JPH0143860Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （考案の属する技術分野） 本案は半導体装置工程において使用される縦形
拡散炉における反応管の入口封鎖装置の改良に関
するものである。

（従来技術） 縦形拡散炉の中で炉口が下方にあるものは、半
導体ウエーハの出し入れを下方で行うので、ウエ
ーハを乗せたボートを反応管から引き出した後す
ぐ反応管の入口を封鎖するか、またはウエーハの
引き出し挿入の間は反応管を解放状態のまま放置
している。しかし後者の場合は解放時間が長くな
るため外気の巻き込み量が多くなり、反応管内の
酸素濃度が大スとなつて石英管内壁に清浄でない
酸化層が形成されたり、反応管内へ外部の塵埃な
どの混入の原因となる欠点がある。これに対し前
者の場合は、封鎖板を開閉位置にそれぞれ移動す
るための機構や密閉機構を必要とするなど構造が
複雑・高価となる欠点がある。

（考案の具体的な目的） 本考案は上記のような従来装置の欠点除去を目
的としてなされたもので、封鎖板の操作機構を別
に必要とすることなく、しかもウエーハの出し入
れを時間の空費なく極めて簡単に行うことが出来
て外気の巻込み侵入を有効に防ぎうる封鎖装置の
提供を目的とするものである。

（考案の構成及び作用） 第１図及び第２図は本案の一実施例の側面図及
び底面図で、１はウエーハ、２はウエーハ支持ボ
ート、３はウエーハボートの支持具、４は封鎖
板、５は石英管、５′は石英管５の入口端に設け
た封鎖板４の支持用突起である。このように本案
においては封鎖板４は石英管５内に移動自在に設
けられ、石英管の入口下端に設けられた３個また
はそれ以上の支持用突起５′によつて、第１図に
示すように常時は石英管の入口に位置して入口を
閉じ、第２図の底面図に示すようにその斜線部の
領域のみが開口部６となつているが、これは出来
るだけ小さいことが望ましい。

なお、封鎖板４は図では３枚を複数個の支持に
より適宜間隔で並設しているが、枚数は１枚でも
よく、３枚に限るものではない。

さて第１図においてウエーハ１を乗せたボート
２をボート支持具３の端面により上方に押し上げ
ると、封鎖板４もウエーハ１と共に石英管５内に
挿入されるが、その際外部空気の侵入間隙は前記
開口部６のように極めて狭いので、外気の巻込み
量も極めて少量に抑えることができる。そしてこ
のようにウエーハの挿入に当たつて予め封鎖板を
解放状態に変える操作構成もまたその動作時間も
必要としない。

またウエーハの引き出しはボート支持具３の引
き出しによつて簡単に行いうることは説明するま
でもないが、このときも引き出し終了と同時にし
かも何等別個の操作機構を用いることなく、反応
管の入口が即時に自動的に封鎖され、外気侵入の
おそれの最も多いウエーハ引き出し時の封鎖を極
めて簡単有効に行うことができる。

なお封鎖板４の石英管内への装入及び取り外し
は、板状の封鎖板を垂直に立て、これを石英管の
支持突起５′間の隙間に押し込んだ後、水平にし
て少し回動し突起５′上にのせればよく、またこ
の反対の動作によつて容易に取り外すことができ
る。

（考案の効果） 以上の説明から明らかなように、ウエーハの挿
入、引き出しと同時に、しかもその操作力を利用
して何等他の機構を介することなく反応管入口が
開閉されるので、ウエーハの出し入れに時間的空
費がなく、従つてまた入口の開閉に伴う外気侵入
のおそれを極めて有効に防ぐことができる。また
ウエーハの引き出しと同時に反応管入口が開閉さ
れるので、ヒータの熱損失が少なくしかもウエー
ハ引き出し時に望ましいウエーハの無用の加熱を
防ぎ、ウエーハの温度の上昇を防ぎつつ引き出す
ことができる。

殊に封鎖板の操作機構が全く不要となるので、
自動ウエーハ出入連続操作が容易となり、装置コ
ストが安くなるのは勿論、装置の高さが低くなる
と共に、炉口も広くとれる利点があり、実用的効
果大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は
底面図である。 １……ウエーハ、２……ウエーハ支持ボート、
３……ウエーハ支持ボートの支持具、４……封鎖
板、５……石英管、５′……封鎖板４の支持用突
起、６……開口部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 反応管の入口端部に複数個（３個以上）の封鎖
   板支持用突起を設け、これに反応管内に移動自在
   に封入された反応管入口封鎖板を乗せたことを特
   徴とする縦形拡散炉における反応管入口封鎖装
   置。