JPH01312086A - エッチング廃液の再生処理法 - Google Patents
エッチング廃液の再生処理法Info
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- JPH01312086A JPH01312086A JP14338188A JP14338188A JPH01312086A JP H01312086 A JPH01312086 A JP H01312086A JP 14338188 A JP14338188 A JP 14338188A JP 14338188 A JP14338188 A JP 14338188A JP H01312086 A JPH01312086 A JP H01312086A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、めっき工場や印刷配線基板製造工場から排出
される銅成分を多量に含んだ硫酸と過酸化水素を主成分
とするエツチング廃液を除銅処理し、再利用するだめの
再生処理法に関する。
される銅成分を多量に含んだ硫酸と過酸化水素を主成分
とするエツチング廃液を除銅処理し、再利用するだめの
再生処理法に関する。
従来の技術
従来の再生処理法は、エツチング廃液を０〜５°Ｃに冷
却し、銅分を硫酸銅として結晶化させて除去し、再生使
用する方法がとられていた。しかし、冷却工程を伴うた
めに、処理を行う作業性が悪く、処理コストも高いとい
う問題があった。
却し、銅分を硫酸銅として結晶化させて除去し、再生使
用する方法がとられていた。しかし、冷却工程を伴うた
めに、処理を行う作業性が悪く、処理コストも高いとい
う問題があった。
発明が解決しようとする課題
本発明は、エツチング廃液の処理方法において、従来よ
り安価で、かつ処理作業性に優れた方法を提供すること
を目的とする。
り安価で、かつ処理作業性に優れた方法を提供すること
を目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、硫酸と過酸化水素を主成分とする工ッヂング
液の使用湾廃液を用い、このエツチング廃液にシュウ酸
を添加して反５Ｕ’＝をｄ３こし、廃液中に含有する銅
成分をシコウ酸銅の沈澱物として除去し、この後分解し
て不足状態にある過酸化水素を補充し、−］−ツヂンク
９８狸液として再使用り−る］ッヂング廃液の再生処ｌ
ｌｊ法である。
液の使用湾廃液を用い、このエツチング廃液にシュウ酸
を添加して反５Ｕ’＝をｄ３こし、廃液中に含有する銅
成分をシコウ酸銅の沈澱物として除去し、この後分解し
て不足状態にある過酸化水素を補充し、−］−ツヂンク
９８狸液として再使用り−る］ッヂング廃液の再生処ｌ
ｌｊ法である。
本発明は、Ｐ ｌ−１＝ １以下の強酸エツチング廃液
の除銅手段としてシュウ酸を適ａ添加覆ることにより、
銅分含有が５０００ ＰＰ１＝１と高いものを容易に銅
含有を５〜３００ ＰＰｌ−１にでき、分解した過酸化
水素の不Ｗ分を処理液に追加補充りることにＪ、す■ツ
ヂング処理液として再利用が可能である。。
の除銅手段としてシュウ酸を適ａ添加覆ることにより、
銅分含有が５０００ ＰＰ１＝１と高いものを容易に銅
含有を５〜３００ ＰＰｌ−１にでき、分解した過酸化
水素の不Ｗ分を処理液に追加補充りることにＪ、す■ツ
ヂング処理液として再利用が可能である。。
エツチング廃液の銅濃度は、通常１１０００−１０００
０ＰＰの範囲で変化するので、シュウ酸の添加量を廃液
１ｐに対し、００５〜０．５モルの範囲で行うのがよい
。実験結果てはシュウ酸を０．２モルと一定量添加覆れ
ば、銅濃度が変化しても、処理液の′７Ｍ度は３０〜２
５０ ＰＰＭの範囲に入ることかわかった。
０ＰＰの範囲で変化するので、シュウ酸の添加量を廃液
１ｐに対し、００５〜０．５モルの範囲で行うのがよい
。実験結果てはシュウ酸を０．２モルと一定量添加覆れ
ば、銅濃度が変化しても、処理液の′７Ｍ度は３０〜２
５０ ＰＰＭの範囲に入ることかわかった。
過酸化水素の補充量は、エツチング［ｇに液の使用され
た条件によって異なってくるが、通常の使用状態では、
使用覆る前の約半分帛が分解するので、新規使用前Ｊツ
ブング液の半分量を追加補充すればよい。
た条件によって異なってくるが、通常の使用状態では、
使用覆る前の約半分帛が分解するので、新規使用前Ｊツ
ブング液の半分量を追加補充すればよい。
エツチング廃液に添７１ｌ したシ１つ酸は、僅かに９
８哩液中に溶解するが、再使用に支障がなく、複数回繰
り返りことにより、一定の温度（０，８ｇ／ｆりになり
、実用上全く問題がない。
８哩液中に溶解するが、再使用に支障がなく、複数回繰
り返りことにより、一定の温度（０，８ｇ／ｆりになり
、実用上全く問題がない。
エツチング廃液にシュウ酸を添加し生成力る青色のシコ
ウ酸銅の沈澱物は通常使用されているフィルターを用い
分離覆ればよい。
ウ酸銅の沈澱物は通常使用されているフィルターを用い
分離覆ればよい。
また、ショウ酸銅沈澱物の凝集状態をよくするために、
