JPH01302831A - 電気回路装置 - Google Patents

電気回路装置

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JPH01302831A
JPH01302831A JP63133397A JP13339788A JPH01302831A JP H01302831 A JPH01302831 A JP H01302831A JP 63133397 A JP63133397 A JP 63133397A JP 13339788 A JP13339788 A JP 13339788A JP H01302831 A JPH01302831 A JP H01302831A
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Tetsuo Yoshizawa
吉沢 徹夫
Yoshimi Terayama
寺山 芳実
Hiroshi Kondo
浩史 近藤
Takashi Sakaki
隆 榊
Shunichi Haga
羽賀 俊一
Yasuteru Ichida
市田 安照
Masaki Konishi
小西 正暉
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電気回路装置に関する。
[従来技術] 従来、電気回路部品同士を電気的に接続して構成される
電気回路装置に関する技術としては以下に述べる技術が
知られている。
■ワイヤボンディング方法 第11図および第12図はワイヤボンディング方法によ
って接続され、封止された半導体装置の代表例を示して
おり、以下、第11図および第12図に基づきワイヤボ
ンディング方法を説明する。
この方法は、Agペースト3等を用いて半導体素子4を
素子搭載部2に固定支持し、次いで、半導体素子4の接
続部5と、リードフレーム1の所望の接続部6とを金等
の極細金属線7を用いて電気的に接続する方法である。
接続後は、トランスファーモールド法等の方法でエポキ
シ樹脂等の熱硬化性樹脂である樹脂8を用いて半導体素
子4とリードフレーム1を封止し、その後、樹脂封止部
品から外に伸びたリードフレーム1の不要部分を切断し
、所望の形に曲げ半導体装置9を作る。
■T A B (Tape Automated Bo
nding )法(例えば、特開昭59−139636
号公報)第13図はTAB法により接続され封止された
半導体装置の代表例を示す。
この方法は、テープキャリア方式による自動ボンディン
グ法である。すなわち、第13図に基づいて説明すると
、キャリアフィルム基板16と半導体素子4とを位置決
めした後、キャリアフィルム基板16のインナーリード
部17と半導体素子4の接続部5とを熱圧着することに
より接続する方法である。接続後は、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂である樹脂20乃至樹脂21で封止し半導
体装置9とする。
■CCB (Controlled Co11apse
 Bonding )法(例えば、特公昭42−209
6号公報、特開昭60−57944号公報) 第14図はCCB法によって接続され封止された半導体
装置の代表例を示す。この方法を第14図に基づき説明
する。なお、本方法はフリップチップボンディング法と
も言われている。
半導体素子4の接続部5に予め半田バンブ31を設け、
半田バンブ3Iが設けられた半導体素子4を回路基板3
2上に位置決めして搭載する。
その後、半田を加熱溶解することにより回路基板32と
半導体素子4とを接続させ、フラックス洗浄後封止して
半導体装置9を作る。
■第15図および第16図に示す方法 すなわち、第1の半導体素子4の接続部5以外の部分に
ポリイミド等よりなる絶縁@71を形成せしめ、接続部
5にはAu等よりなる金属材70を設け、次いで、金属
材70および絶縁膜71の露出面73.72を平らにす
る。一方、第2の半導体素子4°の接続部5°以外の部
分にポリイミド等よりなる絶縁膜71°を形成し、接続
部5′にはAu等よりなる金属材70°を設け、次いで
、金属材70°および絶縁膜71°の露出面73°、7
2°を平坦にする。
しかる後、第16図に示すように第1の半導体素子4と
第2の半導体素子4°とを位置決めし、位置決め後、熱
圧着することにより第1の半導体素子4の接続部5と第
2の半導体素子4°の接続部5′を、金属材70.70
’ を介して接続する。
■第17図に示す方法 すなわち、第1の回路基板75と第2の回路基板75′
の間に、絶縁物[77中に導電粒子79を分散させた異
方性導電膜78を介在させ、第1の回路基板75と第2
の回路基板75°を位置決めしたのち、加圧もしくは、
加圧・加熱し、第1の回路基板75の接続部76と第2
の回路基板75°の接続部76°を接続する方法である
■第18図に示す方法 すなわち、第1の回路基板75と第2の回路基板75′
の間に、Fe、Cu等よりなる金属線82が一定方向に
向けて配されている絶縁物質81からなるエラスチック
コネクタ83を介在させ、第1の回路基板75と第2の
回路基板75゜を位置決めした後加圧し、第1の回路基
板75の接続部76と第2の回路基板75°の接続部7
6°を接続する方法である。
[発明が解決しようとする課題] ところで上記した従来のボンディング法には次のような
問題点がある。
■ワイヤボンディング法 ■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内部にくる
ように設計すると、極細金属線7は、その線径が極めて
小さいために、半導体素子4の外周縁部10あるいはリ
ードフレーム1の素子搭載部2の外周縁部11に接触し
易くなる。8im金属線7がこれら外周縁部10乃至1
1に接触すると短絡する。さらに、極細金属線7の長さ
を長くせざるを得す、長さを長くすると、トランスファ
ーモールド成形時に極細金属線7が変形しゃすくなる。
従って、半導体素子4の接続部5は半導体素子4上の周
辺に配置する必要が生じ、回路設計上の制限を受けざる
を得なくなる。
■ワイヤボンディング法においては、隣接する極細金属
線7同士の接触等を避けるためには半導体素子4上の接
続部5のピッチ寸法(隣接する接続部の中心間の距l!
1lt)としである程度の間隔をとらざるを得ない。従
って、半導体素子4の大きざが決まれば必然的に接続部
5の最大数が決まる。
しかるに、ワイヤボンディング法では、このピッチ寸法
が通常0.2mm程度と大きいので、接続部5の数は少
なくせざるを得なくなる。
■半導体素子4上の接続部5から測った極細金属線7の
高さhは通常0.2〜0.4mmであるが、0.2mm
以下にし薄型化することは比較的困難であるので薄型化
を図れない。
■ワイヤボンディング作業に時間がかかる。特に接続点
数が多くなるとボンディング時間が長くなり生産効率が
悪くなる。
■何らかの要因でトランスファーモールド条件範囲を越
すと、極細金属線7が変形したり最悪の場合には切断し
たりする。
また、半導体素子4上の接続部5においては、極細金属
線7と合金化されないAflが露出しているためA11
.腐食が生じ易くなり、信頼性の低下が生じる。
■高圧で樹脂8を注入すると、極細金属線7の変形、切
断が生じるため、高圧で注入する必要がある熱可塑性樹
脂は使用できなく、樹脂に制約を受ける。
■半導体素子4が不良になったとき、半導体素子4のみ
を取りかえることは困難である。
■TAB法 ■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内側にくる
ように設計すると、キャリアフィルム基板16のインナ
ーリード部17の長さ1が長くなるため、インナーリー
ド部17が変形し易くなりインナーリード部を所望の接
続部5に接続できなかったり、インナーリード部17が
半導体素子4の接続部5以外の部分に接触したりする。
これを避けるためには半導体素子4の接続部5を半導体
素子4上の周辺に持ってくる必要が生じ、設計上の制限
を受ける。
■TAB法においても、半導体素子4上の接続部のピッ
チ寸法は0.09〜0.15mm程度にとる必要があり
、従ってワイヤボンディング法の問題点■で述べたと同
様に、接続部数を増加させることはむずかしくなる。
■キャリアフィルム基板16のインナーリード部17が
半導体素子4の接続部5以外の部分に接触しないように
させるためには、そのためのインナーリード部17の接
続形状が要求されるためコスト高となる。
■半導体素子4の接続部5とインナーリード部17とを
接続するためには、半導体素子4の接続部5またはイン
ナーリード部17の接続部に金バンプをつけなければな
らずコスト高になる。
■半導体素子4の熱膨張係数が、樹脂20乃至樹脂21
の熱膨張係数と異なるため、半導体装置9に熱が加わっ
た場合、熱応力が発生し、半導体素子4の特性劣化を生
じる。さらには半導体素子4または樹脂20乃至樹脂2
1に割れが生じ 装置の信頼性が低下する。かかる現象
は半導体素子4の大きさが大きい場合顕著となる。
■半導体素子4が不良になったとき、半導体素子4のみ
を取りかえることは困難である。
■CCB法 ■半導体素子4の接続部5に半田バンブ31を形成させ
なければならないためコスト高になる。
