JPH0136885B2 - - Google Patents

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JPH0136885B2
JPH0136885B2 JP57167948A JP16794882A JPH0136885B2 JP H0136885 B2 JPH0136885 B2 JP H0136885B2 JP 57167948 A JP57167948 A JP 57167948A JP 16794882 A JP16794882 A JP 16794882A JP H0136885 B2 JPH0136885 B2 JP H0136885B2
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JP
Japan
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polarization
optical fiber
maintaining optical
sensor
section
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JP57167948A
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JPS5957169A (ja
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Yoshimasa Fujii
Yoshinobu Mihashi
Osamu Koike
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Priority to EP83305757A priority patent/EP0104932B1/en
Priority to DE8383305757T priority patent/DE3382090D1/de
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Publication of JPH0136885B2 publication Critical patent/JPH0136885B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
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    • G01D5/344Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は互いに直交する偏波面を有する光を光
フアイバを通して伝搬し、測定すべき対象物にお
ける変化を検出する複屈折干渉計センサに関す
る。
一般に、互いに直交する偏波面を有する光を実
質的に相互に干渉なく伝搬できる光フアイバとし
て、偏波保存光フアイバが知られている。このよ
うな偏波保存光フアイバでは、干渉を利用した光
フアイバ計測およびコヒーレント光通信等が可能
であるため広範囲な用途が期待されている。
この偏波保存光フアイバの用途の一つとして、
例えば、測定対象物の温度、磁界、圧力等の変化
を2つの偏波光の位相差の形で取り出す複屈折干
渉計が考えられている。第1図は従来考えられて
いる複屈折干渉計センサの構成を示している。図
において、1は光源、0は偏光子、2はレンズ、
3及び3′は偏波保存光フアイバ、4は断面が円
形で熱膨張係数が偏波保存光フアイバ及び3′よ
り大きい金属でつくられたボビン、5はレンズ、
6は偏波保存光フアイバ3′の主軸方向に対して
主軸方向がπ/4ラジアンに設定された検光子、
7及び8は光検出器を示す。偏波保存光フアイバ
3がボビン4に巻きつけられており、この部分9
を以下光フアイバセンサ部と呼び、これ以外の偏
波保存光フアイバ3′,3′を光フアイバリード部
と呼ぶ。次に、第1図を参照して、この複屈折干
渉センサの動作について説明する。
光源1から偏光子0及びレンズ2を介して偏波
光保存光フアイバ3′の入射端に偏波面が偏波保
存光フアイバ3′の主軸方向とπ/4ラジアンの
角度で直線偏波したレーザ光を入射する。この入
射光は、偏波保存光フアイバ3′の内部をその偏
波保存光フアイバ3′の直交する2つの主軸方向
の2つの偏波モードに分岐して伝搬する。この伝
搬する2つの偏波モードの光は、光フアイバセン
サ部9において温度変化に応じてそれぞれ異なる
位相変化を受け、その結果両偏波モード間には温
度変化に対応した位相差が生じる。この位相差を
受けた両偏波モードの光は、偏波保存光フアイバ
3′を伝搬し、その出射端から出射され、レンズ
5を介して検光子6によつて合成される。この合
成された光は、光検出器7及び8で前記位相差を
正弦及び余弦関数とする信号として検出される。
この検出された信号の変化量によつて温度変化が
計測される。
しかしながら、2つの偏波モードを有する光は
単に光フアイバセンサ部9を通過するだけでな
く、光フアイバリード部をも通過する。このた
め、光フアイバリード部に外乱が生じたり、ある
いは、光フアイバリード部が長くなると、偏波保
存光フアイバ3′の部分でも2つの偏波モード間