０．０５４７／ρ〜０１ｇ／ρのポリアミド系等の凝集
剤の添加は有効である。ポリアミド系の凝集剤を添加す
るとよい。ポリアミド系の凝集剤か処理液中に微量含ま
れても、再使用の際に支障をきたさ４τい。
０．０５４７／ρ〜０１ｇ／ρのポリアミド系等の凝集
剤の添加は有効である。ポリアミド系の凝集剤を添加す
るとよい。ポリアミド系の凝集剤か処理液中に微量含ま
れても、再使用の際に支障をきたさ４τい。
処理液及び処ＪＨ＋前液に過酸化水素の分解を制御する
尿素、アセ１〜アミド、リン酸塩、第２スズ塩等の安定
剤を微量添加することは有効である。
尿素、アセ１〜アミド、リン酸塩、第２スズ塩等の安定
剤を微量添加することは有効である。
再生処即時に、シコウ酸処即後過酸化水素を補充するた
め、また、■ツブング作業１時に過酸化水素が分解し水
が生成しているため、硫酸の温度が低下するので、硫酸
も追加補充する必要がある３゜再生処理後に、通常の場
合エツチング廃液１ρに対し、９８％硫酸を４０〜４５
ｇ追加補充でればよい。
め、また、■ツブング作業１時に過酸化水素が分解し水
が生成しているため、硫酸の温度が低下するので、硫酸
も追加補充する必要がある３゜再生処理後に、通常の場
合エツチング廃液１ρに対し、９８％硫酸を４０〜４５
ｇ追加補充でればよい。
実施例
本発明の具体的な実施例を説明覆る。
実施例１
Ｈ２Ｏ２５〜６％、硫酸 １２％、銅濃度１２００〜９
４００ ＰＰＭのエツチング廃液１ρに対し、シュウ酸
を適量添加し、３０分間攪拌反応せしめ、生成した青色
シコウ酸銅の沈澱物を濾過分離した処理液の銅Ｓ度を表
１に示−リ。
４００ ＰＰＭのエツチング廃液１ρに対し、シュウ酸
を適量添加し、３０分間攪拌反応せしめ、生成した青色
シコウ酸銅の沈澱物を濾過分離した処理液の銅Ｓ度を表
１に示−リ。
１ヅ下余白。
実施例２
１−１２０２ ７％、１−１２’ＳＯ４１１％、銅濃度
１８００ＰＰＭの１ツヂング廃液を６７Ｉｌ受はタンク
に受（プ、２ｒ１．容量の反応槽に２尻のエツチング廃
液を移す。攪拌しながらシュウ酸３６ Ｋｇ（４（、）
０モル）を添加し、さらに１時間攪拌を続け、ポリア
ミド系凝集剤５０ｇを添加し、青色のシコウ酸銅沈澱物
を凝集させ、３Ｔ１．容量の濃縮槽に移し沈澱物と上澄
み液を分離し３ゴ容吊の混合槽に処理液を移す。（沈澱
物はカゴ型遠心分離機で分１ｉｉ１ｌ ｉる）混合槽中
に３５％過酸化水素を３１０Ｋｇ、９８％硫酸を８０Ｋ
ｇ補充添加し混合する。さらにアセトアミドを５０９添
加し、６ボ容吊の処理液タンクに移す。
１８００ＰＰＭの１ツヂング廃液を６７Ｉｌ受はタンク
に受（プ、２ｒ１．容量の反応槽に２尻のエツチング廃
液を移す。攪拌しながらシュウ酸３６ Ｋｇ（４（、）
０モル）を添加し、さらに１時間攪拌を続け、ポリア
ミド系凝集剤５０ｇを添加し、青色のシコウ酸銅沈澱物
を凝集させ、３Ｔ１．容量の濃縮槽に移し沈澱物と上澄
み液を分離し３ゴ容吊の混合槽に処理液を移す。（沈澱
物はカゴ型遠心分離機で分１ｉｉ１ｌ ｉる）混合槽中
に３５％過酸化水素を３１０Ｋｇ、９８％硫酸を８０Ｋ
ｇ補充添加し混合する。さらにアセトアミドを５０９添
加し、６ボ容吊の処理液タンクに移す。
このようにして処理した再生エツチング液の］エツチン
グ能力は、新調製エツチング液と全く同等で、１２回再
生処理を繰り返しても、エツチング能力が一定している
ことを確認した。
グ能力は、新調製エツチング液と全く同等で、１２回再
生処理を繰り返しても、エツチング能力が一定している
ことを確認した。
シュウ酸の添加量をエツチング廃液１ρに対して０．０
５−０．５モルの範囲にすることにより、エツチング廃
液の銅濃度が１２００〜９４００ ＰＰＭの範囲で変化
しても、処理液の銅濃度は、５〜３００ ＰＰＭの範囲
に入ることが判る。
５−０．５モルの範囲にすることにより、エツチング廃
液の銅濃度が１２００〜９４００ ＰＰＭの範囲で変化
しても、処理液の銅濃度は、５〜３００ ＰＰＭの範囲
に入ることが判る。
また、シュウ酸の添加量を０．２０モルと一定量添加し
た場合、処理液の銅濃度が３０〜２５０ＰＰＨの範囲に
エツチング廃液の銅濃度が変化しても入ることが判る。
た場合、処理液の銅濃度が３０〜２５０ＰＰＨの範囲に
エツチング廃液の銅濃度が変化しても入ることが判る。
シュウ酸の添加量をさらに増して０．７５モルにするこ
とにより処理液の銅濃度は４．７〜８８ ＰＰＭと小さ
くなるが、処理コストが高くなるので、シュウ酸の添加
量は０．２０モル前後が適正である。
とにより処理液の銅濃度は４．７〜８８ ＰＰＭと小さ
くなるが、処理コストが高くなるので、シュウ酸の添加
量は０．２０モル前後が適正である。
水準番号２〜５．８〜１１．１４〜１７及び２０〜２３
の処理液に３５％過酸化水素１７０ｇ（ｔ−１２０２６
％補充に相当する）、９８％硫酸を補充添加することに
より、エツチング能力が回復し、新規エツチング液のエ
ツチング能力と同等であることを確認した。
の処理液に３５％過酸化水素１７０ｇ（ｔ−１２０２６