■バンブの半田量が多いと隣接する半田バンブ間にブリ
ッジ(、隣接する半田バンプ同士が接触する現象)が生
じ、逆にバンプの半田量が少ないと半導体素子4の接続
部5と基板32の接続部33が接続しなくなり電気的導
通がとれなくなる。すなわち、接続の信頼性が低くなる
。さらに、半田量、接続の半田形状が接続の信頼性に影
響する(”Geometric Optimizati
on of ControlledCollapse 
 Interconnections”、  L、S、
Goldman。
IBM J、 RES、 DEVELOP、 1969
 MAY、 pp251−265゜”Re1iabil
ity of (:ontrolled Co11ap
se Inter−connections”、  K
、C,Norris、  八、H,Landzbarg
IBM  J、RES、DEVELOP、1969.M
AY、  pp266−271゜ろう接技術研究会技術
資料、No、017−’84、ろう接技術研究会発行)
という問題がある。
このように、半田バンブの量の多少が接続の信頼性に影
響するため半田バンブ31の量のコントロールが必要と
されている。
■半田バンプ31が半導体素子4の内側に存在すると接
続が良好に行なわれたか否かの目視検査が難しくなる。
■半導体素子の放熱性が悪い(参考資料;Electr
onic Packaging’Technology
 1987.1゜(Vol、3. No、1) P、6
6〜71. NIKKEI MICRODEVICES
1988.5月、 P、97〜108)ため、放熱特性
を良好たらしめるために多大な工夫が必要とされる。
■第15図および第16図に示す技術 ■絶縁膜71の露出面72、金属材70の露出面73あ
るいは絶XJII!71’の露出面72°と金属材70
゛の露出面73′とを平らにしなければならず、そのた
めの工程が増し、コスト高になる。
■絶縁膜71の露出面72と金属材70の露出面73あ
るいは絶縁膜71°の露出面72°と金属材70゛の露
出面73′に凹凸があると金属材70と金属材70’ 
とが接続しなくなり、信頼性が低下する。
■半導体素子4.4°が不良になったとき、半導体素子
4.4°のみを取りかえることは困難である。
■第17図に示す技術 ■位置決め後に、接続部76と接続部76°とを加圧し
て接続する際に、圧力が一定にはかかりにくいため、接
続状態にバラツキが生じ、その結果、接続部における接
触抵抗値のバラツキが大きくなる。そのため、接続の信
頼性が乏しくなる。
また、多量の電流を流すと、発熱等の現象が生じるので
、多量の電流を流したい場合には不向きである。
■圧力が一定にかけられたとしても、異方性導電膜78
の導電粒子79の配列により抵抗値のバラツキが大きく
なる。そのため、接続の信頼性に乏しくなる。また、多
量の電流を流したい場合には不向きである。
■隣接する接続部のピッチ(接続部に隣接する接続部中
心間の距離)を狭くすると隣接する接続部の間の抵抗値
が小さくなる。ことから高密度な接続には不向きである
■回路基板75,75°の接続部76.76’の出っ張
り量h1のバラツキにより抵抗値が変化するため、h1
バラツキ量を正確に押さえることが必要である。
■さらに異方性導電膜を、半導体素子と回路基板の接続
、また、第1の半導体素子と第2の半導体素子との接続
に使用した場合、上記■〜■の欠点の他、半導体素子の
接続部にバンプを設けなければならなくなり、コスト高
になるという欠点が生じる。
■回路基板75.75’のいずれか一方が不良になった
とき、その回路基板のみを取りかえることは困難である
■第18図に示す技術 ■加圧が必要であり、加圧治具が必要となる。
■エラスチックコネクタ83の金属線82と第1の回路
基板75の接続部76、また、第2の回路基板75°の
接続部76゛との接触抵抗は加圧力および表面状態によ
り変化するため、接続の信頼性に乏しい。
■エラスチックコネクタ83の金属線82は剛体である
ため、加圧力が大であるとエラスチックコネクタ83、
第1の回路基板75、第2の回路基板75′の表面が破
損する可能性が大きい。また、加圧力が小であると、接
続の信頼性が乏しくなる。
■さらに、回路基板75.75″の接続部76.76″
の出っ張り量h2、またエラスチックコネクタ83の金
属線82の出フ張りml h 3とそのバラツキが抵抗
値変化および破損に影響を及ぼすので、バラツキを少な
くする工夫が必要とされる。
■さらに、エラスチックコネクタを半導体装置と回路基
板の接続、また、第1の半導体素子と第2の半導体素子
との接続に使用した場合、■〜■と同様な欠点を生ずる
本発明は、以上のような問題点をことごとく解決し、高
密度、高信顆性であり、しかも、低コストの新電気回路
装置を提案するものであり、従来の接続方式及び封止方
式を置き変え得ることはもちろん、高密度多点接続が得
られ、熱特性その他の諸特性を向上させ得るものである
(以下余白) [課題を解決するための手段] 本発明の第1の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している少なくとも1
以上の電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
うちの少なくとも1つの一端が接続されている少なくと
も1以上の電気回路部品であって、該接続部は該電気回
路部品の端部に存在する電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
うちの少なくとも1つの他端が接続されている少なくと
も1以上の他の電気回路部品であって、該接続部は電気
回路部品の端部に存在する電気回路部品と; を少なくとも有している電気回路装置において、 該複数の電気的導電部材の少なくとも一部分は、千鳥状
に配列されて露出していることを特徴とする電気回路装
置に存在する。
本発明の第2の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している少なくとも1
以上の電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
うちの少なくとも1つの一端が接続されている少なくと
も1以上の電気回路部品であって、該接続部は該電気回
路部品の端部に存在する電気回路部品と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
うちの少なくとも1つの他端が接続されている少なくと
も1以上の他の電気回路部品であって、該接続部は電気
回路部品の端部に存在する電気回路部品と: を少なくとも有している電気回路装置において、 少なくとも1つの電気的導電部材の露出端の形状が、波
形形状又はS字形形状をしていることを特徴とする電気
回路装置に存在する。
本発明の第3の要旨は、本発明の第1の要旨において、
少なくとも1つの電気的導電部材の露出端の形状が、波
形形状又はS字形状をしていることを特徴とする電気回
路装置に存在する。
本発明の第4の要旨は、本発明の第1の要旨乃至第3の
要旨において、該電気回路部品の少なくとも1つは、そ
の接続部と電気的導電部材の端の少なくとも1以上とを
金属化及び/又は合金化することにより接続されており
、他の電気回路部品は金属化及び/又は合金化以外の手
段により接続されていることを特徴とする電気回路装置
に存在する。
本発明の第5の要旨は、本発明の第1の要旨乃至第3の
要旨において、該電気回路部品の全てがその接続部と電
気的導電部材の端の少なくとも1以上とを金属化及び/
又は合金化することにより接続されてことを特徴とする
電気回路装置に存在する。
本発明の第6の要旨は、本発明の第1の要旨乃至第3の
要旨において、該電気回路部品の全てがその接続部と電
気的導電部材の端とにおいて金属化及び/又は合金化以
外の方法により接続されてことを特徴とする電気回路装
置に存在する。
本発明の第7の要旨は、本発明の第1の要旨乃至第6の
要旨において、該電気回路部品の少なくとも1つは着脱
自在に接続されていることを特徴とする電気回路装置に
存在する。
本発明の第8の要旨は、本発明の第4の要旨又は第5の
要旨において、少なくとも2以上の電気回路部品が金属
化及び/又は合金化により接続されており、着脱したい
電気回路部品についての金属化及び/又は合金化により
形成された金属層及び/又は合金層の融点が、着脱しな
い電気回路部品についての金属化及び/又は合金化によ
り形成された金属層及び/又は合金層の融点より低いこ
とを特徴とする電気回路装置に存在する。
以下に本発明の構成要件を個別的に説明する。
(電気回路部品) 本発明における電気回路部品としては、例えば、樹脂回
路基板、セラミック基板、金属基板、シリコン基板等の
回路基板(以下単に回路基板ということがある)や、半
導体素子、リードフレーム等があげられる。
なお、電気的接続部材に接続される電気回路部品は、保
持体の1つの面に1つだけ存在してもよいし、複数個存
在してもよい。
電気回路部品として接続部を有する部品が本発明の対象
となる。接続部の数は問わないが、接続部の数が多けれ
ば多いほど本発明の効果が顕著となる。
また、本発明では少なくとも2つの電気回路部品のそれ
ぞれの接続部は電気回路部品の端部に存在する。接続部
