JPH0137871Y2 - - Google Patents

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JPH0137871Y2
JPH0137871Y2 JP1984144276U JP14427684U JPH0137871Y2 JP H0137871 Y2 JPH0137871 Y2 JP H0137871Y2 JP 1984144276 U JP1984144276 U JP 1984144276U JP 14427684 U JP14427684 U JP 14427684U JP H0137871 Y2 JPH0137871 Y2 JP H0137871Y2
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JP
Japan
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negative pressure
hole
holes
pressure hole
vacuum chuck
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JP1984144276U
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JPS6161133U (ja
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Description

【考案の詳細な説明】 (技術分野) 本考案は、負圧によつて被固定物を保持するた
めの真空チヤツク装置に関し、特に、負圧室を有
する本体および該本体の上に配置される面板を備
える真空チヤツクと、前記面板の上に配置される
アダプタープレートとを含む真空チヤツク装置に
関する。
(従来技術) 真空チヤツクの一つとして、面板に形成された
負圧孔のうち、被固定物の吸着に寄与しない負圧
孔を閉鎖することができるように、負圧孔毎にね
じ栓を設けた真空チヤツクが提案されている。し
かし、この真空チヤツクでは、負圧孔の断面積が
大きいと、被固定物を確実に保持することができ
る反面、被固定物が薄板状であると、該被固定物
に大きな変形を与えてしまう。これを防止すべ
く、単位面積当りの負圧孔の数を多くし、各負圧
孔の断面積を小さくすると、被固定物の保持に寄
与するか否に応じて負圧孔を開閉するときに、操
作しなければならないねじ栓の数が多くなる。
真空チヤツクの他の一つとして、面板に形成さ
れた負圧孔の開口領域に対応する部分に負圧孔の
開口面積よりも小さい横断面を有する小径の貫通
孔が形成されたアダプタープレートを面板に配置
した真空チヤツク装置が提案されている。しか
し、このようなアダプタープレートを、負圧孔を
開閉するねじ栓を設けた真空チヤツクに配置して
も、貫通孔の直径寸法が小さいと、ねじ栓を操作
するときにアダプタープレートを面板から取り外
さなければならず、これと逆に貫通孔の直径寸法
が大きいと、薄板状の被固定物に大きな変形を与
えてしまう。
(目的) 本考案は、単位面積当りの負圧孔の数を多くす
ることなく、および、薄板状の被固定物に大きな
変形を与えることなく、被固定物を確実に保持す
ることができ、また、アダプタープレートを面板
から取り外すことなく、ねじ栓を操作することが
できる、真空チヤツク装置を提供することを目的
とする。
(構成) 本考案の、支持面を有する面板を備える真空チ
ヤツクと、前記支持面に配置されたアダプタープ
レートとを含む真空チヤツク装置であつて、前記
面板は、該面板をこれの厚さ方向へ貫通する複数
の負圧孔と、該負圧孔毎に形成されかつ対応する
負圧孔に連通されて前記支持面における対応する
負圧孔の開口面積を増大させる複数の凹所と、前
記負圧孔に螺合されたねじ栓とを備え、前記アダ
プタープレートは、前記負圧孔に対面する部分に
形成されかつ対応する負圧孔に連通された複数の
第1の貫通孔であつて前記ねじ栓の開閉操作のた
めに工具の受け入れを許す第1の貫通孔と、前記
凹所一つに対して複数づつ形成された複数の第2
の貫通孔であつて対応する凹所に連通された複数
の第2の貫通孔とを有する。
(作用効果) 本考案によれば、一つの負圧孔につき複数の貫
通孔が連通されているから、単位面積当りの負圧
孔の数を従来の真空チヤツクに比べて少なくする
ことができ、従つて、被固定物の吸着に寄与する
か否かに応じて負圧孔を開閉するときに、操作す
べきねじ栓の数が少ない。
本考案によれば、また、ねじ栓を操作するため
の工具を第1の貫通孔に挿入することができるか
ら、ねじ栓による負圧孔の開閉操作の際にアダプ
タープレートを面板から取り外す必要がない。
本考案によれば、さらに、各貫通孔の断面積が
凹所の開口面積より小さいから、従つて被固定物
が薄板状の部材であつても、この被固定物に従来
のような大きな変形を部分的に生じさせることな
く該被固定物を確実に保持することができる。
(実施例) 本考案が特徴とするところは、図示の実施例に
ついての以下の説明により、さらに明らかになろ
う。
第1図および第2図に示されているように、本
考案で用いるアダプタープレート10は、真空チ
ヤツク12の面板14上に適用される。
真空チヤツク12は、図示の例では、面板14
を気密的に固定するブロツク状の本体16(第2
図参照)を含む。本体16には、図示しない負圧
源から負圧の供給を受ける従来よく知られた負圧
室18が形成されている。
面板14には、第2図に明確に示されているよ
うに、負圧室18に連通する多数の負圧孔20が
面板14の板厚方向へ貫通して形成されている。
図示の例では、面板14の支持面14aでの各負
圧孔20の開口面積の増大のために、各負圧孔毎
