JPH01315015A - 垂直磁化型薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ 垂直磁気記録媒体の記録及び再生に使用される薄膜磁気
ヘッドの製造方法に関し、 主磁極層の厚さを極めて容易かつ正確に管理することが
可能となる薄膜磁気ヘッド製造方法の提供を目的とし、 主磁極層が形成されたベースの表面をめっき用の導電層
で覆い、主磁極層上で記録媒体対向端面から退避した位
置において磁極層をめっきで導電層上に盛上げ形成し、
記録媒体対向端面の側で磁極層から導電層の露出した部
分が含まれる主磁極層上の領域表面を主磁極層保護用の
非磁性金属層をめっきで形成して覆い、その後ベース上
で露出した前記導電層を取り除く、構成としている。

［産業上の利用分野］ 本発明は、垂直磁気記録媒体の記録および再生に使用さ
れる薄膜磁気ヘッドの製造方法に間するものである。

この種の記録媒体では媒体表面に対して垂直な方向の磁
化により著しく高密度な磁気記録が行なわれるので、そ
の記録および再生に使用される磁気ヘッドには高い精度
が要求される。

［従来の技術］ 第２図には垂直磁気記録媒体の記録および再生に使用さ
れる薄膜磁気ヘッドの内部構造が示されており、同図に
おける左端面２０が記録媒体対向端面とされている。

そしてベース１２はスライダ材２２と、その上に形成し
た絶縁層２４からなり、主磁極層１０は絶縁層２４上に
形成されている。

この主磁極層１０の図における左端面は記録媒体対向端
面２０と面一に加工されており、主磁極層ＩＯ上で記録
媒体対向端面２０から図において右側へ退避した位置に
磁極層１６が盛上げられている。

これにより主磁極は先端が薄く、これ以外が厚みをもっ
た形状とされており、厚みの増加で記録再生効率が高め
られている。

さらに磁極層１１（３の上側にリターンヨーク２６が設
けられており、磁極層１６と接合されるリターンヨーク
２６の後部を周回する導体コイル２８は層間絶縁層３０
内に埋設されている。

これらの磁気ヘッド構成部材は保１１Ｎ３２により覆わ
れており、導体コイル２８による磁束が記録媒体対向端
面２０に左端面が露出した主磁極層１０から不図示の垂
直磁気記録媒体へ向か）で媒体表面に対し垂直に入り、
その媒体からリターンヨーク２６へ戻る磁気回路が形成
される。

ここで従来においては、第３図のようにして磁極層１６
が形成されていた。

まず同図（Ａ）のように主磁極層１０が形成されたベー
ス１２０表面がめつき用の導電層１４て覆われ、次にめ
フきマスク用フォトレジスト３４のパターンが形成され
る。

そのパターンでは主磁極層１０上で磁極層Ｇが形成され
る領域の導電Ｊｆｌ１４が露出され、主磁極層１０上の
記録媒体対向側先端となる薄肉部分の導電層１４はフォ
トレジスト３４により覆われる。

このようにしてフォトレジスト３４のパターンが導電層
１４上に形成されると、めっきにより第３図（Ｂ）の磁
極層１６が盛上げ形成される。

その後、フォトレジスト３４のパターンが溶剤で除去さ
れ、不要となっためっき用の導電Ｎ１４がイオンミリン
グなどにより除去される。

ところが、イオンミリングなどによりめっき用の導電層
１４が除去される際には第３図（Ｃ）のように主磁極層
１０の媒体対向側となる左側上面も膜減りし、リターン
ヨーク２６や導体コイル２８が形成されるその後のプロ
セスでも主磁極層ｌＯの先端における厚さがさらに減少
する。

この主磁極層１０の先端膜減りにより、所定の性能を得
ることが困難となるので、主磁極層１０の厚さはその目
減り分を予め見込んで決定されていた。

ところが主磁極層１０の厚み減少分を正確に見込むこと
が困難であるので、この種の磁気ヘッドに要求される極
めて高い精度で主磁極層１０の先端厚みを管理できず、
その結果、製品の歩留りが低下していた。

そこで、主磁極層１１０上にＳ　ｉ　０２．Ａ　Ｉ　２
０３などの材料が使用された床謹層を設ける提案が行な
われている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、その種の保護層がスパッタ法や蒸着法に
より形成されるので、主砲ｌｆｆ！７ｉｊｌｏと盛上げ
磁極層１６の段差部分を確実に被覆するためには工程の
複雑化を招く。したがって薄膜磁気ヘッドの製造工程数
が増加し、また製品の歩留りを十分に高めることが困難
となっていた。

本発明は上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、
その目的は、主磁極層の厚さを極めて容易かつ正確に管
理できる垂直磁化型薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明では第１図において
、主磁極層１０が形成されたベース１２の表面をまずめ
っき用の導電層１４で覆う。

そして主磁極層ｌＯ上で記録媒体対向端面（２０）から
退避した位置において、磁極層１６をめっきて導電層１
４に盛上げて形成する。

さらに記録媒体対向端面（２０）の側で磁極層１６から
導電層１４の露出した部分が含まれる主磁極層１０上の
領域表面を主磁極層保護用の非磁性金属層１８をめつぎ
て形成して覆う。