が端部に存在する少なくとも2つの電気回路部品は、電
気的接続部材の一方の面と他方の面において接続されて
もよいし、同一の面において接続されてもよい。
なお、接続部は電気的導電材料である。
(電気的接続部材) 本発明に係る電気的接続部材は、電気絶縁材料からなる
保持体に複数の電気的導電部材が埋設されている。埋設
されている導電部材同士は電気的に絶縁されている。
この電気的導電部材の一端は保持体の一方の面において
露出しており、他端は保持体の他方の面においてに露出
している。
さらに電気的接続部材は、1層あるいは2層以上の多層
からなるものでもよい。
(電気的導電部材) 電気的導電部材は電気的に導電性を示すものならば何で
もよい。金属材料が一般的であるが、金属材料以外にも
超電導性を示す材料等でもよい。
金属部材の材料としては、金が好ましいが、全以外の任
意の金属あるいは合金を使用することもできる。例えば
、Ag、Be、Ca、Mg。
Mo、Ni、W、Fe、Ti、In、Ta。
Zn、Cu、AIL、Sn、Pb−3n等の金属あるい
は合金があげられる。
また、金属部材及び合金部材は、同一の電気的接続部材
において同種の金属が存在していてもよいし、異種の金
属が存在していてもよい。さらに、電気的接続部材の金
属部材及び合金部材の1個が同種の金属ないし合金でで
きていてもよいし、異種の金属ないし合金でできていて
もよい。
さらに、金属、合金以外であっても導電性を示すならば
、金属材料に有機材料または無機材料の一方または両方
を包含せしめた材料でもよい。また、導電性を示すなら
ば無機材料と有機材料との組合せでもよい。
(電気的接続部材の配列・形状) 本発明は、電気的接続部材の保持体から露出している電
気的導電部材の端の配列が千鳥状になっていることを1
つの特徴としている。
千鳥状であれば何段千鳥でもよく、また、規則性があっ
てもなくともよい。さらに、露出している部分のみが千
鳥状に配列されていればよく、保持体の内部は千鳥状に
配列されていなくともよい。また、保持体のいずれか一
面において千鳥状に配列されていればよく、保持体の両
面において、が千鳥状に配列されていなくともよい。さ
らに、保持体の全面にわたり千鳥状に配列されている必
要はなく、一部分で(局部的に)千鳥状に配列されてい
ればいい。
また、本発明は、電気的接続部材の保持体から露出して
いる電気的導電部材の端の形状を波形形状あるいはS字
形状とした点にある。この場合においても保持体の内部
はいかなる形状でもよい。
また、露出している電気的導電部材の1つでも波型形状
がS字形形状をしていればよい。なお、電気回路部品の
接続部の形状は、波形形状あるいはS字形状としてもよ
いし、他の形状としてもよい。
また、電気的導電部材の太さは特に限定されない。電気
回路部品の接続部のピッチを考慮して、例、tば20μ
mφ以上あるいは2o1.1mφ以下ニしてもよい。
なお、電気的導電部材の露出部は保持体と同一面として
もよいし、また、保持体の面から突出させてもよい。こ
の突出は片面のみでもよいし両面でもよい。さらに突出
させた場合はバンブ状にしてもよい。
また、電気的導電部材の間隔は、電気回路部品の接続部
同士の間隔と同一間隔としてもよいし、それより狭い間
隔としてもよい。狭い間隔とした場合には電気回路部品
と電気的接続部材との位置決めを要することなく、電気
回路部品と電気的接続部材とを接続することが可能とな
る。
また、電気的導電部材は保持体中に垂直に配する必要は
なく、保持体の一方の面側から保持体の他方の面側に向
って斜行していてもよい。
(保持体) 保持体は、電気的絶縁材料からなる。
電気的絶縁材料ならばいかなるものでもよい。
電気的絶縁材料としては有機材料、無機材料があげられ
る。また、電気的導電部材同士が電気的に絶縁されるよ
うに処理を施した金属又は合金材料でもよい。さらに、
有機材料中に、粉体、繊維、板状体、棒状体、球状体等
所望の形状をした、無機材料、金属材料、合金材料の一
種か又は複数種を分散させて保有せしめてもよい。さら
に、無機材料中に、粉体、繊維、板状体、棒状体、球状
体等所望の形状をした、有機材料、金属材料、合金材料
の一種か又は複数種を分散させて保有せしめてもよい。
また、金属材料中に、粉体、繊維、板状体、棒状体、球
状体等所望の形状をした、無機材料、有機材料の一種か
又は複数種を分散させて保有せしめてもよい。なお、保
持体が金属材料よりなる場合は、例えば、電気的導電部
材と保持体との間に樹脂等の電気的絶縁材料を配設すれ
ばよい。
ここで、有機材料としては、例えば、絶縁性の樹脂を用
いればよく、樹脂としては、熱硬化性樹脂、紫外線硬化
樹脂、熱可塑性樹脂のいずれでもよい。例えば、ポリイ
ミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエー
テルサルフオン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリス
チレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ
ジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾール
樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポ
リ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メタクリル酸メ
チル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、フェノール
樹脂、メラニン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メタク
リル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、アルキッド樹脂、シリ
コーン樹脂その他の樹脂を使用することができる。
なお、これらの樹脂の中から、熱伝導性のよい樹脂を使
用すれば、半導体素子が熱を持ってもその熱を樹脂を介
して放熱することができるのでより好ましい。さらに、
樹脂として、回路基板と同じかあるいは同程度の熱膨張
率を有するものを選択し、また、有機材料中に少なくと
も1ケの穴あるいは複数の気泡を存在せしめれば、熱膨
張・熱収縮に基づく、装置の信頼性の低下を一層防止す
ることが可能となる。
また、金属材料や合金材料として具体的には、例えば、
Ag、Cu、Au、All、Be、Ca。
Mg、Mo、Fe、Ni、St、Co、Mn。
W、Cr、Nb、Zr、Ti、Ta、Zn。
Sn、Pb−3n等の金属又は合金があげられる。
無機材料としては、例えば、Sin、。
B20s 、All203 、Na2O,に20゜Ca
b、ZnO,Bad、PbO,5b20s 。
As2 o3 、La203 、Zro2.Bad。
p2o6.TiO2,MgO,SiC,Bed。
BP、 BN、 AjZN、 B4 C,TaC,Ti
 B2゜CrB2 、Ti N、S i3N4.Ta2
0s等のセラミック、ダイヤモンド、ガラス、カーボン
、ボロンその他の無機材料があげられる。
(接続) 電気的接続部材の端と電気回路部品の接続との接続とし
ては下記の3つの構成が考えられる。
■全ての電気回路部品が、その接続部と、保持体の一方
の面において露出している複数の電気的導電部材の一端
とを金属化及び/又は合金化することにより接続されて
いる構成。
■少なくとも1つの電気回路部品が、その接続部と、保
持体の一方の面において露出している複数の電気的導電
部材の一端とを金属化及び/又は合金化することにより
接続されており、他は金属化及び/または合金化以外の
方法により接続されている構成。
■全ての電気回路部品が、その接続部と、保持体の一方
の面において露出している複数の電気的導電部材の一端
ととにおいて、金属化及び/又は合金化以外の方法によ
り接続されている構成。
(金属化及び/又は杏金化による接続)次に金属化及び
/又は合金化による接続について述べる。
接続しようとする電気的導電部材と接続部とが同種の純
金属よりなる場合には、金属化により形成される層は電
気的導電部材あるいは接続部と同種の結晶構造となる。
なお、金属化の方法としては、例えば、電気的導電部材
の端とその端に対応する接続部とを接触させた後、適宜
の温度に加熱すればよい。この場合、加熱により接触部
近傍において原子の拡散等が生じ、拡散部が金属化状態
となり金属層が形成される。
接続しようとする電気的導電部材と接続部とが異種の純
金属よりなる場合には、形成される接続層は両金属の合
金よりなる。なお、合金化の方法としては、例えば、電
気的導電部材の端とその端に対応する接続部とを接触さ
せた後、適宜の温度に加熱すればよい。この場合、加熱
により接触部近傍において原子の拡散等が生じ、接触部
近傍に固溶体あるいは金属間化合物よりなる合金層が形
成される。
なお、電気的接続部材の金属部材にAuを使用し、電気
回路部品の接続部にA文を使用した場合には、200〜
350℃の加熱温度が好ましい。
接続しようとする電気的導電部材と接続部との一方が純
金属よりなり他方が合金よりなる場合、あるいは両者が
同種あるいは異種の合金よりなる場合には、接続界面は
