JPH0140328B2 - - Google Patents
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- JPH0140328B2 JPH0140328B2 JP55075118A JP7511880A JPH0140328B2 JP H0140328 B2 JPH0140328 B2 JP H0140328B2 JP 55075118 A JP55075118 A JP 55075118A JP 7511880 A JP7511880 A JP 7511880A JP H0140328 B2 JPH0140328 B2 JP H0140328B2
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- Expired
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 150000004698 iron complex Chemical class 0.000 description 2
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013063 LiBF 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- DCYOBGZUOMKFPA-UHFFFAOYSA-N iron(2+);iron(3+);octadecacyanide Chemical compound [Fe+2].[Fe+2].[Fe+2].[Fe+3].[Fe+3].[Fe+3].[Fe+3].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-] DCYOBGZUOMKFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/153—Constructional details
- G02F1/1533—Constructional details structural features not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
本発明は、エレクトロクロミツク表示装置（以
下、ECDと称す）の製造方法に関し、特にエレ
クトロクロミツク物質（以下EC物質と称す）の
形成方法に関するものである。 従来、ECDには、EC物質にバイオロゲン等の
有機物を使用したものと、WO3等の遷移金属酸
化物を使用したものとの２つのタイプがある。後
者のECDの一般的な構造を第１図に示す。 透明基板１にIn2O3，SnO2等の透明導電膜２を
設け、その上にWO3，MO3等の遷移金属酸化物
がパターン状に蒸着され表示部３を形成してい
る。７は背面基板でスペーサ６を介してセルを構
成している。４は対極であり、例えばカーボン複
合電極が用いられ、表示消去現象に対する白色背
景板５（例えば、ポーラスセラミツクス、ポリマ
ー）を介して表示極３と対応する位置に平行保持
されている。セル内部には、電極液８（例えば、
プロピレンカーボネートにLiBF4を溶解させたも
の）が封入されている。 以上で述べた構造のECDにおいて、表示極２
を対極４に対して負電位にすると表示部３は着色
し、正電位にすると消色し、初期の無色状態に戻
り表示消去が可能となるものである。着色機構
は、例えば、表示部がWO3層である場合、電極
からの電子と、電極液からのカチオン（ex，H+）
とがWO3層に注入されて着色物質であるタング
ステンブロンズを作ると説明されている。 WO3 （透明）＋XH+＋XeHx WO3ex （着色） 従来のECDでは、表示部３は、EC物質を透明
電極２上に、基板の法線方向から垂直もしくは斜
めの一定方向から蒸着することにより形成され
る。このように形成された表示極を用いて、例え
ば対極に鉄錯体とカーボンの複合電極を使用し、
電解液に1MLiBF4―プロピレンカーボネート溶
液を使用したECDは、高温（例えば、70℃）の
状態でエージングした場合に、表示体の表示消去
応答特性の劣化が大きい。又、経時変化において
も同様の劣化が生じる。 本発明は、上記の欠点を除去し、応答特性なら
びに経時変化の良好なECDを提供することを目
的としたものである。 以下に図面を用いて本発明を実施例とともに説
明する。 第２図は本発明を説明するための図であつて、
表示部を蒸着するに際し、基板１を自公転させな
がら、基板法線方向１１から蒸着角度θだけ傾い
た蒸着方向１０から、蒸着角度θを±90゜までの
あらゆる方向に変化させてランダムにEC物質９
を蒸着させることにより表示部３を形成するもの
である。 以下に本発明の具体的実施例を述べる。 実施例 １ ガラス基板１上にIn2O3膜を設け約20Ω／□の
透明電極２を形成し、さらにその上にWO3を２
×10-5Torrの真空中で基板温度130℃で3000Åに
電子ビームに蒸着した。この時、基板は、プラネ
