JPH01306259A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH01306259A JPH01306259A JP13788288A JP13788288A JPH01306259A JP H01306259 A JPH01306259 A JP H01306259A JP 13788288 A JP13788288 A JP 13788288A JP 13788288 A JP13788288 A JP 13788288A JP H01306259 A JPH01306259 A JP H01306259A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はインクジェット記録装置に使われるインクジェ
ットヘッドの製造方法に関し、特に低電圧駆動が可能な
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
ットヘッドの製造方法に関し、特に低電圧駆動が可能な
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
［従来の技術］
Ｅ’！素子を使用したインクジェットヘッドは、特開昭
５２−１５００２８に示される様に、圧電素子を圧力室
壁に接着し、圧電素子に電圧を印加することでノズルよ
りインクを噴射するものである。
５２−１５００２８に示される様に、圧電素子を圧力室
壁に接着し、圧電素子に電圧を印加することでノズルよ
りインクを噴射するものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら圧電素子に印加する駆動電圧は１００前後
、場合によってはさらに高圧であり、泥動用トランジス
タおよび′電源部が大幅にコストアップしてしまう。圧
電素子を薄くすれば低′セ王化が進むが、圧電素子を所
定の外形寸法に切出すこと、圧電素子の袋詰め等の運搬
、圧ｈＨＭ素子の特性の検査、製造工程における給材と
接着工程等のため、ＰＺＴの圧電セラミックスの圧電素
子はもろいので薄いとすぐ割れたり欠けてしまう。経験
的には厚さ０．１ ｒａｎが最小限度で、望ましくは０
１５間取上である。
、場合によってはさらに高圧であり、泥動用トランジス
タおよび′電源部が大幅にコストアップしてしまう。圧
電素子を薄くすれば低′セ王化が進むが、圧電素子を所
定の外形寸法に切出すこと、圧電素子の袋詰め等の運搬
、圧ｈＨＭ素子の特性の検査、製造工程における給材と
接着工程等のため、ＰＺＴの圧電セラミックスの圧電素
子はもろいので薄いとすぐ割れたり欠けてしまう。経験
的には厚さ０．１ ｒａｎが最小限度で、望ましくは０
１５間取上である。
そこで本発明は上記従来技術の課題を解決するものであ
り、その目的とするところは、加工や取扱いが容易で、
且つ低電圧駆動を可能とするインクジェットヘッドの製
造方法を提供することにある。
り、その目的とするところは、加工や取扱いが容易で、
且つ低電圧駆動を可能とするインクジェットヘッドの製
造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明では上記課題を解決するために、圧電素子を機械
振動構成部に接着し、次に機械加工によって該圧′１素
子をさらに薄く加工し、次にその機械加工面に電極を付
着する工程より製造されることを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法を提案する。
振動構成部に接着し、次に機械加工によって該圧′１素
子をさらに薄く加工し、次にその機械加工面に電極を付
着する工程より製造されることを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法を提案する。
［実施例コ
図面を使って本発明の実施例について説明する。第１図
（α）はノズル６ｔインク流入口８を有するインクジェ
ットヘッドの斜視図であり、又同図（ｂ）は背面からの
斜視図で、７は圧電セラミックスである。ヘッド内の流
路構造は前述の特開昭５２−１５００２８やＵＳＰ４６
８０５９５等と同様であり、ここではその説明を省略す
る。圧電セラミックス７はその両面に電極膜を有し、振
動板４上の電極と圧電セラミックスＺ上の電極に対し半
田付や圧着等の周知の手段によって配線を行なうが、外
装用カバー等と共に、ここでは配線部の図面を省略する
。
（α）はノズル６ｔインク流入口８を有するインクジェ
ットヘッドの斜視図であり、又同図（ｂ）は背面からの
斜視図で、７は圧電セラミックスである。ヘッド内の流
路構造は前述の特開昭５２−１５００２８やＵＳＰ４６
８０５９５等と同様であり、ここではその説明を省略す
る。圧電セラミックス７はその両面に電極膜を有し、振
動板４上の電極と圧電セラミックスＺ上の電極に対し半