合金層よりなる。
1個の電気的接続部材中における複数の電気的導電部材
同士についてみると、それぞれの電気的導電部材が同種
の金属あるいは合金よりなる場合、それぞれが異種の金
属あるいは合金からなる場合、その他の場合があり、ま
た、1mの電気的導電部材についても、同種の金属ある
いは合金よりなる場合、異種の金属あるいは合金よりな
る場合、その他の場合があるが、そのいずれの場合であ
っても上記の金属化あるいは合金化が行なわれる。一方
接綾部についても同様である。
なお、電気的導電部材あるいは接続部は、両者の接触部
において、金属あるいは合金であればよく、その他の部
分は例えば金属にガラス等の無機材料が配合された状態
や、金属に樹脂等の有機材料が配合された状態であって
もよい。
また、接続される部分の表面に合金化しやすい金属ある
いは合金よりなるめフき層を設けておいてもよい。
なお、加熱方法としては、熱圧着等の方法の他に、超音
波加熱法、高周波誘導加熱法、高周波誘導加熱法、マイ
クロ波加熱法等の内部加熱法や、他の外部加熱法を用い
てもよく、上記の加熱方法を併用してもよい。いずれの
加熱法においても直接又は間接的に接続部を加熱させて
接続させる。
(金属化及び/又は合金化以外による接続)上記の金属
化あるいは合金化以外の接続を行なうには、例えば電気
回路部品と電気的接続部材の電気的導電部材とを押圧し
て接続すればよい。
その他の接続法としては接続着剤を用いる接続法等があ
る。すなわち、電気回路部品と電気的導電部材とを、そ
の接続部を除く少なくとも一部において接着することに
より接続する方法がある。
(着脱自在な接続) 上記した各種の接続手段のうち、交換を必要とする電気
回路部品については着脱自在に接続しつる手段(例えば
抑圧による接続)を選択すればよい。
金属化及び/又は合金化による接続を行なう場合であっ
ても、着脱したい電気回路部品についての金属層又は合
金層の融点が、着脱しない電気回路部品についての金属
層又は合金層の融点より低くなるようにすればよい、す
なわち、このように構成しておけば、着脱したい電気回
路部品についての金属層又は合金層の融点より高く、か
つ、着脱しない電気回路部品についての金属層又は合金
層の融点より低い温度に加熱してやれば、着脱しない電
気回路部品の接続部には損傷等の悪影響を及ぼすことな
く、着脱したい電気回路部品のみを取り外しでとる。本
発明において、着脱自在な接続とはかかる接続をも含む
(用途) 本発明における電気回路装置としては、例えば、感熱ヘ
ッド、バブルヘッド等の熱印字ヘッド、液晶パネル等の
機能ヘッド、電気回路装置をドライブするための装置(
例えばドライバー半導体素子が近接して存在するドライ
バー装置)、長尺で多数の機能素子をドライブさせる装
置、長尺で多数のセンサを増幅させる装置等があげられ
る。
(封止材) 本発明では、着脱したくない電気回路部品が存在してい
る場合封止材によりその電気回路部品を埋め込んで封止
してもよい。
封止は、1つの電気回路部品にのみ行ってもよいし、複
数の電気回路部品に行ってもよい。
(封止材の材料) 本発明では、封止材の材料としては熱可塑性樹脂を用い
ることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ
イミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエ
ーテルサルフオン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリ
スチレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポ
リジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾー
ル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メタクリル酸
メチル樹脂その他の樹脂を使用することができる。
また、封止材は上記の樹脂でもよいし、上記熱可塑性樹
脂に粉体、繊維、板状体、棒状体、球状体等任意の形状
の、金属、合金、無機材料の1種又は複数種を分散した
ものでもよい。分散の仕方は、樹脂中に粉体、繊維、板
状体、棒状体、球状体等を添加し、樹脂を攪拌すればよ
い。もちろん、かかる方法によることなく、他の任意の
方法で樹脂中に粉体、繊維、板状体、棒状体、球状体等
を分散せしめてもよい。
上記金属又は合金としては、例えば、Ag。
Cu、Au、AJ2.Be、Ca、Mg、Mo。
Fe、Ni、St、Co、Mn、W等の金属又は合金が
あげられる。
無機材料としては、例えば、5i02゜B203 、A
fL203.Naz O,に20゜Cab、zno、B
ad、pbo、sb、03 。
AS2 03  、  La2 o、、  ZrO2、
Bad。
p20S 、TiO2、MgO,SiC,Bed。
BP、  BN、AλN、  B4  C,TaC,T
i  B2゜CrB2.Ti N、S i3N4 、T
a205等のセラミック、ダイヤモンド、ガラス、カー
ボン、ボロンその他の無機材料があげられる。
分散せしめる粉体および繊維の大きさ、形状、また絶縁
体中における分散位置、数量は任意である。また粉体、
繊維は絶縁体の外部に露出していてもよいし、露出して
いなくてもよい。また、粉体、繊維、繊維、板状体、棒
状体、球状体等は互いに接触していてもよいし、接触し
ていなくてもよい。
(封止方法) なお、封止材を封止する方法としては、型のキャビティ
ー内に電気回路部材(電気的接続部材とそれに接続され
た電気回路部品からなる部材)を入れ、インジェクショ
ンモールドでキャビティーに封止材を挿入することによ
り封止すればよい。また、かかるインジェクションモー
ルド、押出成形法、中型法、中空成形法その他いかなる
方法で電気回路部材を封止してもよい。
さらに上記封止材と板(板は封止材と異なる材質)を併
用してもよい。かかる封止形態としては、封止材の表面
の少くとも一部に板が接合されている場合、封止材によ
り電気回路部品と電気的接続部材に接続されている他の
電気回路部品との少くとも1つの少くとも一部に電気的
接続部材と反対側の面で接合されている板の少くとも一
部が埋め込まれている場合、及び封止材により電気回路
部品と電気的接続部材に接続されている電気回路部品の
いずれか1つ又は複数の側面近傍に配設された板の少く
とも一部が埋め込まれている場合がある。
(板) 板の材質は、封止材の材質と異なっていればいかなるも
のでもよい。
板厚としては、例えばステンレス板の場合、0.05〜
0.5mmが好ましい。
接合する場合、接合方法には特に限定されない。たとえ
ば、接着剤等を用いて貼り付ければよいし、その他の方
法であってもよい。
(キャップ) 本発明では、電気回路部品をキャップ封止しいてもよい
ここでキャップ封止とは、電気回路部品を包み込み、内
部に中空部が存在するように電気回路部品を封止するこ
とである。
キャップは、1つの電気回路部品にのみ設けてもよいし
、複数の電気回路部品に設けてもよい。
なお、キャップ封止する場合、電気回路部品が電気的接
続部材にしっかり保持されるように封止することが好ま
しい。たとえば、キャップの内部の面を、電気回路部品
の外側の表面形状に対応する形状とし、その面が電気回
路部品の外側の表面に当接するようにキャップ封止すれ
ばよい。
なお、キャップは、接着剤による貼り付は方法、機械的
方法、溶着による方法その他の任意の方法により、電気
回路部品あるいは他のキャップ(保持体の一方の面にあ
る電気回路部品と他方の面にある電気回路部品の両方が
キャップ封止されている場合)に接合すればよい。
(キャップ封止の材質) キャップの材質は有機材料、無機材料、金属材料、又は
これらの複合材料でもよい。
封止形態は電気回路部品1ケ又は複数を同一キャップで
封止してもよい。また、キャップが電気回路部品を押圧
するように封止してもよいし、保持するように封止して
もよい。
さらに電気回路部品とキャップの間に部材を介在させて
封止してもよい。この場合、複数の電気回路部品を同一
キャップで封止した方が効果が顕著となる。
キャップと電気回路部品その他との接合はいかなる方法
でもよい。
(調整用部材) 本発明ではキャップと電子回路部品との間に調整用部材
を介在せしめてもよい。
調整用部材の材料は、金属材料、無機材料、有機材料の
うちどれでもよいが、弾力性のある材料であることが好
ましい。。
また、形状は、電気回路部品の高さ方向の寸法が調整で
きれば、どのような形状でもよい。
[作用コ (請求項1〜請求項8) 本発明では、上記した電気的接続部材を使用して電気回
路部品と他の電気回路部品とを接続しているので、電気
回路1部品の接続部を端部に高密度に存在させることが
可能となり端部の接続部の数を増加させることができ、
ひいては高密度化が可能となる。
また、電気的接続部材を薄くすることが可能であり、こ
の面からも電気回路部材の薄型化が可能となる。
さらに、電気的接続部材に使用する金属部材の量は少な
いため、例え、高価である金を金属部材として使用した
としてもコスト低減が可能となる。
(請求項1、請求項3乃至請求項8) 本発明では、電気的接続部材の保持体から露出している
電気的導電部材の配ダIが千鳥状をなしているので、電