タリ治具に固定し、自公転させた。基板と蒸発源
の位置の相対関係を第３図に示す。（図中の太線
部の任意の位置に蒸発源が位置する。）この時、
蒸着方向は±90゜の範囲内で変化することになる。
この様にして形成された表示極を用いて、対極に
鉄錯体（ベルリンブルー）とカーボンの複合電極
を利用し、1MLiBF4―プロピレンカーボネート
を主体とした電解液を使用しECDを組み立てた。 このECDセルについての応答特性の初期特性
と、70℃ 12hrエージング後の特性を第１表に示
す。さらに比較のために、従来の垂直蒸着したも
のと50゜の蒸着角度で斜め蒸着したものについて
も同様のECDセルを組み立てて性を測定し第１
表に示した。
下、ECDと称す）の製造方法に関し、特にエレ
クトロクロミツク物質（以下EC物質と称す）の
形成方法に関するものである。 従来、ECDには、EC物質にバイオロゲン等の
有機物を使用したものと、WO3等の遷移金属酸
化物を使用したものとの２つのタイプがある。後
者のECDの一般的な構造を第１図に示す。 透明基板１にIn2O3，SnO2等の透明導電膜２を
設け、その上にWO3，MO3等の遷移金属酸化物
がパターン状に蒸着され表示部３を形成してい
る。７は背面基板でスペーサ６を介してセルを構
成している。４は対極であり、例えばカーボン複
合電極が用いられ、表示消去現象に対する白色背
景板５（例えば、ポーラスセラミツクス、ポリマ
ー）を介して表示極３と対応する位置に平行保持
されている。セル内部には、電極液８（例えば、
プロピレンカーボネートにLiBF4を溶解させたも
の）が封入されている。 以上で述べた構造のECDにおいて、表示極２
を対極４に対して負電位にすると表示部３は着色
し、正電位にすると消色し、初期の無色状態に戻
り表示消去が可能となるものである。着色機構
は、例えば、表示部がWO3層である場合、電極
からの電子と、電極液からのカチオン（ex，H+）
とがWO3層に注入されて着色物質であるタング
ステンブロンズを作ると説明されている。 WO3 （透明）＋XH+＋XeHx WO3ex （着色） 従来のECDでは、表示部３は、EC物質を透明
電極２上に、基板の法線方向から垂直もしくは斜
めの一定方向から蒸着することにより形成され
る。このように形成された表示極を用いて、例え
ば対極に鉄錯体とカーボンの複合電極を使用し、
電解液に1MLiBF4―プロピレンカーボネート溶
液を使用したECDは、高温（例えば、70℃）の
状態でエージングした場合に、表示体の表示消去
応答特性の劣化が大きい。又、経時変化において
も同様の劣化が生じる。 本発明は、上記の欠点を除去し、応答特性なら
びに経時変化の良好なECDを提供することを目
的としたものである。 以下に図面を用いて本発明を実施例とともに説
明する。 第２図は本発明を説明するための図であつて、
表示部を蒸着するに際し、基板１を自公転させな
がら、基板法線方向１１から蒸着角度θだけ傾い
た蒸着方向１０から、蒸着角度θを±90゜までの
あらゆる方向に変化させてランダムにEC物質９
を蒸着させることにより表示部３を形成するもの
である。 以下に本発明の具体的実施例を述べる。 実施例 １ ガラス基板１上にIn2O3膜を設け約20Ω／□の
透明電極２を形成し、さらにその上にWO3を２
×10-5Torrの真空中で基板温度130℃で3000Åに
電子ビームに蒸着した。この時、基板は、プラネ
タリ治具に固定し、自公転させた。基板と蒸発源
の位置の相対関係を第３図に示す。（図中の太線
部の任意の位置に蒸発源が位置する。）この時、
蒸着方向は±90゜の範囲内で変化することになる。
この様にして形成された表示極を用いて、対極に
鉄錯体（ベルリンブルー）とカーボンの複合電極
を利用し、1MLiBF4―プロピレンカーボネート
を主体とした電解液を使用しECDを組み立てた。 このECDセルについての応答特性の初期特性
と、70℃ 12hrエージング後の特性を第１表に示
す。さらに比較のために、従来の垂直蒸着したも
のと50゜の蒸着角度で斜め蒸着したものについて
も同様のECDセルを組み立てて性を測定し第１
表に示した。
【表】
第１表においての書き込み電気量値は、表示極
と対極間に1V.1secのパルス電圧を印加した際に
単位表示面積当りに流れた電気量値で、この電気
量Ｑと表示着色光学密度O.Dとの間には、 O.D≒67Q（Ｑはmc／cm2）の関係が成立してい
る。故に書き込み電気量値が大きいほど応答速度
が速いことになる。第１表から明らかなように本
発明の自公転式方法による蒸着膜のECDは、他
の垂直蒸着や斜め蒸着により形成されたものより
も応答速度が早く、かつ70℃によるエージングに
おいてもその劣化が小さいことを示している。 実施例 ２ EC物質蒸着時において、基板をドラム型自転
治具に取り付け、蒸発源をドラムの中心から上部
もしくは下部に位置させるか、基板を一定角度傾
けて蒸着することにより、蒸着中の蒸着角度を、
±40゜に変化させてWO3を２×10-5Torr下で3000
Å蒸着した。基板加熱温度は130℃である。この
