JPH01315153A - プローバのウェハ搭載部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明はプローバにおいてウェハを搭載し駆動するため
のウェハ搭載部材に係り、特にウェハ測定精度の向上を
図ったこの種のウェハ搭載部材に関する。

（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）一般に
プローバは、チャックトップ上に搭載されたウェハを所
定方向に駆動しながら、ウェハ上のチップの電気的特性
を測定する装置であるが。

このようなプローバにおいてウェハを駆動するために、
ウェハはチャックトップを含むウェハ搭載部材上に固定
され、ウェハ搭載部材をＸＹステージ等により所定方向
に駆動している。従来、このウェハ搭載部材は第２図に
示すように、主としてチャックトップ１０及び機構部で
ある筺体２０から成り、筺体２０は駆動源であるＸＹス
テージ、モータ３０等に接続される。チャックトップ１
０はウェハの裏面に電圧をかけて測定することが可能な
ように、導電性の良い材料から成り一般には金属材料に
金メツキを施したものが用いられる。そしてやはり金属
材料から形成される筺体２０との絶縁のためチャックト
ップ１０と筺体２０との間には約１＋＋ｍ程度の絶縁性
マイラー板４０を介挿し、絶縁性材料からなる止め具５
０で両者を固定しである。

ところで、このような構成の従来のウェハ搭載部材にお
いては、ウェハ裏面に２０００〜３０００　Ｖ程度の高
電圧をかける場合、マイラー板４０では耐えられず絶縁
破壊を起こすおそれがあった。又、そのような高電圧で
ないにしても、チャックトップ１０と筺体２０とは一種
のコンデンサーを形成しており、その距離はマイラー板
４０の厚みで決まる小ささであるため、コンデンサーと
して容量Ｃが大きく、チャックトップ１０にかけた電圧
がなまる（鈍い直線にならない）という現象が生じてい
た。

本発明は上記従来の難点に鑑みなされたもので、プロー
バにおける高電圧測定及び高精度測定を可能とするウェ
ハ搭載部材を提供せんとするものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） このような目的を達成するために本発明のウェハ搭載部
材は、駆動源に接続される被駆動部、該被駆動部に固着
される筺体及び該筺体に固着されるチャックトップから
成り、前記筺体は絶縁材料により形成されていることを
特徴とする。

（実施例） 以下５本発明の実施例を図面に基き説明する。

第１図はウェハ搭載部材の全体を示す図面で、ウェハ搭
載部材は導電性のチャックトップ１．セラミック等の絶
縁材料からなる筺体２及び金属材料からなる被駆動部３
から構成される。被駆動部３はウェハ（図示せず）をθ
（回転）方向及びＺ（下方）方向に駆動するための駆動
源であるモータ４に連結され、その上部に筺体２を止め
具５によって固定する。筺体２は約５０程度の厚みを有
し、その上部にチャックトップ１を止め具６によって固
定する。止め具５，６は共に金属性材料であっても絶縁
材料であってもどちらでもよい。このように構成される
ウェハ搭載部材はチャックトップ１に電圧を印加して測
定する場合、チャックトップ１とプローバ内部の金属部
材とは筺体２によって絶縁され且つ隔てられているので
、印加電圧がなまることなく安定した測定が行われる。

尚、筺体２の形状は本実施例に限定されるものではなく
、円筒形など特許請求の範囲に記載される範囲において
自由に変更できる。

〔発明の効果〕

以上の実施例からも明らかなように、本発明のウェハ搭
載部材においてはチャックトップに続く機構部品そのも
の（筺体）をセラミック等絶縁材料で構成したので、高
電圧の測定にも耐えられ且つ高精度の測定が可能となっ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハ搭載部材を示す図、第２図は従
来のウェハ搭載部材を示す図である。 １・・・チャックトップ ２・・・筺体 ３・・・被駆動部 ４・・・モータ（駆動源） 特許出願人　　東京エレクトロン株式会社第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　駆動源に接続される被駆動部、該被駆動部に固着され
   る筺体及び該筺体に固着されるチャックトップから成り
   、前記筺体は絶縁材料により形成されていることを特徴
   とするウェハ搭載部材。