気回路部品側からみると配線パターンよりも接続部の占
める大きさが大きいため、より高密度の接続が達成され
る。
また、電気的接続部材からみると実質のピッチよりもみ
かけ上大きいピッチとなることにより作製が容易となり
、コスト低減に役立つ。さらに、隣接の耐電圧が上がり
、漏れ電流等の電気的特性が向上するため信頼性の良好
な機能ヘッドが得られる。
(請求項2乃至請求項8) 本発明では、電気的接続部材の保持体から露出している
電気的接続部材の形状が波形ないしS字形状をしている
ので、例えば、接続部にいかなる方向から力が加わって
も接続がしつかり維持される。従って、機械的特性、構
造的特性が良好で信頼性のよい機能ヘッドが得られる。
なお、かかる性質は金属化および/または合金化による
接続以外の方法により接続した場合により一層発揮され
る。
(請求項4、請求項5) 本発明において、電気回路部品が、電気接続部材を介し
て、金属化及び/又は合金化により接続されていると、
電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実に接
続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキも小
さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い機能ヘ
ッドを得ることができる。
また、電気回路部品が、電気的接続部材を介して金属化
及び/又は合金化により接続されていると、機能ヘッド
の作成工程中及び作成後において、治具等を使用して電
気回路部品を保持する必要がなく、機能ヘッドの作成及
び作成後の管理が容易である。
(請求項5) 電気回路部品の全てが、電気的接続部材を介して金属化
及び/又は合金化により接続されていると、電気回路部
品相互の接触抵抗が、1つの電気回路部品のみを接続し
た場合に比べてより小さくなる。
(請求項6) 一方、すべての電気回路部品を金属化及び/又は合金化
による接続以外の接続により行なうと、金属化及び/又
は合金化時に生じる電気回路部品の熱による劣化を防止
することができる。
(請求項7) 電気回路部品を着脱自在に接続しておくと、電気回路部
品に各種不良が生じても容易に他の電気回路部品と交換
が可能となり製造コスト等のコストの減少を図ることが
できる。
(請求項8) 予め不良等が生じやすい電気回路部品がわかっているよ
うな場合には、その電気回路部品についての金属化及び
/又は合金化により形成された金R層又は合金層の融点
を他の電気回路部品についての融点より低くしておけば
、機能ヘッドの使用時には電気回路部品同士が強固(強
度的に強く)かつ確実に接続されるので、接続抵抗値は
小さく、そのバラツキも小さく、さらに機械的に強い機
能ヘッドが得られるとともに、ひとたび不良等が発生し
た場合には不良等の発生した電気回路部品のみを交換す
ることができ製造コスト等のコストを減少させることも
できる。
なお、本発明において、封止材を用いて封止する場合、
電気的接続部材は、電気的導電部材が保持体中に埋め込
まれて構成されているため、封止材を注入したときの打
止圧力、封止速度等に影暮されることが少ないので、い
かなる封止方法でも用いることができる。つまり、従来
できなかった熱可塑性樹脂のような非常に高圧な注入が
要求されるものによる封止も可能となった。
また、本発明において、封止材の表面の少なくとも一部
に板が接合されている場合、封止材により電気回路部品
と電気的接続部材に接続されている電気回路部品の少く
とも1つの少くとも一部に電気的接続部材と反対側の面
で接合されている板の少くとも一部が埋め込まれている
場合、又は、封止材により電気回路部品と電気的接続部
材に接続されている電気回路部品のいずれか1つ又は複
数の側面近傍に配設された板の少くとも一部が埋め込ま
れている場合には、装置に内部応力が発生したり外部か
ら力が加わったりしても応力集中を緩和でき、応力集中
から生ずることのある割れ等を防止することができる。
また、この板は外界から電気回路部品に至るまでの経路
を長くする作用もあり、そのため外部からの水等は電気
回路部品に浸入しにくくなる。従って装置の信頼性を高
めることができる。
なお、板の材質がステンレス等の金属、熱伝導性の良い
セラミック、カーボン、ダイヤモンド等である場合には
、電気回路部品から発生した熱を速やかに外界へ放熱す
ることができるため、放熱特性の優れた電気回路装置が
得られる。さらに、板の材質が金属である場合には、外
界からのノイズを遮断でき、ノイズの影宮を受けにくく
、さらに、電気回路部品から発生する電磁気ノイズを遮
断でき、ノイズの発生の少ない良好な特性の電気回路装
置が得られる。
また、本発明においてキャップ封止する場合、電気回路
装置が中空になっているので熱が加わっても熱応力の発
生が少く、信頼性の高い電気回路装置が得られる。また
、キャップと電気回路部品を当接し、キャップに熱伝導
性の良い材料を用いた場合、電気回路部品から発生した
熱がキャップを介して迅速に外部に伝導するので、より
放熱特性が優れた電気回路装置を得られる。さらに、キ
ャップがノイズ遮蔽性の良い材料、特に鉄系等の金属よ
りなる場合には、よりシールド効果が優れた電気回路装
置を得られる。また、゛キャップと電気回路部品の間に
調整用部材を介在させた場合、電気回路部品の高さのバ
ラツキが生じる場合でも効率よく組み立てを行うことが
可能となる。
なお、本発明において、電気的導電部材の絶縁体に熱伝
導性のよい材料を用いた場合、封止材に熱伝導性のよい
粉体、繊維、板状体、棒状体、球状体等が分散されてい
る場合、電気回路部品から発熱される熱がより早く外界
へ逃げ、熱放散性の良い電気回路装置が得られる。また
、電気的導電部材の絶縁体が電気回路部品の熱膨張係数
に近い材料を用いた場合、封止材に電気回路部品の熱膨
張係数が近い粉体、繊維、板状体、棒状体、球状体等の
一方ないし両方が分散されている場合、熱膨張係数が電
気回路部品の熱膨張係数に近づき、熱が加わった場合に
生ずることのある、封止材、電気回路部品の割れ、ある
いは電気回路部品の特性変化という、電気回路装置の信
頼性を損なう現象を防止でき、信頼性の高い電気回路装
置が得られる。
さらに絶縁体としてシールド効果が大ぎい材料を選択す
ることにより、電気回路部品から外界に出る電磁気ノイ
ズを減少させることができ、また、外界から電気回路部
品へ入るノイズを減少させることもできる。
(以下余白) [実施例] (実施例1) 本発明の実施例1を第1図及び第2図に基づいて説明す
る。
本実施例では、有機材料よりなる保持体111と、保持
体111中に埋設された複数の電気的導電部材である金
属部材107とを有し、金属部材107の一端が保持体
111の一方の面において露出しており、また、金属部
材107の他端が保持体111の他方の面において露出
している電気的接続部材125と; 接続部105を有し、接続部105において、保持体1
11の一方の面において露出している金属部材107の
一端と接続されている1つの回路基板であって、その接
°続部105は回路基板の端部に存在する回路基板10
4と; 接続部194を有し、接続部194において、保持体1
11の他方の面において露出している金属部材107の
他端と接続されている1つの回路基板であって、その接
続部194は回路基板の端部に存在する回路基板184
と; を少なくとも有している電気回路装Mにおいて、 保持体111の両面に露出している金属部材107の配
列が千鳥状をなしており、また、金属部材107の形状
が波形形状をなしている。
なお、本例では、回路基板104に複数の半導体素子1
01が接続されている。
また、本例の電気回路装置は熱印字装置であり、回路基
板184は発熱体400を有している。
以下に本実施例をより詳細に説明する。
まず、電気的接続部材125の一製造例を説明しつつ電
気的接続部材125を説明する。
第2図に一製造例を示す。
まず、第2図(a)に示すように、波形形状をした太さ
が最大30μmφの金等の金属あるいは合金よりなる金
属!1121を、ピッチを63.5μmとして千鳥状に
棒122に巻き付け、@き付は後、ポリイミド等の樹脂
123中に上記金属線121を埋め込む、埋め込み後上
記樹脂123を硬化させる。硬化した樹脂123は絶縁
体となる。その後、点線124の位置でスライス切断し
、電気的接続部材125を作成する。このようにして作
成された電気的接続部材125を第2図(b)、(c)
、(d)に示す。ただし、第2図(d)におCする金属
線121の太さ、形状は第2図(b)、(C)に比して
異なっている。
このように作成された電気的接続部材125において、
金属線121が金属部材107を構成し、樹脂123が
保持体(絶縁体)111を構成する。
この電気的接続部材125においては金属部材となる金
属線121同士は樹脂123により電気的に絶縁されて
いる。また、金属線121の一端は回路基板104側に
露出し、他端は回路基板184側に露出している。この
露出している部分はそれぞれ回路基板104、回路基板
184との接続部105,194となる。
次に、第1図(a)、(C)に示すように、回路基板1
04、電気的接続部材125、回路基板184を用意す