ようにして形成した表示極を用いてECDを、実
施例１と同様に組み立て特性を測定した結果、初
期特性はＱ＝8.4mc／cm2で70℃12hrエージング後
の特性はＱ＝5.9mc／cm2であつた。この方法によ
る蒸着は、蒸着角度が一方向のみランダムである
が、プラネタ１１と同様の効果を得た。 実施例 ３ 変化させる蒸着角度を±90゜まで変化させて蒸
着した表示極を用いたECDにおいても同等の結
果を得た。 以上述べたように、本発明によれば、EC物質
がランダムな方向から蒸着されることになり、応
答速度の速いかつ高温状態下で劣化の小さい
ECDを得ることができる。
と対極間に1V.1secのパルス電圧を印加した際に
単位表示面積当りに流れた電気量値で、この電気
量Ｑと表示着色光学密度O.Dとの間には、 O.D≒67Q（Ｑはmc／cm2）の関係が成立してい
る。故に書き込み電気量値が大きいほど応答速度
が速いことになる。第１表から明らかなように本
発明の自公転式方法による蒸着膜のECDは、他
の垂直蒸着や斜め蒸着により形成されたものより
も応答速度が早く、かつ70℃によるエージングに
おいてもその劣化が小さいことを示している。 実施例 ２ EC物質蒸着時において、基板をドラム型自転
治具に取り付け、蒸発源をドラムの中心から上部
もしくは下部に位置させるか、基板を一定角度傾
けて蒸着することにより、蒸着中の蒸着角度を、
±40゜に変化させてWO3を２×10-5Torr下で3000
Å蒸着した。基板加熱温度は130℃である。この
ようにして形成した表示極を用いてECDを、実
施例１と同様に組み立て特性を測定した結果、初
期特性はＱ＝8.4mc／cm2で70℃12hrエージング後
の特性はＱ＝5.9mc／cm2であつた。この方法によ
る蒸着は、蒸着角度が一方向のみランダムである
が、プラネタ１１と同様の効果を得た。 実施例 ３ 変化させる蒸着角度を±90゜まで変化させて蒸
着した表示極を用いたECDにおいても同等の結
果を得た。 以上述べたように、本発明によれば、EC物質
がランダムな方向から蒸着されることになり、応
答速度の速いかつ高温状態下で劣化の小さい
ECDを得ることができる。
第１図はECDセル構造の断面図、第２図は本
発明の説明図、第３図は本発明の一実施例を示す
概略構成図である。 １……基板、２……透明電極、９……蒸着源。
発明の説明図、第３図は本発明の一実施例を示す
概略構成図である。 １……基板、２……透明電極、９……蒸着源。
Claims (1)
- １ 電解液に接触するように表示極と対極とを容
器内に設置してなるエレクトロクロミツク表示装
置の前記表示極を形成するに際して、エレクトロ
クロミツク物質を不特定な多数の方向から表示極
形成基板上に蒸着することを特徴とするエレクト
ロクロミツク表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7511880A JPS57619A (en) | 1980-06-03 | 1980-06-03 | Production of electrochromic display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7511880A JPS57619A (en) | 1980-06-03 | 1980-06-03 | Production of electrochromic display device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57619A JPS57619A (en) | 1982-01-05 |
| JPH0140328B2 true JPH0140328B2 (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=13566951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7511880A Granted JPS57619A (en) | 1980-06-03 | 1980-06-03 | Production of electrochromic display device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57619A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62131341U (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-19 |
-
1980
- 1980-06-03 JP JP7511880A patent/JPS57619A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57619A (en) | 1982-01-05 |
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