレジスタ20
は1段シフトするが、シフトレジスタ30は第1
回サイクルの終了時における回路状態にとどま
る。このゲート回路41が阻止される読出し休止
時間に続く第2回の読出しサイクルでは、出力端
20aおよび30aから順次読出されるセンサ信
号のペアの組み方が新たになり、信号S1(n−
1)およびS2n,S1(n−2)およびS2
(n−1)、以下同様、が同時に出力端20aおよ
び30aに現われる。すなわち、第2回読出しサ
イクルでは2つの信号列の間に1信号幅のずれが
生じている。その後の各読出しサイクルも両信号
列の相対的ずれを1信号幅ずつ大きくした状態で
進められる。
回路50は、信号がシフトレジスタ20および
30を一巡する間、すなわち1回の読出しサイク
ルの間に生起する論理的“1”信号の一致および
(または)論理的“0”信号の一致のたびに1つ
のパルスを発する。各読出しサイクルの開始前に
零にリセツトされるカウンタ54が毎サイクルの
これらの一致の数をカウントする。カウンタ54
によるカウント結果が先行読出しサイクルでのカ
ウント結果よりも大きれば、比較回路55を介し
て、電子スイツチ57および61を導通させる制
御信号が発せられる。
ゲート回路41が阻止される読出し休止時間に
その第2の出力端42から1つのカウントパルス
P1,P2などが導線43を経てカウンタ60に
与えられる。カウンタ60において、以前の最大
カウント状態よりも大きい新たなカウント状態が
生起すると、電子スイツチ61が導通状態に切換
えられるので、その瞬間におけるカウンタ60の
カウント状態がメモリ62に伝達される。このカ
ウント状態はこの時点までに生じたカウント・パ
ルスP1,P2などの総数、従つてまたそれ以前
に行なわれた信号列S1n…S11およびS2n
…S21の相対的シフトの数に一致している。n
回の読出しサイクルの後、メモリ62には、2つ
の信号列の間に最大相関が得られる相対的シフト
の数に相当するデイジタル信号が記憶される。こ
のデイジタル信号が出力端63を経て装置64に
与えられる。この装置64は対象物の距離を指示
する指示装置から形成することができる。他方、
装置64は光学系を介して得られる対象物の像が
像平面上に焦点を結ぶように出力端63から与え
られる信号に関係して像平面と光学系との間隔を
調節する調節機構から形成することができる。こ
のような回路は特に写真または電子カメラに使用
することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の接続図、第2
図は第1図中の部分回路の実施例の構成配置図、
第3図は第1図および第2図の説明用の電圧―時
間線図、第4図は第2図に対する第1の変形例の
構成配置図、第5図は第2図に対する第2の変形
例の構成配置図、第6図は本発明によるアナログ
―デイジタル変換器を応用した回路の一例の接続
図である。 1〜3…回路点、4…半導体チツプ、5…境界
面、6…フオト・ダイオード領域、7…ゲート、
8…絶縁層、9…ドレイン領域、20,30…シ
フトレジスタ、41…ゲート回路、50…一致ま
たは不一致検出回路、54…カウンタ、54a…
メモリ、55…デイジタル比較回路、56…メモ
リ、57…電子スイツチ、60…カウンタ、61
…電子スイツチ、62…カウンタ、64…指示・
調節装置、70…相関検定回路、A…出力端、E
…入力端、FD…フオトダイオード、K…MISコ
ンデンサ、L…負荷要素、L1…光線、S1,S
2,S3…センサ素子、T…トランジスタ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 スイツチングトランジスタおよびこのスイツ
    チングトランジスタに直列に接続された負荷要素
    から成るインバータと、光電センサ素子をインバ
    ータ入力端と接続するトランジスタとを含んでお
    り、光電センサ素子のアナログ信号を評価するた
    めのアナログ―デイジタル変換器において、ドレ
    イン端子2に定電圧UDDを加えられているリセツ
    トトランジスタT3のソース端子とインバータ入
    力端E1が接続され、光電センサ素子SEをイン
    バータ入力端E1と接続するトランジスタT1が
    バリアトランジスタとして構成され、このトラン
    ジスタT1のゲートには該トランジスタT1を飽
    和状態とする第1の電圧Aφ2と続いて第1の電
    圧Aφ2より小さく且つ電位バリアを生ずる第2
    の電圧A1φ2が与えられるようになつており、
    光電センサ素子SEのキヤパシタンスCSEがインバ
    ータT2,Lの入力キヤパシタンスCE1より大き
    く選定され、インバータ出力の所定時間内におけ
    る切換の有無を検出してデイジタル出力とするよ
    うになつていることを特徴とする光電センサ素子
    用アナログ―デイジタル変換器。 2 アナログ―デイジタル変換器がフオトダイオ
    ードFDとして構成されたセンサ素子SEの出力端
    Eと接続されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の変換器。 3 アナログ―デイジタル変換器がMISコンデン
    サKとして構成されたセンサ素子SEの出力端E
    と接続されていることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の変換器。 4 アナログ―デイジタル変換器がフオトダイオ
    ードFDおよびそれに隣接するMISコンデンサK
    から成るセンサ素子SEの出力端Eと接続されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の変換器。 5 負荷要素Lが電界効果トランジスタから成
    り、そのゲートが、定電圧またはクロツクパルス
    電圧を加えられる接続点またはエンハンスメント
    形(もしくはデプリーシヨン形)電界効果トラン
    ジスタの場合にはそのドレイン端子(もしくはソ
    ース端子)と接続されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれか1項
    に記載の変換器。 6 アナログ―デイジタル変換器が少なくとも部
    分的に、ドープされた半導体チツプ4上にモノリ
    シツクに集積されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項ないし第6項のいずれか項に記載
    の変換器。 7 2つの直線像センサS1,S2を備えた距離
    計において、複数個のセンサ素子のアナログ出力
    信号をデイジタル化して、両像センサS1,S2
    の出力信号S1n…S11,S2n…S21の相
    関検定を行う回路70に与えるためのアナログ―
    デイジタル変換器Wとして用いられることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項ないし第7項のいず
    れか1項に記載の変換器。
JP12522580A 1979-09-10 1980-09-09 Analoggdigital converter for photoelectric sensor and use thereof Granted JPS5646333A (en)

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JP12522580A Granted JPS5646333A (en) 1979-09-10 1980-09-09 Analoggdigital converter for photoelectric sensor and use thereof

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DE2936492A1 (de) 1981-03-26
EP0026834B1 (de) 1986-11-20
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US4338515A (en) 1982-07-06
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