そしてベース１２上で露出した前記導電層１４をイオン
ミリングなどにより取り除く。

［作用コ 本発明では、ベース１２上で露出した導電Ｎ１４が取り
除かれる際に主磁極層ＩＯが層１８により筺謹され、ま
た層１８に非磁性の金属を使用することにより、この層
１８の形成をめっきにより容易に行える。

［実施例］ 以下、図面に基づいて本発明に係る方法の好適な実施例
を説明する。

第１図では実施例の方法が説明されており、まず同図（
Ａ）のように主磁極層１０がベース１２上に形成される
。

この主磁極層１０にはＮｉＦｅ、ＣｏＺｒなとの材料を
使用し、主磁極層１０が形成されたベース１２の表面を
′めつき用の導電層１４て覆う。

導電層１４にはＮｉＦｅなどを使用し、導電層Ｉ４を形
成後、フォトレジスト 形成する。

その際には主磁極層１０の上面領域となるめっき用導電
層１４の表面のうち、記録媒体対向端面２０例の主磁極
層ｌＯ先端部分をフ第１・レジスト３４で覆い、磁極層
１６を形成する部分はフォトレジスト３４から露出させ
る。

次に磁極層１１６が電解めっきにより同図（Ｂ）のよう
に盛上げ形成する。その磁ＩｆｆｌＮ１ＧにはＮｉＦｅ
なとの材料が使用できる。

このときには記録媒体対向端面２０の側となる主磁極層
１０の先端部分上側ではめつき用の導電層１４がフォト
レジスト３４により覆われているので、フォトレジスト
３４が溶剤により取り除かれると、その先端部分は露出
され、同図（Ｂ）のように主磁極層１０上で記録媒体対
向端面２０から退避した位置において磁極層１６が導電
層１４上に盛上げ形成される。

そして同図（Ｂ）のようにフォトレジスト３６がベース
１２上に形成されており（フォトレジスタにはポジ型を
使用）主磁極層１０の薄肉な先端部分を覆うめっき用導
電層１４の表面及びこれに盛上げ形成された磁極層１６
が露出する。

このフォトレジスト３６は磁極層用フォトレジスト３４
のパターンに対して追加の露光及び現像を行なうことに
より形成できる。

このフォトレジスト３６を形成後、同図（Ｃ）の非磁性
金属層１８をめっきにより形成し、フォトレジスト３Ｇ
から露出していためっき用導電層１４及び磁極ｔｉｌｌ
（３の上面を非磁性金属Ｆ１１８で覆う。

非磁性金属層１８にはＣｕなどが使用でき、その形成後
にフォトレジスト３６が除去される。

最後にベース１２上で露出していためっき用導電１１４
がイオンミリングで同図（Ｄ）のように除去されるが、
その際には非磁性金属層１８がイオンミリング損耗する
ものの、記録媒体対向端面２０１１１となる主磁極層１
０の薄肉な先端上面は非磁性金属Ｎ１Ｂで保護される。

このため同図（Ｄ）のように主磁極層１０の先端部分に
おける厚みが減少することはなく、以後のプロセスが行
なわれてもその厚みは当初のまま確保される。

なお、金属層１８には非磁性のものが使用されているの
で、ヘッドの性能に影響を与えることはない。

以上説明したように本実施例によれば、イオンミリング
から主磁極層１０の肉薄な先端部分損耗を防止する渫謹
層１８に非磁性の金属材料が使用されたので、簡単なめ
っき工程を追加するのみで、その先端厚みを極めて容易
かつ正確に管理できる。

このため製造工程の複雑化を招くことなく製品の歩留ま
りを著しく高めることが可能となる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、主磁極層先端用の
層が非磁性の金属材料でめっき形成できるため、極めて
高い精度が要求される主磁極層先端の厚みを容易かつ正
確に管理でき、したがって製造工程の複雑化を招くこと
なく製品の歩留まりを著しく高めることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用された実施例の説明図、第２図は
垂直磁化薄膜磁気ヘッドの内部構造説明図、 第３図は従来における薄膜磁気ヘッドの製造方法説明図
である。 １０・・・主磁極層、 １２拳　・　・ベース、 １４・・・めっき用導電層、 １６・・・盛上げ形成の磁極層、 １８・・・非磁性金属層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 主磁極層（１０）が形成されたベース（１２）の表面を
   めっき用の導電層（１４）で覆い、主磁極層（１０）上
   で記録媒体対向端面から退避した位置において磁極層（
   １６）をめっきで導電層（１４）上に盛上げ形成し、 記録媒体対向端面の側で磁極層（１６）から導電層（１
   ４）の露出した部分が含まれる主磁極層（１０）上の領
   域表面を主磁極層保護用の非磁性金属層（１８）をめっ
   きで形成して覆い、 ベース（１２）上で露出した前記導電層（１４）を取り
   除く、 ことを特徴とする垂直磁化型薄膜磁気ヘッドの製造方法
   。