る。本例で使用する回路基板104、回路基板184は
、その端部に多数の接続部105,194を有している
なお、回路基板104の接続部105は、回路基板18
4の接続部194及び電気的接続部材125の接続部1
08,109に対応する位置に金属が露出している。
回路基板104の接続部105と電気的接続部材125
の接続部108とが、又は、回路基板184の接続部1
94と電気的接続部材125の接続部109とが対応す
るように位置決めを行ない、位置決め後、回路基板10
4の接続部105のAuと電気的接続部材125の接続
部108のAuとをさらに回路基板184の接続部19
4のAuと電気的接続部材125の接続部109のAu
との両方を接続する(第1図(b)。
(d))。
本例では、押圧による押圧接続を行なったが、電気的接
続部材の両面もしくは片面を金属化および/または合金
化して接続してもよい。もちろん接着剤を用いて接続し
てもよい。
なお、回路基板104、電気的接続部材125、回路基
板184を、金属化及び/又は合金化により接続するに
は次の3方式が存在するが、そのいずれの方式によって
もよい。
■回路基板104、電気的接続部材125、回路基板1
84を位置決めした後、回路基板104の接続部105
と電気的接続部材125の接続部108とを、及び回路
基板184の接続部194と電気的接続部材125の接
続部109とを同時に金属化及び/又は合金化して接続
する方法。
■回路基板104、電気的接続部材125とを位置決め
し、回路基板104の接続部105と電気的接続部材1
25の接続部108とを金属化及び/又は合金化して接
続した後、回路基板184を位置決めし、電気接続部材
125の接続部109と回路基板184の接続部194
を金属化及び/又は合金化して接続する方法。
■回路基板184と電気的接続部材125とを位置決め
し、回路基板184の接続部194と電気的接続部材1
25の接続部109とを金属化及び/又は合金化して接
続した後、回路基板1゜4を位置決めし、電気的接続部
材125の接続部108と回路基板104の接続部10
5を金属化及び/又は合金化して接続する方法。
なお、この場合、接続部108における合金層と接続部
109における合金層との融点を異ならしめれば必要に
応じて低い融点を有する方を着脱できる。例えば、接続
部108はSn:Pbの重量比が61.9%+38.1
%の共晶組成のはんだを用い、接続部109はSn :
 Pbのffi量比が5%:95%のはんだを用いれば
よい。
以上のようにして作成した電気回路装置につきその接続
部の接続性を調べたところ高い信頼性をもって接続され
ていた。
さらに、各種特性の信頼性も優れていた。
(実施例2) 第3図に実施例2を示す。
本例は電気回路装置がバブルシェド印字ヘッドである例
であり、回路基板184はインク室401を有している
。また、回路基板104.184の接続部105.19
4のピッチは63.5μmである。
また、電気的接続部材125の構成が以下に述べるよう
に実施例1とは異なる。
すなわち、本例の電気的接続部材125においては、金
属部材同士のピッチが実施例1で示したものよりも狭く
なっている。すなわち、本例では、回路基板104,1
84の接続部105゜194の間隔よりも狭い間隔に金
属部材107同士のピッチを設定しである。
つまり、実施例1では、回路基板104と回路基板18
4との接続位置に電気的接続部材125の接続位置を配
置したため、電気的接続部材125の位置決めが必要で
あったが、本例では、回路基板104と回路基板184
との位置決めは必要であるが、電気的接続部材125と
の位置決めは不要となる。そのため、回路基板104と
回路基板184の接続寸法(d++、P++)と電気的
接続部材の接続寸法(d12.  PI□)を適切な値
に選ぶことにより位置決めなしで接続することも可能で
ある。
以上のようにして作成した電気回路装置につぎその接続
部の接続性を調べたところ高い信頼性をもって接続され
ていた。
さらに、各種特性の信頼性も優れていた。
(実施例3) 本例では、電気的接続部材として第4図乃至第5図に示
すものを使用した。
すなわち、第4図に示す電気的接続部材125は、その
金属部材107(金属線121)の一部は千鳥状に配列
されており、金属部材107の露出している部分が保持
体(樹脂絶縁体)111の面から突出している。このよ
うな電気的接続部材125の作成は、例えば、次の方法
によればよい。
まず、実施例1で述べた方法により、第2図(b)、(
c)に示す電気的接続部材を用意する0次にこの電気的
接続部材の両面を、金属線121が、ポリイミド樹脂1
23から10μm程度突出するまでエツチングすればよ
い。
なお、木実施例では金属線121の突出量を10μmと
したが、いかなる量でもよい。
また、金属線121を突出させる方法としてはエツチン
グに限らず、他の化学的な方法又は機械的な方法を使用
してもよい。
他の点は実施例1と同様である。
なお、突出部を、電気的接続部材125を金属線121
の位置に凹部を持った型に挟み込み、金属線121の突
起126をつぶすことにより第5図に示すようなバンブ
150を形成してもよい。この場合金属線121は絶縁
体111から脱落しにくくなる。
なお、本例でも、金属線121が金属部材107を構成
し、さらに、樹脂123が絶縁体111を構成する。
なお、バンブを作成するのには突起を熱で溶融させ、バ
ンブを作成してもよいし、他のいかなる方法でもよい。
本例における接続は、次に述べるように行なった。すな
わち、回路基板104,184のいずれか一方の少なく
とも一部分に接着剤を塗布し、電気的接続部材と回路基
板に貼りつけ、力を加えて接続部、保持体111に存在
する余分の接着剤をはみ出させ、電気的接続部材125
の金属部材107と回路基板104,184の接続部1
05.194を接続させて接着剤を硬化させた。
(実施例4) 第6図に実施例4を示す。
本例では、回路基板104,184を2枚の電気的接続
部材125を用いて接続した。
本例における回路基板104,184はその端部に配線
パターン(接続部)105,194を多数有しているも
のを用いた。本例では回路基板104.184に電気的
接続部材125をブリッジさせて、電気的接続部材12
5の図面上下面において、回路基板104,184を接
続するとともに、電気的接続部材の図面上上面には他の
回路基板187を接続して回路基板104と回路基板1
84との電気的接続を行なった。
他の点は実施例2と同様である。
(実施例5) 第7図に実施例5を示す。
本例では、実施例4において、電気的接続部材125を
一枚とし、また、回路基板187に代え、複数の半導体
素子201,202,203゜204を用いた。すなわ
ち、本例では半導体素子201.202,203,20
4に半導体素子機能とともに、電気的接続機能をももた
せたものである。
本例では、入力電気信号を回路基板104から取り入れ
れば回路基板104の配線パターンの数を減らすことが
できる。従って、安価な回路基板とすることができると
ともに、正確な位置決めを行なわずとも接続を行なうこ
とができるという利点もある。
(実施例6) 第8図に実施例6を示す。
本例は、回路基板104に電気的接続部材125を介し
て半導体素子201,202゜203が接続され、回路
基板184に電気的接続部材125,128を介して半
導体素子204゜205が接続されている。
回路基板104、半導体素子201,202゜203、
回路基板184、半導体素子204はそれぞれはんだを
用いて金属化又は合金化により接続されている。そして
、金属化層、合金化層の融点を異ならしめである。
このような電気的接続部材125は第2図(b)、(c
)に示す電気的接続部材の両面に、メツキではんだを付
ける。電気的接続部材の片面には共晶はんだ(Sn:P
b=61.9wt%:38.1wt%)を、もう一方の
面にはSn:Pb=5%wt%: 95wt%ではんだ
をめっきする。本例においては、後者の方を回路基板1
04側につけた。半導体素子を取り外すには両者の融点
の間の温度に加熱すればよい。
なお、半導体素子205は押圧より接続されており、加
熱を行なわなくとも着脱自在となっている。
また、回路基板184の取り付けられている半導体素子
204は封止材170により封止されている。
以上のようにして作成した電気回路装置につきその接続
部の接続性を調べたところ高い信頼性をもフて接続され
ていた。
さらに、各種特性の信頼性も優れていた。
(実施例7) 第9図に実j1例7に使用する電気的接続部材を示す。
第9図(a)は電気的接続部材の斜視図、第9図(b)
は上記電気的接続部材の断面図である。
かかる電気的接続部材の作成例を次に述べる。
まず、実施例1に示した製法により、樹脂123中に5
i02よりなる粉末が人フている電気的接続部材を作製
し、かかる電気的接続部材128.129,130を3
枚用意する。
1枚目128の金属線121の位置はm行n列目で、m
a、nbだけ中心から変位している。
2枚目129の金属線121の位置はm行n列目でma
c、nbcだけ中心から変位している。
3枚目130の金属線121の位置はm行n列でmad
、nbdだけ中心から変位している。a。
b、c、dの値は上下の金属121は導通するが左右に