に位相差が生じることになる。このことは検出す
べきセンサ部9における位相差の外に、望ましく
ない位相差が出射光に重畳してあらわすことを意
味している。したがつて、センサの最小検出感度
を低くする欠点がある。
本発明の目的は光フアイバリード部における外
乱の影響を除去して感度の高い複屈折干渉計セン
サを提供することにある。
本発明の他の目的は光フアイバリード部を長く
して遠隔センシングが可能な複屈折干渉計センサ
を提供することにある。
本発明によれば、光フアイバセンサ部と光フア
イバリード部との間に光フアイバ回転型偏波モー
ド結合器を設け、その光フアイバリード部へ入射
させる直線偏波光の偏波面を前記光フアイバリー
ド部を構成する偏波保存光フアイバの一主軸方向
と一致させることを特徴とする複屈折干渉計セン
サが得られる。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説
明する。
第2図aは本発明による複屈折干渉計センサの
一実施例の構成を示した図である。図において、
1は光源、0は偏光子、4は熱膨張係数が偏波保
存光フアイバより大きな金属で作られた断面円形
のボビン、5はレンズ、6は検光子、7及び8は
光検出器、10,10′は偏波保存光フアイバ、
11は偏波保存光フアイバ10と10′の主軸方
向がπ/2・n(nは整数)ラジアンを除く角度相異 して結合させる光フアイバ回転型偏波モード結合
器、12はミラー、13はビームスプリツタを示
している。検光子6は偏波保存光フアイバ10′
の主軸方向にその主軸方向が一致するように設定
される。偏波保存光フアイバ10′は第1図にお
ける光フアイバリード部を対応し、偏波保存光フ
アイバ10をボビン4に巻回した部分9は第1図
に示された光フアイバセンサ部に対応している。
第2図bは、第2図aの偏波保存光フアイバ1
0′及び10の断面における座標軸間の関係が示
されている。偏波保存光フアイバ10′の断面に
おいて互いに直交する2つのX軸及びY軸をここ
では説明の都合上、2つの主軸と呼ぶものとする
と、偏波保存光フアイバ10′の主軸X及びYと
偏波保存光フアイバ10における同様に直交する
2つの主軸X′及びY′とは、互いにπ/2・n(nは 整数)ラジアンを除く角度θ相異している。
第2図を構成する各部をより具体的に説明する
と、偏波保存光フアイバ10及び10′としては、
フアイバ径125μm、コア径4μmの内部応力型石英
フアイバを使用し、そのビート長さは5mmであつ
た。また、光フアイバ回転型偏波モード結合器1
1としては、放電加工により偏波保存光フアイバ
10′の主軸方向X及びYと偏波保存光フアイバ
10の主軸方向X′及びY′とがそれぞれ互にπ/4ラ ジアン相異するよう結合したものを使用し、その
結合部の長さは100μmであり、ビート長の1/50で
あつた。
次に、第2図を参照して本発明の作用について
説明する。光源1から偏光子0、ビームスプリツ
タ13、レンズ5を介して偏波保存光フアイバ1
0′の入射端(但し後述するように出射端でもあ
る)に偏波面が偏波保存光フアイバ10′の一つ
の主軸方向に一致するように直線偏波レーザ光を
入射する。この入射光は偏波保存光フアイバ1
0′の内部を偏波面を保存して伝搬する。この伝
搬光は、光フアイバ回転型偏波モード結合器によ
り、直交する2つの主軸方向X′およびY′の偏波
モードの光に分岐して偏波保存光フアイバ10を
伝搬する。この直交する2つの主軸方向X′およ
びY′の偏波モード光は、光フアイバセンサ部9
を介してミラー12で反射され再び光フアイバ回
転型偏波モード結合器11に戻る。このとき、こ
の光フアイバセンサ部9では、温度変化により2
つの主軸方向X′およびY′の偏波モードの光はそ
れぞれ異なる位相変化を受け、その結果両偏波モ
ード間には温度変化による位相差が生じる。上記
戻つてきた直交する2つの主軸方向X′および
Y′の偏波モードの光は、光フアイバ回転型偏波
モード結合器11において合成され、直交する2
つの主軸方向XおよびYの偏波モードの光として
偏波保存光フアイバ10′を伝搬する。このXお
よびYの偏波モードの光は、偏波保存光フアイバ
10′の出射端から出射され、レンズ5、ビーム
スプリツタ13を通して偏波保存光フアイバ1
0′の主軸方向に主軸方向が一致するように設定
された検光子6により分離され、それぞれ光検出
器7および8に導かれる。この光検出器7および
8では、それぞれ温度変化による位相差を正弦お
よび余弦関数とする光強度信号が得られ、その変
化量に相当する温度変化が計測される。
上述したように、本発明の構成では、先ず光フ
アイバリード部において直線偏波光をその偏波面
が1つの主軸方向と一致するように入射させ伝搬
させているので、光フアイバリード部では2つの
偏波モード間に位相差が存在しない。また、ミラ
ー12によつて反射され戻つてきた2つの主軸方
向XおよびYの偏波モードの光は、それぞれ独立
に光検出器7および8で光強度信号のみ検出され
るので、光フアイバリード部における外乱によつ
て生じる両偏波モードの位相変化分は検出されな
い。
第3図は本発明による複屈折干渉計センサの他
の一実施例の構成を示した図である。図におい