％補充に相当する）、９８％硫酸を補充添加することに
より、エツチング能力が回復し、新規エツチング液のエ
ツチング能力と同等であることを確認した。
発明の効果
本発明のエツチング廃液の処理法は、以上に述べた如き
工程を経て行われるもので、簡単な操作で再生処理がで
き、新調差のエツチング液と同等の能力を有し、複数回
の再生処理を繰り返し行うことができる処理法である。
工程を経て行われるもので、簡単な操作で再生処理がで
き、新調差のエツチング液と同等の能力を有し、複数回
の再生処理を繰り返し行うことができる処理法である。
Claims (3)
- （１）硫酸と過酸化水素を主成分とするエッチング廃液
を用い、このエッチング廃液にシュウ酸を添加して反応
をおこし、廃液中に含有する銅成分をシユウ酸銅の沈澱
物として除去し、この後分解して不足状態にある過酸化
水素を補充し、エッチング処理液として再使用すること
を特徴とするエッチング廃液の再生処理法。 - （２）請求項１記載において、シユウ酸の添加量をエッ
チング廃液の銅濃度に対応して変化させ、反応後の銅濃
度を５〜３００ＰＰＭの範囲に調整することを特徴とす
るエッチング廃液の再生処理法。 - （３）請求項１項又は２項記載において、エッチング廃
液１ｌに対し０．０５〜０．５モル添加することを特徴
とするエッチング廃液の再生処理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14338188A JPH01312086A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | エッチング廃液の再生処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14338188A JPH01312086A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | エッチング廃液の再生処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312086A true JPH01312086A (ja) | 1989-12-15 |
Family
ID=15337453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14338188A Pending JPH01312086A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | エッチング廃液の再生処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312086A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008125728A2 (en) | 2007-04-13 | 2008-10-23 | Yara Suomi Oy | Method for the treatment and reuse of a stripper solution |
| CN104313583A (zh) * | 2014-07-16 | 2015-01-28 | 东莞市广华化工有限公司 | 一种酸性蚀刻废液回收再利用的沉淀剂及其处理方法 |
| KR20230091274A (ko) * | 2021-12-16 | 2023-06-23 | 전남대학교산학협력단 | 황산 식각액 폐수로부터 유가금속 회수 및 유가금속이 회수된 식각액의 재사용 방법 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP14338188A patent/JPH01312086A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008125728A2 (en) | 2007-04-13 | 2008-10-23 | Yara Suomi Oy | Method for the treatment and reuse of a stripper solution |
| WO2008125728A3 (en) * | 2007-04-13 | 2009-03-19 | Yara Suomi Oy | Method for the treatment and reuse of a stripper solution |
| CN104313583A (zh) * | 2014-07-16 | 2015-01-28 | 东莞市广华化工有限公司 | 一种酸性蚀刻废液回收再利用的沉淀剂及其处理方法 |
| KR20230091274A (ko) * | 2021-12-16 | 2023-06-23 | 전남대학교산학협력단 | 황산 식각액 폐수로부터 유가금속 회수 및 유가금속이 회수된 식각액의 재사용 방법 |
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