は互いに電気的に導通しないような値をとる。3枚の電
気的接続部材を位置決めし、超音波併用熱圧着加熱法を
用いて積層し、電気的接続部材125を作成する。
なお、本例においては、電気的接続部材の金属の位置を
m行n列というように規則をもった位置を選んだが、上
下の金属が導通し、左右には互いに電気的に導通しない
ようにすればランダムでもよい。
また、本例では3層積層する場合について述べたが、2
枚以上であれば何枚でもよい。また、超音波併用熱圧着
加熱法を用いて積層すると述べたが、圧着、接着等の方
法を用いてもよい。さらに、本例の電気的接続部材を加
工して第4図に示すように突起を設けてもよいし、第5
図に示したようにバンブ150を設けてもよい。
他の点は実施例1と同様である。
本例においても接続部は高い信頼性を持って接続されて
いた。
さらに、各種特性の信頼性も優れていた。
(実施例8) 第10図に実施例8に使用する電気的接続部材を示す。
第10図(a)は電気的接続部材の製造途中の断面図、
第10図(b)は上記電気的接続部材の斜視図、第10
図(C)は上記の断面図である。
予めアルミナセラミックよりなる保持体111に、20
71mφより大きい径の穴142をあけておく。次に穴
142に20μmφのAu等の金属あるいは合金よりな
る金属線121を通し、樹脂123を保持体122と金
属線121との間に入れ、樹脂123を硬化させる。硬
化した樹脂123は介在物となる。その後、金属線12
1を点線124の位置でスライス切断し、電気的接続部
材125を作成する。このようにして作成した電気的接
続部材125を第10図(b)、(C)に示す。
また、本例の電気的接続部材を加工して、第4図に示す
ように突起を設けてもよいし、第5図に示すようにバン
ブ150を設けてもよい。
他の点は実施例1と同様である。
本例においても接続部は高い信頼性を持って接続されて
いた。
さらに、各種特性の信頼性も優れていた。
(以下余白) [発明の効果] 本発明は以上のように構成したので次の数々の効果が得
られる。
!、(請求項1〜請求項8) 半導体素子と回路基板、リードフレーム等の電気回路部
品の接続に関し、信頼性の高い接続が得られる。従って
、従来用いられてきたワイヤボンディング方式、TAB
方式、CCB方式に代えることが可能となる。
2、(請求項1〜請求項8) 本発明によると電気回路部品の接続部を端部に高密度に
も配置することができることからワイヤボンディング方
式、TAB方式よりもさらに多点接続が可能となり、多
ビン数接続向きの方式となる。さらに、電気的接続部材
の隣接金属間に予め絶縁物質が存在することにより隣接
ピッチを狭くしても隣接金属間の電気的導通が起こらな
いことによりCCB方式よりもさらに多点接続が可能と
なる。
3、(請求項1〜請求項8) 電気的接続部材において使用される金属部材の量は従来
に比べ微量であるため、仮に金属部材に金等の高価な金
属を使用しても従来より安価となる。
4、(請求項1〜請求項8) 高密度の電気回路装置が得られる。
5、(請求項1、請求項3〜請求項8)本発明では、電
気的接続部材の保持体から露出している電気的導電部材
の配列が千鳥状をなしているので、電気回路部品側から
みると配線パターンよりも接続部の占める大きさが大き
いため、より高密度の接続が達成される。
また、電気的接続部材からみると実質のピッチよりもみ
かけ上大きいピッチとなることにより作製が容易となり
、コスト低減に役たつ。さらに、隣接の耐電圧が上がり
、漏れ電流等の電気的特性が向上するため信頼性の良好
な機能ヘッドが得られる。
6、(請求項2〜請求項8) 本発明では、電気的接続部材の保持体から露出している
電気的接続部材の形状が波形ないしS字形状をしている
ので、例えば、接続部にいかなる方向から力が加わって
も接続がしっかり維持される。従って、機成的特性、構
造的特性が良好で信頼性のよい電気回路装置が得られる
。なお、かかる性質は金属化および/または合金化によ
る接続以外の方法により接続した場合により一層発揮さ
れる。
7、(請求項4、請求項5) 本発明において、電気回路部品が、電気接続部材を介し
て、金属化及び7/又は合金化により接続されているの
で、電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実
に接続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキ
も小さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い電
気回路装置を得ることができる。
また、電気回路部品が、電気的接続部材を介して金属化
及び/又は合金化により接続されていると、電気回路装
置の作成工程中及び作成後において、治具等を使用して
電気回路部品を保持する必要がなく、電気回路装置の作
成及び作成後の管理が容易である。
8、(請求項5) 電気回路部品のすべてが、電気的接続部材を介して金属
化及び/又は合金化により接続されているので、電気回
路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実に接続され
、機械的に強く、不良率の極めて低い電気回路装置を得
ることができる。
また、電気回路部品のすべてが、電気的接続部材を介し
て金属化及び/又は合金化により接続されているので、
電気回路部品相互の接触抵抗が、1つの電気回路部品の
みを接続した場合に比べてより小さくなる。
9、(請求項6) 電気回路部品のすべてが、金属化及び/又は合金化によ
る接続以外の接続により行われているので金属化及び/
又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による劣化を防
止することができる。
10、(請求項7) 電気回路部品を着脱自在に接続しているので、電気回路
部品に各種不良が生じても容易に他の電気回路部品と交
換が可能となり製造コスト等のコストの減少を図ること
ができる。
11、(請求項8) 着脱したい電気回路部品についての金属化及び/又は合
金化により形成された金属層又は合金層の融点を他の電
気回路部品についての融点より低くしであるので、電気
回路装置の使用時には電気回路部品同士が強固(強度的
に強く)かつ確実に接続され、接続抵抗値は小さく、そ
のバラツキも小さく、さらに機械的に強い電気回路装置
が得られるとともに、ひとたび不良等が発生した場合に
は少なくとも不良等の発生した電気回路部品の接続層の
温度を、この接続層の融点以下で、着脱しない電気回路
部品の接続層の融点未満の温度に上昇させ溶融させて不
良の発生した電気回路部品のみを交換することができ製
造コスト等のコストを減少させることもできる。
なお、請求項に記載した発明の実施態様については以下
の効果が得られる。
1、樹脂封止する場合、封止材を高圧で注入できるので
定圧トランスファー用熱硬化樹脂はもちろんのこと、高
圧で注入する必要のある熱可塑性樹脂でも封止が可能で
ある。
26封止材中に金属、合金、セラミックの一種又は複数
種の粉体又は繊維の一方又は両方を分散させた場合、封
止材の熱膨張係数が電気回路部品の熱膨張係数に近づく
ことから、熱が加わっても熱応力の発生が少なく、信頼
性の高い電気回路装置、ひいては、半導体装置が得られ
る。
また、封止材中に金属、合金、セラミックの一種又は複
数種の熱伝導性が良い材料を選んで分散させると電気回
路部品から発生した熱が速く放散し、放熱特性の良好な
電気回路装置、ひいては、半導体装置が得られる。
3、本発明においてキャップ封止する場合、電気回路装
置が中空になっているので熱が加わっても熱応力の発生
が少く、信頼性の高い電気回路装置が得られる。また、
キャップと電気回路部品を当接し、キャップに熱伝導性
の良い材料を用いた場合、電気回路部品から発生した熱
がキャップを介して迅速に外部に伝導するので、より放
熱特性が優れた電気回路装置を得られる。さらに、キャ
ップがノイズ遮蔽性の良い材料、特に鉄系等の金属より
なる場合には、よりシールド効果が優れた電気回路装置
を得られる。
4、キャップと電気回路部品の間に調整用部材を介在さ
せた場合、電気回路部品の高さのバラツキが生じる場合
でも効率よく組み立てを行うことが可能となる。
5、封止材の表面の少くとも一部に板が接合されている
場合、電気回路部品に板が接合されその少くとも1つの
少くとも一部が封止材で埋め込まれている場合、及び、
電気回路部品の近傍に配設された板の少くとも一部が埋
め込まれている場合には、装置に内部応力が発生したり
外部から力が加わったりしても応力集中を緩和でき、応
力集中から生ずることのある割れ等を防止することがで
きる。また、この板は外界から電気回路部品に至るまで
の経路を長くする作用もあり、そのため外部からの水等
は電気回路部品に浸−人しにくくなる。従って装置の信
頼性を高めることができる。
6、板の材質がステンレス等の金属、熱伝導性の良いセ
ラミック、カーボン、ダイヤモンド等である場合には、
電気回路部品から発生した熱を速やかに外界へ放熱する
ことができるため、放熱特性の優れた電気回路装置が得
られる。さらに、板の材質が金属である場合には、外界
からのノイズを遮断でき、ノイズの影響を受けにくく、
