JPH01303960A - フォトセンサの感度調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフォトセンサの調整装置に関し、特に密着形イ
メージセンサに用いる混成集積化フォトセンサのセンサ
素子の感度を均一にする調整装置に関する。

〔従来の技術〕

ファクシミリ送信機などの読み取りデバイスとしてＩＣ
センサと称されるＭＯＳやＣＯＤの一次元アレイに代り
、原稿幅とフォトセンサ内のセンサ素子アレイの幅とを
１対１で対応させた密着形イメージセンサが実用化され
ている。縮少の光学系の光路とその微妙な調整を必要と
せず、送信機の小型化、低価格化が実現されるからであ
る。当然ＩＣセンサと同様にその性能は安定で全長にわ
たり均一な感度特性が要求される。

このような従来の密着形イメージセンサに用いるフォト
センサに於いては、センサ素子を構成する薄膜電極のパ
ターンは高精度に作られ、また光電変換材膜の成膜も基
板全域にわたり膜質、膜厚が均一であることが必要とさ
れる。

〔発明が解決しようとする課題〕

このようなフォトセンサのセンサ素子は、例えばＡ４判
、８素子／　ｍｍの読み取りデバイスに於いて全素子数
にわたる感度ばらつきを±ｌＯ％以下に抑えようとする
ならば、約２，０００個のセンサ素子の電極の′ばらつ
きは寸法精度を約５，０００Å以下の高精度パターンを
実現せねばならない。また光電変換材膜の膜質、膜厚も
全長的２００ｍｍにわたり均一に成膜せねばならない。

したがって、通常はこの感度ばらつきを電気的に補正す
る方法も取られるが補正限界が決まっており、特殊な回
路部品を必要とするため高価になり、充分に均一化され
ない。このため、素子感度の均一がフォトセンサの性能
を支配する重要な問題となっている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のフォトセンサの感度調整装置は、絶縁性基板上
に複数個のセンサ素子をアレイ状に並べたフォトセンサ
を載置する基板支持体と、センサ素子の１個の面積と同
等寸法に集束した照明をセンサ素子の１つにあてる手段
と、照明のあてられたセンサ素子の光出力を検知する検
知器と、フォトセンサを動作させるための駆動部と、前
記照明をセンサ素子に断続して順次照射するための制御
部とを少なくとも含んで構成されている６〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す概略構成図である
。アモルファスシリコン光導電膜を使用したＡ４判、８
素子／ｍｍのフォトセンサ１を基板支持台２に載置し、
その基板支持台２の下方にレーザ光による第１の照明３
を設置する。基板支持台２はフォトセンサ１のセンサ素
子のピッチ０．１２５ｍｍに対応して、軸方向Ａ４判長
に断続して移動できるように、制御回路４で制御される
。

フォトセンサ１には多端子プローバ５が接続され、フォ
トセンサ１の駆動回路６．フォトセンサ１からの光信号
を検知するための検知器７に接続されている。レーザ光
照明３の照明径は約０．１ｍｍ径とし、センサ素子の寸
法と同程度に集光している。

また検知器７からの出力信号は照明制御部８と基板支持
台制御回路４にフィードバックされて同期をとりセンサ
素子の出力に従って、照明時間と基板支持台２の移動の
タイミングを決めている。

第１の照明３に用いるレーザ光発生器は例えば１０ｍＷ
程度の出力光を使用し、フォトセンサ１のセンサ素子か
らの出力を検知器７で検知した後、目標出力レベルとの
差分を補正するだけ該当センサ素子に照射させる。通常
は電極パターン、膜質などのばらつきにより感度ばらつ
きは±２０％以上ばらつくが、光照射によるアモルファ
スシリコン光導電膜の導電率を低下させることによって
感度を均一にするものである。１個の感度調整が済んだ
後、基板支持台２が０．１２５ｍｍ移動し、次のセンサ
素子に備える。この操作を順次全素子に対し実行すれば
、Ａ４判フォトセンサの感度調整が終了することになる
。

このような調整装置によれば、フォトセンサの外部には
、基本的には補正回路を用いなくとも良く、またセンサ
素子の電極パターンの高精度化も特に必要とせず、寸法
偏差が±２０％程度あっても充分感度の調整が容易に可
能となる。

第２図は本発明の第２の実施例の概略構成図である。

基本構成は第１の実施例に示した調整装置と同様である
。フォトセンサ１のセンサ素子を照射する第１の照明３
の直前には、角度可変のミラー９を設置し、ミラー９の
角度をミラー制御部１０で変化させて、照明光を個別素
子毎に走査している。

この実施例では、基板支持台２を特に移動させることな
く、まったく第１の照明３を遮断することができる。一
方、基板支持台の下方には実用レベルの１００ルクス程
度の光量の第２の照明１１を設置している。したがって
、第１の照明３の遮断期間中にどの程度補正されている
か、常にリアルタイムで検知器７の出力によって検知で
きるので、精度の高い感度調整が可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明はセンサ素子の構造的な不
均一性から発生する感度ばらつきをセンサ素子への光照
射を各素子毎に順次行うことによって感度ばらつきを容
易に補正できるようになる。したがって、構造が簡単で
低価格のフォトセンサが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の第１および第２
の実施例の概略構成図である。 １・・・・・・フォトセンサ、２・・・・・・基板支持
台、３・・・・・・第１の照明、４・・・・・・基板支
持台制御回路、５・・・・・・多端子ブローバ、６・・
・・・・駆動回路、７・・・・・・検知器、８・・・・
・・照明制御部、９・・・・・・ミラー、１０・・・・
・・ミラー制御部、１１・・・・・・第２の照明である
。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 ８６シヂ耳明引）す４ＷＤ 第Ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　絶縁性基板上に複数個のセンサ素子とアレイ状に並べ
   たフォトセンサを載置する基板支持台と、前記センサ素
   子の１個の面積と同等寸法に集束した照明前記センサ素
   子の１つにあてる手段と、前記照明をあてられたセンサ
   素子の光出力を検知する検知器と、前記フォトセンサを
   動作させるための駆動部と、前記照明を前記センサ素子
   に断続して順次照射するための制御部を含むことを特徴
   とするフォトセンサの感度調整装置。