田付や圧着等の周知の手段によって配線を行なうが、外
装用カバー等と共に、ここでは配線部の図面を省略する
。
まずヘッド本体５を組立てる。尚振動板４がガラスの場
合には予めその上に工ｎ０２等の電極膜を付けておく。
合には予めその上に工ｎ０２等の電極膜を付けておく。
次に第２図に示した様な、片側に電極膜９を有する圧電
セラミックス７を、機械振動系の一部を成す振動板４上
に接着する。電極膜９は、図に示すように、膜厚α１〜
０．２μｍのＯｒ層ｊ Ｏｌｏ、１〜０．３ ｐｍのＮ
ｉ層１１．０．０５〜０．１５μ風のＡｕ層１２から構
成される。電極膜９の他の実施例としてはＯｒ下付の上
にＮｉ層のみを付着させたものも可能である。圧電セラ
ミックス７の厚さは０．１〜０．１５ Ｍｎ、大きさは
１〜１．５ Ｍ Ｘ ｔ ５〜３門程度と考えて良い。
セラミックス７を、機械振動系の一部を成す振動板４上
に接着する。電極膜９は、図に示すように、膜厚α１〜
０．２μｍのＯｒ層ｊ Ｏｌｏ、１〜０．３ ｐｍのＮ
ｉ層１１．０．０５〜０．１５μ風のＡｕ層１２から構
成される。電極膜９の他の実施例としてはＯｒ下付の上
にＮｉ層のみを付着させたものも可能である。圧電セラ
ミックス７の厚さは０．１〜０．１５ Ｍｎ、大きさは
１〜１．５ Ｍ Ｘ ｔ ５〜３門程度と考えて良い。
振動板上に圧電セラミックス７を接着後、各圧電セラミ
ックスを均一に、さらに薄くするように研摩を実施する
。研摩実施後、圧電セラミックス７のその研摩面に蒸着
やスパッタリングによって金属薄膜の！極を付ける。た
とえば膜厚ｏ、１〜０、２ ／Ｊ ７ＢのＯｒを下付し
て、０．０５〜０．１５μｍのＡｕを付けるか、Ｏｒ、
Ｎｉ、Ａｕの三層の膜構成とするか、または膜厚ａ、１
〜ｒ１．４μｍのＮ１のみの電極膜とする。
ックスを均一に、さらに薄くするように研摩を実施する
。研摩実施後、圧電セラミックス７のその研摩面に蒸着
やスパッタリングによって金属薄膜の！極を付ける。た
とえば膜厚ｏ、１〜０、２ ／Ｊ ７ＢのＯｒを下付し
て、０．０５〜０．１５μｍのＡｕを付けるか、Ｏｒ、
Ｎｉ、Ａｕの三層の膜構成とするか、または膜厚ａ、１
〜ｒ１．４μｍのＮ１のみの電極膜とする。
次にはインク流入口８の取付けや圧電セラミックス７へ
の配線や外装用カバーの取付けによってインクジェット
ヘッドは完成する。
の配線や外装用カバーの取付けによってインクジェット
ヘッドは完成する。
尚圧電セラミックスに関し、ひずみ量Ｓは印加電圧Ｖ、
圧電セラミックスの厚さｔ、圧電定数ｄにより Ｓ＝ｄ − で表わされる。従って圧電セラミックスの厚さｔを小さ
くすることにより、駆動電圧■を落とすことが可能とな
る。
圧電セラミックスの厚さｔ、圧電定数ｄにより Ｓ＝ｄ − で表わされる。従って圧電セラミックスの厚さｔを小さ
くすることにより、駆動電圧■を落とすことが可能とな
る。
第３図、第４図に他の実施例を示す。第５図は第１図と
同様の斜視図であるが、異なるのは薄い金属板１３上に
圧電セラミックス７を接着していることである。第４図
は金属板１６とその上に接着された圧電セラミックス７
を示す断面図であるまず、プラスチック、ガラス或いは
ステンレスから作られるヘッド本体５を組立てておく。
同様の斜視図であるが、異なるのは薄い金属板１３上に
圧電セラミックス７を接着していることである。第４図
は金属板１６とその上に接着された圧電セラミックス７
を示す断面図であるまず、プラスチック、ガラス或いは
ステンレスから作られるヘッド本体５を組立てておく。
他方第４図に示したように、黄銅またはステンレスの厚
さ０．０５〜０．１５ＷＩｎの金属板１３に片側に電極
膜を持つ圧電セラミックス７を所定位置に接着し、その
状態で圧電セラミックス７を研摩して先に述べた様に薄
く加工する。
さ０．０５〜０．１５ＷＩｎの金属板１３に片側に電極
膜を持つ圧電セラミックス７を所定位置に接着し、その
状態で圧電セラミックス７を研摩して先に述べた様に薄
く加工する。
次に金属板１３をヘッド本体５に接着剤等で接合し、次
に圧電素子の研摩面に金属膜を付けて第３図の如く、ヘ
ッドを完成させる。金属板１３を用いた本実施では圧電
セラミックス７をヘッド本体５と分離した状態で研摩で
きるため、先の実施例に比較してヘッド本体内への異物
の侵入を防ぐことができる。
に圧電素子の研摩面に金属膜を付けて第３図の如く、ヘ
ッドを完成させる。金属板１３を用いた本実施では圧電
セラミックス７をヘッド本体５と分離した状態で研摩で
きるため、先の実施例に比較してヘッド本体内への異物
の侵入を防ぐことができる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明による製造方法によれば、
圧電素子を振動系に接着後に研摩して薄くするため、従
来、加工、運搬、製造工程上困難であった薄い圧電素子
の使用を可能とし、従来比１／３以下の３０Ｖ前後また