さらに電気回路部品から生ずる電磁気ノイズを遮断でき
、ノイズの発生の少ない良好な特性の電気回路装置が得
られる。
7、電気的接続部材の保持体の絶縁材料中に金属材料の
粉体または繊維部の一種又は複数種を包含せしめた場合
には、シールド効果の高い電気回路装置が得られる。
8、電気的接続部材の保持体を、熱伝導性の良い金属材
料、無機材料の一種または複数種よりなる粉体あるいは
繊維の一方または両方を絶縁体に分散させて構成した保
持体とするか、あるいは、電気的導電部材が絶縁される
ように金属材料を絶縁材中に絶縁して構成した保持体と
する場合には、電気回路部品から発熱した熱が電気回路
部材ざらには他の電気回路部品を介して外部に放熱し得
るため、熱放散性の良好な電気回路装置が得られる。
9、電気的接続部材の絶縁体に、比較的電気回路部品の
熱膨張係数に近い熱膨張係数を有する金属材料、無機材
料の一種または複数種の粉体または繊維の一方または両
方を分散せしめると熱膨張係数が電気回路部品の熱膨張
係数に近づくことから、熱が加わっても熱応力の発生が
少なく、信頼性の高い電気回路装置、ひいては、半導体
装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例1を示す図であり、第1図(a)は接続
前の断面図、第1図(b)は接続後の状態を示す断面図
、第1図(C)、(d)は熱印字ヘッドを示す。第1図
(c)は斜視図、第1図(d)は正面図である。 第2図は、実施例に使用する電気的接続部材の一製造方
法例を説明するための図であり、第2図(a)は断面図
、第2図(b)は平面図、第2図(C)は断面図、第2
図(d)は平面図である。 第3図は実施例2を示し、第3図(a)は断面図、第3
図(b)は断面図、第3図(c)は斜視図、第3図(d
)は正面図ある。 第4図および第5図は実施例2に用いる電気的接続部材
の断面図である。 第6図は実#i例3を示し、第6図(a)は斜視図、第
6図(b)は正面図である。 第7図は実施例4を示し、第7図(a)は斜視図、第7
図(b)正面図である。 第8図は実施例5を示す断面図である。 第9図実施例6を示し、第9図(a)は斜視図であり、
第9図(b)は断面図である。 第10図は実施例7を示し、第10図(a)、(C)は
断面図、第10図(b)は斜視図である。 第11図乃至第18図までは従来例を示し、第12図を
除き断面図であり、第12図は平面透視図である。 (符号の説明) 1・・・リードフレーム、2・・・リードフレームの素
子搭載部、3・・・銀ペースト、4.4″・・・半導体
素子、5.5°・・・半導体素子の接続部、6・・・リ
ードフレームの接続部、7・・・極細金属線、8・・・
樹脂、9・・・半導体装置、10・・・半導体素子の外
周縁部、11・・・リードフレームの素子搭載部の外周
縁部、16・・・キャリアフィルム基板、17・・・キ
ャリアフィルム基板のインナーリード部、20・・・樹
脂、21・・・樹脂、31・・・半田バンプ、32・・
・基板、33・・・基板の接続部、51・・・回路基板
、52・・・回路基板の接続部、54・・・電気的接続
部材の接続部、55・・・リードフレーム、70.70
’ ・・・金属材、71.71°・・・絶縁膜、72.
72’・・・絶縁膜の露出面、73,73°・・・金属
材の露出面、75.75°・・・回路基板、76.76
’・・・回路基板の接続部、77・・・異方性導電膜の
絶縁物質、78・・・異方性導電膜、79・・・導電粒
子、81・・・エラスチックコネクタの絶縁物質、82
・・・エラスチックコネクタの金属線、83・・・エラ
スチックコネクタ、101・・・半導体素子、103・
・・絶縁膜、106・・・絶縁膜、!04・・・電気回
路部品(回路基板)、105・・・接続部、107・・
・電気的導電部材(金属部材)、108・・・接続部、
109・・・接続部、111・・・保持体(絶縁体)、
121・・・金属線、122・・・棒、123・・・樹
脂、124・・・点線、125・・・電気的接続部材、
128,129゜130・・・電気的接続部材、142
・・・穴、131゜132・・・金属線案内板、150
・・・バンブ、!70・・・封止材、184,187・
・・電気回路部品(回路基板)、194,197・・・
接続部、201゜202.203,204・・・半導体
素子、206゜207.208,209,210・・・
接続部、400・・・発熱体、401・・・インク室。 第1図(o) 第1図(C) 第1図(d) 第2図(a) 第3図 (a) 」i−二 第3図(C) 第3図(d) 第6図(b) 第7図(b) 第9図(a) 第9図(b) 第10図(a) 第11図 第12図 第13図 31  61.56 第15図

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している少なくとも1以上の電気的接続
    部材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部に
    おいて、該保持体の面において露出している該電気的導
    電部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている
    少なくとも1以上の電気回路部品であって、該接続部は
    該電気回路部品の端部に存在する電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
    うちの少なくとも1つの他端が接続されている少なくと
    も1以上の他の電気回路部品であって、該接続部は電気
    回路部品の端部に存在する電気回路部品と; を少なくとも有している電気回路装置において、 該複数の電気的導電部材の少なくとも一部分は、千鳥状
    に配列されて露出していることを特徴とする電気回路装
    置。
  2. (2)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している少なくとも1以上の電気的接続
    部材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部に
    おいて、該保持体の面において露出している該電気的導
    電部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている
    少なくとも1以上の電気回路部品であって、該接続部は
    該電気回路部品の端部に存在する電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の面において露出している該電気的導電部材の
    うちの少なくとも1つの他端が接続されている少なくと
    も1以上の他の電気回路部品であって、該接続部は電気
    回路部品の端部に存在する電気回路部品と; を少なくとも有している電気回路装置において、 少なくとも1つの電気的導電部材の露出端の形状が、波
    形形状又はS字形形状をしていることを特徴とする電気
    回路装置。
  3. (3)請求項1の電気回路装置において、少なくとも1
    つの電気的導電部材の露出端の形状が、波形形状又はS
    字形形状をしていることを特徴とする電気回路装置。
  4. (4)請求項1乃至請求項3の電気回路装置において、
    該電気回路部品の少なくとも1つは、その接続部と電気
    的導電部材の端の少なくとも1以上とを金属化及び/又
    は合金化することにより接続されており、他の電気回路
    部品は金属化及び/又は合金化以外の手段により接続さ
    れていることを特徴とする電気回路装置。
  5. (5)請求項1乃至請求項3の電気回路装置において、
    該電気回路部品の全てがその接続部と電気的導電部材の
    端の少なくとも1以上とを金属化及び/又は合金化する
    ことにより接続されていることを特徴とする電気回路装
    置。
  6. (6)請求項1乃至請求項3の電気回路装置において、
    該電気回路部品の全てがその接続部と電気的導電部材の
    端とにおいて金属化及び/又は合金化以外の方法により
    接続されていることを特徴とする電気回路装置。
  7. (7)請求項1乃至請求項6の電気回路装置において、
    該電気回路部品の少なくとも1つは着脱自在に接続され
    ていることを特徴とする電気回路装置。
  8. (8)請求項4又は請求項5の電気回路装置において、
    少なくとも2以上の電気回路部品が金属化及び/又は合
    金化により接続されており、着脱したい電気回路部品に
    ついての金属化及び/又は合金化により形成された金属
    層及び/又は合金層の融点が、着脱しない電気回路部品
    についての金属化及び/又は合金化により形成された金
    属層及び/又は合金層の融点より低いことを特徴とする
    電気回路装置。
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JP63133397A JPH01302831A (ja) 1988-05-31 1988-05-31 電気回路装置
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