て、1は光源、0は偏光子、2はレンズ、4は熱
膨張係数が偏波保存光フアイバより大きな金属で
つくられた断面が円形のボビン、5はレンズ、6
は検光子、7および8は光検出器、10および1
0′は偏波保存光フアイバ、11は光フアイバ回
転型偏波モード結合器を示している。
次に、第1図と第3図を比較すると、先ず第1
図では偏波保存光フアイバ3及び3′の主軸方向
が同一方向で連続したものであるのに対し、第3
図では偏波保存光フアイバ10′と10とは光フ
アイバ回転型偏波モード結合器11を介して連結
されており、かつそれらの主軸方向はπ/2・n(n は整数)ラジアンを除く角度相異している。ま
た、第1図では光源1から偏光子0、レンズ2を
介して偏波保存光フアイバ3′の入射端に入射す
る直線偏波したレーザ光の偏波面と偏波保存光フ
アイバ3′の主軸方向とがπ/4ラジアンの角度
相異しているのに対し、第3図では入射する直線
偏波レーザ光の偏波面と偏波保存光フアイバ1
0′の主軸方向とが一致している。さらに、第1
図では、検光子6はその主軸方向が偏波保存光フ
アイバ3′の主軸方向に対してπ/4ラジアンの
角度相異して設定されるのに対し、第3図では、
検光子6の主軸方向と偏波保存光フアイバ10′
の主軸方向とは一致するよう設定される。なお、
第3図の作用の説明は、第2図で説明した作用か
ら類推できるので、省略する。
上記の実施例では、熱膨張係数が偏波保存光フ
アイバより大きな金属で作られた断面が円形のボ
ビン4を用いているが、その断面は楕円或いは多
角形でもよい。ボビン4を磁歪効果を示す金属或
いは光フアイバより大きな弾性率をもつ弾性体で
つくられたボビン4にすることにより、磁界ある
いは圧力の変化を同様に測定できる。またボビン
7は必ずしも必要ではなく、ボビン4を用いない
時にも偏波保存光フアイバ10における温度ある
いは磁界あるいは圧力の変化によつて偏波保存光
フアイバ10を伝搬する2つの偏波モード間に位
相差が生じる。
第2図の実施例において、ミラー12のかわり
に偏波保存光フアイバ10の端面にAl、Ag、
Au、誘電体膜等を直接付加しても良い。さらに、
上記実施例では、光フアイバ回転型偏波モード結
合器11は、結合部が放電加工され、かつ結合部
の長さを偏波保存光フアイバ10及び10′のビ
ート長より短い有限な長さとしているが、長さ零
の結合部による接続も可能である。また、有限な
長さの空間或いは等方性物質を主軸の異なる2つ
の偏波保存光フアイバ間に結合部として配置して
もよい。
以上の説明で明らかなように、本発明によれ
ば、フアイバリード部における外乱の影響を除去
することができるので感度の高い複屈折干渉計セ
ンサを実現できる。さらにフアイバリード部を長
くすることができるので、遠隔センシングが可能
な複屈折干渉計センサを実現できるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の複屈折干渉計センサの構成を示
した図、第2図aは本発明による複屈折干渉計セ
ンサの一実施例の構成を示した図、第2図bは第
2図aの偏波保存光フアイバの断面図、第3図は
本発明による複屈折干渉計センサの他の一実施例
の構成を示した図である。 記号の説明:1は光源、0は偏光子、2はレン
ズ、3,3′は偏波保存光フアイバ、4はボビン、
5はレンズ、6は検光子、7,8は光検出器、1
0,10′は偏波保存光フアイバ、11は光フア
イバ回転型偏波モード結合器、12はミラー、1
3はビームスプリツタをそれぞれあらわしてい
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 測定すべき対象における状態の変化を検知す
    るセンサ部と、該センサ部に結合されたリード部
    とを有する複屈折干渉センサにおいて、前記リー
    ド部として、軸方向を横切る断面内に規定される
    互いに直交する2つの座標軸を有し、該各座標軸
    と合致する偏波面を備えた偏波光をその偏波面を
    実質上変化させることなく軸方向に伝搬できる伝
    搬特性を具備した第1の偏波保存光フアイバを用
    いると共に、前記センサ部として、前記第1の偏
    波保存光フアイバと同様な伝搬特性を備えた第2
    の偏波保存光フアイバを使用し、前記第1及び第
    2の偏波保存光フアイバとを偏波モードを変換す
    るモード結合器により光学的に結合すると共に、
    前記第1の偏波保存光フアイバの入射端部には、
    前記座標軸の一方に合致した偏波面を有する直線
    偏波光を送出する手段とを有することを特徴とす
    る複屈折干渉計センサ。 2 特許請求の範囲第1項において、前記第1及
    び第2の偏波保存光フアイバは両者の座標軸が
    (π/2)×n(nは整数)ラジアンを除く角度だ
    け互いに相異なるように配置されていることを特
    徴とする複屈折干渉計センサ。 3 特許請求の範囲第1項又は第2項において、
    前記モード結合器は各偏波保存光フアイバのビー
    ト長より短い長さを有していることを特徴とする
    複屈折干渉計センサ。
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