はそれ以下の駆動電圧が可能となった。
圧電素子を振動系に接着後に研摩して薄くするため、従
来、加工、運搬、製造工程上困難であった薄い圧電素子
の使用を可能とし、従来比１／３以下の３０Ｖ前後また
はそれ以下の駆動電圧が可能となった。
又、複数の圧電素子に対し同時に同条件で研摩するため
、複数の圧電素子を均一化でき、従って各ノズル毎での
インク噴射特性のばらつきも改善できた。
、複数の圧電素子を均一化でき、従って各ノズル毎での
インク噴射特性のばらつきも改善できた。
第１図（α）（ｂ）及び第５図は本発明によるインクジ
ェットヘッドの実施例を示す斜視図、第２図は圧電素子
の実施例を示す図、第４図は金属板に接着された圧電素
子の他の実施例を示す図。 ４・・・・・・・・・振動板 ５・・・・・・・・・ヘッド本体 ６・・・・・・・・ノズル ７・・・・・・・・・圧電セラミックス８・・・・・・
・・・インク流入口 ９・・・・・・・・・電極膜 １３・・・・・・金属板 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）７′２ ル ２回 ＝ヨヨ弊≧＝ 、／ ム、４−１ ８ 兎 ３ム
ェットヘッドの実施例を示す斜視図、第２図は圧電素子
の実施例を示す図、第４図は金属板に接着された圧電素
子の他の実施例を示す図。 ４・・・・・・・・・振動板 ５・・・・・・・・・ヘッド本体 ６・・・・・・・・ノズル ７・・・・・・・・・圧電セラミックス８・・・・・・
・・・インク流入口 ９・・・・・・・・・電極膜 １３・・・・・・金属板 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）７′２ ル ２回 ＝ヨヨ弊≧＝ 、／ ム、４−１ ８ 兎 ３ム
Claims (1)
- 少くとも圧電素子を含む機械振動系を駆動してインク粒
を記録紙上へ噴射するインクジェットヘッドの製造方法
において、薄い圧電素子を前記機械振動系の一部を成す
部材に接着する工程、該接着後に機械加工によって前記
圧電素子をさらに薄くする工程、次に該圧電素子の機械
加工面に電極を付着する工程、より製造されることを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63137882A JP2720457B2 (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63137882A JP2720457B2 (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01306259A true JPH01306259A (ja) | 1989-12-11 |
| JP2720457B2 JP2720457B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=15208891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63137882A Expired - Lifetime JP2720457B2 (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2720457B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222790A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 第３級炭化水素シリル化合物の製造方法 |
| JPS6260684A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-17 | Canon Inc | 感熱転写記録方法 |
-
1988
- 1988-06-03 JP JP63137882A patent/JP2720457B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222790A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 第３級炭化水素シリル化合物の製造方法 |
| JPS6260684A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-17 | Canon Inc | 感熱転写記録方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2720457B2 (ja) | 1998-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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