に凹所22が形成されている。各凹所22は、底
部に負圧孔20が開口する円形中央部22aと、
該中央部の両側で該中央部に連通する一対の細溝
部22bとから成り、各貫通孔20は凹所22を
介して支持面14aに開放することから、支持面
14aにおける凹所22の開放部が各負圧孔20
の支持面14aにおける実質的な開口部となる。
また、各負圧孔20は、第2図に明確に示され
ているように、該負圧孔を選択的に開閉するため
のねじ栓24の螺合を許すねじ孔であり、ねじ栓
24には従来と同様な連通路26が形成されてお
り、従来よく知られているように、ねじ栓24を
締め付けることにより負圧孔20を実質的に閉鎖
し、またねじ栓24を緩めることにより負圧孔2
0を実質的に開放することができる。
真空チヤツク12の面板14に適用されるアダ
プタープレート10は、面板14の平面形状に対
応した矩形の平板部材から成る。アダプタープレ
ート10における負圧孔20の開口部すなわち負
圧孔20の開口領域に対応する部分には、負圧孔
20の開口面積よりも小さな横断面を有する複数
の小径の孔28,28aおよび28bがアダプタ
ープレート10の板厚方向へ貫通して形成されて
いる。第1図に示されているように、各負圧孔2
0毎に、1つの貫通孔28aが円形中央部22a
に対応する部分に形成され、また8つの貫通孔2
8bが細溝部22bに対応する部分に分散するよ
うに形成されている。貫通孔28aの口径は、ね
じ栓24の開閉操作のためにたとえばドライバー
のような工具の挿入を許すように、貫通孔28b
のそれよりも大きく設定されている。
面板14上に配置されたアダプタープレート1
0は、負圧孔20に作用する負圧を、貫通孔28
を経てアダプタープレート10上に配置される被
固定物に導くことから、負圧孔20を閉鎖するこ
となく該負圧孔の開口面積を実質的に絞り、また
被固定物のための支持面積を増大させる。従つ
て、アダプタープレート10上にたとえ変形し易
い薄板状の部材が配置されても、この被固定物に
従来のような大きな変形を部分的に生じさせるこ
となく該被固定物をアダプタプレート10上に確
実に保持することができ、他方、アダプタプレー
ト10は、負圧孔20の前記開口部を絞ることに
よつてアダプタプレート10自体が受ける負圧吸
引力により、面板の支持面14aに固定される。
その結果、前記被固定物は従来のような大きな変
形を生じることなくアダプタプレート10を介し
て前記チヤツクの支持面に確実に保持される。
アダプタプレート10に作用する前記負圧吸引
力に依存することなく該アダプタプレートを支持
面14aに固定するために、たとえばボルト・ナ
ツトのような締結具を用いることができる。
また、前記したところでは、各負圧孔20毎に
複数の貫通孔28を設けた例について説明した
が、各負圧孔毎に1つの貫通孔を設けることがで
き、またチヤツク支持面14aにおける負圧孔の
開口面積およびその形状等に応じて、貫通孔28
の数および配置を適宜選択することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係るアダプタプレートの真空
チヤツクへの適用状態を部分的に破断して示す平
面図、第2図は第1図の−に沿つて得た断面
図である。 10:アダプタプレート、12:真空チヤツ
ク、14:面板、14a:支持面、20:負圧
孔、22:凹所、22a:中央部、22b:横溝
部、28:貫通孔、28a:第1の貫通孔、28
b:第2の貫通孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 支持面を有する面板を備える真空チヤツクと、
    前記支持面に配置されたアダプタープレートとを
    含む真空チヤツク装置であつて、前記面板は、該
    面板をこれの厚さ方向へ貫通する複数の負圧孔
    と、該負圧孔毎に形成されかつ対応する負圧孔に
    連通されて前記支持面における対応する負圧孔の
    開口面積を増大させる複数の凹所と、前記負圧孔
    に螺合されたねじ栓とを備え、前記アダプタープ
    レートは、前記負圧孔に対面する部分に形成され
    かつ対応する負圧孔に連通された複数の第1の貫
    通孔であつて前記ねじ栓の開閉操作のために工具
    の受け入れを許す第1の貫通孔と、前記凹所一つ
    に対して複数づつ形成された複数の第2の貫通孔
    であつて対応する凹所に連通された複数の第2の
    貫通孔とを有する、真空チヤツク装置。
JP1984144276U 1984-09-26 1984-09-26 Expired JPH0137871Y2 (ja)

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JP1984144276U JPH0137871Y2 (ja) 1984-09-26 1984-09-26

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JP1984144276U JPH0137871Y2 (ja) 1984-09-26 1984-09-26

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JPS6161133U JPS6161133U (ja) 1986-04-24
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JPS5840337B2 (ja) * 1976-03-31 1983-09-05 株式会社日立製作所 半導体集積回路の製造方法

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